KR100396667B1 - 음극선관의 음극 가열용 히터 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 음극선관의 음극 가열용 히터를 구성하는 알루미나 절연층에 대하여 내전압 특성을 확보하면서, 기계적 강도를 높이고 알루미나 입자의 탈락을 방지하는데 적합한 음극 가열용 히터 및 그 제조방법에 관한 것이다.

이에 따른 구성은 발열선의 표면에 알루미나 절연층이 피복되고, 상기 절연층 위에 텅스텐과 알루미나를 포함한 흑화층이 피복되고, 이어서 상기 피복층을 소결하여서 된 음극 가열용 히터를 구비한 방열형 음극에 있어서, 상기 흑화층을 이루는 알루미나의 함량이 텅스텐 함유량 보다 많게 되어 이루어짐을 특징으로 하는 음극선관의 음극 가열용 히터로 구성되며, 상기한 히터를 제조함에 있어서, 상기 피복층을 소결함에 있어 그 소결을 1400∼1500℃온도 범위에서 실시함을 특징으로 하는 히터의 제조방법으로 구성된다.

Description

음극선관의 음극 가열용 히터 및 그 제조방법{heater for heating cathode of color cathede ray tube and the manufacturing method}

본 발명은 음극선관용 히터에 관한 것으로 , 특히 히터 흑화층의 알루미늄과 텅스텐 함량을 적절히 조성시킴으로써, 절연층의 내전압 특성을 높이면서 알루미나 소결체의 기계적 강도를 좋게 하는데 적합한 히터에 관한 것이다.

칼라음극선관은 도 1과 같이 내측면에 형광막이 형성된 패널(1)과 내측면에 전도성을 갖는 흑연이 도포된 펀넬(2)이 글라스로 융착되어 지며, 펀넬(2)의 네크 부(3)에는 전자빔을 발생시키는 전자총(4)이 장착되어 있고, 전자총 내에는 열전자를 방출하는 음극(Cathode)(5)이 내장되어 있으며, 음극에 인접한 다수의 전극(6)에 인가되는 전압에 의해 음극으로 부터 열전자가 방출된다.

그리고 패널(1)의 내측에는 색선별 전극인 새도우마스크(7)가 프레임에 의하여 지지되어 있으며, 펀넬의 외주면에는 전자빔을 좌우로 편향시켜 주는 편향요크 (8)가 장착되어 있다.

이렇게 구성된 음극선관은 전자총에 영상신호를 입력하면 전자총의 캐소드로 부터 열전자가 방출되며 방출된 전자는 전자총의 각 전극에서 인가된 전압에 의해 패널쪽으로 가속 및 집속과정을 거치면서 진행하며, 이때 전자는 펀넬의 네크부에 장착된 마그네트의 자계에 의해 전자빔의 진행경로가 조정되며 조정된 전자빔은 편향요크(9)에 의해 패널의 내면에 주사되는데, 편향된 전자빔은 패널의 내측면 프레임에 결합된 새도우마스크(7)의 가는 구멍(slot)을 통과하면서 색선별이 이루어지고, 선별된 전자빔은 패널 내면 각각의 형광막에 충돌하여 발광시킴으로써 영상신호를 재현한다.

상기한 구조에서 함침형 음극(5)은 도 2와 같이, 텅스텐(W) 또는 몰리브덴(Mo)등과 같은 내열성 금속 분말을 압축, 소결하여 제작한 20∼25%의 기공을 갖는 펠렛에 BaO, CaO, Al₂O₃등과 같은 전자방사 물질을 수소분위기에서 용융 함침시킨 기체금속(9)을 만들고, 상기 기체금속(9)을 몰리브덴(Mo) 또는 탄탈륨(Ta)등으로 된 음극컵(10)의 내부에 삽입시키고 측면을 레이져 용접한다.

그리고 음극컵(10)의 외측면에 내열금속(Mo 또는Ta)으로 된 원통형 음극슬리브(11)를 부착 고정하며, 이 음극슬리브(11)는 히터(12)로 부터의 열복사 효율을 높이기 위해 내면(11a)은 흑화층으로 형성되고, 외면(11b)은 흑화가 안된 이중막으로 형성된다. 그리고 슬리브(11)의 하단부와 홀더(14)는 리본(13)으로 연결된다.

