KR100354105B1 - Microscope Moving Apparatus of Liquid Crystal Display Panel System - Google Patents
Microscope Moving Apparatus of Liquid Crystal Display Panel System Download PDFInfo
- Publication number
- KR100354105B1 KR100354105B1 KR1020010005444A KR20010005444A KR100354105B1 KR 100354105 B1 KR100354105 B1 KR 100354105B1 KR 1020010005444 A KR1020010005444 A KR 1020010005444A KR 20010005444 A KR20010005444 A KR 20010005444A KR 100354105 B1 KR100354105 B1 KR 100354105B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- vertical
- horizontal
- guide rail
- liquid crystal
- movable body
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
Abstract
본 발명은 액정디스플레이패널 검사장치의 현미경이송장치에 관한 것으로서, 수직가이드레일과, 상기 수직가이드레일을 따라 이동되는 이동체와, 상기 이동체에 연결브라켓 및 스프링지그를 매개로 일단이 연결되며 일단이 태엽형태로 감겨져 고정된 탄성부재로 이루어진 수직이송수단 및; 수평가이드레일과, 수평가이드레일을 따라 이동하는 이동체와, 상기 수평가이드레일의 양·단측에 마련되는 한 쌍의 풀리와, 상기 풀리에 감겨진 타이밍벨트와, 상기 벨트브라켓을 매개로 상기 타이밍벨트와 이동체에 연결되며 일측에 핸들이 마련된 현미경유닛을 연결하는 블록브라켓과, 상기 각 풀리에 연결된 손잡이부로 구성된 수평이송수단으로 구성되며, 상기 수직이송수단은 검사테이블이 마련된 본체의 양측에 한 쌍으로 설치되며, 상기 수평이송수단은 커버부재를 매개로 상기 수직이송수단의 스프링지그에 그 양단이 결합되는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a microscope transport apparatus for a liquid crystal display panel inspection apparatus, and has a vertical guide rail, a movable body moving along the vertical guide rail, one end of which is connected to the movable body via a connecting bracket and a spring jig, and one end of which is a spring. Vertical transfer means made of an elastic member wound and fixed in the form; A horizontal guide rail, a movable body moving along the horizontal guide rail, a pair of pulleys provided at both ends of the horizontal guide rail, a timing belt wound around the pulley, and the timing belt via the belt bracket. And a block bracket for connecting the microscope unit having a handle to one side, and a horizontal transfer means composed of a handle portion connected to each pulley, wherein the vertical transfer means are provided in pairs on both sides of the main body provided with a test table. It is installed, the horizontal transfer means is characterized in that both ends are coupled to the spring jig of the vertical transfer means via the cover member.
상술한 바와 같이 구성됨에 따라 현미경유닛을 흔들림 없이 부드럽게 이송시킬 수 있게 되어 작업자의 피로를 줄임과 동시에 미세 조정을 할 수 있는 이점이 있다.As configured as described above, it is possible to smoothly transport the microscope unit without shaking, thereby reducing the fatigue of the operator and simultaneously making fine adjustments.
Description
본 발명은 액정디스플레이패널을 프로빙(probing)방식에 의해 목시 점등 검사를 하기 위한 액정디스플레이패널 검사장치에 관한 것으로서, 특히, 액정패널의 육안 검사를 위한 현미경유닛을 보다 쉽게 이동가능토록 하는 액정디스플레이패널 검사장치의 현미경이송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display panel inspection apparatus for visually illuminating inspection of a liquid crystal display panel by a probing method, and more particularly, to a liquid crystal display panel which allows a microscope unit for visual inspection of a liquid crystal panel to be moved more easily. It relates to a microscope transfer device of the inspection device.
일반적으로, 액정패널의 라인의 단선검사와, 색상검사를 위해 프로브유니트를 이용하여 점등검사를 행하게 되고, 그 외 현미경을 이용하여 육안검사를 행하게 된다.In general, a line inspection of a line of a liquid crystal panel and a lighting inspection are performed by using a probe unit for color inspection, and visual inspection is performed by using a microscope.
이와 같은 목적으로 행해지는 액정패널검사장치는 액정패널을 공급하는 액정패널공급부를 마련하고, 실제 검사가 이루어지는 검사부를 마련하며, 상기 액정패널공급부로부터 액정패널을 공급하고 그 공급되는 액정패널을 검사부로 로딩 언로딩시키기 위해 반송장치가 사용된다.The liquid crystal panel inspection apparatus for this purpose is provided with a liquid crystal panel supply unit for supplying a liquid crystal panel, an inspection unit for performing an actual inspection, a liquid crystal panel supplied from the liquid crystal panel supply unit, and the liquid crystal panel supplied to the inspection unit. A conveying device is used to unload the load.
본 발명의 목적은 현미경이송장치의 구성을 개선하여 구동 시 흔들림 없이 보다 부드럽게 구동시킬 수 있도록 구현하여 작업자의 피로를 줄이는 액정패널검사장치의 현미경이송장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a microscope transfer device of the liquid crystal panel inspection device to reduce the fatigue of the operator by improving the configuration of the microscope transfer device to implement a smoother drive without shaking during driving.
