KR100280885B1 - 평판디스플레이용진공도측정장치및방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 패널(FPD)의 진공도를 측정하기 위한 진공도 측정장치 및 방법에 관한 것이다.

본 발명의 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치는 화소셀들 사이에 설치되어 변위량에 따른 저항값의 변화에 의하여 상기 화소셀들의 진공도를 측정하게 된다.

본 발명에 의하면, 평판 디스플레이 패널에 있어서 다이어프레임 물질 또는 압전물질을 이용하여 진공도를 효과적으로 측정할 수 있다.

Description

평판 디스플레이용 진공도 측정 장치 및 방법(Apparatus For Measuring Vacuum and Methodes Thereof in Flat Display Panel)

본 발명은 진공도를 측정하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히 평판 디스 플레이(FPD)의 진공도를 측정하기 위한 진공도 측정장치에 관한 것이다.

최근 들어, 맨-머신 인터페이스(Man-Machine Intertace)의 주요한 역할을 담당하는 디스플레이 장치로써, 기존의 음극선관(CRT)의 과도한 부피·중량 문제를 해결하여 경박화될 수 있을 뿐만 아니라 액정디스플레이(LCD) 장치의 시야각이나 휘도에 따르는 문제점을 해결할 수 있는 전계방출 디스플레이(Field Emission Display : 이하 "FED"라 함)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. FED는 저해상도에서 고해상도까지 노트북 PC나 프로젝션 TV 등을 포함하여 소형/대형의 거의 모든 디스플레이로의 응용이 가능하다. FED는 음극선관과 같이 전자선 여기 형광체 발광을 이용하는 것으로 첨예한 음극(즉, 에미터)에 고전계를 집중해 양자역학적인 터널(Tunnel) 효과에 의하여 전자를 방출하는 냉음극을 이용하고 있다. 음극으로부터 방출된 전자는 양극(에노드 : Anode) 및 음극(Cathod)간의 전압으로 가속되어 양극에 형성된 형광체막에 충돌 및 여기시키게 된다. 이러한 FED는 화소셀들 내부의 공간이 진공으로 차폐되어 있다. 도 1은 FED의 표시패널을 종단면도로 도시한 것으로, 하부 유리기판(2) 상에 형성된 전계방출 이미터 어래이(4)와, 전계방출 이미터 어래이(4)로부터 수직으로 형성된 격벽(8)과, 상부 유리기판(10)에 형성된 블랙 매트릭스(14)와, 블랙 매트릭스(14) 사이에 단차를 이루며 형성된 형광체(12)와, 형광체(12)와 블랙 매트릭스(14) 표면에 균일한 두께로 형성된 알루미늄 반사막(16)과, 이미터 어래이(4) 상에 배치되어 내부공간에 잔류하는 가스성분을 흡수하여 고진공 상태를 유지시키기 위한 게터(Getter)(18)를 구비한다. 전계방출 이미터 어래이(4)는 복수 개의 수십μm×수십μm의 이미터 소자로 이루어져 있다. 하부 유리기판(2)과 상부 유리기판(10)은 화소셀들을 밀봉하기 위한 측벽(6)과 가용성 유리 실(Glass Seal)(20)에 의해 부착된다. 이러한 FED는 전계 방출 효율을 일정한 수준으로 유지하기 위해서 적어도 10^-7torr 정도의 높은 진공도를 요구하고 있다.

FED와 함께 차세대 표시장치로 주목 받는 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 "PDP"라 함)은 He+Xe 또는 Ne+Xe 가스의 방전시 발생하는 147nm의 자외선이 형광체를 여기시켜 발생하는 빛을 이용하여 문자 또는 그래픽을 표시하는 디스플레이로서 박막화와 대형화가 용이한 장점을 갖는다. 이 PDP의 표시패널은 FED와 마찬가지로 매트릭스 형태로 배열된 화소들로 이루어지고, 각 화소셀들은 적녹청의 색신호를 발생하기 위한 적녹청 3개의 서브셀로 조합된다.

