KR100346358B1 - 평판형상워크를무풍가열할수있는열처리장치 - Google Patents

Abstract

(과제)

대형워크를 무풍으로 온도분포 좋게 열처리한다.

(해결수단)

열처리실(1)은 상하가 칸막이판(4) 및 핫플레이트(3)로 칸막이되어 폐쇄되고, 주위가 열풍 순환계(2)로 순환되는 열풍분위기로 되어 있다. 핫플레이트는 회로형상 공간(31)을 구비하고, 그 안을 워크의 출입 및 승온시에 고온 또는 저온브라인계(8 또는 9)에서 고온 또는 저온의 브라인이 순환된다.

(효과)

워크 승온시에는 고온브라인의 순환에 의하여 핫플레이트가 가열되어, 워크를 신속하고 균일하게 가열한다. 열처리 완료시에는 저온브라인의 순환에 의하여 워크를 제냉할 수 있다. 온도 유지시에는 핫플레이트 및 내부의 브라인은 열풍으로 가열되어, 양호한 온도분포하에 워크의 열처리 온도를 유지할 수 있다.

Description

평판형상 워크를 무풍가열할 수 있는 열처리장치{THERMAL TREATMENT UNIT FOR WINDLESS HEATING OF PLATE TYPE WORK}

본 발명은 평판형상의 물품을 열처리하는 열처리장치에 관한 것이며, 특히 LCD(액정 디스플레이) 글라스기판 등의 생산설비에 사용되는 열처리장치에 유효하게 이용된다.

LCD 글라스기판 등의 열처리장치로서는, 종래 공기순환 가열식 장치(예를 들면 일본특개평 6-317514호 공보 참조)가 이용되고 있다. 이 장치에서는, 소정온도로 제어된 열풍을 글라스표면에 따라 이것과 평행되게 일방향으로 흘리고 있었다. 이 때문에 글라스판의 온도상승이 풍상에서는 빠르고 풍하에서는 느려져, 글라스판에 발생하는 온도분포차가 소성품질에 편차를 부여하는 결과가 되었다. 이 경우, 글라스판이 종래와 같은 통상 사이즈의 것이면, 풍상측과 풍하측 사이의 글라스판의 온도차도 비교적 작고, 소성품질의 편차가 허용될 수 있는 범위 내에 있었다.

그러나 최근에는 액정 디스플레이의 대화면화나 코스트다운 때문에, 한번에 다수의 화면 취득을 가능하게 하기 위하여, 머더 글라스를 대판화하는 경향에 있고, 1미터각(角)을 초과하는 것과 같은 대판 머더 글라스의 기술개발도 진행되고 있다. 이와 같이 1미터각을 초과하는 대판 글라스판을 소성하면, 풍상측이 승온하여 열처리하여야 할 소정온도에 도달하더라도, 풍하측에서는 소정온도 보다도 수 10℃ 낮은 온도가 된다고 하는 큰 승온지연이 생겨, 소성품질의 편차가 허용한도를 초과하게 된다. 또, 글라스의 표면상태에 대한 영향 등의 점에서 유속이 빠른 열풍을 사용할 수 없는 소성공정이 있다.

이와 같은 글라스의 소성공정에서는, 통상 핫플레이트 가열식 장치(예를 들면 일본특개평 6-97269호 공보 참조)가 사용되고 있다. 핫플레이트는, 표면을 높은 평판도로 가공한 열전도율이 높은 금속판의 이면에, 다수로 분할된 발열체를 밀착시켜 형성되어 있고, 개개의 발열체의 발열량을 미세조정하므로서 균일한 표면온도가 얻어지도록 되어 있다. 그러나, 이와 같은 핫플레이트는 극히 고가임과 동시에 1미터각을 초과하는 것과 같은 머더 글라스에 대응하는 면적을 가지는 핫플레이트에서는, 표면의 가공정밀도 등의 점에서 균열화가 곤란하게 되고, 정밀도가 좋은 온도분포를 달성할 수 없었다.