상기한 함침형 음극의 동작을 위해서는 먼저 히터(12)로 부터 열이 펠렛으로 전달되어야 하며 이렇게 전달된 열을 이용하여 함침된 BaO 등의 산화물이 텅스텐 (W)등의 금속과 환원반응이 일어나 바륨(Ba)원자가 생성되어 전자 생성원을 형성한다.

또한 바륨(Ba)원자는 이 열을 흡수하여 전자를 방출하게 된다. 이를 반응식으로 나타내면 다음과 같이 나타낼 수 있다.

6(Ba0)₃ Al₂O₃+ W = 6(BaO)₂Al₂O₃+ Ba₃WO₆+ 3Ba -----(1)

Ba + 열 = Ba²⁺+ 2e -----(2)

이때, 히터(12)로 부터의 열은 두가지 경로를 통해 기체금속(9)에 전달된다. 먼저 히터(12)로 부터 복사열이 컵(10)의 밑면에 전달되고 열전도 메카니즘에 의해컵(10)을 지나 기체금속(9)과 컵(10)의 접촉면에 열이 전달된다. 다른 한가지는 히터(12)로 부터 복사열이 슬리브(11)로 전달되고 이 열의 일부는 슬리브(11) 외면으로의 복사열 손실이 일어나고 다른 일부는 열전도 메카니즘을 통해 컵(10)과 슬리브(11)를 지나 컵(10)과 기체금속(9)의 접촉면으로 열이 전달된다.

즉, 열의 경로는 히터(12)-컵(10)-기체금속(9)순서의 열전달과 히터(12)-슬리브(11)-컵(10)-기체금속(9) 순서의 열 전달 두가지이다. 상기 두가지 경로를 통해 컵(10)이나 슬리브(11)와 같은 열 저항층을 경유하여 히터(12)의 열이 기체금속 (9)에 전달됨을 알 수 있다.

따라서 열전달의 효율을 높이기 위해서는 컵(10)이 열전도성이 뛰어난 물질로 구성되거나, 또는 슬리브(11)를 열전도성이 뛰어난 물질을 쓰거나, 복사효율을 높이기 위해 내면에 흑화층(11a)을 형성하는 등의 최적의 열전달 조건을 갖추도록 설계하여야 한다.

상기한 구조에서 히터(12)는 도 3에 도시한 바와 같이 발열이 집중되는 발열부(B)와 리드부(C), 그리고 히터 서포트에 용접되어 전원이 인가되는 용접부(D)로 나누어진다. 상기 구조에서 히터의 용접부(D)를 통하여 정전압을 인가하면 4∼6초 이내에 필요한 열량의 열이 히터의 발열부(B)에서 발열되어 기체금속(9)에 전도되며 기체금속에 함침된 전자 방사물질이 기체금속의 텅스텐과 반응하여 생성된 Ba/ BaO는 기체금속 상부로 확산하여 상부에서 단원자층을 형성하여 전자 방사에 기여한다

상기 히터(12)를 제조함에 있어서는, 보빈감기 → 싱글코일감기 → 베이킹(Baking)→더블코일감기→정형(Forming)→전착피복→고온소결→맨드릴선 용해→중화 및 세척→건조 등의 공정을 거치게 된다.

상기 공정에서 싱글 코일감기 공정은 도 4와 같이 몰리브덴 재질로된 맨드릴선(15)위에 소정의 피치로 3% 레늄-텅스텐 재질로 된 발열선(16)을 감김하는 공정으로 발열부에 해당하는 말권부(F)와 리드부에 해당하는 3중권부(E)를 연속적으로 형성한 것이다.

히터의 3중권부(E)의 형성 방법은 소정의 길이 만큼 정방향 및 역방향으로 감김을 행하고 다시 정방향으로 형성하고 연속하여 상기와 동일한 방법으로 다시 3중권부를 형성한다. 상기한 감김에서 역방향으로 감기를 행할 때의 피치는 일반적으로 정방향으로 감을 때의 3배속으로 한다.

싱글코일이 끝난 코일 히터는 베이킹 공정을 거치는데, 이는 발열선(16)의 표면에 부착되어 있는 이물질을 제거하고 더블 코일 감기가 용이하도록 발열선(16)과 맨드릴선(15)의 열처리를 행하게 된다. 베이킹이 끝난 코일히터는 정해진 치수로 정형(Forming)이 되는데 이때 히터 모양이 음극으로의 열전달에 많은 영향을 미친다.