PDP는 상부 유리기판(24)에 배치된 공통전극 및 주사전극(26)과, 공통전극 및 주사전극(26)위에 피복되어져 전하를 축적하기 위한 제1 유전체층(32)과, 제1 유전체층(32) 표면에 도포되어진 MgO 보호막(28)과, 형광체(38)가 도포된 하부 유리기판(22) 상에 배치된 어드레스 전극(36)과, 하부 유리기판(22)과 어드레스 전극(36) 표면에 피복되어진 제2 유전체층(34)과, 하부 유리기판(22)에서 수직으로 신장되는 격벽(30)으로 이루어진다. 격벽(10)은 상하부 유리기판(22,24) 사이에 방전거리를 유지함과 아울러, 인접한 화소셀 또는 서브셀 간의 전기적, 광학적 상호혼신(Crosstalk)을 방지하는 역할을 한다. 이를 위하여, 격벽(30)은 글래스-세라믹스(Glass-Ceramics) 재료로 이루어지고 폭은 대략 100μm, 높이는 150 μm 내외로 설계된다. 이와 같은 FED와 PDP에 있어서, 전계 방출 효율과 방전 효율을 일정 수준 이상으로 유지하기 위해서는 화소셀들 내부의 진공도가 일정 수준 이상 확보되어야 한다. 이들 화소셀들의 진공도는 제작과정에서의 진공도와 일치한다고 간주할 수 있다. 현재, FED에서의 진공도 측정은 전체 패널을 완성한 다음, 패널 일측 끝부분에 진공을 뽑기 위한 진공인출용홀을 형성하여 패널에서 진공을 뽑으면서 진공인출용홀에 연결된 진공 계측기에서 직접적으로 진공을 측정하게 된다. 그러나 진공계측기에서 측정된 진공도 측정치는 화소셀안의 실제 진공도와는 상당한 차이가 있다. 이를 일반적인 콘덕턴스(Conductance) 개념으로 설명하면 도 3에서 공기 흐름 경로의 직경이 D이고 그 길이가 L일 때 콘덕턴스 C=D³/L가 된다. 따라서, FED나 PDP와 같이 화소셀들이 서로 격벽으로 분리되어 있는 경우 D가 극히 작게 되므로 공기의 흐름이 방해를 받게 된다. 즉, D가 3승에 비례하기 때문에 콘덕턴스 C는 급격히 줄어들게 된다. 도 3에서 D1과 L1은 화소셀로부터 인출되는 공기 흐름경로를 나타내고 D2와 L2는 진공인출용홀의 직경 및 길이를 나타낸다. 실제, FED의 진공도 측정은 직렬측정 방법으로 사용된다. 이 경우, 콘덕턴스 C=C1+C2+ ,... +Cn이 된다. 병렬측정 방법의 경우에서 콘덕턴스 는 1/C = (1/C1) + (1/C2) ,..., (1/Cn)이 된다. 이에 따라, 미세 공간의 화소셀들을 구비한 평판 표시패널에 있어서 화소셀들의 진공도를 정확하게 측정할 수 있는 계측 시스템이 요구되고 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 진공도 측정시 정확성 및 신뢰성을 향상시키도록 한 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치 및 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 평판 디스플레이 패널에 적합하도록 한 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치 및 방법을 제공하는데 있다.

도 1은 통상의 전계 방출 디스플레이를 나타내는 종단면도.

도 2는 통상의 플라즈마 디스플레이를 나타내는 종단면도.

도 3은 종래의 진공 측정 시스템을 개략적으로 나타내는 도면.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치를 나타내는 종단면도.

도 5는 도 4에 도시된 진공도 측정 장치의 등가 회로도.

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치를 나타내는 종단면도.

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치를 나타내는 종단면도.

도 8은 도 7에 도시된 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치의 등가 회로도.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치의 병렬형 신호패스를 나타내는 사시도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

2,22 : 하부 유리기판 4 : 전계방출 이미터 어래이

6,46,54 : 측벽 8,30,48,52 : 격벽

10,24 : 상부 유리기판 12,38 : 형광체

14 : 블랙 매트릭스 16 : 알루미늄 반사막

18 : 게터 20 : 가용성 유리 실

26 : 공통전극 및 주사전극 28 : 보호막

32,34 : 유전체층 36 : 어드레스 전극

40 : 피측정 챔버 42 : 측정용 격막

44,50,56 : 전극선

상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치는 화소셀들 사이에 설치되어 변위량에 따른 저항값의 변화에 의하여 상기 화소셀들의 진공도를 측정하게 된다.

본 발명의 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치는 화소셀들 사이에 설치되어 변위량에 따라 생성된 전기적 신호에 의하여 상기 화소셀들의 진공도를 측정하게 된다.

