KR100401697B1 - 반도체 패키지의 세척장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (2)
- 케이싱(1)에 지지되어 모터에 의해 회전하는 복수개의 이송롤러(3)들에 의해 무한궤도식으로 이동하는 하부 콘베이어벨트(9)와;상기 하부 콘베이어벨트(9)의 위쪽에서 하부 콘베이어벨트(9)와 포개어지게 배치되고, 상기 모터에 의해 회전하는 복수개의 이송롤러(5)들에 의해 지지되어 무한궤도식으로 이동하는 상부 콘베이어벨트(7)와;서로 포개어져 이동하는 상기 상하부 콘베이어벨트(7,9)가 측벽을 관통하여 통과하게 되어 있고, 내부에는 세척수 공급펌프(36)에서 공급되는 세척수를 일정수위만큼 저장한 세척조(22)와, 상기 세척조(22) 내부에 설치되어 세척조(22)를 통과하는 제품에 초음파를 작용시켜 초음파 세척하는 초음파 발생장치(26)와, 상기 세척조(22)의 일정 수위이상으로 넘쳐 흘러나오는 세척수를 받아서 저장하는 저장조(24)로 이루어진 초음파 세척부(20)와;상기 초음파 세척부(20)에 연속하여 배치되어 상기 상하부 콘베이어벨트(7,9)를 수평방향으로 통과시키며, 상기 상하부 콘베이어벨트(7,9)의 상하측에서 상기 각 콘베이어벨트(7,9)쪽으로 향하는 복수개의 분사노즐(32a)을 구비한 복수개의 노즐관(32,34)과, 상기 노즐관(32,34)에 세척수를 공급하는 펌프(36)로 이루어진 린싱부(30)와;상기 린싱부(30)에 연속하여 배치되어 상기 상하부 콘베이어벨트(7,9)를 수평방향으로 통과시키고, 상기 상하부 콘베이어벨트(7,9)의 상하측에서 상기 각 콘베이어벨트(7,9)쪽으로 향하는 복수개의 공기분사노즐(42a,44a)을 구비한 복수개의 공기공급관(42,44)과, 상기 공기공급관(42,44)에 압축공기를 공급하는 송풍기(46)로 이루어진 공기분사 건조부(40)와;상기 공기분사 건조부(40)에 연속하여 배치되어 상기 하부 콘베이어벨트(9)를 수평방향으로 통과시키고, 상기 하부 콘베이어벨트(9)의 상하측에 각각 전열히터(52)를 구비하여 하부 콘베이어벨트(9)에 실려 이송되는 제품을 가열건조시키는 가열건조부(50);를 포함한 반도체 패키지의 세척장치.
- 제1항에 있어서, 상기 콘베이어벨트(7,9)는, 요철부(13a)가 반복하여 형성되게 절곡성형되고 각 요철부(13a)마다 복수개의 보조 요철부(13b)가 형성된 복수개의 와이어(13)들이 서로 평행하게 배치되어 인접하는 와이어(13)들끼리 서로 엮여서 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 세척장치.
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