본 발명은 종래기술에 있어서 상기 문제를 해결하여, 열처리 성능이 좋고 대형의 물품이라도 열처리할 수 있는 열처리장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

도 1은 본 발명을 적용한 열처리장치의 일례를 도시하는 설명도,

도 2는 상기 장치의 브라인계의 일부분을 도시하는 설명도.

"도면의 주요부분에 대한 부호의 설명"

1: 열처리실2:열풍순환계(가열기체 순환수단)

3:핫플레이트(제1 칸막이부재)4:칸막이판(제2 칸막이부재)

8:고온브라인계(고온브라인 순환수단)

9:저온브라인계(저온브라인 순환수단)

31:회로형상 공간(열교환부)88,98: 3방밸브(선택수단)

85a, 95a:밸브(선택수단)89,99:바이패스관(선택수단)

W:워크(평판형상의 물품)

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여, 청구항 1의 발명은, 평판형상의 물품을 열처리하는 열처리장치에 있어서,

상기 물품을 열처리하기 위한 열처리실로서 상기 물품이 들어갔을 때에 그 물품의 일면측에 대향하는 제1 칸막이부재 및 상기 물품의 반대면측에 대향하는 제2 칸막이부재를 구비한 열처리실과, 기체를 소정온도로 가열하여 상기 제1 칸막이부재의 외측 및 상기 제2 칸막이부재의 외측으로 흐르게 하는 가열기체 순환수단을 가지는 것을 특징으로 한다.

청구항 2의 발명은, 상기에 더하여, 브라인을 가열하여 순환시키는 고온브라인 순환수단과, 상기 브라인과 상기 제1 칸막이부재 사이의 열교환을 가능하게 하도록 상기 제1 칸막이부재에 설치된 열교환부를 가지는 것을 특징으로 한다.

청구항 3의 발명은, 상기에 더하여, 상기 브라인을 냉각하여 순환시키는 저온브라인 순환수단과, 그 저온브라인 순환수단과 상기 고온브라인 순환수단 중 어느 하나로 순환되는 브라인을 상기 열교환부에 공급하도록 선택할 수 있는 선택수단을 가지는 것을 특징으로 한다.

(실시예)

도 1은 본 발명을 적용한 열처리장치의 전체 구성의 일례를 도시한다.

열처리장치는 평판형상의 물품인 LCD 글라스기판 등의 워크(W)를 열처리하는 장치이고, 워크(W)를 열처리하기 위한 열처리실(1)과 가열기체 순환수단으로서의 열풍순환계(2)를 가진다. 열처리실(1)은 워크(W)가 들어갔을 때에 그 일면측인 도면에 있어서 하면측에 대향하는 제1 칸막이부재로서의 핫플레이트(3) 및 그 반대면측인 상면측에 대향하는 제2 칸막이부재로서의 칸막이판(4)을 구비하고 있다.

열풍순환계(2)는 화살표로 표시하는 열풍이 흐르는 경로순으로, 가열기(21), 송풍기(22), 송기덕트(23), 중간의 풍동(24), 흡기덕트(25) 등으로 구성되어 있고, 기체로서의 공기를 소정온도로 예컨대 230℃ 정도의 워크(W)를 열처리하는 온도로 가열하여, 핫플레이트(3)의 외측인 도면에 있어서 하측 및 칸막이판(4)의 외측인 상측을 흐르고 있다. 더욱이, 열처리실(1)은 1단도 좋지만 처리능률을 올리기 위하여 본 예에서는 상하방향으로 4단으로 병렬설치되어 있고 최상단의 칸막이판은 공조실(5)과의 칸막이로 되어 있다.

열처리실(1) 및 열풍순환계(2)는 단열벽(6)으로 둘러싸여 밀폐된 용기형상을 이루는 본체(7) 내에 형성되어 있다. 열처리실(1)의 양측판(1a, 1b)은 핫플레이트(3)와 칸막이판(4)과의 간격부분을 폐쇄하고 있다. 또, 도시하지 않지만, 본체(7)의 전면부인 지면의 바로 앞측에는 단열문짝이 설치되어 있고, 그 각단의 워크(W)에 대응하는 위치에는 워크출입용의 개구부 및 이를 개폐하기 위한 이동문이 각 단마다 설치된다.

