KR100365011B1 - Plane Motor - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판과 구동부로 구성되는 평면 모터에 있어서, 상기 평판에는 사각형으로 형성된 복수의 영구 자석이 소정 배열로 착자되며, 상기 복수의 영구 자석의 소정 배열은, N극과 S극이 소정 경사를 가지고 서로 직교하되, 상기 N극을 중심으로 하여 상기 N극의 각면에 상기 S극이 일정 간격 이격되어 착자되고, 다시 상기 S극의 각면에 상기 N극이 일정 간격 이격되어 착자되며, 자화 방향이 상기 각각의 N극을 중심으로 각면에서 외측으로 향하고, 상기 각각의 S극을 중심으로 각면에서 내측으로 향하며, 동일 극성이 이웃하는 공간에서는 자화 방향이 교차되는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, a flat motor comprising a flat plate and a driving unit includes a plurality of permanent magnets formed in a rectangular shape on the flat plate, and the predetermined array of the plurality of permanent magnets has a predetermined inclination of the N pole and the S pole. And orthogonal to each other, and the S poles are magnetized by being spaced apart at regular intervals on each side of the N pole with respect to the N poles, and the N poles are magnetized by being spaced apart at regular intervals on each side of the S poles. The magnetic poles are directed outwards from each side around each of the N poles, and inwardly from each side around the respective S poles, and magnetization directions intersect in spaces having the same polarity.
따라서 상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면 영구 자석의 사용률을 높히면서도 자기회로상에서 누설 자속이 적은 영구 자석 배열을 사용함으로써 공극에서의 자속 밀도를 크기하여 평면 모터가 상대적으로 큰 출력을 갖는다.Therefore, according to the present invention configured as described above, the planar motor has a relatively large output by increasing the magnetic flux density in the air gap by using a permanent magnet array with a low leakage magnetic flux on the magnetic circuit while increasing the use rate of the permanent magnet.
Description
본 발명은 평면 모터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판의 영구 자석의 배열을 달리하여 영구 자석의 사용률을 높힘과 동시에 자기회로상에서 누설 자속이 적은 영구 자석배열을 사용하여 공극에서의 자속 밀도를 크게해서 상대적으로 큰 출력을 갖는 평면 모터를 제공하는데 있다.The present invention relates to a planar motor, and more particularly, to increase the use rate of the permanent magnets by varying the arrangement of the permanent magnets of the flat plate, and to increase the magnetic flux density in the air gap by using a permanent magnet array having a low leakage magnetic flux on the magnetic circuit. To provide a planar motor with a relatively large output.
일반적으로 평면 모터(surface motor)는 평판 위에서 물체가 자유로이 움직일 수 있도록 발명되어진 모터이다. 이러한 평면 모터는 표면 실장기에 사용되는데, 마운터 헤드를 임의의 위치로 이동시키기 위해 사용된다.In general, a surface motor is a motor invented so that an object can move freely on a flat plate. Such planar motors are used in surface mounters to move the mounter head to an arbitrary position.
이러한 평면 모터는 도 1에 도시한 바와 같이, 스테이터 역할을 하는 2차원 평면 평판(platen)(10)과, 무버 역할을 하는 구동부(forcer)(20)로 이루어진다. 그리고 상기 구동부(20)와 평판(10)의 사이에는 마찰을 피하기 위하여 베어링 역할을 하는 공기가 개재되며, 상기 공기는 구동부(20)에 케이블(22a)을 통하여 공급되어 구동부(20)의 저면에 형성된 다수개의 노즐(미도시)을 통하여 상기 구동부(20)와 평판(10)의 사이에 분사된다.As shown in FIG. 1, the planar motor includes a two-dimensional planar plate 10 serving as a stator, and a driver 20 serving as a mover. In addition, an air serving as a bearing is interposed between the driving unit 20 and the flat plate 10 to prevent friction, and the air is supplied to the driving unit 20 through a cable 22a to the bottom surface of the driving unit 20. It is injected between the driving unit 20 and the flat plate 10 through a plurality of nozzles (not shown) formed.