더블 코일감기가 끝난 히터가 음극에 삽입되었을 때 누설 전류를 방지하기 위해 도 2와 같이 음극과 히터 사이의 소정 간격(A)으로 형성되어야 한다. 소정의 간격(A)이 너무 크면 열손실이 크게 되어 여러가지 불리한 결과를 초래하고 그 간격(A)이 너무 작으면 열팽창에 의한 기구적인 트러블이 발생하게 된다. 이어서 도 5a와 같이 코일이 감겨져 있는 히터의 발열선(16) 위에 알루미나 입자(19)로 된 절연층(17)과 흑화층(18)이 코팅되어 진다.

상기 발열선(16)은 일반적으로 알루미나(Al₂O₃)가 주로 사용되고 있는데,알루미나 입자의 형태는 구형(Spherical) 또는 부정형(Irregular)이며, 평균 입자의 크기는 약 4∼5㎛이고, 입자 분포는 1∼15㎛사이에 있다. 이와 같은 알루미나는 우수한 절연 특성 뿐만아니라 낮은 단가, 우수한 기계적 특성, 높은 열전도도 및 금속과의 접착성이 우수하다는 이유 때문에 사용되고 있다.

상기 절연층 위에 형성되는 흑화층(18a)은 히터의 복사열을 음극에 효과적으로 전달하기 위한 것으로 알루미나와 텅스텐을 주성분으로 하여 이루어진다.

상기 공정에 이어서 알루미나를 소결시켜 기계적 강도를 높이기 위해서 드라이 수소분위기에서 1600∼1700℃의 온도로 30∼50분간 소결을 행한다.

소결이 끝난 히터는 황산과 질산 혼합용액에서 맨드릴선을 용해하고, 암모니아수로 세척한 후 건조함으로써 공정이 완료된다.

상기와 같은 여러공정을 거쳐 제작된 히터는 여러가지 항목의 검사를 행하게 되는데, 그 중에서 가장 중요한 항목이 히터 완성품의 상온(23∼27℃)에서의 저항값이다.

상기 히터의 상온에서의 저항값은 히터가 음극에 삽입, 용접되었을 때의 히터의 전류치를 결정하는 가장 중요한 요인이 된다. 히터의 전류치는 음극 측면의 온도를 결정짓는 가장 중요한 항목일 뿐 아니라 음극선관의 수명과도 밀접한 관련이 있다. 일반적으로 음극측면의 온도는 히터 전류치와 양의 비례를 하며 히터 전류치는 히터 상온 저항값과 음의 비례를 한다.

종래 음극구조체에 이용되는 히터에 있어서 발열선 주위를 피복한 절연층 (17)에 요구되는 주된 기능이 발열체와 음극기체(9)와의 사이에 있어서의 절연 성능이다. 그런데, 일반적으로 산화물형 음극기체는 약 800℃에서 동작하고, 이 형식의 음극기체에 이용한 히터 온도는 1100∼1250℃로 높다. 또한 근래에 많이 사용하고 있는 함침형 음극구조체는 약 1000∼1100℃에서 동작하고, 이 형식의 음극기체에 이용하고 있는 히터 온도도 1200∼1350℃로서 보다 높은 온도가 요구되고 있다.

상기와 같이 히터 온도가 높아지면 발열선(16)을 피복한 절연층(17)의 전기 절연 파괴전압이 저하되고, 절연기능을 잃어 결국에는 음극구조체의 기능 및 음극구조체를 설치한 전자관의 기능을 잃어버린다.

히터의 절연 특성을 향상시키는 유효한 수단으로서, 절연층(17)을 형성한 알루미나 소결체에 대하여 알루미나 입경을 5∼10㎛ 정도로 크게 한 것이 제안되고 있으며, 이 기술은 히터의 동작온도의 고온이나 요구되는 함침형 음극구조체의 신뢰성을 높인 점에서 불가결한 요소로서 현재 가장많이 채용되고 있다.