이와 같은 구성에 의하여, 열처리실(1)은 워크(W)의 반입/반출시 이외에는 폐쇄된 공간부를 형성하고, 열풍이 내부를 순환하지 않도록 되어 있다. 따라서, 통상 설치되는 고성능 필터는 불필요하여 설치되어 있지 않다. 워크(W)는 도시하지 않지만 핫플레이트(3)로부터 복수의 핀 등을 돌출시켜 적당한 높이위치에서 지지된다. 더욱이, 워크를 지지하기 위하여 핫플레이트(3)를 관통하는 상당수의 천공부를 설치하여 이들로부터 핀 등을 돌출시키도록 한 구조를 채용하는 경우에 있어서, 천공부를 통과하는 미량의 열풍과 함께 먼지 등이 열처리실(1)로 유입할 염려가 있어 이를 방지하여야 할 때에는 송기덕트(23) 부분을 넓혀, 이 부분에 고성능 필터를 장비하도록 하여도 좋다. 또 모든 기기의 운전조작이나 제어를 행하는 조작제어반도 적당한 위치에 설치된다. 상기 가열기(21)나 후술하는 브라인 가열기(82)의 온도제어 및 밸브류의 개폐제어 등도 이 조작제어반에서 행해진다.

핫플레이트(3)는 브라인에 의하여 가열 및 냉각되는 형식의 것이고, 적당한 두께를 가지며, 그 내부에는 브라인과 핫플레이트(3) 사이의 균일한 열교환을 가능하게 하는 열교환부로서의 회로형상 공간(31)이 설치되어 있다. 회로형상 공간(31)은 예를 들면 병렬로 가공된 다수의 직선관형 부분의 양단을 교대로 접속하여 평면코일형상으로 형성되어 있다. 또, 이 공간에 브라인을 흐르게 하기 위하여, 브라인을 가열하여 순환시키는 고온브라인 순환수단으로서의 고온브라인계(8)가 설치되어 있다.

브라인은 순환공기에 비하여 각 단에서 큰 열용량을 갖기 때문에, 워크에 의한 흡열이나 주위의 부재로의 다소의 열전달손실이 핫플레이트에 생기더라도, 이들의 영향을 거의 받는 일 없이 핫플레이트의 표면은 극히 정밀하고 안정된 온도분포를 형성한다. 본 예에서는 더욱이 상기 브라인을 냉각하여 순환시키는 저온브라인 순환수단으로서의 저온브라인계(9), 및 이 계와 고온브라인계(8) 중 어느 하나에 의하여 순환되는 브라인을 핫플레이트의 회로형상 공간(31)에 공급하도록 선택할 수 있는 선택수단이 설치되어 있다.

고온 및 저온브라인계(8 및 9)는 각각 브라인을 모으는 탱크(81 및 91), 브라인 가열기(82) 및 팬(92a)으로 공냉되는 브라인 냉각용 라디에이터(92), 펌프(83 및 93), 공급관(84 및 94), 귀환관(85 및 95), 온도센서(86 및 96), 이들로 검출한 브라인 온도가 소정온도로 되도록 조절하는 온도조절기(87 및 97) 등을 구비하고 있다.

또, 고온 및 저온브라인계(8 및 9)의 각각에 3방밸브(88 및 98), 각각의 밸브로부터 브라인을 핫플레이트(3)로 이송하기 전에 바이패스시켜 귀환시키는 바이패스관(89 및 99), 그리고 상기 귀환관 측의 밸브(85a 및 95a)가 설치되어 있다. 상기 밸브류는 자동변환 및 개폐식으로 되어 있고, 본 예에서는 이들 밸브가 핫플레이트(3)로의 공급 브라인을 변환시키는 선택수단을 구성한다. 부호 10은 전원이다.