상기 평판(10)은 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 빈 공간을 갖는 직교형태 또는 경사를 갖는 직교 형태로 N극과 S극의 영구 자석이 규칙적으로 착자된다.2A and 2B, the permanent magnets of the north pole and the south pole are regularly magnetized in an orthogonal shape having an empty space or an orthogonal shape having an inclination.
이러한 종래의 평면 모터의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the conventional planar motor is as follows.
평면 모터는 전자석의 코일을 통한 전류와 자속간의 상호작용에 의하여 구동하게 된다. 즉 평면 모터는 입력되는 전기적신호를 자기적신호로 변환하여 이동하게 된다.The planar motor is driven by the interaction between the current and the magnetic flux through the coil of the electromagnet. That is, the planar motor converts an input electrical signal into a magnetic signal to move.
이때 에어베어링 역할을 하는 공기에 의하여 구동부(20)는 일정한 공극으로 부상하여 거의 마찰이 없이 평판(10)위를 움직이게 된다.At this time, by the air acting as an air bearing, the driving unit 20 floats in a predetermined gap and moves on the flat plate 10 with almost no friction.
그러나 이러한 종래의 평면 모터의 평판에 착자된 영구 자석들은 도 2a와 같이 착자되면 영구 자석의 사용률이 50% 정도이기 때문에 평면 모터의 출력이 약하며, 도 2b와 같이 착자되면 영구 자석의 사용률이 100%이나 N극과 S이 서로 밀집해 있는 관계로 영구 저석의 표면에서의 누설 자속이 많아 충분한 효율을 기대하기가 어려운 문제점이 있었다.However, when the permanent magnets magnetized on the flat plate of the conventional flat motor are magnetized as shown in FIG. 2A, the output of the flat motor is weak because the percentage of permanent magnets is about 50%, and when the magnets are magnetized as shown in FIG. 2B, the percentage of permanent magnets used is 100%. Since N poles and S are densely packed with each other, there is a problem that it is difficult to expect sufficient efficiency due to a large amount of leakage flux on the surface of the permanent stone.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 영구 자석의 사용률을 높히면서도 자기회로상에서 누설 자속이 적은 영구 자석 배열을 사용함으로써 공극에서의 자속 밀도를 크게하여 상대적으로 큰 출력을 갖는 평면 모터를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and its object is to increase the magnetic flux density in the air gap by using a permanent magnet array having a low leakage magnetic flux on the magnetic circuit while increasing the utilization rate of the permanent magnet, and thus having a relatively large output. To provide a planar motor.
도 1은 종래의 평면 모터를 개략적으로 나타낸 사시도,1 is a perspective view schematically showing a conventional plane motor,
도 2a 및 도 2b는 종래 평면 모터의 평판에 영구 자석이 배열된 모습을 나타낸 평면도,2A and 2B are plan views showing the permanent magnets arranged on the flat plate of the conventional flat motor;
도 3은 본 발명의 제 1실시예에 따른 평면 모터의 평판에 영구 자석이 배열된 모습을 나타낸 평면도,3 is a plan view showing a state in which a permanent magnet is arranged on a flat plate of a flat motor according to a first embodiment of the present invention;
도 4는 본 발명의 제 1실시예에 따른 평면 모터와 종래의 평면 모터의 자속량을 비교한 그래프,Figure 4 is a graph comparing the magnetic flux of the planar motor and the conventional planar motor according to the first embodiment of the present invention,
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 따른 평면 모터의 평판에 영구 자석이 배열된 모습을 나타낸 평면도,5 is a plan view showing a state in which a permanent magnet is arranged on a flat plate of a planar motor according to a second embodiment of the present invention;
도 6은 본 발명의 제 2실시예에 따른 평면 모터와 종래의 평면 모터의 자속량을 비교한 그래프이다.Figure 6 is a graph comparing the magnetic flux of the planar motor and the conventional planar motor according to a second embodiment of the present invention.
