KR100269390B1 - Electroluminescence display panel and method for producing thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 새도우 마스크가 필요없으며 동시에 2개층의 유기막이 증착되지 않는 풀컬러 디스플레이 패널을 만들기 위한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent display panel and a method for manufacturing the same, and to produce a full color display panel which does not require a shadow mask and at the same time does not deposit two organic layers.

본 발명에 의한 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법은 투명 기판위에 제 1 전극을 형성하는 제 1 단계, 상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 순차적으로 형성된 제 1 내지 제 4 버퍼층을 복수개 형성하는 제 2 단계, 상기 버퍼층 위에 동일한 방향으로 전기절연층을 형성하는 제 3 단계, 상기 제 1 버퍼층 , 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 제 1 격벽을 형성하는 제 4 단계, 상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 제 2 격벽을 형성하는 제 5 단계, 상기 버퍼층으로 나뉘어지는 각각의 제 1 전극 상에 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 어느 하나의 유기막만이 적층되게 하기 위하여 방향과 각도를 달리하여 상기 유기막들을 순차적으로 증착시키는 제 6 단계 및 상기 유기막 위에 제 2 전극을 형성하는 제 7 단계를 포함하여 구성함을 특징으로 하며, 또한 본 발명은 상기 제조방법에 의하여 구성되는 유기전계발광 디스플레이 패널을 제공한다.The method of manufacturing an organic light emitting display panel according to the present invention includes a first step of forming a first electrode on a transparent substrate, and a plurality of first to fourth buffer layers sequentially formed in a direction perpendicular to the first electrode. A third step of forming an electrical insulation layer in the same direction on the buffer layer, a fourth step of forming a first partition wall in the same direction on the first buffer layer, the third buffer layer and the fourth buffer layer, and the first step from the first buffer layer A fifth step of forming a second partition wall in a direction perpendicular to the first partition wall on one side of the first electrode across the three buffer layers, and an organic light emitting device having red, blue, and green light emission on each of the first electrodes divided by the buffer layer; A sixth step of sequentially depositing the organic films in different directions and angles so that only one organic film of the film is laminated and on the organic film It characterized in that it comprises a seventh step of forming a second electrode, and also the present invention provides an organic light emitting display panel constituted by the above method.

Description

유기전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조방법Organic electroluminescent display panel and manufacturing method thereof

본 발명은 디스플레이 소자에 관한 것으로, 특히 유기전계발광(electroluminescent: EL) 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to display devices, and more particularly to an organic electroluminescent (EL) display panel and a method of manufacturing the same.

최근 표시장치의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평면표시소자의 요구가 증대되고 있는 데, 이러한 평면표시소자중 하나로서 전계발광소자가 주목되고 있다.Recently, as the size of a display device increases, the demand for a flat display device having less space is increasing. An electroluminescent device is attracting attention as one of such flat display devices.

이 전계발광소자는 사용하는 재료에 따라 무기 EL소자와 유기 EL 소자로 크게 나뉘어지는 데, 이중 유기 EL소자는 전자 주입 전극(음극)과 정공 주입 전극(양극)사이에 형성된 유기전계발광층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)이나 무기 EL 디스플레이에 비해 낮은 전압(예컨대, 10V이하)으로 구동할 수 있다는 장점이 있어 연구가 활발하게 진행되고 있다.The electroluminescent device is largely divided into an inorganic EL device and an organic EL device according to the material used. Among these, the organic EL device charges the organic electroluminescent layer formed between the electron injection electrode (cathode) and the hole injection electrode (anode). When injected, electrons and holes are paired and extinguished while emitting light, and the research is actively conducted because it can be driven at a lower voltage (for example, 10V or less) than a plasma display panel (PDP) or an inorganic EL display. It's going on.

또한, 상기 유기 EL 소자는 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 콘트라스트(contrast) 등의 뛰어난 특징을 갖고 있으므로 그래픽 디스플레이의 픽셀(pixel), 텔레비젼 영상 디스플레이나 표면광원(surface light source)의 픽셀로서 사용될 수 있으며, 얇고 가벼우며 색감이 좋기 때문에 차세대 평면 디스플레이에 적합한 소자이다. 그리고, 플라스틱과 같이 휠 수 있는 (flexible) 투명 기판 위에도 소자를 형성할 수 있다.In addition, the organic EL device has excellent characteristics such as wide viewing angle, high speed response and high contrast, and thus can be used as a pixel of a graphic display, a pixel of a television image display or a surface light source. They are thin, light, and have good color, making them suitable for next-generation flat panel displays. In addition, the device may be formed on a flexible transparent substrate such as plastic.

도 1은 이러한 용도를 갖는 단순 매트릭스 방식의 유기 EL 소자의 구조로서, 투명 기판(1) 상에 띠(stripe) 형태로 형성되는 제 1 전극(2)과, 제 1 전극(2) 상에 형성되는 유기전계발광층(4)과, 유기전계발광층(40) 상에 띠 형태로 형성된 제 1 전극과 수직으로 교차하는 방향으로 띠 형태로 형성되는 제 2 전극(3)으로 이루어진다.1 is a structure of a simple matrix type organic EL device having such a purpose, and is formed on a first electrode 2 and a first electrode 2 formed in a stripe shape on a transparent substrate 1. The organic electroluminescent layer 4 is formed, and the second electrode 3 is formed in the form of a band in a direction perpendicular to the first electrode formed in the form of a band on the organic light emitting layer 40.

상기 유기전계발광층(4)은 제 1 전극(2)상에 형성되는 정공 주입층(hole injecting layer ; HIL) 또는 정공 수송층(hole transporting layer ; HTL)과, 상기 정공 주입층 또는 정공 수송층 위에 형성되는 유기 발광층과, 상기 유기 발광층 위에 형성되는 전자 수송층(electron transporting layer ; ETL) 또는 전자 주입층(electron injecting layer ; EIL)으로 이루어진다.The organic light emitting layer 4 is formed on a hole injecting layer (HIL) or a hole transporting layer (HTL) formed on the first electrode 2, and is formed on the hole injection layer or the hole transporting layer. An organic light emitting layer, and an electron transporting layer (ETL) or electron injecting layer (EIL) formed on the organic light emitting layer.

상기 제 1 전극(2) 상에 형성되는 정공 주입층 또는 정공 수송층은 제 1 전극(2) 상에 정공 주입층과 정공수송층을 연속적으로 형성한 층일 수 있으며, 상기 유기 발광층위에 형성되는 전자 수송층 또는 전자주입층은 유기 발광층 위에 전자 수송층과 전자 주입층을 연속적으로 형성한 층일 수 있다.The hole injection layer or the hole transport layer formed on the first electrode 2 may be a layer in which a hole injection layer and a hole transport layer are continuously formed on the first electrode 2, and an electron transport layer formed on the organic emission layer or The electron injection layer may be a layer in which an electron transport layer and an electron injection layer are continuously formed on the organic emission layer.

이와 같이 형성되는 유기 EL 소자의 제 2 전극(3)은 유기전계발광층(4) 의 전자 주입층 및/또는 전자 수송층을 통해 유기 발광층에 전자를 주입시켜 주는 기능을 하고, 제 1 전극(2)은 정공 주입층 및/또는 정공 수송층을 통해 유기 발광층에 정공을 주입시켜 주는 기능을 한다.The second electrode 3 of the organic EL device formed as described above functions to inject electrons into the organic light emitting layer through the electron injection layer and / or the electron transport layer of the organic light emitting layer 4, and the first electrode 2. May inject holes into the organic light emitting layer through the hole injection layer and / or the hole transport layer.

그러나, 이와 같은 유기 EL 소자는 제작시에 많은 어려움이 있는 데, 그 중에 가장 어려운 공정중의 하나가 픽셀레이션(pixellation) 또는 패터닝(patterning) 공정이다.However, such an organic EL device has many difficulties in manufacturing, and one of the most difficult processes is the pixelation or patterning process.

즉, 제 1 전극(2) 띠로 흔히 쓰이는 ITO(Indium Tin Oxide)는 반도체 제조 공정에서 일반적으로 쓰이는 포토리소그라피(photolithography) 공정을 이용하여 쉽게 정교한 패터닝을 할 수 있다. 그러나, 제 2 전극의 패터닝은 그리 간단하지 않다. 제 2 전극(3) 밑에 이미 형성되어 있는 유기전계발광층(40)이 포토리소그라피 공정 중 물이나 솔벤트(solvent)에 노출될 경우 그 특성이 열화하기 때문에 일반적인 포토리소그라피 공정을 사용하기 어려우며, 미세 픽셀을 만드는 데에도 한계를 드러낸다.That is, ITO (Indium Tin Oxide) commonly used as the first electrode 2 strip can be easily patterned using a photolithography process commonly used in semiconductor manufacturing processes. However, the patterning of the second electrode is not so simple. When the organic electroluminescent layer 40 already formed under the second electrode 3 is exposed to water or solvent during the photolithography process, its properties deteriorate, so it is difficult to use a general photolithography process, It also shows its limits in making.

따라서, 도 2 및 도 3은 이를 해결하기 위한 유기 EL 소자들의 구조 단면도로서, 도 2에서와 같이 새도우마스크(shadow mask)(50)를 이용하여 패턴을 형성하든가 아니면, 도 3에서와 같이 포토레지스트(photoresist ; PR)로 격벽, 즉 전기절연층(6)를 형성하여 유기전계발광층 및 제 2 전극을 패턴 분리하는 방법을 사용할 수 있다.Therefore, FIGS. 2 and 3 are cross-sectional views of organic EL devices for solving the problem, and as shown in FIG. 2, a pattern is formed using a shadow mask 50 or a photoresist as shown in FIG. 3. By using a photoresist (PR), a method of forming a partition, that is, an electrical insulating layer 6, and separating the organic light emitting layer and the second electrode may be used.

먼저 도 2에 도시된 바와 같이 새도우 마스크를 이용한 제조방법은 제 1 전극을 형성하고, 그 위에 유기전계발광층을 형성하고 그 위에 새도우 마스크를 형성한다. 그 후 제 2 전극을 형성하게 함으로써 픽셀간 절연이 된다.First, as shown in FIG. 2, in the manufacturing method using the shadow mask, a first electrode is formed, an organic light emitting layer is formed thereon, and a shadow mask is formed thereon. Thereafter, inter pixel isolation is achieved by allowing the second electrode to be formed.

또한, 도 3에 도시한 바와 같이 격벽을 이용한 제조방법은 먼저, 제 1 전극을 형성하고, 이 제 1 전극에 수직한 방향으로 격벽을 형성한다. 그리고 전면에 유기 전계발광층을 형성한 다음, 전면에 제 2전극을 입히면 제 2 전극은 격벽에 의해 자연스럽게 분리되어 픽셀간에 절연이 된다.In addition, in the manufacturing method using the partition as shown in FIG. 3, first, the first electrode is formed, and the partition is formed in the direction perpendicular to the first electrode. After the organic electroluminescent layer is formed on the front surface, and the second electrode is coated on the front surface, the second electrode is naturally separated by the partition wall to insulate the pixels.

그러나, 이러한 방법들을 이용하여 단색 유기 EL 디스플레이를 제작하는 것은 가능하지만 멀티컬러 또는 풀컬러 유기 EL 디스플레이를 제작하기 위해서는 좀더 정교한 제조공정 및 다른 기술들이 추가로 필요하다.However, although it is possible to produce monochromatic organic EL displays using these methods, more sophisticated manufacturing processes and other techniques are additionally required to produce multicolor or fullcolor organic EL displays.

즉, 백색광 및 컬러 필터를 쓰는 방법과, 청색광 및 컬러 변환 물질(color changing medium ; CCM)을 쓰는 방법, 격벽 및 새도우 마스크를 동시에 사용하는 방법 등을 고려할 수도 있다. 그러나 상기 컬러 필터와 컬러 변환 물질을 이용하는 방법은 효율이 좋은 청색 물질(blue material)이 필요하다는 점과, 색을 변경시키는 지역을 통과하면서 발광 효율이 급격히 감소하는 단점이 발생한다.That is, a method of using a white light and a color filter, a method of using a blue light and a color changing medium (CCM), a method of using a partition and a shadow mask at the same time, and the like may also be considered. However, the method using the color filter and the color converting material requires a blue material having good efficiency, and a disadvantage in that the luminous efficiency decreases rapidly while passing through the color changing area.

풀컬러 유기 EL 소자를 만드는 방법중에서 효율이 가장 좋은 방법은 적, 녹, 청색의 빛을 발하는 물질을 각각 따로따로 증착시키는 방법이다.The most efficient method of making full color organic EL devices is to deposit red, green, and blue light emitting materials separately.

이렇게 적, 녹, 청색의 유기막을 따로 증착시키는 방법은 다음과 같은 방법이 있을 수 있다.The red, green, and blue organic film may be deposited as follows.

즉, 그 하나가 도 4와 같이 새도우 마스크를 사용하여 적, 청, 녹색의 유기막을 각각 증착시키는 방법이며, 다른 하나는 도 5과 같이 높은 격벽을 이용하여 새도우 마스크 없이 유기물 증착시 기울여서 적, 청, 녹색 픽셀을 차례로 만드는 방법이다.That is, one of them is a method of depositing red, blue, and green organic films using a shadow mask, respectively, as shown in FIG. 4, and the other is tilting red and blue when organic materials are deposited without using a shadow mask, using a high partition as shown in FIG. 5. , Green pixels in turn.

상기 새도우 마스크를 사용한 증착방법을 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.A deposition method using the shadow mask will be described with reference to FIG. 4.

먼저, 제 1 전극을 형성하는 데 이때는 주로 ITO띠가 사용된다. 그리고 그 위에 제 1 전극에 수직한 방향으로 격벽을 형성한다. 다음으로, 새도우 마스크를 이용하여 격벽 두 개 건너뛰어서 적색 발광을 하는 유기막층(4a)을 형성하고, 상기 적색 발광을 하는 유기막층(4a)을 형성하는 공정과 유사한 방법으로 옆으로 한칸씩 이동하며 녹색 발광을 하는 유기막층(4b) 및 청색 발광을 하는 유기막층(4c)을 형성한다. 마지막으로 제 2 전극(3)을 형성함으로써 픽셀간 절연이 되게 한다.First, the ITO strip is mainly used to form the first electrode. The barrier rib is formed thereon in a direction perpendicular to the first electrode. Next, using the shadow mask, two barrier ribs are skipped to form an organic layer 4a for emitting red light, and the organic film layer 4a for emitting red light is moved side by side in a similar manner to forming the organic layer 4a. The organic film layer 4b for emitting green light and the organic film layer 4c for emitting blue light are formed. Finally, the second electrode 3 is formed so that the inter pixel isolation is achieved.

위에서 상술한 컬러 픽셀 형성방법은 다음과 같은 단점이 있다.The color pixel forming method described above has the following disadvantages.

즉, 도 4에서 볼 수 있듯이 한 개의 픽셀에 적, 녹, 청색 세 개의 서브-픽셀(sub-pixels)을 직사각형 형태로 형성해야 하므로 패턴의 사이즈가 작아져서이에 적합한 새도우 마스크(메탈 마스크)를 제조하는 공정이 어려워지고, 또한 상기 격벽 위에 새도우 마스크를 소정의 위치에 정열(align)시키는 데에도 어려움이 따르게 되는 등 공정이 복잡해진다는 단점을 가지게 된다.That is, as shown in FIG. 4, three sub-pixels of red, green, and blue must be formed in a rectangular shape in one pixel, so that the size of the pattern is reduced, so that a shadow mask (metal mask) suitable for this is manufactured. The process becomes difficult, and the process becomes complicated, such as difficulty in aligning a shadow mask on a predetermined position on the partition wall.

또한, 도 5를 참조하여 높은 격벽을 이용하여 새도우 마스크 없이 유기물 증착시 기울여서 증착하여 적, 녹, 청색의 픽셀을 차례로 만드는 방법을 설명하면 다음과 같다.Also, referring to FIG. 5, a method of making red, green, and blue pixels in order by tilting and depositing organic materials without a shadow mask by using a high partition wall will be described below.

먼저, ITO 띠가 주로 사용되는 제 1 전극(2)을 형성하고, 상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 격벽을 미리 형성한다. 그리고 전면에 적색발광을 하는 유기막(4a)을 왼쪽으로 기울여서 증착시키고, 녹색발광을 하는 유기막(4b)은 오른쪽으로 기울여서, 청색발광을 하는 유기막(4c)은 바로 위에서 증착한다. 형성된 유기전계발광층 위에 금속층을 오른쪽으로 기울여 증착하여 제 2 전극(3)을 형성하면 제 2 전극은 미리 만들어진 격벽에 의해 자연스럽게 분리되어 픽셀간에 절연이 된다.First, the 1st electrode 2 in which an ITO strip | belt is mainly used is formed, and a partition is previously formed in the direction perpendicular | vertical to the said 1st electrode. The organic film 4a emitting red light is tilted to the left and deposited on the front side, and the organic film 4b emitting green is tilted to the right, and the organic film 4c emitting blue is deposited directly from above. When the second electrode 3 is formed by tilting and depositing a metal layer to the right on the formed organic electroluminescent layer, the second electrode is naturally separated by a pre-made partition wall and insulated between pixels.

그러나, 위에서 상술한 도 5의 컬러 픽셀 형성 방법은 다음과 같은 단점이 있다.However, the color pixel formation method of FIG. 5 described above has the following disadvantages.