본 발명의 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치는 화소셀들이 매트릭스 형태로 구현되어진 표시패널과, 화소셀들 사이에 설치되어 변위량에 따른 저항값으로 화소셀들의 진공도를 측정하기 위한 측정용 격벽과, 측정용 격벽으로부터 인출되어 측정용 격벽에 전류신호를 공급하는 전극선을 구비한다.

본 발명의 평판 디스플레이용 진공도 측정 방법은 변위량에 따른 저항값의 변화에 의하여 화소셀들의 진공도를 측정하게 된다.

본 발명의 평판 디스플레이용 진공도 측정 방법은 변위량에 따라 생성된 전기적 신호에 의하여 화소셀들의 진공도를 측정하게 된다.

본 발명의 평판 디스플레이용 진공도 측정 방법은 하부 유리기판과 상부 유리기판 사이에 화소셀들이 매트릭스 형태로 구현되어진 표시패널을 마련하는 단계와, 변위량에 따른 저항값으로 화소셀들의 진공도를 측정하기 위한 측정용 격벽을 화소셀들 사이에 형성하는 단계와, 측정용 격벽에 전류신호를 공급하는 전극선을 유리기판에 형성하는 단계를 포함한다.

본 발명의 평판 디스플레이용 진공도 측정 방법은 하부 유리기판과 상부 유리기판 사이에 화소셀들이 매트릭스 형태로 구현되어진 표시패널을 마련하는 단계와, 변위량에 따라 생성된 전기적 신호에 따라 화소셀들의 진공도를 측정하기 위한 측정용 격벽을 화소셀들 사이에 형성하는 단계와, 측정용 격벽에 전류신호를 공급하는 전극선을 유리기판에 형성하는 단계를 포함한다.

상기 목적들 외에 본 발명의 다른 목적 및 잇점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 본 발명의 실시예들을 첨부한 도 4 내지 도 9를 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치를 나타낸다.

도 4a 및 도 4b의 구성에서, 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치는 피측정 챔버(40)의 일측벽을 이루는 측정용 격막(42)과 측정용 격막(42)에 접속된 전극선(44)을 구비한다.

측정용 격막(42)은 변위가 발생하면 전기적 특성 특히, 저항값이 변하는 다이어프레임 물질 또는 변위가 발생하면 전기적 신호를 발생하는 압전물질이다. 여기서, 측정용 격막(42)이 다이어프레임 물질로 제작된다면 금속계열로는 Si, Ge 등으로 제작할 수 있으며, 또한 비금속 계열로는 ZnO, ZnS, ZnSe, ZnTe, CdS, CdTe 등으로 제작할 수 있다. 측정용 격막(42)이 다이어프레임 물질로 제작되면 하나의 가변저항으로 간주할 수 있다. 이 때, 전극선(44)은 도시하지 않은 전원 공급원과 측정용 격막(42)에 접속되어 전원 공급원으로부터 공급되는 전류의 신호패스를 형성한다. 이 전극선(44)은 메탈 패터닝으로 구현될 수 있다. 이러한 구성을 갖는 진공도 측정 장치의 등가회로는 도 5와 같으며, 측정용 격막(42)은 저항 R로 표현되고 저항 R에 전류계 A가 직렬로 접속되고, 전원 공급원이 저항 R에 전류를 공급한다.

진공도 측정 방법은 먼저, 도 4a의 초기 상태에서 전극선(44)에 미소 전류를 인가하여 측정용 격막(42) 양단의 전류를 전류계 A로부터 측정(이 때, 측정된 전류값을 초기값이라 함)한다. 그리고 펌프를 이용하여 피측정 챔버(40) 내의 공기를 외부로 빼내게 되면 피측정 챔버(40)와 외부공간에는 진공도에 차이가 발생하고 이 진공도의 차이로 측정용 격막(42)은 변위가 발생하여 저항값이 달라지게 된다. 이 때, 피측정 챔버(40) 내의 진공도 V1은 외부의 진공도 V2보다 낮아지게 된다.(즉, V2>V1) 이에 따라, 피측정 챔버(40) 내의 압력은 외부의 압력에 비하여 낮아지게 됨으로써 측정용 격막(42)은 피측정 챔버(40) 쪽으로 오목하게 휘게 된다. 이 때, 전극선(44)에 미세전류를 공급하여 전류계로부터 측정용 격막(42)에 흐르는 전류값을 읽어 초기값을 기준으로 교정(Calibration)한 다음, 전류변화와 진공도 사이의 관계를 측정하여 피측정 챔버(40) 내의 진공도를 산출할 수 있다.