이상과 같은 열처리장치는 다음과 같이 운전된다. 더욱이, 도 2는 설명의 편의상 도 1의 고온 및 저온브라인계의 공급측을 확대하여 도시한 도면이고, 본 예에서는 위로부터 4단으로 설치되어 있는 열처리장치(1)를 각각 1-1 내지 1-4로 하고, 이들에 대응하는 3방밸브를 각각 88-1∼4, 98-1∼4로 하고, 또 3방밸브의 출구 및 바이패스 출구에 각각 a 및 b를 붙여 표시하고, 본 도면을 참조하면서 설명한다.

우선, 워크(W)가 모든 열처리실(1) 내에 들어가 있고, 열처리되어야 할 온도범위의 중심적 온도로서 예컨대 230℃ 정도의 온도에 도달하고 있는 정상운전상태에서는, 열풍순환계(2)의 가열기(21) 및 송풍기(22)가 운전되어, 본체(7)의 내부에서는 상기 소정온도의 열풍이 순환되고 있다. 워크(W)는 핫플레이트(3) 상에서 이것으로부터 적당한 간격을 두고 지지되어 있다.

고저온브라인계(8,9)에서는 각각의 펌프나 가열기 및 라디에이터가 운전되고 있지만, 3방밸브(88 및 98)의 출구(88a 및 98a)는 닫히고 바이패스용 출구(88b 및 98b)는 열려, 고저온브라인은 각각 바이패스 귀환계를 통하여 순환하고 있다. 또, 핫플레이트(3)로부터의 귀환측 밸브(85a 및 95a)도 닫혀있다. 그 결과, 핫플레이트(3)의 회로형상 공간(31)에는 브라인이 정지한 상태에서 채워져 있다. 이와 같은 브라인으로서는 예를 들면 실리콘 오일계나 플로로카본계 등으로 이루어지는 액으로 끓는점이 열처리온도 이상인 적당한 고온용 브라인을 사용할 수가 있다.

더욱이, 본 예에서는 브라인의 공급측에 3방밸브(88, 98)를 사용하고 있으므로, 핫플레이트로의 브라인의 공급이 불필요할 때에도, 3방밸브를 변환하므로서 브라인계의 펌프나 가열기 등을 항상 운전시키도록 하고 있으므로, 운전제어가 용이하게 되는 동시에 가열된 바이패스 순환계의 브라인을 필요시에 조속히 공급할 수있는 이점이 있다.

상기와 같은 정상상태에서는, 핫플레이트(3)는 순환되는 열풍의 분위기 내에서 가열되고 있으므로, 그 온도분포가 균일하게 된다. 또, 열처리실(1)이 폐쇄된 공간으로 되어 있는 동시에 워크의 상면측의 칸막이판(4)도 순환하는 열풍의 환경하에 있기 때문에, 워크가 열처리실 내부로부터 칸막이판(4)을 통하여 상방으로 방열하는 일은 없다. 따라서, 열처리실(1) 내의 워크는 상하면으로부터 균일한 열의 공급을 받아, 무풍상태에서 균일하고 양호한 온도분포하에 열처리된다.

이와 같은 상태에서 워크가 열처리되어, 어느 하나의 단으로서 예를 들면 제1단의 열처리실 내의 워크(W1)가 소정의 열처리시간을 경과하면, 워크(W1)가 반출되고 대신에 새로운 워크가 들어가지만, 워크(W1)의 반출 전에 저온브라인계(9)가 작동한다. 즉, 열처리 시간이 경과하면, 3방밸브(98-1)의 출구(98-1a)는 열리고 바이패스용 출구(98-1b)는 닫히고, 다른 3방밸브(98-2 ∼ 4)에서는 각각의 출구(98-2a ∼ 4a) 및 바이패스 출구(98-2b ∼ 4b)가 함께 폐쇄되어, 귀환측의 밸브(95a) 중 제1단용의 것만이 열리게 된다.