또한, 본 발명의 다른 목적은 이동거리를 크게 하여 빠른 속도로 이송시킬 수 있도록 함과 동시에 미세 조정이 가능토록 하는 액정패널검사장치의 현미경이송장치를 제공하는 데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a microscopic conveying apparatus of the liquid crystal panel inspection apparatus to allow a fine adjustment and at the same time to be transported at a high speed by increasing the moving distance.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 수직가이드레일과, 상기 수직가이드레일을 따라 이동되는 수직이동체와, 상기 수직이동체에 연결브라켓 및 스프링지그를 매개로 일단이 연결되며 일단이 태엽형태로 감겨져 고정된 탄성부재로 이루어진 수직이송수단 및;In order to achieve the above object, the present invention is a vertical guide rail, a vertical movable body which is moved along the vertical guide rail, and one end is connected to the vertical movable body via a connecting bracket and a spring jig, and one end is wound in a winding shape to fix it. Vertical transfer means made of a resilient member;
수평가이드레일과, 수평가이드레일을 따라 이동하는 수평이동체와, 상기 수평가이드레일의 양·단측에 마련되는 한 쌍의 풀리와, 상기 풀리에 감겨진 타이밍벨트와, 상기 벨트브라켓을 매개로 상기 타이밍벨트와 수평이동체에 연결되며 일측에 핸들이 마련된 현미경유닛을 연결하는 블록브라켓과, 상기 각 풀리에 연결된 미세수평조정손잡이부로 이루어진 수평이송수단으로 구성되며, 상기 수직이송수단은 검사테이블이 마련된 본체의 양측에 한 쌍으로 설치되며, 상기 수평이송수단은 커버부재를 매개로 상기 수직이송수단의 스프링지그에 그 양단이 결합되는 것을 특징으로 한다.A horizontal guide rail, a horizontal movable body moving along the horizontal guide rail, a pair of pulleys provided at both ends of the horizontal guide rail, a timing belt wound around the pulley, and the timing through the belt bracket. A block bracket is connected to the belt and the horizontal movable body and connects the microscope unit provided with a handle on one side, and a horizontal conveying means consisting of fine horizontal adjusting knobs connected to the pulleys. It is installed in a pair on both sides, the horizontal transfer means is characterized in that both ends are coupled to the spring jig of the vertical transfer means via a cover member.
도 1은 액정패널 검사장치의 일 예를 도시한 전체사시도,1 is an overall perspective view showing an example of a liquid crystal panel inspection apparatus;
도 2는 상기 도 1에 도시된 패널반송장치의 구성을 도시한 평면도,FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the panel transport apparatus shown in FIG. 1;
도 3은 상기 도 2의 패널반송장치의 구성을 측면에서 도시한 측면도,3 is a side view showing the configuration of the panel transport apparatus of FIG.
도 4는 상기 도 2의 반송장치의 구동수단의 구성을 도시한 분리사시도,Figure 4 is an exploded perspective view showing the configuration of the drive means of the conveying apparatus of FIG.
도 5는 상기 도 1에 도시된 서브테이블의 구조를 확대해서 도시한 확대사시도,5 is an enlarged perspective view showing an enlarged structure of a sub table shown in FIG. 1;
도 6은 상기 도 5의 서브테이블을 분리해서 도시한 분리사시도,6 is an exploded perspective view showing the subtable of FIG. 5 separately;
도 7은 도 5의 화살표 A를 따라 바라본 상태를 도시한 측면도,FIG. 7 is a side view illustrating a state viewed along arrow A of FIG. 5;
도 8은 도 5의 화살표 B를 따라 바라본 상태를 도시한 측면도,FIG. 8 is a side view illustrating a state viewed along arrow B of FIG. 5;
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 의한 현미경유닛 이송수단의 구성을 도시한 평면도,9 is a plan view showing the configuration of a microscope unit transfer means according to an embodiment of the present invention,
도 10은 상기 도 9의 구성을 분리해서 도시한 일부 분리 사시도,10 is a partially separated perspective view showing the configuration of FIG. 9 separately;
도 11은 상기 도 10에 도시된 수직이송수단(L표시부)를 분리해서 도시한 분리사시도,FIG. 11 is an exploded perspective view showing the vertical transport means (L display unit) shown in FIG. 10 separately;
도 12는 상기 도 10에 도시된 수직이송수단(R표시부)를 분리해서 도시한 분리사시도,12 is an exploded perspective view showing the vertical transfer means (R display portion) shown in FIG. 10 separately;
도 13은 상기 도 10에 도시된 수평이송수단의 구성을 분리해서 도시한 분리 사시도이다.FIG. 13 is an exploded perspective view showing the configuration of the horizontal transfer means shown in FIG. 10 separately.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
100 : 피검사물체(액정패널)검사장치 101 : 본체100: inspection object (liquid crystal panel) inspection device 101: main body
200 : 액정패널공급부 310 : 검사테이블200: liquid crystal panel supply unit 310: inspection table
400 : 현미경유닛이송수단 410 : 현미경유닛400: microscope unit transfer means 410: microscope unit
411 : 핸들 420 : 수직이송수단411: handle 420: vertical transfer means
421 : 수직가이드레일 422 ; 수직이동체421: vertical guide rail 422; Vertical moving body
423a, 423b : 연결브라켓 424 : 스프링지그423a, 423b: Connecting bracket 424: Spring jig
425 : 탄성부재 436 : 볼스크루축425: elastic member 436: ball screw shaft
437 : 볼스크루너트 450 : 수평이송수단437: ball screw nut 450: horizontal conveying means
451 : 수평가이드레일 452 : 수평이동체451: horizontal guide rail 452: horizontal moving body
453, 453b : 풀리 454 : 타이밍벨트453, 453b: Pulley 454: Timing belt
458a,458b : 수평미세조정손잡이 435, 459 : 제1,2소버부재458a, 458b: horizontal fine adjustment knobs 435, 459: first and second sober members
439 : 수직미세조정손잡이439: vertical fine adjustment knob
이하, 첨부도면 도 1내지 도 13을 참조로 하여 본 발명의 구성 및 작용에 대해서 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, FIGS. 1 to 13.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 패널반송장치가 적용된 액정디스플레이 패널검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing the configuration of a liquid crystal display panel inspection apparatus to which the panel transport apparatus according to an embodiment of the present invention is applied.