<도면중 주요부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>
10 : 평면 평판 20 : 구동부10: flat plate 20: drive part
22a : 케이블 22 : 프레임22a: cable 22: frame
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,Features of the present invention for achieving the above object,
평판과 구동부로 구성되는 평면 모터에 있어서,In a flat motor comprising a flat plate and a drive unit,
상기 평판에는 사각형으로 형성된 복수의 영구 자석이 소정 배열로 착자되며,The plate is magnetized in a predetermined array of a plurality of permanent magnets formed in a square,
상기 복수의 영구 자석의 소정 배열은,The predetermined arrangement of the plurality of permanent magnets,
N극과 S극이 소정 경사를 가지고 서로 직교하되, 상기 N극을 중심으로 하여 상기 N극의 각면에 상기 S극이 일정 간격 이격되어 착자되고, 다시 상기 S극의 각면에 상기 N극이 일정 간격 이격되어 착자되며, 자화 방향이 상기 각각의 N극을 중심으로 각면에서 외측으로 향하고, 상기 각각의 S극을 중심으로 각면에서 내측으로 향하며, 동일 극성이 이웃하는 공간에서는 자화 방향이 교차되는 것을 특징으로 한다.The N pole and the S pole are orthogonal to each other with a predetermined inclination, and the S pole is magnetized by being spaced apart at regular intervals on each side of the N pole with respect to the N pole, and the N pole is constant on each side of the S pole. The magnets are spaced apart from each other, and the magnetization directions are directed from each side to the outside of each of the N poles, from each side to the inside of the respective S poles, and the magnetization directions cross each other in a space having the same polarity. It features.
본 발명의 다른 특징은,Another feature of the invention,
평판과 구동부로 구성되는 평면 모터에 있어서,In a flat motor comprising a flat plate and a drive unit,
상기 평판에는 사각형으로 형성된 복수의 영구 자석이 소정 배열로 착자되며,The plate is magnetized in a predetermined array of a plurality of permanent magnets formed in a square,
상기 복수의 영구 자석의 소정 배열은,The predetermined arrangement of the plurality of permanent magnets,
N극과 S극이 소정 경사를 가지고 서로 직교하되, 상기 N극을 중심으로 하여 상기 N극의 각면에 상기 S극이 일정 간격 이격되어 착자되고, 다시 상기 S극의 각면에 상기 N극이 일정 간격 이격되어 착자되며, 자화 방향은 상기 각 N극의 각면에서 외측으로 향하고, 상기 각 S극의 각면 외측에서 각면으로 향하는 것을 특징으로 한다.The N pole and the S pole are orthogonal to each other with a predetermined inclination, and the S pole is magnetized by being spaced apart at regular intervals on each side of the N pole with respect to the N pole, and the N pole is constant on each side of the S pole. The magnets are spaced apart from each other, and the magnetization direction is directed outward from each side of each of the N poles, and from the outside of each side of the respective S poles to each side.
이하, 본 발명에 의한 평면 모터의 구성 및 작용을 도 3 내지 도 6을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the configuration and operation of the planar motor according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 6.
(제 1실시예)(First embodiment)
도 3은 본 발명의 제 1실시예에 따른 평면 모터의 평판에 영구 자석이 배열된 모습을 나타낸 평면도이고, 도 4는 본 발명의 제 1실시예에 따른 평면 모터와 종래의 평면 모터의 자속량을 비교한 그래프이다.3 is a plan view showing a permanent magnet arranged on a flat plate of a flat motor according to a first embodiment of the present invention, Figure 4 is a magnetic flux of the flat motor and the conventional flat motor according to the first embodiment of the present invention This is a graph comparing.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 평면 모터의 평판(100)에 영구 자석의 배열은 N극과 S극이 소정 경사를 가지고 서로 직교하되, N극을 중심으로 하여 N극의 각면에 S극이 일정 간격 이격되어 착자되고, 다시 S극의 각면에 N극이 일정 간격 이격되어 착자된다. 여기에서 자화 방향은 상기 각각의 N극을 중심으로 각면에서 외측으로 향하고, 상기 각각의 S극을 중심으로 각면에서 내측으로 향하며, N극과 S극이 이웃하는 공간에서는 교차된다.Referring to Figure 3, the arrangement of the permanent magnet in the flat plate 100 of the flat motor according to the present invention, the N pole and the S pole is orthogonal to each other with a predetermined inclination, S poles on each side of the N pole centered on the N pole The magnets are spaced apart at regular intervals, and the magnets are spaced apart at regular intervals from the N poles. Here, the magnetization direction is directed from each side to the outside about each of the N poles, from each side to the inside of the respective S poles, and the N and S poles intersect in a space adjacent to each other.