그러나 반면에 알루미나 입자의 입경이 커지면 알루미나 소결체의 소결성이 나빠지고 기계적 강도가 저하하는 문제가 있다. 그리고, 절연층(17)을 형성하는 알루미나 소결체의 기계적 강도가 악화되면 히터를 제조하는 공정이나 히터의 수송과 히터를 직접 취급한 경우에 또는 히터를 구비한 음극구조체를 칼라음극선관 등의 전자관에 조립하는 과정에서 절연층(17)에 외력이 더해진다면 알루미나 소결체가 절연층 표면에서 또는 발열선(16)으로부터 박리 탈락하는 문제가 있다.

또한 이 박리 탈락의 원인으로 된 알루미나 소결체의 균열이 많이 발생한다. 그리고 이러한 알루미나 입자의 박리 탈락은 절연층(17)에 있어서 절연 기능을 저하시키고, 히터와 음극기체와의 절연이 저하되고 양자간에 전기가 도통하는 이상이 생긴다.

또한 음극구조체를 전자관, 예를 들면 칼라 음극선관에 조립한 경우 탈락한 알루미나 소결체의 입자가 새도우마스크의 구멍에 들어가 칼라 음극선관에 표시된 화상에 검은 점이 발생하는 이상이 생긴다.

음극구조체용 히터에 있어서, 절연층의 내전압 특성을 높이는 알려진 기술로는 다음과 같은 것들이 있다.

일본 특개2000-164113호에서는 히터 발열선의 표면을 피복한 알루미나로 된 절연층과 이 절연층의 표면을 피복한 열분해성을 갖는 점착제로 된 보호층을 갖도록하였다. 그러나 이 기술은 유기 용제에 의한 오염의 위험이 있으며 , 제조공정상 취급의 난이가 있다.

또한 일본 특개평11-250799호에서는 히터 제조공정 중에 몰리브덴선의 용해에 의한 배출과정에서 발생한 공동을 재충전하도록 알루미나를 재충전시키는 추가적인 공정이 필요하다.

또한 일본 특개평11-273549호에서는 알루미나 절연층의 순도 및 불순물인 나트륨의 함량과 실리콘의 함량을 일정량 이하로 규제하는 기술을 개발하였다. 또한 일본 특개평11-185606호에서는 히터 제조공정 중에 알루미나 입자를 온유수로 세척하여 유기물과 같은 불순물을 최소화하는 공정이 추가되어 있다.

그리고 일본 특개평11-213859호에서는 음극슬리브의 내면 및 히터의 외면 어느 한쪽에 탄탈륨 또는 니오븀 중 1종 또는 혼합물로 텅스텐과 알루미나의 흑화층에 첨가하여 형성하는 기술을 포함하고 있다.

상기 모든 기술에서 알루미나 소결체의 평균 입경은 5∼10㎛이며, 소결온도는 약 1500∼1700℃ 사이로서 상기에서 지적한 바와 같이 알루미나 소결체로 된 절연층의 내전압 특성을 높이기 위해 알루미나 소결체의 큰 입경을 확보하는 기술을 모두 포함하고 있다.

그러나 상기한 종래의 음극구조체에 이용한 히터들은, 알루미나 소결체로 된 절연층의 내전압 특성을 높이기 위해 알루미나 소결체의 큰 입경을 확보하면서, 알루미나 소결체의 필요한 기계적인 강도를 높이고, 알루미나 입자의 탈락을 억제하는데 한계가 있는 등의 문제가 있다.

본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 히터에 절연층이 형성되고, 그 상면에 흑화층이 형성된 것에 있어서, 흑화층을 이루는 구성 물질중 알루미나 함량이 텅스텐 함량 보다 많게 형성됨과 함과 함께 흑화층 을 구성하는 평균입경을 미세하게 함으로써, 알루미나 절연층의 내전압 특성을 확보하면서 알루미나 소결체의 기계적 강도를 높이고 알루미나 입자의 탈락을 방지하는데 적합한 음극 가열용 히터를 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.