상기 도면에 도시된 바와 같이 액정디스플레이패널 검사장치(100)는 그 전면측이 소정의 각도 예컨대 60°로 기울어지게 형성된 본체(101)가 마련되며, 그 본체(101)의 내부에는 피검사물체(이하, 액정패널이라 칭함)가 공급되는 피검사물체공급부(이하 액정패널공급부(200)라 칭함)와, 상기 액정패널공급부(200)에 공급되는 액정패널을 로딩시켜 저면에 마련된 광원)(미도시)을 조명함으로써 제조공정 상 발생하는 액정패널의 얼룩이나, 액정패널의 데이터라인과 게이트라인의 단선상태와색상 등을 검사하는 검사부(300)로 이루어진다.As shown in the drawing, the liquid crystal display panel inspection apparatus 100 has a main body 101 formed with its front side inclined at a predetermined angle, for example, 60 °, and an object under test (inside the main body 101). Hereinafter, a test object supply unit (hereinafter referred to as a liquid crystal panel supply unit 200) to which a liquid crystal panel is supplied and a light source provided on the bottom surface by loading the liquid crystal panel supplied to the liquid crystal panel supply unit 200 (not shown) ), The inspection unit 300 inspects the unevenness of the liquid crystal panel generated in the manufacturing process or the disconnection state and color of the data line and the gate line of the liquid crystal panel.
상기 검사부(300)에는 그 내부에 광원(미도시)을 조명함으로써, 그 상면에 로딩되는 액정패널의 목시 검사를 가능토록 하는 검사테이블(310)이 마련되며, 그 검사테이블(310)의 둘레에는 상기 검사테이블(310)에 로딩된 액정패널의 이상부분을 미세하게 체크하거나, 가동 초기 시 프로브유니트(미도시)의 프로브블록과 액정패널의 패드 얼라인먼트를 위한 현미경유닛(410)이 현미경이송수단(400)에 의해 수평 또는 수직 이동가능케 설치된다.The inspection unit 300 is provided with an inspection table 310 for illuminating a light source (not shown) therein to enable visual inspection of the liquid crystal panel loaded on the upper surface thereof, and around the inspection table 310. The microscopic unit 410 for finely checking an abnormal portion of the liquid crystal panel loaded on the test table 310 or for aligning a probe block of a probe unit (not shown) and a pad of the liquid crystal panel at an initial stage of operation is provided with a microscope transfer means ( 400 is installed to move horizontally or vertically.
상기 액정패널공급부(200)에는 공급되는 액정패널을 2단 형태에 맞게 선택적으로 대기시키는 서브테이블(500)이 마련되며, 상기 서브테이블(500)에 대기중인 액정패널은 반송장치(600)에 의해 상기 검사테이블(310)로 로딩되며, 그 반송장치(600)에 의해 다시 상기 검사테이블(310)로부터 언로딩되어 액정패널공급부(200)로 원 위치하도록 구성된다.The liquid crystal panel supply unit 200 is provided with a sub table 500 to selectively wait for the liquid crystal panel to be supplied in a two-stage form, the liquid crystal panel waiting in the sub table 500 by the conveying device 600 The test table 310 is loaded into the test table 310, and is unloaded from the test table 310 by the conveying device 600 so as to be repositioned to the liquid crystal panel supply unit 200.
한편, 상기 본체(101)의 일측에는 액정디스플레이검사장치(100)의 운전을 온·오프시키는 스위치역할을 수행하고, 또는 상기 검사테이블(310)에 로딩 된 액정패널의 얼라인먼트 상황을 표시해주는 컴퓨터(105)가 마련된다.On the other hand, one side of the main body 101 performs a switch role for turning on and off the operation of the liquid crystal display inspection device 100, or a computer for displaying the alignment of the liquid crystal panel loaded on the inspection table 310 ( 105) is provided.
상기 검사테이블(310)의 주변에는 상기 검사테이블(310)에 로딩되는 액정패널을 진공 흡착시킬 수 있도록 진공홀(미도시)이 구성되며, 상기 검사테이블(310)은 도시되지 않은 이송수단에 의해 X,Y,Z축 방향의 직선이동됨은 물론 소정의 각도(θ°)로 회전시킬 수 있게 구성되어 액정패널을 최적의 검사 위치로 얼라인먼트(Alignment)할 수 있게 구성된다.A vacuum hole (not shown) is configured around the inspection table 310 to suck the liquid crystal panel loaded on the inspection table 310 by vacuum, and the inspection table 310 is formed by a conveying means (not shown). The linear movement of the X, Y, and Z-axis directions as well as the rotation can be rotated at a predetermined angle (θ °) to align the liquid crystal panel to an optimal inspection position.
다음 상기 반송장치(600)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 검사부(300) 및 액정패널공급부(200) 전장에 걸쳐 다단으로 배치되는 2쌍의 가이드레일(601~604)과, 상기 각 가이드레일(601~604)을 따라 서로 이격되게 수평 이동되는 복수개의 제1,2이송아암(611,612)과, 상기 각 제1,2이송아암(611,612)의 상·하단측에 연결되어 상기 각 가이드레일(601~604)을 따라 이동함으로써 각 제1,2이송아암(611,612)을 수평 이송시키는 복수개의 이송체(621~624)와, 상기 제1,2이송아암(611,612)의 상·하단측 중 어느 한 측에 연결된 이송체(623,624)와 결합되어 그 이송체(623,624)를 이동가능케 구동시키는 복수개의 구동수단(700)으로 구성된다.Next, as shown in FIGS. 2 and 3, the conveying apparatus 600 includes two pairs of guide rails 601 to 604 disposed in multiple stages over the entire length of the inspection unit 300 and the liquid crystal panel supply unit 200, and the respective angles. The plurality of first and second transfer arms 611 and 612 horizontally moved to be spaced apart from each other along the guide rails 601 to 604, and the upper and lower ends of the first and second transfer arms 611 and 612, respectively. A plurality of conveying bodies 621 to 624 for horizontally conveying the first and second conveying arms 611 and 612 by moving along the rails 601 to 604 and upper and lower ends of the first and second conveying arms 611 and 612. It is composed of a plurality of driving means 700 coupled to the conveying body 623, 624 connected to any one of the side to move the conveying body (623, 624).