본 발명에 따른 평면 모터의 작용을 도 3 및 도 4를 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.The operation of the planar motor according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4 as follows.
도 3을 참조하면, 먼저 N은 자화의 방향이 지면으로 들어가는 방향으로 착자된 영구 자석을 말하고, S는 자화의 방향이 지면에서 나오는 방향을 말하며, 각각의 화살표들은 화살표 방향으로 자화된 것을 표시한다.Referring to FIG. 3, first, N denotes a permanent magnet magnetized in a direction in which the direction of magnetization enters the ground, S denotes a direction in which the direction of magnetization exits from the ground, and each arrow indicates magnetization in the direction of the arrow. .
자기회로에서 영구 자석의 세기는 감자계의 세기(demagnetizing force)와 영구 자석의 자화방향으로 길이의 곱에 비례한다. 그리하여 도 3에서와 같이 영구 자석을 착자하여 삽입함으로써, 자기회로상에서 그 만큼 영구 자석의 세기를 크게할 수 있다. 삽입한 영구 자석은 등방성 자석을 착자하여 삽입한다.The strength of the permanent magnet in the magnetic circuit is proportional to the product of the demagnetizing force of the potato system and the length in the magnetization direction of the permanent magnet. Thus, by magnetizing and inserting the permanent magnet as shown in Fig. 3, the strength of the permanent magnet can be increased by that much on the magnetic circuit. The inserted permanent magnet magnetizes and inserts an isotropic magnet.
도 4는 본 발명에 따른 평면 모터와 종래의 평면 모터의 자속량을 비교한 그래프이다.Figure 4 is a graph comparing the magnetic flux of the flat motor and the conventional flat motor according to the present invention.
영구 자석에 의해 여자되는 평면 모터의 출력 특성은 영구 자석에 의해 발생된 자속이 코일을 통과하는 자속량에 의해 결정되는 데, 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 평면 모터가 종래의 도 2a와 도 2b와 같이 영구 자석이 배열된 평면 모터보다 큰 값의 자속량이 쇄교함을 알 수 있다.The output characteristic of the planar motor excited by the permanent magnet is determined by the amount of magnetic flux generated by the permanent magnet through the coil. As shown in FIG. It can be seen that the magnetic flux of a larger value than that of the planar motor in which the permanent magnets are arranged as shown in FIG.
(제 2실시예)(Second embodiment)
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 따른 평면 모터의 평판에 영구 자석이 배열된 모습을 나타낸 평면도이고, 도 6은 본 발명의 제 2실시예에 따른 평면 모터와 종래의 평면 모터의 자속량을 비교한 그래프이다.5 is a plan view showing a permanent magnet arranged on a flat plate of a flat motor according to a second embodiment of the present invention, Figure 6 is a magnetic flux of the flat motor and the conventional planar motor according to a second embodiment of the present invention This is a graph comparing.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 평면 모터의 평판(100)에 영구 자석의 배열은 N극과 S극이 소정 경사를 가지고 서로 직교하되, N극을 중심으로 하여 N극의 각면에 S극이 일정 간격 이격되어 착자되고, 다시 S극의 각면에 N극이 일정 간격 이격되어 착자된다. 여기에서 자화 방향은 상기 각 N극의 각면에서 외측으로 향하고, 상기 각 S극의 각면 외측에서 각면으로 향한다.Referring to Figure 5, the arrangement of the permanent magnets in the flat plate 100 of the planar motor according to the present invention, the N pole and the S pole orthogonal to each other with a predetermined inclination, S poles on each side of the N pole centered on the N pole The magnets are spaced apart at regular intervals, and the magnets are spaced apart at regular intervals from the N poles. The magnetization direction is directed outward from each face of the respective N poles, and from the outside of each face of the respective S poles to each face.
본 발명에 따른 평면 모터의 작용을 도 5 및 도 6을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.The operation of the planar motor according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 5 and 6 as follows.