도 1은 음극선관의 구조도

도 2는 음극선관용 함침형 음극구조체의 단면도

도 3은 히터의 단면도

도 4는 히터의 코일 감기 상태도

도 5a는 종래의 흑화층의 입경 상태도

도 5b는 본 발명 흑화층의 입경 상태도

도 6은 히터 내력과 흑화층의 텅스텐 대 알루미늄의 함유량 관계를 나타낸 그래프

도 7은 소결온도에 관련한 소결강도를 나타낸 그래프

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

12 : 히터 16 : 발열선

17 : 절연층 18b : 흑화층

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 발연선의 표면에 알루미나 절연층이피복되고, 상기 절연층 위에 텅스텐과 알루미나가 주성분인 흑화층이 피복되고, 이어서 상기 피복층을 소결하여서 된 음극 가열용 히터를 포함한 방열형 음극에 있어서, 상기 흑화층의 알루미나의 함량이 텅스텐 함유량보다 많은 것을 특징으로 하는 음극선관의 음극구조체 가열용 히터로 이루어진다.

상기한 본 발명은 히터의 절연 특성을 더욱 향상기키기 위해 흑화층을 이루는 텅스텐과 알루미나중에서 알루미나 함유량이 많게 조성되며, 바람직하게는 텅스텐 대 알루미나의 함유량(원자%)이 1.0 : 1.0∼2.0 로 이루어진다.

또한 본 발명은 소결강도의 향상을 위해 흑화층을 이루는 입자의 평균입경이 0.1∼2.0㎛인 미세입자로 하여 사용함이 바람직하다. 그리고 본 발명은 상기 히터를 얻기 위한 소성 온도는 기존의 소성온도보다 낮은 범위인 1400∼1500℃로 함이 바람직하다.

함침형 음극용 히터의 내력(Breakdown) 파괴 과정은 절연체가 전압 증가에 따라 회로(Short circuit)를 형성하여 절연파괴가 일어나는 형상이다.

이 때 내력 파괴 이전에 음극의 슬리브와 히터의 절연층 사이의 진공 중에는 일시적으로 회로를 형성할 때 일종의 섬광(flash)과 같은 아크(Ark)가 발생한다. 이러한 현상은 절연체 표면에 손상(Degradation)을 가하여 표면이 파괴되는 원인이 되며, 이와 같은 현상으로 두 전극 사이에는 통로(Path)가 형성되어 순식간에 히터의 발열선이 녹는 과정이 히터의 내력 파괴라고 추정된다.

따라서 본 발명에서는 히터의 최외각층에 해당하는 텅스텐과 알루미나의 흑화층에서 알루미나 함유량이 많고 텅스텐 함유량이 적게 됨에 따라 음극의 슬리브내면과 진공을 사이에 두고 대치되는 상태에서 전기적 방전, 즉 아크(Ark)를 야기할 수 있는 히터의 최외각에 존재하는 텅스텐이 적게되므로 히터의 내력 특성을 향상시키는 것으로 보인다.

상기와 같이 텅스텐 함유량이 적게되는 것은 소결온도와 관련된다. 종래의 알려진 소결온도는 1500∼1700℃인데, 본 발명에서는 이보다 낮은 온도에서 소결함으로서 아크(Ark)를 야기할 수 있는 텅스텐 함유량을 적게할 수 있다.

즉, 히터에 절연층 및 흑화층을 형성시킨 후 소결함에 있어 소결온도를 1400∼1500℃에서 행하면 흑화층의 소결성이 나빠지므로 소결이 끝난 이후의 황산과 질산의 혼합산에서 몰리브덴(15)을 용해시키는 과정에서 소결이 않되어 있던 텅스텐의 일부가 떨러져나가게 된다. 이에 따라 결국 도 5b와 같이 흑화층(18b)의 텅스텐 대 알루미나의 함유량(원자%)이 종래의 1.0 : 0.5∼1.0에서 1.0 : 1.0∼2.0으로 되어 텅스텐 함유량이 감소되는 결과가 된다.

도 6은 히터 내력과 히터 흑화층의 텅스텐 대알루미나의 함유량 관계를 나타낸 것이다. 이와 같이 히터의 최외각층에 해당하는 흑화층(18b)에서 텅스텐 함유량이 적어지는 효과가 있으므로 히터의 내력인 절연특성을 더욱 향상된다.

반면에, 소결온도가 낮으면 상기와 같은 내력을 얻는데도 불구하고 소결온도가 낮을수록 소결성이 나빠지므로 소결강도는 저하된다. 일반적으로 입자의 입경이 작을 수록 기계적인 강도는 개선되는 것으로 잘 알려져 있다.

