KR100358795B1 - 칼라필터용크롬/크롬옥사이드다층막블랙매트릭스의제조방법 - Google Patents

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Abstract

유리기판 위에 포토레지스터를 도포하고 노광, 현상하여 일정한 패턴을 형성하는 공정과, 상기의 패턴이 형성된 유리기판상에 크름 옥사이드박막을 증착하는 공정과, 상기의 유리기판상에 크롬박막을 증착하는 공정과, 상기의 유리기판상에 잔존하는 포토레지스터 및 포토레지스터 잔존부상의 크롬/크롬 옥사이드박막을 스트리퍼 및 초음파 진동의 동반 효과로 제거하는 공정에 따라 제조된 칼라 필터용 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조방법은 공정원가의 절감 및 불량률 감소효과를 기대할 수 있고, 블랙 매트릭스의 패턴을 미세하고, 균일하게 형성할 수 있으며, 환경오염 방지효과를 얻을 수 있다.

Description

칼라 필터용 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조방법
[산업상 이용분야]
본 발명은 칼라 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 칼라 필터용 블랙 매트릭스(black matrix)를 제조하는데 있어서 종래의 제조방법의 순서를 개선함으로서 불필요한 공정을 제거하여 공정원가의 절감 및 불량률을 감소시킬 수 있으며, 포토레지스터(photoresist) 및 크롬(Cr)/크롬 옥사이드(CrOx)를 초음파 진동 및 스트리퍼(stripper)를 사용하여 제거함으로써 블랙 매트릭스의 패턴을 미세하게 형성할 수 있으며, 에칭 과정에서 산을 사용하지 않음으로서 환경오염 방지효과를 얻을 수 있는 칼라 필터용 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조방법에 관한 것이다.
[종래기술]
오늘날 액정 표시 장치(liquid crystal display : LCD)는 박형, 저가, 저소비 전력 구동으로 집적회로와의 정합성이 좋은 특성등을 가지고 있어 랩탑 컴퓨터나 포켓콤에 장착되는 외에 차량 적재용 칼라 텔레비전 화상용등으로서 그 용도가 급격하게 확대되고 있다.
액정 표시 장치의 구동 방식은 단순 매트릭스 방식과 액티브 매트릭스 방식으로 대별되며 액정 칼라 텔레비전의 화상용으로서는 액티브 매트릭스 구동 방식중 박막 트랜지스터(thin film transistor : TFT) 방식이 주목받고 있다. 풀 칼라 TFT-LCD는 TFT 매트릭스를 배치한 TFT 기판과 칼라필터 및 공통전극을 배치한 대향 기판을 서로 마주보며 고정시키고 그 사이에 ㎛ 수준의 공간에 액정을 봉입한 판넬을 2매의 편광판에 삽입한 구조로 되어있다. 이와 같은 칼라필터는 적, 녹, 청의 3 원색을 화소 단위의 크기로 모자이크상으로 배치한 것으로서 각 화소 전극에 1색이 대응하고 있다. 이때 우수한 콘트라스트비를 얻기 위하여는 화상의 표시에 나쁜 영향을 주는 빛을 차단할 필요가 있는데, 이에 따라 칼라필터의 각 화소의 공간 사이에 블랙 매트릭스를 형성하게 된다.
종래의 칼라 필터용 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조공정을 첨부된 제1도를 참조로 하여 설명하면 다음과 같다.
유리기판(1)위에 크롬박막을 형성하고(제1(가)도), 상기의 크롬박막이 형성된 유리기판상에 크롬 옥사이드박막(3)을 형성하고(제1(나)도), 상기의 크롬/크롬 옥사이드박막이 형성된 유리기판상에 포토레지스터 박막을 형성하고(제1(다)도), 상기의 크롬/크롬 옥사이드박막이 형성된 유리기판을 패터닝 마스크(5)를 통하여 노광(exposing)하고(제1(라)도), 상기의 노광한 유리기판을 현상(developing)하고(제1(마)도), 상기의 현상한 유리기판을 에칭(etching)하고(제1(바)도), 상기의 에칭한 유리기판 위의 포토레지스터를 스트리핑(stripping)한다(제1(사)도).
그러나 제l도에 도시된 바와 같이 종래의 블랙 매트릭스 제조 공정에 따라 블랙 매트릭스를 제조할 경우 복잡한 제조 공정으로 인하여 많은 불량품이 발생되는 문제점이 있으며, 또 크롬/크롬 옥사이드막을 산(acid)에 의하여 에칭함으로서 환경오염을 유발하는 문제점이 있다. 더군다나 크롬막은 금속이며, 크롬 옥사이드는 산화물이기 때문에 균일한 에칭 속도를 얻기가 곤란하며, 이 두 막을 같은 속도로 에칭할 수 있는 산은 알려져 있지 않기 때문에 미세하고, 균일한 패턴을 형성하기에는 많은 문제점이 있다.
[본 발명이 해결하고자 하는 과제]
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 칼라 필터용 블랙 매트릭스를 제조하는데 있어서 종래의 제조방법의 순서를 개선함으로서 불필요한 공정을 제거하여 공정원가의 절감 및 불량률 감소의 효과를 기대할 수 있고, 포토레지스터 및 크롬/크롬 옥사이드를 초음파 진동 및 스트리퍼를 사용하여 제거함으로써 블랙 매트릭스의 패턴을 미세하고,균일하게 형성할 수 있으며, 에칭 과정에서 산을 사용하지 않음으로서 환경오염 방지효과를 얻을 수 있는 칼라 필터용 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[본 발명의 과제를 해결하기 위한 수단]