상기 각 제1,2이송아암(611, 612)은 상·하 대칭되게 한 쌍의 가이드(611a′, 612a′)가 마련된 사각틀부재(611a,612a)와, 상기 가이드(611a′,612a′)를 따라 상하 대칭된 형태로 이동가능토록 설치되는 한 쌍의 이동블럭(611b,612b)과, 상기 각 이동블럭(611b,612b)의 내단측에 설치되어 액정패널을 잡는 1쌍의 그리퍼(613)로 구성되며, 상기 이동블럭(611b,612b)은 도시되지 않은 에어실린더에 의해 상·하 대칭된 방향으로 전진되어 상기 그리퍼(613)에 액정패널을 끼움 방식에 의해 그립하도록 구성된다.Each of the first and second transfer arms 611 and 612 has a square frame member 611a and 612a provided with a pair of guides 611a 'and 612a' in up and down symmetry, and the guides 611a 'and 612a'. A pair of movable blocks 611b and 612b installed to be movable in a vertically symmetrical form along the inner side of each of the movable blocks 611b and 612b, and a pair of grippers 613 that hold the liquid crystal panel. The moving blocks 611b and 612b are advanced in a vertically and symmetrical direction by an air cylinder (not shown) and are configured to grip the liquid crystal panel by the gripper 613.
상기 구동수단(700)은 도 4에 도시된 바와 같이 상기 각 가이드레일(603,604)의 양·단측에 마련되는 한 쌍의 풀리(701,702)와, 상기 풀리(701,702)에 감겨진 타이밍벨트(703)와, 상기 한 쌍의 풀리(701,702) 중 어느 하나의 풀리(701)에 연결되어 풀리(701)를 회전시키는 모터(721)로 구성된다.As shown in FIG. 4, the driving means 700 includes a pair of pulleys 701 and 702 provided at both ends of the guide rails 603 and 604, and a timing belt 703 wound around the pulleys 701 and 702. And a motor 721 connected to any one pulley 701 of the pair of pulleys 701 and 702 to rotate the pulley 701.
상기 도면에서 풀리(701)는 헤드부재(704)의 내부측에 내장되며, 상기 타이밍벨트(703)는 프로파일(705)의 내부측에 내장된다.In the figure, the pulley 701 is embedded inside the head member 704, and the timing belt 703 is embedded inside the profile 705.
다음 상기 서브테이블(500)은 도 5내지 도 8에 도시된 바와 같이 베이스플레트(510)와, 상기 베이스플레이트(510)의 상측으로 소정의 간격을 두고 마련되는 제1승강테이블(520) 및 제2승강테이블(530)이 마련되며, 상기 1,제2승강테이블(520,530)은 승강수단(540)에 의해 소정의 높이로 승·하강되게 구성된다.Next, as shown in FIGS. 5 to 8, the subtable 500 includes a base plate 510, a first elevating table 520 provided at a predetermined interval above the base plate 510, and A second lifting table 530 is provided, and the first and second lifting tables 520 and 530 are configured to be lifted and lowered to a predetermined height by the lifting means 540.
상기 승강수단(540)은 제1승강테이블(520)에 연결되어 상기 제1승강테이블(520)을 소정의 높이로 승·하강시키는 복수개의 제1에어실린더(541)와, 상기 제2승강테이블(530)에 연결되어 상기 제1승강테이블(510) 및 제2승강테이블(530)을 소정의 높이로 승·하강시키는 제2에어실린더(543)로 구성된다.The elevating means 540 is connected to a first elevating table 520, a plurality of first air cylinders 541 for elevating and elevating the first elevating table 520 to a predetermined height, and the second elevating table. And a second air cylinder 543 connected to the 530 to lift and lower the first elevating table 510 and the second elevating table 530 to a predetermined height.
상기 제1승강테이블(520) 및 제2승강테이블(530)의 후면에는 그 승·하강동작 시 충격을 완화시켜주는 쇼크 압소버(Shock Absorber)(545)가 마련되고, 또한, 그 승·하강거리를 제한하는 스토퍼(547)가 마련되며, 또한, 그 승·하강동작을 보조 가이드하는 LM(Linear Motion)부시(548)가 마련된다.A shock absorber 545 is provided on the rear surface of the first elevating table 520 and the second elevating table 530 to mitigate an impact during the elevating and lowering operation. A stopper 547 for limiting the distance is provided, and an LM (Linear Motion) bush 548 for assisting the lifting and lowering operation is provided.
상기 제1승강테이블(510)의 양측단 및 상·하단에는 액정패널을 상면에 안착시키는 “ㄴ ”자로 형성된 다수의 패널브라켓(551~555)이 마련되며, 그 패널브라켓(555)은 복수개의 직선이송수단(560,570)에 의해 직선 이동되어 폭 및 높이조절이 가능토록 구성되어 액정패널의 크기에 대응하도록 구성된다.On both sides and upper and lower ends of the first elevating table 510, a plurality of panel brackets 551 to 555 formed by “b” letters for mounting the liquid crystal panel on the upper surface are provided, and the panel brackets 555 are provided with a plurality of panel brackets 555. It is linearly moved by the linear transfer means 560 and 570 so that the width and height can be adjusted to correspond to the size of the liquid crystal panel.
상기 직선이동수단(560)은 제1승강테이블(520)의 저면에 연결브라켓(561)을매개로 설치되는 가이드부재(562)와, 상기 가이드부재(562)를 따라 슬라이딩가능케 설치되는 이동부재(563)와, 상기 가이드부재(562)가 설치된 타단면측에 설치되는 스토퍼레일(564)과, 그 저면이 상기 스토퍼레일(564)을 따라 가이드됨과 동시에 상면에 상기 패널브라켓(554,555)을 고정시키는 스토퍼브라켓(565)과, 상기 스토퍼브라켓(565)의 일단측에 설치되어 적정의 위치로 이동된 패널브라켓(554,555)을 고정시키는 고정스크루(566)로 구성된다.The linear movement means 560 is a guide member 562 which is provided with a connecting bracket 561 on the bottom of the first elevating table 520 and a movable member 563 slidably installed along the guide member 562. And a stopper rail 564 installed on the other end surface side on which the guide member 562 is installed, and a stopper on which the bottom surface thereof is guided along the stopper rail 564 and at the same time fixing the panel brackets 554 and 555 on an upper surface thereof. It is composed of a bracket 565 and a fixing screw 566 which is installed at one end of the stopper bracket 565 to fix the panel brackets 554, 555 moved to an appropriate position.
또한, 상기 직선이동수단(570)은 제1승강테이블(520)의 저면에 슬라이드브라켓(571)을 매개로 직선 이동가능케 설치됨과 동시에 그 상면에 패널브라켓(551~553)을 고정시키는 슬라이드부재(573)로 구성된다.In addition, the linear movement means 570 is installed on the bottom surface of the first elevating table 520 through the slide bracket (571) to move linearly and at the same time the slide member for fixing the panel brackets (551 ~ 553) on the upper surface ( 573).
상기 슬라이드브라켓(571)은 상기 슬라이드부재(573)의 가이드레일(573a)이 관통되어 슬라이딩되도록 관통홀(571a)이 형성되며, 그 양측에는 상기 가이드레일(573)의 슬라이딩동작을 제한하는 고정스크루(575)가 설치된다.The slide bracket 571 is formed with a through hole 571a so that the guide rail 573a of the slide member 573 slides through the slide bracket 571, and fixing screws for restricting the sliding operation of the guide rail 573 on both sides thereof. 575 is installed.
미설명부호(581)는 액정패널의 유무를 감지하는 센서를 나타내며, 부호(583)는 상기 센서(581)의 신호를 증폭시키는 앰플리파이어를 나타내고, 부호(585)는 제1에어실린더(541)를 고정시키는 고정부재를 나타낸다.Reference numeral 581 denotes a sensor for detecting the presence or absence of a liquid crystal panel, reference numeral 583 denotes an amplifier for amplifying a signal of the sensor 581, and reference numeral 585 denotes a first air cylinder 541. A fixing member for fixing is shown.
다음 상기 현미경유닛이송수단(400)은 도 9 내지 도 13에 도시된 바와 같이 핸들(411)이 마련된 현미경유닛(410)을 이송시키도록 검사테이블(310)이 마련된 본체(101)의 양측에 설치되는 한 쌍의 수직이송수단(420)과, 상기 수직이송수단(420)의 중앙에 상기 수직이송수단(420)의 수직이동체(후술함)에 연결브라켓(412)를 매개로 연결되는 수평이송수단(450)으로 구성된다.Next, the microscope unit transfer means 400 is installed at both sides of the main body 101 provided with the inspection table 310 to transfer the microscope unit 410 provided with the handle 411, as shown in Figure 9 to 13 A horizontal transfer means connected to a pair of vertical transfer means 420 and a vertical moving body (to be described later) of the vertical transfer means 420 at the center of the vertical transfer means 420 via a connecting bracket 412. It consists of 450.
상기 수직이송수단(420)은 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이 수직가이드레일(421)과, 상기 수직가이드레일(421)을 따라 이동되는 수직이동체(422)와, 상기 수직이동체(422)에 연결브라켓(423a,423b) 및 스프링지그(424)를 매개로 일단이 연결되며 일단이 태엽형태로 감겨져 고정된 탄성부재(425)로 이루어진다.11 and 12, the vertical transfer means 420 includes a vertical guide rail 421, a vertical mover 422 moved along the vertical guide rail 421, and the vertical mover 422. One end is connected to the connecting brackets 423a and 423b and the spring jig 424 by one end, and one end is wound in a winding shape and is made of an elastic member 425 fixed thereto.
상기 탄성부재(425)는 상기 검사테이블(310)의 설치각도 예컨대 60°에 대하여 현미경유닛(410)을 포함한 수평이송장치(450)의 자중을 지탱시킬 수 있는 강도를 갖도록 설계된다.The elastic member 425 is designed to have a strength that can support the self-weight of the horizontal transfer device 450 including the microscope unit 410 with respect to the installation angle of the inspection table 310, for example 60 °.
도면에서 미설명부호(426)는 상기 탄성부재(425)를 지탱해주는 받침부재를 나타내고, 부호(427)(428)는 상기 태엽형태로 감겨진 탄성부재(425)를 회전가능케 지지해주는 고정핀 및 고정브라켓을 나타내며, 부호(429)는 상기 수직가이드레일(421)을 고정시키는 베이스플레이트를 나타내며, 부호(430)는 수직커버를 나타내고, 부호(431,432)는 상기 수직커버(430)의 양단을 커버하는 측면커버를 나타낸다.In the drawings, reference numeral 426 denotes a supporting member for supporting the elastic member 425, and reference numerals 427 and 428 are fixed pins for rotatably supporting the elastic member 425 wound in the winding shape. A bracket 429 denotes a base plate for fixing the vertical guide rail 421, numeral 430 denotes a vertical cover, and numerals 431 and 432 cover both ends of the vertical cover 430. The side cover is shown.
또한, 상기 한 쌍을 이루는 수직이송수단(420)의 한 측에는 도 11에 도시된 바와 같이 수직이동체(422)에 연결브라켓(423a, 423b)을 매개로 연결된 스프링지그(424)를 미세하게 이동시키도록 볼스크루축(436)를 따라 이동하는 볼스크루너트(437)가 상기 스프링지그(424)에 연결된다.In addition, one side of the pair of vertical transfer means 420 to finely move the spring jig 424 connected to the vertical movable body 422 via the connecting brackets (423a, 423b) as shown in FIG. The ball screw nut 437 moving along the ball screw shaft 436 is connected to the spring jig 424.
즉, 상기 스프링지그(424)의 전면측에는 상기 볼스크루너트(437)의 단부가 삽입되는 삽입홀(424a)이 마련되어 상기 볼스크루너트(437)가 상기 스프링지그(424)에 끼워맞춤되도록 구성된다.That is, the front side of the spring jig 424 is provided with an insertion hole 424a into which the end of the ball screw nut 437 is inserted so that the ball screw nut 437 is fitted to the spring jig 424. .
상기 스프링지그(424)에 결합된 볼스크루축(436)의 타단부는 상기 측면커버(431)의 관통홀(431a)을 통해 외부로 돌출되며, 그 단부에는 수직미세조정손잡이(439)가 고정구(438)를 매개로 고정된다.The other end of the ball screw shaft 436 coupled to the spring jig 424 protrudes to the outside through the through hole 431a of the side cover 431, and the vertical fine adjustment knob 439 is fixed at the end thereof. 438 is fixed via the medium.
상기 수직가이드레일(429)의 양단부에는 상기 수직가이드레일(429)를 따라 이동하는 수직이동체(422)의 충격을 완화시키도록 소버브라켓(433)을 매개로 제1소버부재(435)가 설치된다.Both ends of the vertical guide rails 429 are provided with first absorber members 435 via the absorber bracket 433 to alleviate the impact of the vertical movable body 422 moving along the vertical guide rails 429. .
다음, 상기 수평이송수단(450)은 도 13에 도시된 바와 같이 수평가이드레일(451)과, 수평가이드레일(451)을 따라 이동하는 수평이동체(452)와, 상기 수평가이드레일(451)의 양·단측에 마련되는 한 쌍의 풀리(453a,453b)와, 상기 풀리(453a,453b)에 감겨진 타이밍벨트(454)와, 상기 벨트브라켓(455,456)을 매개로 상기 타이밍벨트(454)와 수평이동체(452)에 연결되며 일측에 현미경유닛(410)을 연결하는 블록브라켓(457)과, 상기 각 풀리(453a, 453b)에 연결된 수평미세손잡이부(458a, 458b)로 구성된다.Next, the horizontal conveying means 450 is a horizontal guide rail 451, a horizontal movable body 452 moving along the horizontal guide rail 451, and the horizontal guide rail 451 as shown in FIG. The timing belt 454 and the pair of pulleys 453a and 453b provided on both sides and the timing belt 454 wound around the pulleys 453a and 453b and the belt brackets 455 and 456. The block bracket 457 is connected to the horizontal movable body 452 and connects the microscope unit 410 to one side, and the horizontal fine handles 458a and 458b connected to the pulleys 453a and 453b.
상기 수평가이드레일(451)의 양단에는 수평이동체(452)의 이동에 따른 충격을 완화시켜주는 제2소버부재(459)가 소버브라켓(461)을 매개로 설치된다.On both ends of the horizontal guide rail 451, a second absorber member 459 is provided through the absorber bracket 461 to mitigate an impact caused by the movement of the horizontal movable body 452.
상기 도면에서 부호(463)는 상기 풀리(453a,453b)를 지지하는 지지축을 나타내며, 부호(464, 465)는 상기 지지축(463)을 회전가능케 지지하는 베어링 및 베어링지지브라켓을 나타낸다.In the figure, reference numeral 463 denotes a support shaft for supporting the pulleys 453a and 453b, and reference numerals 464 and 465 denote a bearing and a bearing support bracket for rotatably supporting the support shaft 463.
또한, 부호(471)는 상기 수평가이드레일(541)을 고정시키는 베이스플레이트를 나타내며, 부호(473)는 수평커버를 나타내며 상기 수평커버(473)의 양단은 연결브라켓(412)을 매개로 스프링지그(424)에 연결되어 현미경유닛(410)을 포함한 수평이송수단(450)전체가 수직이송수단(420)에 의해 수직 이송되도록 구성된다.In addition, reference numeral 471 denotes a base plate for fixing the horizontal guide rail 541, reference numeral 473 denotes a horizontal cover, and both ends of the horizontal cover 473 are spring jigs via a connecting bracket 412. Connected to 424, the entire horizontal transfer means 450 including the microscope unit 410 is configured to be vertically transferred by the vertical transfer means 420.
도 12에 도시된 수직이송수단의 구성은 도 11에 도시된 수직이송수단(420)의 구성 중 일부구성을 제외한 나머지 구성과 동일한 구조로 이루어져 있으므로 상기 도 11의 부호와 동일한 부호를 명기하며, 그에 대한 자세한 설명은 생략한다.The configuration of the vertical transfer means shown in FIG. 12 has the same structure as the rest of the configuration except for some of the components of the vertical transfer means 420 shown in FIG. Detailed description thereof will be omitted.
다음은 이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 예에 의한 액정디스플레이 패널 검사장치의 현미경이송장치의 이송원리에 대해서 설명한다.Next will be described the transfer principle of the microscope transfer device of the liquid crystal display panel inspection apparatus according to an embodiment of the present invention configured as described above.
우선 현미경유닛(410)은 액정패널검사장치의 가동 초기에 액정패널의 패드 및 검사부(300)에 마련되는 프로브유닛(미도시)의 프로브니들과의 접촉상태 등을 확인하기 위하여 사용되거나 또는 액정패널의 얼룩이나 데이터라인과 게이트라인의 단선상태와 색상 등의 이상상태를 미세하게 확인하기 위해서 사용하게 되는 바, 그 현미경이송수단(400)에 의해 수직 또는 수평이송되어 사용하게 된다.First, the microscope unit 410 is used to check the contact state and the like of the probe needle of the probe unit (not shown) provided in the pad and the inspection unit 300 of the liquid crystal panel in the initial operation of the liquid crystal panel inspection device or It is used to finely check the abnormal state such as disconnection state and color of the data line and the gate line of the bar, it is used by being vertically or horizontally transferred by the microscope transfer means (400).
그에 대해 좀더 자세하 설명하면, 먼저, 작업자가 핸들(411)을 잡고 수평방향으로 잡아당기게 되면, 블록브라켓(457)에 힘이 가해져 상기 블록브라켓(457)에 연결된 수평이동체(452)가 수평가이드레일(451)을 따라 이동됨으로써 현미경유닛(410)을 수평이송가능케 가이드하게 된다.In more detail, first, when the operator grasps the handle 411 and pulls it in the horizontal direction, a force is applied to the block bracket 457 so that the horizontal movable body 452 connected to the block bracket 457 is a horizontal guide rail. By moving along 451, the microscope unit 410 is guided so as to be able to move horizontally.
이때, 상기 블록브라켓(457)에 벨트브라켓(455,456)을 매개로 타이밍벨트(454)와 연결되어 있어 상기 타이밍벨트(454)가 수평이동됨에 따라 상기 타이밍벨트(454)의 양단에 마련된 각 풀리(453a,453b)가 회전하게 된다.At this time, each of the pulleys provided at both ends of the timing belt 454 as the timing belt 454 is horizontally moved to the block bracket 457 is connected to the timing belt 454 via a belt bracket (455, 456). 453a and 453b rotate.
한편, 미세 수평조절을 행하게 될 경우에는 작업자가 상기 미세수평조정손잡이(458a,458b)를 잡고 소정의 방향으로 회전하게 되면, 타이밍벨트(454)가 수평이동하게 되고, 상기 타이밍벨트(454)에 연결된 블록브라켓(457)이 수평이동체(452)를 매개로 수평이송하게 되고, 따라서, 상기 블록브라켓(457)에 연결된 현미경유닛(410)이 미세 이송하게 되는 것이다.On the other hand, when fine horizontal adjustment is performed, when the operator grasps the fine horizontal adjustment knobs 458a and 458b and rotates in a predetermined direction, the timing belt 454 moves horizontally, and the timing belt 454 The connected block bracket 457 is horizontally transported through the horizontal movable body 452, and thus, the microscope unit 410 connected to the block bracket 457 is finely transported.
한편, 상기 핸들(411)을 잡고 수직방향으로 잡아당기게 되면, 상기 수평이송수단(450)을 이루는 수평커버(453)의 양단이 스프링지그(424)에 연결되어 있으므로 스프링지그(424)가 수직 이동하고, 따라서, 상기 스프링지그(424)와 연결된 수직이동체(422)가 수직가이드레일(421)을 따라 이동하게 된다.On the other hand, when the handle 411 is pulled in the vertical direction, both ends of the horizontal cover 453 constituting the horizontal transfer means 450 is connected to the spring jig 424, the spring jig 424 is moved vertically Accordingly, the vertical movable body 422 connected to the spring jig 424 moves along the vertical guide rail 421.
이때, 상기 스프링지그(424)에 탄성부재(425)의 일단이 연결되어 있어 태엽형태로 감겨져 있던 탄성부재(425)가 풀어지게 된다.At this time, one end of the elastic member 425 is connected to the spring jig 424 so that the elastic member 425 wound in a spring shape is released.
그런데, 상기 탄성부재(425)는 그 본체(101)의 전면측이 소정의 각도 예컨대 60。로 기울어진 것을 고려하여 수평이송수단(430)을 포함한 현미경유닛(410)의 자중을 고려하여 그 자중을 지탱할 수 있는 강도를 갖도록 설계됨에 따라 작업자가 적정의 위치에서 손을 떼게 데면 그 위치에서 수평이송수단(430)을 포함한 현미경유닛(410)이 멈추어 있게 된다.By the way, the elastic member 425 has its own weight in consideration of the weight of the microscope unit 410 including the horizontal transfer means 430 in consideration that the front side of the main body 101 is inclined at a predetermined angle, for example, 60 °. As it is designed to have a strength that can support the operator to remove the hand from the appropriate position of the microscope unit 410 including the horizontal transfer means 430 is stopped at that position.
한편, 상기 현미경유닛(410)을 수직 미세 조절 하고자 할 경우에는 수직미세손잡이(439)를 잡고 소정의 방향으로 돌리면, 상기 수직미세손잡이부(439)에 일단이 고정된 볼스크루축(436)가 제자리에서 회전하게 됨에 따라 상기 볼스크루축(436)의 외주면을 타고 이송가능케 설치된 볼스크루너트(437)가 이동하고, 상기 볼스크루너트(437)에 연결된 스프링지그(424)가 이동하게 되어 수평이송수단(430)이 이동하게 됨에 따라 상기 수평이송수단(430)에 연결된 현미경유닛(410)이 미세 수직이동을 하게 되는 것이다.On the other hand, if you want to fine-tune the microscope unit 410 vertically holding the vertical handle (439) and turn in a predetermined direction, the ball screw shaft (436) one end is fixed to the vertical fine handle 439 is As it rotates in place, the ball screw nut 437 installed to be transported on the outer circumferential surface of the ball screw shaft 436 moves, and the spring jig 424 connected to the ball screw nut 437 moves to move horizontally. As the means 430 is moved, the microscopic unit 410 connected to the horizontal transfer means 430 moves fine vertically.
상술한 내용에 있어서, 넓은 범위로 현미경유닛(410)을 이송시킬 경우에는 핸들(411)을 사용하여 움직이게 되고, 미세 조절을 원할 경우에는 각 수평미세조정손잡이(458a,458b) 또는 수직미세조정손잡이(439)를 사용하게 된다.In the above description, when the microscope unit 410 is transported in a wide range, the handle is moved using the handle 411, and when the fine adjustment is desired, the horizontal fine adjustment knobs 458a and 458b or the vertical fine adjustment knobs are used. (439).
한편, 상기와 같이 수평이송 또는 수직이송을 행하는 동안 수평이동체(422) 또는 수평이동체(452)는 각 수직가이드레일(421) 및 수평가이드레일(451)의 양단에 마련된 제1,2소버부재(435,459)에 의해 무리하게 이동되더라도 그 단부가 부딪혀 충격이 가해지는 것을 해소시킬 수 있게 되는 것이다.On the other hand, during the horizontal transfer or vertical transfer as described above, the horizontal movable body 422 or the horizontal movable body 452 is the first and second absorber members (132) provided at both ends of each of the vertical guide rail 421 and the horizontal guide rail 451 ( 435, 459) even if it is forcibly moved by the end is to be able to eliminate the impact is hit.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명은 구동 시 흔들림 없이 부드럽게 구동시킬 수 있도록 구현하여 작업자의 피로를 줄이는 이점이 있다.The present invention configured as described above has the advantage of reducing the fatigue of the operator by implementing to drive smoothly without shaking during driving.
또한, 이동거리를 크게 하여 빠른 속도로 이송시킬 수 있도록 함과 동시에 미세 조정이 가능토록 할 수 있다.In addition, it is possible to make a fine adjustment at the same time to enable a high speed to move the moving distance.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020010005444A KR100354105B1 (en) | 2001-02-05 | 2001-02-05 | Microscope Moving Apparatus of Liquid Crystal Display Panel System |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020010005444A KR100354105B1 (en) | 2001-02-05 | 2001-02-05 | Microscope Moving Apparatus of Liquid Crystal Display Panel System |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20020065098A KR20020065098A (en) | 2002-08-13 |
| KR100354105B1 true KR100354105B1 (en) | 2002-09-28 |
Family
ID=27693330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020010005444A KR100354105B1 (en) | 2001-02-05 | 2001-02-05 | Microscope Moving Apparatus of Liquid Crystal Display Panel System |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100354105B1 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100733276B1 (en) * | 2005-07-29 | 2007-06-28 | 주식회사 파이컴 | apparatus for inspecting panel display and method for inspecting panel display using the same |
| KR100940940B1 (en) * | 2008-05-22 | 2010-02-08 | (주)동아엘텍 | A sampling tester of LCD module |
| CN104019961B (en) * | 2014-05-29 | 2017-03-08 | 京东方光科技有限公司 | A kind of backlight source detection apparatus |
| CN114428086A (en) * | 2021-12-13 | 2022-05-03 | 中国石油化工股份有限公司 | A detection device for oil refining chemical plant air cooler digital ray detection |
-
2001
- 2001-02-05 KR KR1020010005444A patent/KR100354105B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20020065098A (en) | 2002-08-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100839503B1 (en) | Inline Buffer Apparatus | |
| JPWO2004096679A1 (en) | Substrate floating device | |
| CN112850145A (en) | Curved surface screen crack check out test set | |
| TW201837000A (en) | Substrate processing device | |
| KR100354105B1 (en) | Microscope Moving Apparatus of Liquid Crystal Display Panel System | |
| KR100625510B1 (en) | apparatus for supplying panel of FPD testing unit and sub-table used in the apparatus | |
| KR100354103B1 (en) | Panel Sending Apparatus of Liquid Crystal Display Panel Inspection System | |
| KR100358704B1 (en) | Panel Supplying Apparatus of Liquid Crystal Display Panel System | |
| JP2002205227A (en) | Parts fitting device | |
| KR101839059B1 (en) | Vertical return carrier of auto probe for large lcd panel | |
| KR100358707B1 (en) | Panel Sending Apparatus of Liquid Crystal Display Inspection System | |
| CN218087819U (en) | Carrying mechanism | |
| TWI586497B (en) | Substrate transport arm and substrate transfer method | |
| KR100562587B1 (en) | Apparatus for supplying panel | |
| KR100973468B1 (en) | Lighting inspection equipment for LCD | |
| KR100492638B1 (en) | Apparatus and method for loading panel for lighting test | |
| KR100504424B1 (en) | Naked-eye testing unit in the loding apparatus of panel for treating lighting test | |
| KR100718705B1 (en) | Transfer robot for display of flat board | |
| CN220702528U (en) | Grabbing device for mobile phone screen processing | |
| KR100492658B1 (en) | Apparatus for loading panel for lighting test | |
| KR20190018080A (en) | Scribing apparatus | |
| KR20190018079A (en) | Scribing apparatus | |
| KR100316805B1 (en) | Aligner Elevating System of Handler | |
| JPH11233998A (en) | Substrate positioning device | |
| KR100562586B1 (en) | Apparatus for testing panel |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20110902 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |