KR100337571B1 - 스프링 실린더를 갖는 모듈아이씨 테스터 도킹장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 테스트를 위해 히팅챔버로부터 테스트챔버로 이송되어온 캐리어에 담긴 모듈IC에 대한 테스트 장비인 DUT와의 도킹 및 도킹해제시 별도 구동되는 스프링 실린더에 의해 모듈IC가 담긴 캐리어에 적당한 힘으로 반발력이 작용하게 하여 모듈IC와 DUT 와의 도킹 및 도킹 해제시 캐리어 및 모듈IC에 대한 충격 발생을 미연에 방지함으로써 보다 정확하고 효율적인 테스트가 이루어질 수 있도록 한 것으로, 생산완료된 모듈IC(m)의 테스트를 위해 다수의 모듈IC(m)가 내부에 설치된 캐리어(1)가 위치되며 지지봉(51)에 의해 안내이동되는 캐리어가이드(2)의 타측에는 소켓(31)을 갖는 DUT를 위치시키고, 상기 캐리어가이드(2)의 일측에는, 서보모터(4)와 동력전달수단(43)에 의해 연결된 스크류봉(41)의 정·역회전에 의해 너트봉(42)이 이동되도록 설치하며, 상기 너트봉(42)에는, 캐리어(1)내부의 모듈IC(m)를 밀어 DUT(3)의 소켓(31)의 소켓(31)에 삽입시키는 푸셔(6)가 선단에 설치된 채 상기 지지봉(51)에 의해지지, 안내 이동되는 작동구(5)를 설치하여서 되는 모듈IC 테스터 도킹장치(A)에 있어서, 상기 캐리어가이드(2)의 일측면에는, 상기 작동구(5)의 일단을 관통하여 스프링실린더(7)의 작동로드(71)선단을 연결, 부착하는 한편, 상기 캐리어가이드(2) 일측면에는, 작동구(5)를 관통하여 그 일단이 돌출되어 스토퍼(81)가 설치된 안내봉(8)을 설치하여서 되는 것을 특징으로 하는 스프링 실린더를 갖는 모듈IC 테스터 도킹장치이다.

Description

스프링 실린더를 갖는 모듈아이씨 테스터 도킹장치{Docking apparatus for module IC tester}

본 발명은 스프링실린더를 갖는 모듈IC 테스터 도킹(docking)장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 테스트를 위해 히팅챔버로부터 테스트챔버로 이송되어온 캐리어에 담긴 모듈IC에 대한 테스트 장비인 DUT와의 도킹 및 도킹해제시 별도 구동되는 스프링 실린더에 의해 모듈IC가 담긴 캐리어에 적당한 힘으로 반발력이 작용하게 하여 모듈IC와 DUT 와의 도킹 및 도킹 해제시 캐리어 및 모듈IC에 대한 충격 발생을 미연에 방지함으로써 보다 정확하고 효율적인 테스트가 이루어질 수 있도록 한 것이다.

일반적으로 기판의 일측면이나 또는 양측면에 복수개의 IC 및 부품을 고정하여 독립적으로 회로를 구성하여서 되는 모듈IC는 메인 기판에 실장하여 용량이나 또는 기능을 확장시키는 기능을 갖는 것으로, 이들 모듈IC는 생산 완료된 각각의 IC를 낱개로 판매하는 것보다 고부가가치를 갖게되므로 IC생산업체에서는 주력상품으로 개발하여 판매하고 있는 실정이다.

순차적으로 제조공정을 거쳐 조립 생산된 고부가가치를 갖는 모듈IC는, 그 가격이 고가이므로 인해 제품의 신뢰도 또한 매우 중요하여 엄격한 품질테스트를 거치게 되는 것인바, 그 결과 양품(良品)으로 판정된 제품만을 하나의 완제품으로서 출하하고 테스트결과 불량으로 판정된 모듈IC는 별도로 모아 수정 작업을 거쳐 재차 테스트를 거치거나 또는 전량 폐기 처분하게 된다.

이와같이 생산된 고부가가치의 모듈IC에 대한 양·불량테스트를 위해서는 생산완료된 모듈IC 다수개를 하나의 단위로 하여, 이 단위 모듈IC를 캐리어내에 삽입되게 한 상태에서, 상기 캐리어를 테스트를 위한 챔버내부에서 순차, 이송시켜가며 모듈IC에 대한 목적한 테스트가 이루어지도록 하는 것이었다.

특히, 다수개의 모듈IC를 하나의 단위로 하여 내부를 순차 이송되게 하면서 소정의 테스트가 이루어지도록 하는 상기 챔버는, 통상 모듈IC를 특정온도분위기하에서 측정하기 위해 테스트조건에 알맞은 온도로 히팅이 이루어지게 하는 히팅챔버(soak chamber)와, 히팅된 모듈IC에 대해 테스트가 이루어지도록 하는 테스트챔버(test chamber)로 구분 구성되어, 단위모듈IC가 별도의 캐리어에 담겨진 채, 챔버내부에서 이송되게 하여 목적한 테스트가 이루어지도록 하고 있는 것이었다.

이와같이 히팅챔버에서 순차적으로 테스트조건에 적합한 온도로 히팅이 이루어진 캐리어는, 각각 별도의 캐리어 이송장치에 의해 히팅챔버로부터 테스트챔버로 순차적으로 보내지게 되고 이렇게 테스트챔버로 보내진 캐리어내의 모듈IC의 도킹장치에 의해 DUT와 도킹되면서 최종적인 테스트공정을 거치게 되는 것이었다.

그러나 상기 테스트챔버내로 이송되어진 캐리어내의 모듈IC에 대한 테스트를 위해 테스트장비인 DUT의 소켓에 모듈IC를 도킹시키기 위한 지금까지의 도킹장치는, 테스트챔버내로 이송되어온 캐리어를 캐리어 가이드내에 위치되게 한 상태에서 서보모터의 구동에 의한 스크류봉의 회전에 의해 너트봉이 전후진하도록 하는 것에 의해 상기 너트봉일측에 설치된 작동구가 푸셔(pusher)를 밀게 하여 이 푸셔로 하여금 테스트를 위해 히팅챔버로부터 테스트챔버내로 이송되어온 캐리어내의 단위 모듈IC를 그대로 밀어 테스트장비인 DUT 소켓이 모듈IC가 삽입되어 일정시간동안 테스트가 이루어지도록 한 후 다시 모듈IC가 DUT 소켓으로부터 분리 이탈되도록 하여 모듈IC에 대한 목적한 테스트를 마칠 수 있게 한 것이었다.

그러나 상기와 같이 모듈IC가 담긴 캐리어를 테스트챔버내의 캐리어가이드내에 위치되게 한 상태에서 푸셔로서 모듈IC를 밀어 DUT와 도킹이 되도록 한 종래의 도킹장치는, 단순히 모듈IC를 일측에서 밀어 DUT 소켓에 삽입되도록 하고만 있는것일뿐 캐리어 가이드내에 위치된 채 테스트를 마친 테스트 장비인 캐리어가 앞서와는 반대방향으로 이동함에 따라 DUT 소켓으로부터 모듈IC가 분리 이탈될 때를 위한 어떠한 충격흡수수단도 마련되어 있지 않고 단순히 스프링과 스토퍼에 의해 테스트를 마친 모듈IC가 담긴 캐리어에 대한 충격흡수 또는 충격완화가 이루어지도록 하는 것이어서 모듈IC가 담긴 캐리어가 DUT 소켓으로부터 분리, 이탈되는 과정에서 튕겨져 나오면서 그 자세를 가지런하게 유지할 수 없게 되는데 따른 모듈IC에 대한 손상우려와 함께 이송되어온 다음 캐리어에 대한 진입에 지장을 초래하게 되는 등 후공정의 진행에 차질을 초래할 우려가 있어 그만큼 생산 완료된 모듈IC에 대한 테스트 효율이 저하되게 되는 문제가 있는 것이었다.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같이 테스트 완료된 모듈IC가 테스트 완료된 모듈IC가 테스트 장비인 DUT 소켓으로부터 아무런 완충장치를 거치지 않고 그대로 분리 이탈되게 되는데 따라 발생되는 제반 문제점을 해결하기 위하여 생산 완료된 모듈IC의 테스트를 위해 테스트 챔버내부로 이송되는 캐리어를 캐리어가이드내에 위치되게 한 상태에서 작동구를 작동시켜 푸셔로서 밀어 모듈IC가 DUT 소켓에 도킹되도록 하되, 상기 캐리어가이드에는 작동구의 작동방향과는 반대방향으로 작동되는 스프링 실린더의 작동로드를 상기 작동구를 관통하여 연결 설치함으로써 테스트를 마친 모듈IC가 작동구에 의한 캐리어가이드의 작동에 의해 DUT 소켓으로부터 분리, 이탈될 때 스프링 실린더의 반력에 의해 DUT 소켓으로부터 서서히 부드럽게 분리, 이탈되도록 함으로써 모듈IC가 담겨진 캐리어에 대한 충격발생이 전혀 없도록 하여 캐리어 및 이 캐리어에 담긴 모듈IC에 대한 가지런한 자세 유지가 가능하게 함으로써 후 공정의 진행이 원활하고 신속하게 이루어져 그 만큼 반도체의 생산효율을 높일 수 있도록 한 스프링 실린더를 갖는 모듈IC 테스트 도킹 장치를 제공함에 있다.

도 1은 본 발명에 의한 도킹 장치의 측면도.

도 2 내지 도 5는 본 발명에 의한 도킹 장치의 작동상태도.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

m : 모듈IC 1 : 캐리어 2 : 캐리어가이드

3 : DUT 4 : 서보모터 5 : 작동구

6 : 푸셔 7 : 스프링 실린더 8 : 안내봉

31 : 소켓 41 : 스크류봉 42 : 너트봉

43 : 동력전달수단 51 : 지지봉 71 : 작동로드

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 스프링실린더를 갖는 모듈IC 테스트 도킹 장치는, 생산 완료된 모듈IC(m)의 테스트를 위해 다수의 모듈IC(m)가 내부에 설치된 캐리어(1)가 위치되며 지지봉(51)에 의해 안내 이동되는 캐리어가이드(2)의 타측에는 소켓(31)을 갖는 DUT를 위치시키고, 상기 캐리어가이드(2)의 일측에는, 서보모터(4)와 동력전달수단(43)에 의해 연결된 스크류봉(41)의 정·역회전에 의해 너트봉(42)이 이동되도록 설치하며, 상기 너트봉(42)에는, 캐리어(1)내부의 모듈IC(m)를 밀어 DUT(3)의 소켓(31)의 소켓(31)에 삽입시키는 푸셔(6)가 선단에 설치된 채 상기 지지봉(51)에 의해지지, 안내 이동되는 작동구(5)를 설치하여서 되는 모듈IC 테스터 도킹장치(A)에 있어서,

상기 캐리어가이드(2)의 일측면에는, 상기 작동구(5)의 일단을 관통하여 스프링실린더(7)의 작동로드(71)선단을 연결, 부착하는 한편, 상기 캐리어가이드(2) 일측면에는, 작동구(5)를 관통하여 그 일단이 돌출되어 스토퍼(81)가 설치된 안내봉(8)을 설치하여서 되는 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명의 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 의한 스프링 실린더를 갖는 모듈IC 테스트 도킹장치의 구성을 나타내는 측면도이고, 도 2 내지 도 4는 본 발명에 의한 스프링 실린더를 갖는 모듈IC 테스터 도킹장치의 작동상태를 나타내는 설명도로서, 그 구성은 스프링실린더(7)와 안내봉(8)으로 이루어진다.

상기한 스프링실린더(7)는 기존에 설치 사용되고 있는 공지의 도킹장치를 이루는 작동구(5)의 일측에 설치되는 것으로, 상기 스프링실린더(7)의 작동로드(71)는 상기 작동구(5)의 일단을 부시(52)를 개재하여 관통하여 그 선단이 캐리어가이드(2)의 일측면에 부착 설치되어 스프링실린더(7)의 작동력이 작동로드(71)를 개재하여 내부에 캐리어(1)가 위치된 캐리어가이드(2)에 전달되도록 하고 있다.

상기한 안내봉(8)은 그 타단을 상기 캐리어가이드(2)의 일측면에 부착설치하고 그 선단부는 작동구(5)의 일단을 관통하여 일정길이 돌출 되도록 하되, 그 돌출부에 스토퍼(81)를 설치하여 작동구(5)의 후퇴작동시 캐리어가이드(2)에 부착 설치된 안내봉선단의 스토퍼(81)의 존재에 의해 캐리어가이드(2)도 함께 이동되도록 하고 있다.

상기와 같은 구성으로 되는 본 발명에 의한 스프링실린더를 갖는 모듈IC 테스터 도킹장치 실시작동상태에 대하여 설명한다.

생산 완료된 다수의 모듈IC(m)를 내부에 삽입한 상태로 히팅챔버를 거치면서 테스트조건에 맞는 온도를 히팅된 캐리어(1)가 테스트 챔버의 캐리어가이드(2)내로 이송되어 위치되게 되면, 먼저 서보모터(4)가 작동하게 되고 이 서보모터(4)의 회전력을 동력전달수단(43)에 의해 스크류봉(42)에 전달되어 스크류봉(42)을 회전시키게 됨에 따라 이 스크류봉(42)에 체결된 나사봉(42)은 스크류봉(42)을 타고 수평 이동되게 된다.

이와같이 서보모터(4)의 작동에 의해 나사봉(42)이 이동하게 됨에 따라 이 나사봉(42)에 연결된 작동구(5)가 지지봉(51)에 의해 안내되는 상태로 이동하게 되고, 이 작동구(5)의 이동에 따라 작동구(5)선단에 설치된 푸셔(6)는 캐리어가이드(2)내에 위치된 캐리어(1)내부에 삽입된 다수의 모듈IC(m)를 DUT(3)의 소켓(31)측을 그대로 밀게 됨에 따라 다수의 모듈IC(m)는 캐리어(1)에 그대로 삽입된 채 캐리어(1) 및 캐리어가이드(2)와 함께 DUT(3)측으로 이동하면서 그 일단의 접접부가 DUT(3)의 소켓(31)에 그대로 삽입되어 일정시간 동안 소정의 테스트 공정을 거치게 되는 것으로, 상기 푸셔(6)에 의한 모듈IC(m)에 가해지는 미는 힘을 모듈IC(m)를 거쳐 모듈IC(m)가 꽂힌 캐리어(1)에 그대로 전달되고, 다시 캐리어(1)에 전달된 푸셔(6)의 미는 힘을 캐리어(1)를 거쳐 캐리어가이드(2)에 전달되는 식으로 하여 모듈IC(m)와 캐리어(1) 및 캐리어가이드(2)가 함께 DUT(3)측으로 이동되면서 모듈IC(m)로 하여금 DUT(3)의 소켓(31)에 삽입되도록 하고 있다.

이때 상기 캐리어가이드(2)의 일측면(DUT측 반대편)에는, 스프링실린더(7)의 작동로드(71)선단이 작동구(5)일측을 관통하여 부착 설치되고, 그 일측에는 그 일단이 작동구(5) 일측을 관통하여 돌출부에 스토퍼(81)를 설치한 안내봉(8)의 타단을 부착설치하고 있는 것으로,

상기 푸셔(6)의 이동에 따라 캐리어가이드(2)가 DUT(3)측으로 이동하게 되면스프링실린더(4)는 작동로드(71)를 당기는 방향인 푸셔(6)의 진행방향과는 반대방향으로 작동하면서 캐리어가이드(2)에 대해 적당한 반발력을 부여한 채 캐리어가이드(2)가 DUT(3)측으로 이동되게 한다.

상기와 같이 DUT(3)의 소켓(31)에 그 접접부가 삽입된 상태로 모듈IC(m)의 테스트를 마치게 되면, 모듈IC(m)를 캐리어(1)와 함께 이동시켜 DUT(3)의 소켓(31)으로 분리, 이탈 시켜야 하는 것인바,

먼저 앞서와는 반대방향으로 서보모터(4)가 역회전하게 됨에 따라 스크류봉(41)에 체결된 나사봉(42)역시 역회전하면서 이 나사봉(42)에 연결 고정된 작동구(5)로 하여금 DUT(3)로부터 분리되는 방향, 즉 당기는 방향으로 이동하게 되는데, 이렇게 상기 작동구(5)가 당기는 방향으로 이동하게 되면 작동구(5)의 당기는 힘은 작동구(5)일측을 관통하여 캐리어가이드(2)에 연결된 안내봉(8) 선단의 스토퍼(81)에 걸리게 되고, 스토퍼(81)에 작동구(5)의 당기는 힘이 걸리게 됨에 따라 스토퍼(81)가 설치된 안내봉(8)이 부착 설치된 캐리어가이드(2)를 당기게 되고, 이렇게 캐리어가이드(2)가 당겨지게 됨에 따라 그 내부에 위치된 캐리어(1)가 당겨지면서 DUT(3)의 소켓(31)에 일단이 삽입된 상태인 모듈IC(m)는 소켓(31)으로 분리, 이탈되게 되어 후공정으로 보내지게 된다.

이때 상기 캐리어가이드(2)가 안내봉(8)에 의해 당겨지는 과정에서 DUT(3)의 소켓(31)에 끼워졌던 모듈IC(m)가 순간적으로 빠져나오면서 캐리어가이드(2)가 과도하게 이동되면서 캐리어(1) 및 모듈IC(m)가 튕겨져 나오는 것을 방지하기 위해, 상기 캐리어가이드(2)가 작동구(5)에 의해 당겨지기 시작함과 동시에스프링실린더(4)가 캐리어가이드(2)를 DUT(3)측으로 미는 방향으로 작동로드(71)를 작동시켜 캐리어가이드(2)를 적당한 힘으로 DUT(3)측으로 밀게 되면, 이 미는 힘은 스토퍼(81)에 의해 작동구(5)의 당기는 힘을 전달받아 이동되는 캐리어가이드(2)에 대해 반력으로 작용하여 모듈IC(m)가 순간적으로 DUT(3)의 소켓(31)으로부터 분리, 이탈되는 과정에서 캐리어가이드(2)가 설정된 거리이상으로 당겨져 이동되는 것을 막고 캐리어가이드(2)내에 위치된 캐리어(1) 및 캐리어(1)내의 모듈IC(m)의 위치 및 자세를 정위치, 정자세를 유지할 수 있게 된다.

이와같이 캐리어가이드(2)가 DUT(3)측을 밀려 이동할때는 캐리어가이드(2)를 당기는 방향으로, 캐리어가이드(2)가 DUT(3)측으로부터 당겨져 이동 할 때는 캐리어가이드(2)를 미는 방향으로 각각 작동로드(71)가 작동하도록 피스톤실린더(7)가 작동되게 함으로써 캐리어가이드(2)가 항상 정위치를 유지할 수 있게 하여 캐리어가이드(2)내에 위치된 캐리어(1) 및 캐리어(1)내의 모듈IC(m)에 대한 자세를 일정하게 유지하여 보다 원만한 정확하게 후 공정이 이루어질 수 있게 된다.

이상에서와 같이 본 발명은 비록 상기의 실시예에 한하여 설명하였지만 반드시 여기에만 한정되는 것은 아니며 본 발명의 범주와 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변형실시가 가능함은 물론이다.

이상의 설명에서 분명히 알 수 있듯이, 본 발명의 스프링실린더를 갖는 모듈IC 테스트 도킹장치에 의하면, 생산 완료된 모듈IC의 테스트를 위해 모듈IC가 캐리어에 삽입된 채 캐리어가이드의 이동에 의해 DUT의 소켓에 삽입된 상태에서DUT의 소켓으로부터 분리, 이탈되는 과정에서 별도 작동되는 스프링실린더가 캐리어가이드에 반발력에 부여함으로써 순간적으로 당겨지는 힘에 의해 캐리어가이드가 설정된 거리이상으로 과이동되는 것을 막을 수 있게 함으로써, 캐리어가이드와, 이 캐리어가이드내에 위치하는 캐리어 및 캐리어 내에 삽입된 다수의 모듈IC에 대해 충격발생없이 항상 정자세 및 정위치를 유지할 수 있게 되어 생산 완료된 모듈IC에 대한 테스트 효율을 높여 반도체 생산성을 높일 수 있게 되는 등의 유용한 효과를 제공한다.

Claims (1)

1. 생산완료된 모듈IC(m)의 테스트를 위해 다수의 모듈IC(m)가 내부에 설치된 캐리어(1)가 위치되며 지지봉(51)에 의해 안내이동되는 캐리어가이드(2)의 타측에는 소켓(31)을 갖는 DUT를 위치시키고, 상기 캐리어가이드(2)의 일측에는, 서보모터(4)와 동력전달수단(43)에 의해 연결된 스크류봉(41)의 정·역회전에 의해 너트봉(42)이 이동되도록 설치하며, 상기 너트봉(42)에는, 캐리어(1)내부의 모듈IC(m)를 밀어 DUT(3)의 소켓(31)에 삽입시키는 푸셔(6)가 선단에 설치된 채 상기 지지봉(51)에 의해지지, 안내이동되는 작동구(5)를 설치하여서 되는 모듈IC 테스터 도킹장치(A)에 있어서,

   상기 캐리어가이드(2)의 일측면에는, 상기 작동구(5)의 일단을 관통하여 스프링실린더(7)의 작동로드(71)선단을 연결, 부착하는 한편, 상기 캐리어가이드(2) 일측면에는, 작동구(5)를 관통하여 그 일단이 돌출되어 스토퍼(81)가 설치된 안내봉(8)을 설치하여서 되는 것을 특징을 하는 스프링 실린더를 갖는 모듈아이씨 테스터 도킹장치.