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 유리기판 위에 포토레지스터막을 형성하고, 상기의 포토레지스터막이 형성된 유리기판을 패터닝 마스크를 통하여 노광 및 현상하고, 상기의 패턴이 형성된 유리기판상에 크롬 옥사이드막을 증착하고, 상기의 크롬 옥사이드막이 증착된 유리기판상에 크롬막을 증착하고, 상기한 유리기판상의 포토레지스터 잔존부 및 포토레지스터 잔존부상의 크롬 옥사이드/크롬막을 제거하는 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조방법을 제공한다.
상기한 본 발명에 있어서, 상기한 유리기판상의 포토레지스터 잔존부 및 포토레지스터 잔존부상의 크롬 옥사이드/크롬막은 스트리퍼 및 초음파 진동으로 제거하는 것이 바람직하다.
[실시예]
본 발명에 의한 칼라 필터용 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조공정을 첨부된 제2도를 참조로 하여 설명하면 다음과 같다.
유리기판(1) 위에 포토레지스터(4)를 스핀 코팅(spin coating) 또는 롤 코팅(roll coating)으로 형성하고(제2(가)도), 상기의 포토레지스터가 형성된 유리기판을 자외선(UV)을 사용하여 패터닝 마스크(5)를 통하여 노광하고(제2(나)도),상기의 노광한 유리기판을 현상하고(제2(다)도), 상기의 현상한 유리기판상에 크롬 옥사이드박막을 포토레지스터로 인한 손상을 막기 위하여 저온증착하고(제2(라)도), 상기의 크롬 옥사이드박막이 형성된 유리기판상에 크롬박막(3)을 저온증착하고(2(마)도), 상기의 크롬/크롬 옥사이드박막이 형성된 유리기판상에 잔존하는 포토레지스터 및 포토레지스터 잔존부상의 크롬/크롬 옥사이드박막을 스트리퍼 및 초음파 진동의 동반 효과로 제거한다(제2(바)도).
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 기재한다. 그러나 하기한 실시예는 본 발명의 구성 및 효과를 나타내는 본 발명의 바람직한 일 실시예일 뿐 본 발명이 하기한 실시예에 한정되는 것은 아니다.
(실시예)
CP(cutting, polishing) 처리를 한 칼라 필터용 유리기판 위에 포토레지스터막을 도포하고, 상기의 포토레지스터막이 형성된 유리기판을 자외선을 사용하여 패터닝 마스크를 통하여 노광한 후 현상하였다. 상기의 패턴이 형성된 유리기판상에 크롬 옥사이드막을 상온에서 저온증착하고, 상기의 크롬 옥사이드막이 증착된 유리기판상에 크롬막을 상온에서 저온증착하였다. 상기한 유리기판상의 포토레지스터 잔존부 및 포토레지스터 잔존부상의 크롬 옥사이드/크롬막을, 가성소다 용액을 사용한 스트리핑 및 초음파 진동으로 제거함으로서 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스를 제조하였다.
[효과]
본 발명의 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조방법에 의하면종래의 제조방법 순서를 변경함으로서 불필요한 공정을 제거하여 공정원가의 절감 및 불량률 감소의 효과를 기대할 수 있고, 종래에 비해서 미세하고 균일한 패턴의 형성이 가능하며, 에칭 과정에서 산을 사용하지 않음으로서 환경오염 방지효과를 얻을 수 있는 칼라 필터용 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스를 제조할 수 있다.
제1도는 종래의 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조공정을 나타낸 공정도이고,
제2도는 본 발명의 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조공정을 나타낸 공정도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 유리기판 2 : 크롬 옥사이드박막 3 : 크롬박막
4 : 포토레지스터박막 5 : 패터닝 마스크

Claims (2)

  1. 유리기판 위에 포토레지스터막을 형성하는 공정과;
    상기의 포토레지스터막이 형성된 유리기판을 패터닝 마스크를 통하여 노광 및 현상하는 공정과;
    상기의 패턴이 형성된 유리기판상에 크롬 옥사이드막을 증착하는 공정과;
    상기의 크롬 옥사이드막이 증착된 유리기판상에 크롬막을 증착하는 공정과;
    상기한 유리기판상의 포토레지스터 잔존부 및 포토레지스터 잔존부상의 크롬 옥사이드/크롬막을 제거하는 공정을;
    포함하는 하는 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,상기한 포토레지스터 잔존부 및 포토레지스터 잔존부상의 크롬 옥사이드/크롬막을 제거하는 공정을 스트리퍼 및 초음파 진동으로 제거하는 것인 크롬/크롬 옥사이드 다층막 블랙 매트릭스의 제조방법.
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