측정용 격막(42)이 압전물질로 제작되면 위와 같은 진공도 측정 수순과 유사하게 먼저 피측정 챔버(40) 내의 초기값을 전극선(44)에 탐침하여 측정용 격막(42) 양단에서의 전압값을 초기값으로 검출한다. 그리고 펌프를 이용하여 피측정 격막(42) 내의 공기를 외부로 빼내게 되면 압력차가 발생하여 측정용 격막(42)에 변위가 발생하고 그에 따른 전압 신호를 발생하게 된다. 이 때, 전극선(44)을 탐침하여 검출된 전압신호를 초기값을 기준으로 교정한 다음 검출된 전압신호와 진공도 사이의 관계를 통하여 피측정 챔버(40) 내의 진공도를 알 수 있게 된다. 여기서, 압전물질로는 BaTiO₃, (PbLa)TiO₃, Pb(ZrTi)O₃, LiNbO₃, Ba(SrTi)O₃, 로셀염 등이 있으며 이들 중 어느 하나로 측정용 격막(42)을 제작할 수 있다.

도 6 및 도 7은 도 1에 도시된 FED에 본 발명에 따른 진공도 측정 장치가 적용된 FED의 종단면도를 도시한 것이다.

도 6 및 도 7에 있어서, 도 1에 도시된 FED를 구성하는 구성요소들 중 동일한 기능과 형태를 가지는 부품들에 대하여는 동일한 도면 부호를 붙이고 상세한 설명은 생략한다.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 화소셀 공간들을 구분하는 격벽(8)들 중 최외각에 위치한 격벽(48)을 다이어프레임 물질 또는 압전물질로 제작한다. 전극선(50)은 최외각 격벽(48)에 접속되어 측벽(46) 바깥으로 노출될 수 있도록 하부 유리기판(2)과 상부 유리기판(10)에 패터닝된다. 최외각 격벽(48)이 설치된 측의 측벽(46)은 측벽(46)을 중심으로 내측 공간의 진공도와 외측공간(즉, 외부 대기 공간)의 진공도 V2가 동일하게 되도록 미세구멍들이 다수 형성되거나 다공질의 재료로 제작된다. 이는 도 5의 등가회로처럼 저항 R이 하나인 회로 구현으로 측정의 신뢰도를 향상시키기 위함이다. 최외각 격벽(48)이 설치되지 않은 측의 격벽(8)과 측벽(6)은 도 1에 도시된 FED의 그것들과 실질적으로 동일하다.

최외각 격벽(48)이 다이어프레임 물질로 이루어진 경우의 진공도 측정은 도 6a에서의 초기상태(즉, 측정용 격막 내외측의 진공도가 동일할 때(V1=V2))의 전류값을 초기값으로 검출한 후, 펌프를 이용하여 최외각 격벽(48) 내측의 공기를 빼낸 후 최외각 격벽(42)에 흐르는 전류값을 검출하여 이를 초기값과 교정하여 진공도를 측정하게 된다.

반면, 최외각 격벽(42)이 압전물질로 이루어진 경우, 도 6a 상태에서 도 6b 상태로 최외각 격벽(42)에 변위가 생길 때 그에 따라 발생한 전압신호의 변화값으로 화소셀 공간의 진공도 V1을 측정할 수 있다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치를 나타내는 종단면도로 도시한 것이다.

도 7a 및 도 7b를 참조하면, 본 발명에 따른 진공도 측정 장치는 최외각 격벽(52)과 측벽(54)을 다이어프레임 물질 또는 압전물질로 제작하여 전극선(56)으로 병렬 접속된다. 최외각 격벽(52)과 측벽(54)을 다이어프레임 물질로 제작한 경우의 등가회로는 도 8에 도시한 바와 같이, 두 개의 병렬 가변저항으로 나타난다. 격벽(52)으로 밀봉되는 화소셀 공간과 측벽(54)으로 밀봉된 표시패널 외각 공간의 진공도가 다소 차이를 나타낼 수 있기 때문에 동일한 재질의 다이어플레임 물질로하여 병렬로 연결된다. 이를 상세히 하면, 표시패널의 외각 공간(격벽과 측벽 사이에 존재하는 공간)은 초기의 진공상태를 유지하나 화소셀 공간은 FED의 경우에는 전자(PDP의 경우, 자외선 UV)가 형광체에 충돌 및 여기시키게 되면서 진공도에 변화를 일으킬 수 있다. 진공도의 측정은 변위가 발생하여 저항값이 가변된 격벽(52)과 측벽(54) 중 어느 한 값의 저항값을 제로("0")로 고정하는 것과 같은 방법으로 교정(Calibration)한 다음 측정하면 두 곳(화소셀 공간과 표시패널의 최외각 공간)의 진공도를 측정할 수 있다. 하나의 예를 들면, 검출된 전류값으로 합성저항 값 R을 통해 알 수 있고 두 저항들 중 어느 하나(예를 들면, R1)를 알고 있다면 1/R=(1/R1)+(1/R2)를 통해 나머지 저항값을 알 수 있으므로 그 미지의 저항(예를 들면, R2)에 흐르는 분기 전류값을 산출하여 두 곳(화소셀 공간과 표시패널의 최외각 공간)의 진공도 모두를 측정할 수 있다. 한편, 측벽(54)을 얇은 다이어프레임 물질의 박막으로 제작하게 되면 상부 및 하부 유리기판을 지지하는 본래의 목적인 견고성이 취약해질 수 있기 때문에 이 다이어프레임 물질의 박막이 외부 대기에 노출되지 않도록 중간정도의 진공을 유지하는 중간 상태(Intermediate)를 형성함이 바람직하다.

최외각 격벽(52)과 측벽(54)을 압전물질로 제작하는 경우, 최외각 격벽과 측벽을 병렬로 접속된 전압원이라 할 수 있기 때문에 전극선(56)을 통하여 검출된 전압 값 V를 통하여 진공도를 측정할 수 있다.

이러한 병렬형 접속 방법을 이용하여, FED 또는 PDP 표시패널을 가로 방향, 세로 방향 또는 대각 방향의 각 서브 화소셀 공간에서의 각각의 진공도를 측정할 수 있다. 도 9와 같이, FED 또는 PDP와 같은 평판 표시장치는 화소셀들이 매트릭스 형태로 이루어 진다. 이들 화소셀들은 각각 R, G, B의 색조합 신호를 표현하기 위하여 세 개의 서브셀들로 이루어지며 각각의 서브셀들은 격벽으로 각각의 서브셀 공간을 구분하고 있다. 가로 방향에 위치하는 각각의 서브셀들의 진공도를 측정하기 위하여, 가로 방향으로 동일 연장선에 있는 격벽들과 측벽을 다이어프레임 또는 압전물질로 제작하고 이들을 전극선으로 병렬 접속하면 가로 방향의 신호패스 P1이 형성된다. 세로 방향에 위치하는 각각의 서브셀들의 진공도를 측정하기 위하여, 세로 방향으로 동일 연장선에 있는 격벽들과 측벽을 다이어프레임 또는 압전물질로 제작하고 이들을 전극선(56)으로 병렬 접속하면 세로 방향의 신호패스 P2가 형성된다. 또한, 대각 방향에 위치하는 각각의 서브셀들(즉, 한 라인)의 진공도를 측정하기 위하여, 대각 방향으로 동일 연장선에 있는 격벽들과 측벽을 다이어프레임 또는 압전물질로 제작하고 이들을 병렬 접속하면 대각 방향의 신호패스 P3가 형성된다. 이와 같이, 가로 방향, 세로 방향 또는 대각방향으로 병렬 접속하여 다이어프레임으로 격벽들과 측벽을 제작하면 합성저항 R에 흐르는 전류값의 변화량으로 각각의 로라인(row line), 칼럼 라인(column line), 대각 라인(diagonal line)의 전체 진공도를 측정할 수 있고, 각각의 화소셀들의 진공도는 1/R=(1/R1)+(1/R2)+,...,+(1/Rn)에 의해 산출해 낼 수 있다. 압전물질로 격벽들과 측벽을 제작하면 전극선(56)에서 검출된 전압 값 V에 의해 화소셀의 진공도를 측정할 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 진공도 측정 장치 및 방법은 제조 단계에서 평판 디스플레이 패널의 진공도를 측정하는 경우에도 적용될 수 있을 뿐만 아니라 사후 관리시에도 평판 디스플레이 패널의 수명을 판단하기 위한 기초적인 데이터로서 표시패널의 진공도를 측정하는데에도 효과적으로 적용될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 진공도 측정 장치 및 방법은 다이어프레임 물질 또는 압전물질을 이용하여 진공도를 정확하고 신뢰성있게 측정할 수 있게 된다. 나아가, 본 발명의 진공도 측정 장치 및 방법은 다이어프레임 물질 또는 압전물질을 이용하여 진공도를 측정함으로써 평판 디스플레이 패널에 적합하게 된다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (13)

1. 화소셀들이 매트릭스 형태로 배치되는 표시패널과,

   상기 화소셀들 사이에 설치되고 다이아프레임 재료로 이루어져 번형 정도에 따라 변화되는 전기 저항값을 이용하여 상기 화소셀들의 진공도를 측정하기 위한 측정용 격벽과,

   상기 측정용 격벽으로부터 인출되어 상기 측정용 격벽으로부터 인출되어 상기 측정용 격벽에 전류신호를 공급하는 전극선과,

   상기 전극선에 접속되어 상기 전극선에 전류신호를 공급하는 전원공급부를 구비하여,

   상기 화소셀들 내의 진공도를 측정하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치.
2. 화소셀들이 매트릭스 형태로 배치되는 표시패널과,

   상기 화소셀들 사이에 설치하고 압전재료로 이루어져 번형에 의해 발생하는 전기적 신호를 이용하여 상기 화소셀들의 진공도를 측정하기 위한 측정용 격벽과,

   상기 측정용 격벽으로부터 인출되어 상기 측정용 격벽에 전류신호를 공급하는 전극선과,

   상기 전극선에 접속되어 상기 전극선에 전류신호를 공급하는 전원공급부를 구비하여,

   상기 화소셀들 내의 진공도를 측정하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 표시패널은 전계 방출 디스플레이 패널인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 표시패널은 플라즈마 디스플레이 패널인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치.
5. 제 2 항에 있어서,

   상기 측정용 격벽과 병렬 접속되어 변위량에 따른 저항값으로 진공도를 측정하기 위한 측정용 측벽을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치.
6. 제 2 항에 있어서,

   로오 라인들에 위치한 상기 측정용 격벽들이 병렬로 접속되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치.
7. 제 2 항에 있어서,

   컬럼 라인들에 위치한 상기 측정용 격벽들이 병렬로 접속되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치.
8. 제 2 항에 있어서,

   대각라인을 따라 상기 측정용 격벽들이 병렬로 접속되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 장치.
9. 화소셀들이 매트릭스 형태로 배치되는 표시패널의 진공도 측정방법에 있어서,

   다이아프레임 재료로 이루어져 변형 정도에 의해 변화되는 전기 저항값으로 상기 화소셀들의 진공도를 측정하기 위한측정용 격벽을 상기 화소셀들 사이에 형성하여 상기 측정용 격벽의 변형에 따라 변화되는 전기 저항값을 이용하여 상기 화소셀들 내의 진공도를 측정하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 방법.
10. 화소셀들이 매트릭스 형태로 배치되는 포시패널의 진공도 측정방법에 있어서,

    압전 재료로 이루어져 변형에 따라 발생되는 전기적 신호를 이용하여 상기 화소셀들의 진공도를 측정하기 위한 측정용 적벽을 상기 화소셀들 내의 진공도를 측정하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 방법.
11. 하부 유리기판과 상부 유리기판 사이에 화소셀들이 매트릭스 형태로 배치되어진 표시패널을 마련하는 단계와,

    변형 정도에 의해 전기 저항값이 변화되는 다이아프레임 재료로 상기 화소셀들 사이에 진공도 측정용 격벽을 형성하는 단계와,

    상기 측정용 격벽에 전류신호를 공급하는 전극선을 전원에 접속되게끔 상기 상부 유리기판과 하부 유리기판 중 하나에 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 방법.
12. 제 11 항에 있어서,

    상기 측정용 격벽은 Si, Ge, ZnO, ZnS, ZnSe, Znte, CdS, CdTe 어느 하나의 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 방법.
13. 하부 유리기판과 상부 유리기판 사이에 화소셀들이 매트릭스 형태로 배치되어진 표시패널을 마련하는 단계와,

    변형에 의해 전기적 신호가 발생되는 압전재료로 상기 화소셀들의 진공도를 측정하기 위한 측정용 격벽을 상기 화소셀들 사이에 형성하는 단계와,

    상기 측정용 격벽에 전류신호를 공급하는 전극선을 전원에 접속되게끔 상기 상부 유리기판과 하부 유리기판 중 어느 하나에 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 진공도 측정 방법.