그러나 입경을 작게하여 기계적 강도를 개선하고자 하여도 상기에 기재된 바와 같이 히터의 절연 특성을 향상시키기 위하여 절연층(17)을 형성한 알루미나 소결체에 있어서 알루미나 입경을 5∼10㎛정도로 크게하는 것은 불가결한 조건이다. 특히 히터의 절연 특성을 향상시키기 위해 소결온도를 1400∼1500℃에서 행하면 소결강도는 매우 낮아진다.

이에 본 발명은 상기한 바와 같이 히터의 내력을 보완하면서 기계적 강도를 향상시키기 위해 텅스텐과 알루미나를 이루는 흑화층(18b)의 평균입경을 0.1∼2㎛으로 함으로써 히터의 기계적 강도를 개선하는데 있다.

본 발명은 종래의 경우(평균입경 0.1∼5㎛)와 비교해 볼 때 종래의 평균입경중에서 2∼5㎛에 해당하는 큰 입자를 제외한 평균입경이 0.1∼2㎛인 미세 입자로 구성된다. 이와 같이 미세 입자를 구비하면 흑화층에서 소결성이 좋아짐에 따라 흑화층(18b)이 기계적 강도가 약한 절연층인 알루미나 소결체를 보완하게 되므로 종래보다 소결강도가 개선된다.

도 7은 소결온도에 따른 소결강도 추이를 종래의 경우(평균입경 0.1∼5㎛)와 본 발명의 경우(평균입경 0.1∼2㎛)에 따라 나타낸 그래프이다.

이상에서와 같이 본 발명은 음극구조체에 이용한 히터에 대하여 알루미나 소결체로 된 절연층(17)의 내전압 특성을 확보하면서 알루미나 소결체에 필요한 기계적 강도를 높이고 알루미나 입자의 탈락을 억제하는 등 종래로부터 요구되는 과제를 해결한 신뢰성 있는 음극구조체를 얻게 된다.

이상에서와 같이 본 발명은 음극선관의 음극 가열용 히터에 절연층이 피복되고 그 상면에 텅스텐과 알루미나로 조성된 흑화층이 형성된 것에 있어서, 흑화층을이루는 조성중 알루미나 함유량이 텅스텐 함유량 보다 많게 되고, 흑화층을 이루는 입자의 평균입경이 0.1∼2㎛ 되게 하므로서, 이러한 흑화층(18b)이 절연층(17)의 내전압 특성을 확보함과 함께 기계적 강도를 높이고, 알루미나 입자의 탈락을 억제한 히터의 확보로 신뢰성 있는 음극구조체을 얻을 수 있다.

Claims (6)

1. 발열선의 표면에 알루미나 절연층이 피복되고, 상기 절연층 위에 텅스텐과 알루미나를 포함한 흑화층이 피복되고, 이어서 상기 피복층을 소결하여서 된 음극 가열용 히터를 구비한 방열형 음극에 있어서, 상기 흑화층을 이루는 알루미나의 함량이 텅스텐 함유량 보다 많게 되어 이루어짐을 특징으로 하는 음극선관의 음극 가열용 히터.
2. 제 1항에 있어서,

   흑화층을 이루는 텅스텐 대 알루미나의 함유량(원자%)이 1.0 : 1.0∼2.0 인 것을 특징으로 하는 음극선관의 음극 가열용 히터.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   흑화층을 이루는 입자의평균입경이 0.1∼2㎛ 인 것을 특징으로 하는 음극선관의 음극 가열용 히터.
4. 발열선의 표면에 알루미나 절연층이 피복되고, 상기 절연층 위에 텅스텐과 알루미나를 포함한 흑화층이 피복되고, 이어서 상기 피복층을 소결하여서 된 음극 가열용 히터를 구비한 방열형 음극에 있어서, 상기 소결이 1400∼1500℃ 온도 범위에서 이루어 짐을 특징으로 하는 음극선관의 음극 가열용 히터의 제조방법.
5. 제 4항에 있어서,

   텅스텐과 알루미나를 포함한 흑화층 입자의 평균입경이 0.1∼2㎛ 인 것을 특징으로 하는 음극선관의 음극 가열용 히터의 제조방법.
6. 제 4 항 또는 제 5항에 있어서,

   상기 소결처리 결과 흑화층 내의 알루미나 함유량이 텅스텐 함유량보다 많게 됨을 특징으로 하는 음극선관의 음극 가열용 히터의 제조방법.