그 결과, 이미 운전되고 있는 저온브라인계(9)의 브라인냉각용 라디에이터(92) 및 펌프(93)에 의하여, 제1단 핫플레이트의 회로형상 공간(31) 내에서 열처리온도로 되어 있는 고온브라인이 저온브라인계(9) 측에서 순환된다. 즉, 고온인 브라인이 펌프(93)에 의하여 순차로 공급관(94), 3방밸브(98-1)의 출구(98-1a), 제1단의 회로형상 공간(31), 제1단의 밸브(95a) 및 귀환관(95), 그리고 라디에이터(92)를 경유하여 탱크(91)로 귀환되어, 저온브라인계(9) 내에서 순환된다.

이와 같은 운전에 의하여, 고온브라인은 적당한 속도로 상온에 가까운 정도의 저온브라인이 되고, 이에 수반하여 핫플레이트(3)도 온도강하되고, 워크(W1)는 안전한 온도강하속도의 범위 내에서 신속하게 냉각되어, 상온에 가까운 정도의 적당한 온도가 된다. 이와 같이 워크(W1)의 제냉(除冷)이 완료되면, 저온브라인계에 의한 제1단 핫플레이트로의 브라인 순환을 정지시켜, 브라인을 바이패스 순환시키도록 각 밸브를 개폐시킨다. 더욱이, 본 발명에서는 핫플레이트를 가열하는 열매체로서 브라인을 사용하고 있으므로, 전기 가열식 핫플레이트와 같이 가열원인 전원을 차단할 뿐만 아니라 적극적으로 열매체를 냉각시킬 수 있으므로 이와 같은 워크의 제냉이 가능하게 된다.

제1단 워크의 열처리 및 제냉이 완료되면, 외부의 워크반송계에 설치되어 있는 로봇핸드 등에 의하여 워크(W1)를 반출하고, 새로운 워크를 반입한다. 이 경우, 워크(W1)가 제냉되어 있으므로, 대형의 워크일지라도, 외부에서 급냉되어 열충격으로 파손되는 것과 같은 사고가 확실히 방지된다. 더욱이, 저온브라인의 온도, 순환량, 워크와 핫플레이트와의 간격 등을 조정하므로서 워크의 냉각속도를 자유롭게 변화시켜, 제냉온도나 속도를 조절할 수가 있다. 소성 공정이 완료된 워크(W1)는 다음 공정으로 이송된다. 더욱이, 본체(7) 내에 다단으로 형성된 열처리실(1)의 주위가 폐쇄되어 있으므로, 제1단의 워크의 출입이 다른 단의 온도를 교란시키는 일은 없다.

열처리실(1) 내에 새로운 워크가 반입되면, 고온브라인계(8)의 3방밸브(88-1)의 출구(88-1a)는 열리고 바이패스용 출구(88-1b)는 닫히고, 다른 3방밸브(88-2 ∼ 4)에서는 각각의 출구(88-2a ∼ 4a) 및 바이패스용 출구(88-2b ∼ 4b)가 함께 폐쇄되어, 귀환측의 밸브(85a) 중 제1단용의 것만이 열리게 된다. 그리고, 이미 운전되고 있는 브라인 가열기(82) 및 펌프(83)에 의하여, 온도조절기(85)로 소정의 온도로 조절된 브라인이 제1단 핫플레이트의 회로형상 공간(31)에 순환 공급된다.

그 결과, 브라인 가열기(82)로 소정온도로 가열되어 있는 브라인이 펌프(83)에 의하여 순차로 공급관(84), 3방밸브(88-1)의 출구(88-1a), 제1단의 회로형상 공간(31), 제1단의 밸브(85a) 및 귀환관(85)을 경유하여 탱크(81)로 귀환, 저온브라인과 치환되어 핫플레이트(3)를 순환하는 브라인 온도까지 신속히 가열된다. 이 경우, 브라인이 가열되는 소정온도는 상기 열처리의 중심적 온도인 230℃ 정도로도 좋지만, 이것보다 높이, 워크의 열처리온도로서 허용되는 한계에 가까운 온도로 설정하는 것이 바람직하다. 더욱이, 열처리실(1)의 주위에는 계속하여 열풍이 순환되고, 그 내부는 열처리온도로 유지되어 있다.

이와 같은 가열조건에 의하여 새로이 반입된 워크는 균일한 온도분포하에서 신속히 가열되어 열처리온도에 도달한다. 즉, 브라인은 액체이기 때문에 열풍에 비하여 충분히 큰 열용량을 가지므로 핫플레이트에 열을 부여하더라도 그 회로형상 공간(31)의 입구와 출구에서 큰 온도차가 생기지 않고, 또 핫플레이트 자체도 큰 열용량을 가지므로 그 표면온도가 균일한 상태를 유지하면서 워크를 가열할 수 있다. 따라서, 워크 승온시의 온도분포가 극히 양호하게 된다. 또, 워크를 신속히 승온시킬 수가 있다.

더욱이, 열처리실의 주위가 열풍순환계로부터 열을 공급받아, 그 내부는 고온상태로 유지되어 있으므로 고온분위기에 의해서도 워크의 온도가 균일화된다. 따라서, 열용량이 큰 핫플레이트 주체의 가열과 고온분위기에 의한 가열의 병용에 의하여, 종래의 단순한 핫플레이트 가열보다도 한층 더 온도분포가 좋아지고, 승온속도도 빨라진다.

순환하는 브라인온도를 열처리온도보다 높게 하는 경우에는, 핫플레이트(3)의 온도도 그것에 대응하여 높아지고, 워크가 열처리 온도에 접근하였을 때의 핫플레이트와 워크 사이의 필요한 온도차를 얻을 수가 있다. 그 결과, 통상 승온도달에 접근하고 나서 승온도달까지에 요하는 긴시간을 대폭 단축할 수 있다. 그 결과, 더욱 더 승온시간을 단축하여 열처리 능률을 올릴 수가 있다.

워크가 열처리 온도에 도달하면, 고온브라인계에 의한 제1단의 핫플레이트로의 브라인의 순환을 정지시키고, 브라인을 바이패스 순환시키도록 각 밸브가 개폐된다. 브라인 온도를 열처리 온도보다 높게 하는 경우에는, 워크가 열처리 온도에 도달하기 조금 전인, 열처리 가능한 하한온도에 도달할 즈음의 시기에, 핫플레이트로의 고온브라인의 순환 공급을 정지시키는 것이 바람직하다. 이로서, 워크가 열처리온도 이상의 온도로 되는 것이 방지된다. 브라인의 가열 정지후에는, 이미 설명한 바와 같이 핫플레이트는 열풍에 의하여 가열되고, 이로서 워크가 균일하게 가열된다.

제1단의 열처리실의 워크의 열처리가 완료된 후, 제2단 및 그 후 일정한 시간 간격으로 다른 단의 워크의 열처리시간이 경과되면, 제1단의 경우와 같이 워크의 반입/반출이 행해진다. 따라서, 본 예와 같이 열처리실을 다단으로 설치하면 열처리능률이 좋아진다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 청구항 1의 발명에 있어서는, 물품을 열처리하기 위한 열처리실은 물품이 들어갔을 때에 그의 일면측 및 반대면측에 각각 대향하는 제1 칸막이부재 및 제2 칸막이부재를 구비하고 있으므로, 각각의 칸막이 부재가 물품보다 높은 온도로 되면, 칸막이부재의 표면으로부터 전달되는 열에 의하여 물품을 가열할 수 있다. 그리고, 기체를 소정온도로 가열하여 각각의 칸막이 부재의 외측을 흐르는 가열기체 순환수단이 설치되어 있으므로, 그 수단을 작동시키므로서, 칸막이부재를 외측으로부터 가열하고, 그 온도를 소정온도로 할 수가 있다. 그 결과, 칸막이부재의 표면으로부터 평판형상 물품의 양면에 열이 공급되고, 물품은 소정온도로 가열되어 열처리된다.

이와 같은 수단으로 물품을 가열하면, 종래의 열풍순환식 장치와 같이 물품에 직접 열풍을 흐르게 할 필요가 없으므로, 물품을 무풍상태에서 가열할 수 있어 극히 양호한 소성품질을 얻을 수가 있다. 그리고 이 경우, 물품은 칸막이부재라는 열 보유체를 통하여 가열되므로 물품의 가열 조건이 균일화되고, 대형의 물품을 승온시킬 때에도 온도분포차가 거의 발생하지 않는다. 더욱이, 이와 같은 간접 가열방식에 의하면, 물품의 승온속도가 느리게 되지만, 칸막이 부재에 적당한 두께를 갖게 하여 열용량을 크게 하거나, 그 재료를 열전도율이 좋은 것으로 하는 등의 방법은 용이하기 때문에, 그와 같이 하면 열전달성을 향상시켜 적당한 승온속도를 유지하면서 물품을 양호하게 가열할 수가 있다.

청구항 2의 발명에 있어서는, 브라인을 가열하여 순환시키는 고온브라인 순환수단을 설치하는 동시에 제1 칸막이부재에 열교환부를 설치하여 브라인과 제1 칸막이부재 사이의 열교환을 가능하게 하므로, 브라인에 의하여 제1 칸막이부재를 가열할 수가 있다. 그 결과, 열교환효율 및 열교환량을 대폭 증대시켜, 제1 칸막이부재의 승온속도를 빠르게 하고, 물품의 승온속도를 빠르게 하여 열처리능률을 올릴 수가 있다.

또, 제1 칸막이부재의 가열용 열매체로서 액체인 브라인을 사용하므로, 그 열용량이 크기 때문에, 제1 칸막이부재가 물품에 열을 부여하더라도 그 표면의 균일한 온도분포를 유지할 수 있고, 따라서 물품의 온도분포를 좋게 할 수가 있다. 더욱이 열매체인 브라인의 온도를 적극적으로 내리므로서, 일정한 열용량을 가지는 제1 칸막이부재의 온도를 조속히 내릴 수 있는 것이 가능하게 된다.

청구항 3의 발명에 있어서는, 브라인을 냉각하여 순환시키는 저온브라인 순환수단과, 저온브라인 순환수단과 고온브라인 순환수단 중 어느 하나로 순환되는 브라인을 제1 칸막이부재에 공급하도록 선택할 수 있는 선택수단을 설치하므로, 물품의 열처리를 완료하였을 때에, 저온브라인 순환수단으로 제1 칸막이부재에 저온브라인을 순환시키므로서, 물품을 적당한 속도로 온도강하시켜, 열처리실로부터 반출하였을 때에 물품과 외부환경과의 온도차를 감소시켜, 서냉효과에 의하여 물품의 온도충격에 의한 파손을 방지할 수가 있다.

Claims (3)

1. 평판형상의 물품(W)을 열처리하는 열처리장치에 있어서,

   상기 물품(W)을 열처리하기 위한 열처리실(1)로서 상기 물품(W)이 들어갔을 때에 그 물품(W)의 일면측에 대향하는 제1 칸막이부재(3) 및 상기 물품(W)의 반대면측에 대향하는 제2 칸막이부재(4)를 구비한 열처리실(1)과, 기체를 소정온도로 가열하여 상기 제1 칸막이부재(3)의 외측 및 상기 제2 칸막이부재(4)의 외측으로 흐르게하는 가열기체 순환수단(2)을 가지는 것을 특징으로 하는 열처리장치.
2. 제 1 항에 있어서, 브라인을 가열하여 순환시키는 고온브라인 순환수단(8)과, 상기 브라인과 상기 제1 칸막이부재(3) 사이의 열교환을 가능하게 하도록 상기 제1 칸막이부재(3)에 설치된 열교환부(31)를 가지는 것을 특징으로 하는 열처리장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 브라인을 냉각하여 순환시키는 저온브라인 순환수단(9)과, 그 저온브라인 순환수단(9)과 상기 고온브라인 순환수단(8) 중 어느 하나로 순환되는 브라인을 상기 열교환부(31)에 공급하도록 선택할 수 있는 선택수단을 가지는 것을 특징으로 하는 열처리장치.