도 5를 참조하면, 먼저 N은 자화의 방향이 지면으로 들어가는 방향으로 착자된 영구 자석을 말하고, S는 자화의 방향이 지면에서 나오는 방향을 말하며, 각각의 화살표들은 화살표 방향으로 자화된 것을 표시한다.Referring to FIG. 5, first, N denotes a permanent magnet magnetized in a direction in which the direction of magnetization enters the ground, S denotes a direction in which the direction of magnetization exits from the ground, and each arrow indicates magnetization in the direction of the arrow. .
자기회로에서 영구 자석의 세기는 감자계의 세기(demagnetizing force)와 영구 자석의 자화방향으로 길이의 곱에 비례한다. 그리하여 도 5에서와 같이 영구 자석을 착자하여 삽입함으로써, 자기회로상에서 그 만큼 영구 자석의 세기를 크게할 수 있다. 삽입한 영구 자석은 등방성 자석을 착자하여 삽입한다.The strength of the permanent magnet in the magnetic circuit is proportional to the product of the demagnetizing force of the potato system and the length in the magnetization direction of the permanent magnet. Thus, by magnetizing and inserting the permanent magnet as shown in Fig. 5, the strength of the permanent magnet can be increased by that much on the magnetic circuit. The inserted permanent magnet magnetizes and inserts an isotropic magnet.
도 6은 본 발명에 따른 평면 모터와 종래의 평면 모터의 자속량을 비교한 그래프이다.Figure 6 is a graph comparing the magnetic flux of the flat motor and the conventional flat motor according to the present invention.
영구 자석에 의해 여자되는 평면 모터의 출력 특성은 영구 자석에 의해 발생된 자속이 코일을 통과하는 자속량에 의해 결정되는 데, 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 평면 모터가 종래의 도 2a와 도 2b와 같이 영구 자석이 배열된 평면 모터보다 큰 값의 자속량이 쇄교함을 알 수 있다.The output characteristic of the planar motor excited by the permanent magnet is determined by the amount of magnetic flux generated by the permanent magnet through the coil. As shown in FIG. It can be seen that the magnetic flux of a larger value than that of the planar motor in which the permanent magnets are arranged as shown in FIG.
따라서, 평판의 영구 자석의 배열을 달리하여 영구 자석의 사용률을 높힘과 동시에 자기회로상에서 누설 자속이 적은 영구 자석배열을 사용하여 공극에서의 자속 밀도를 크게해서 상대적으로 큰 출력을 평면 모터가 갖는다.Therefore, the planar motor has a relatively large output by increasing the magnetic flux density in the air gap by using a permanent magnet array having a low leakage magnetic flux on the magnetic circuit while increasing the utilization rate of the permanent magnet by changing the arrangement of the permanent magnets in the flat plate.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 영구 자석의 사용률을 높히면서도 자기회로상에서 누설 자속이 적은 영구 자석 배열을 사용함으로써 공극에서의 자속 밀도를 크게하여 상대적으로 큰 출력을 갖는다.According to the present invention configured as described above, by using a permanent magnet array with a low leakage magnetic flux on the magnetic circuit while increasing the use rate of the permanent magnet, the magnetic flux density in the air gap is increased to have a relatively large output.
이상에서는, 본 발명의 실시예들에 따라 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 변경 및 변형한 것도 본 발명에 속함은 당연하다.In the above, the present invention has been described in accordance with the embodiments of the present invention, but those skilled in the art to which the present invention belongs, the changes and modifications within the scope without departing from the spirit of the present invention. Of course.
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Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020000027231A KR100365011B1 (en) | 2000-05-20 | 2000-05-20 | Plane Motor |
TW090102959A TW508894B (en) | 2000-05-20 | 2001-02-09 | Planar motor |
US09/780,378 US6548917B2 (en) | 2000-05-20 | 2001-02-12 | Planar motor |
JP2001051071A JP3732415B2 (en) | 2000-05-20 | 2001-02-26 | Planar motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020000027231A KR100365011B1 (en) | 2000-05-20 | 2000-05-20 | Plane Motor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010106000A KR20010106000A (en) | 2001-11-29 |
KR100365011B1 true KR100365011B1 (en) | 2002-12-16 |
Family
ID=19669408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020000027231A KR100365011B1 (en) | 2000-05-20 | 2000-05-20 | Plane Motor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100365011B1 (en) |
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---|---|
KR20010106000A (en) | 2001-11-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131129 Year of fee payment: 12 |
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LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |