KR100402992B1 - 광스위칭 장치의 패키징 - Google Patents

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KR100402992B1
KR100402992B1 KR10-2001-0066263A KR20010066263A KR100402992B1 KR 100402992 B1 KR100402992 B1 KR 100402992B1 KR 20010066263 A KR20010066263 A KR 20010066263A KR 100402992 B1 KR100402992 B1 KR 100402992B1
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문성욱
채경수
강호관
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한국과학기술연구원
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Abstract

본 발명은 광스위칭 장치의 패키징(packaging)에 관한 것이다. 보다 상세하게는 폴리머 물질을 중간층으로 하여 광스위치가 제작된 기판과 광파이버를 고정할 수 있는 기판을 접합하는 패키징 기술에 관한 것이다.
최근 미소기전소자(MEMS) 기술을 이용한 소자들이 개발되어 상품화가 이뤄지게 됨에 따라 패키징에 대한 기술 개발이 가속화되고 있다. 특히, 광소자는 광손실을 줄일 수 있도록 패키징하는 것이 주요 기술로 다양한 방식이 시도되었다. 그러나, 아직 소자 단위의 패키징은 가시적인 결과를 보이지 않고 있다.
본 발명에 의하면, 반사판의 거울면을 구동하기 위한 구동기(20)가 설치되어 있는 하부기판(10)과; 광파이버의 삽입 통로를 갖는 폴리머(40) 패턴이 형성되며, 상기 폴리머(40) 패턴의 양 내측에 구조물(30)이 설치되어 있는 상부기판(50)과; 상기 하부기판(10) 상에 상부기판(50)이 결합되어 광파이버의 삽입 통로를 통해 광파이버(60)가 삽입되는 것을 특징으로 하는 광스위칭 장치의 패키징을 제공한다.
따라서, 본 발명에 의한 광스위칭 장치의 패키징에 따르면, 광스위칭 장치를 패키징 할 경우 외부 환경에 의해 영향을 받지 않는 안정적인 동작을 보장할 수 있다. 또한, 추가적인 정밀한 정렬 공정 없이도 반사 거울면과 광파이버를 정렬할 수 있다.

Description

광스위칭 장치의 패키징{The packaging of optical switch}
본 발명은 광스위칭 장치의 패키징(packaging)에 관한 것이다. 보다 상세하게는 폴리머 물질을 중간층으로 하여 광스위치가 제작된 기판과 광파이버를 고정할 수 있는 기판을 접합하는 패키징 기술에 관한 것이다.
광스위치 소자는 전기(자기) 광학 효과를 이용하여 외부에서 인가한 전계에 의해 광 빔을 온,오프하는 장치, 혹은 액정 물질의 광학적 성질이 외부에서 주어지는 전계나 압력 등에 의해 변화하는 현상을 이용한 스위치 소자이다.
이러한 광스위치 소자로는 광 빔을 온,오프하기 위해 광섬유 자체를 전자석 등을 이용하여 기계적으로 전환하도록 하는 기계 구동형이 널리 사용되고 있다.
최근 미소기전소자(MEMS) 기술을 이용한 소자들이 개발되어 상품화가 이뤄지게 됨에 따라 패키징에 대한 기술 개발이 가속화되고 있다.
특히 광소자는 광손실을 줄일 수 있도록 패키징하는 것이 주요 기술로 다양한 방식이 시도되었다. 그러나, 아직 소자 단위의 패키징은 가시적인 결과를 보이지 않고 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서 본 발명의 목적은 정밀한 정렬이 가능하며, 광소자의 안정적 동작을 보장할 수 있는 광스위칭 장치의 패키징 기술을 제공하는데 있다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기술적 사상으로써 본 발명은광스위칭 장치의 패키징 구조에 있어서,반사판의 거울면을 구동하기 위한 구동기(20)가 설치되어 있는 하부기판(10)과;광파이버의 삽입 통로를 갖는 폴리머(40) 패턴이 형성되며, 상기 폴리머(40) 패턴의 양 내측에 기계적인 구조물(30)이 설치되어 있는 상부기판(50)과;
상기 하부기판(10) 상에 유리기판으로 형성된 상부기판(50)이 결합되어 상기 광파이버의 삽입 통로를 통해 광파이버(60)가 삽입되는 것을 특징으로 하는 광스위칭 장치의 패키징을 제공한다.
도 1은 본 발명에 따라 광스위칭 장치의 구조물이 제작된 하부기판을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따라 광스위칭 장치의 하부기판과 접합되는 상부기판을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명에 따라 광스위칭 장치의 하부기판과 상부기판이 접합된 상태를 나타낸 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 하부기판 20 : 구동기
30 : 구조물 40 : 폴리머
50 : 상부기판 60 : 광파이버
이하, 본 발명의 실시예에 대한 구성 및 그 작용을 첨부한 도면을 참조하면서 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따라 광스위칭 장치의 구조물이 제작된 하부기판을 나타내었고, 도 2는 광스위칭 장치의 하부기판과 접합되는 상부기판을 나타내었으며, 도 3은 광스위칭 장치의 하부기판과 상부기판이 접합된 상태를 나타낸 것이다.
도 1를 살펴보면, 광스위칭 장치의 패키징시 하부 구조물로서 하부기판(10) 상부에는 반사판의 거울면을 구동시키기 위한 구동기(20)가 설치된다.
도 2를 살펴보면, 광스위칭 장치의 패키징시 상부 구조물로서 상부기판(50) 에는 광파이버가 삽입될 수 있는 통로를 구비하는 폴리머(40) 패턴이 형성되며, 상기 폴리머(40) 패턴의 양 내측에는 구조물(30)이 형성된다.
이 때, 상기 상부기판(50) 위에는 광파이버가 삽입될 수 있도록 폴리머(40) 물질이 유리 기판에 코팅되어 패터닝되어 있다. 이는 상기 하부기판(10)과 상부기판(50)의 접합시 두 기판의 정렬을 용이하게 하는 역할을 한다.
또한, 광파이버가 일정 길이 이상으로 삽입되어 구조물이 파손되는 것을 방지 할 수 있도록 기계적인 구조물(30)이 형성되어 있다.
도 3을 살펴보면, 도 1의 하부 구조물과 도 2의 상부 구조물을 접합한 후 광파이버(60)를 삽입하는 과정이 수행된다.
이 때, 폴리머 접합은 접합이 150℃ 이하의 낮은 온도에서 이뤄지며, 접합 중간층인 폴리머(40) 내부에 금속 이온을 포함하지 않는다.
또한, 접합 강도가 매우 높고, 접합된 두 물질에 있어 접합 공정에 의해 발생되는 잔류응력을 줄이는 역할을 한다. 이러한 특성을 본 발명에서는 광스위치에 적용하였다.
따라서, 본 발명의 광스위칭 장치는 안정적으로 동작할 수 있도록 하였으며, 광손실이 최소화되도록 광파이버와 반사 거울면을 정밀하게 정렬이 가능하도록 하였다.
이상에서와 같이 본 발명에 의한 광스위칭 장치의 패키징에 따르면, 광스위칭 장치를 패키징 할 경우 외부 환경에 의해 영향을 받지 않는 안정적인 동작을 보장할 수 있다. 또한, 추가적인 정밀한 정렬 공정 없이도 반사 거울면과 광파이버를 정렬할 수 있다.

Claims (3)

  1. 광스위칭 장치의 패키징 구조에 있어서,
    반사판의 거울면을 구동하기 위한 구동기(20)가 설치되어 있는 하부기판(10)과;
    광파이버의 삽입 통로를 갖는 폴리머(40) 패턴이 형성되며, 상기 폴리머(40) 패턴의 양 내측에 기계적인 구조물(30)이 설치되어 있는 상부기판(50)과;
    상기 하부기판(10) 상에 유리기판으로 형성된 상부기판(50)이 결합되어 상기 광파이버의 삽입 통로를 통해 광파이버(60)가 삽입되는 것을 특징으로 하는 광스위칭 장치의 패키징.
  2. 삭제
  3. 삭제
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CN109932782B (zh) * 2019-04-11 2020-11-27 北京理工大学 一种基于电热驱动式微镜的硅基moems光开关装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6010220A (ja) * 1983-06-30 1985-01-19 Fujitsu Ltd 光スイツチ
JPH02275407A (ja) * 1989-04-17 1990-11-09 Kazuhiro Ito 光学切り換えスイッチ
JPH03120508A (ja) * 1989-10-04 1991-05-22 Mitsubishi Electric Corp 光スイッチ
KR19980034530A (ko) * 1996-11-07 1998-08-05 양승택 광스위치 모듈 구조 및 그 제작방법
JP2001296486A (ja) * 2000-04-13 2001-10-26 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd マトリクス光スイッチ
US6490385B1 (en) * 2001-05-24 2002-12-03 Nortel Networks Limited Dimensionally stable device construction

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6010220A (ja) * 1983-06-30 1985-01-19 Fujitsu Ltd 光スイツチ
JPH02275407A (ja) * 1989-04-17 1990-11-09 Kazuhiro Ito 光学切り換えスイッチ
JPH03120508A (ja) * 1989-10-04 1991-05-22 Mitsubishi Electric Corp 光スイッチ
KR19980034530A (ko) * 1996-11-07 1998-08-05 양승택 광스위치 모듈 구조 및 그 제작방법
JP2001296486A (ja) * 2000-04-13 2001-10-26 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd マトリクス光スイッチ
US6490385B1 (en) * 2001-05-24 2002-12-03 Nortel Networks Limited Dimensionally stable device construction

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