즉, 적색과 녹색 발광을 하는 유기막을 증착시킨 다음 청색 발광을 하는 유기막을 증착할 때 바로 위에서 증착하므로, 청색물질은 적색물질과 녹색물질 부분에도 증착되게 된다. 이 상태에서 금속 전극을 입히게 되면 청색물질 부분은 발광을 잘하나 적색물질과 녹색물질 부분은 서로 다른 유기막 2개층이 입혀진 결과(적색발광물질층 + 청색발광물질층, 녹색발광물질층 + 청색발광물질층)로 발광을 잘 하지 않게 된다. 또한 금속 전극이 기울여 증착된다고 하나, 이러한 공정으로서는 절연이 확실하게 되지 않는 단점이 발생한다.That is, since the organic film emitting red and green light is deposited and then the organic film emitting blue light is deposited immediately above, the blue material is also deposited on the red material and the green material part. In this state, when the metal electrode is applied, the blue material part emits light, but the red material and green material part are coated with two different organic layers (red light emitting material layer + blue light emitting material layer, green light emitting material layer + blue light emitting material). Material layer), which does not emit light well. In addition, although the metal electrode is inclined to be deposited, there is a disadvantage that the insulation is not assured in this process.

본 발명은, 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 정밀한 새도우 마스크가 필요없고, 새도우 마스크를 기판과 정확하게 정열할 필요가 없게 하는 데에 있으며, 본 발명의 다른 목적은 마스크 없이 소자를 만들 때 대기중에 노출된다거나 솔벤트, 수용액에 노출됨이 없이 진공에서 유기전계발광소자를 제조할 수 있는 방법을 개발하는 데 있으며, 본 발명의 또다른 목적은 또다른 종래기술의 문제점인 서로 다른 유기막 2개층의 증착이 되지 않는 유기전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공하는 데에 있다.The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to eliminate the need for precise shadow masks and to accurately align the shadow mask with a substrate, and another object of the present invention is to provide a mask. The present invention provides a method for manufacturing an organic light emitting display device in a vacuum without being exposed to the atmosphere, solvents, or aqueous solutions when making the device, and another object of the present invention is another problem of the prior art. It is an object of the present invention to provide an organic electroluminescent display panel which does not deposit two layers of other organic films and a method of manufacturing the same.

도 1은 종래 기술의 단순 매트릭스 방식에 따른 유기전계발광소자의 평면도이며,1 is a plan view of an organic light emitting display device according to a simple matrix method of the prior art,

도 2 내지 도 5는 종래 기술의 여러 실시예에 따른 유기전계발광소자의 구조 단면도이며,2 to 5 are cross-sectional views of structures of an organic light emitting display device according to various embodiments of the prior art,

도 6a 내지 도 6c는 본 발명에 따른 전기절연층, 격벽 및 버퍼층이 나타난 유기전계발광 디스플레이 패널의 구조도 및 단면도이며,6A to 6C are structural diagrams and cross-sectional views of an organic light emitting display panel in which an electric insulation layer, a partition wall, and a buffer layer are shown.

도 7 및 도 8의 a 내지 d는 본 발명에 따른 유기전계발광 디스플레이 패널에 있어서 적, 청, 녹색의 유기막의 증착 방향과 그 각도를 나타낸 개략도이며,7 and 8 is a schematic view showing the deposition direction and the angle of the red, blue, green organic film in the organic light emitting display panel according to the present invention,

도 9는 본 발명에 따른 전기절연층, 격벽 및 버퍼층이 나타난 유기전계발광 디스플레이 패널의 입체도이며,9 is a three-dimensional view of an organic light emitting display panel showing an electrically insulating layer, a partition, and a buffer layer according to the present invention;

도 10은 본 발명에 따른 유기전계발광 디스플레이 패널에 있어서 적용가능한 전기절연층의 형태도이며,10 is a diagram showing the shape of an electrically insulating layer applicable to the organic light emitting display panel according to the present invention.

도 11 및 도 12는 본 발명에 적용되는 전기절연층이 복수개 형성될 수 있음을 나타낸 구조 단면도 이다.11 and 12 are structural cross-sectional views showing that a plurality of electrical insulating layers applied to the present invention can be formed.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 투명 기판1: transparent substrate

2 : 제 1 전극2: first electrode

3 : 제 2 전극3: second electrode

4 : 유기전계발광층4: organic light emitting layer

4a : 적색 발광을 하는 유기막층4a: organic layer emitting red light

4b : 녹색 발광을 하는 유기막층4b: organic layer emitting green light

4c : 청색 발광을 하는 유기막층4c: organic layer emitting blue light

5 : 새도우 마스크5: shadow mask

6 : 전기절연층6: electrical insulation layer

7a : 각각의 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막을 선택적으로 증착시키기 위한 제 1 격벽7a: a first partition wall for selectively depositing each red, blue, and green light emitting organic film

7b : 각각의 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막을 선택적으로 증착시키기 위한 제 2 격벽7b: second partition wall for selectively depositing each red, blue, and green light emitting organic film

8 : 버퍼층8: buffer layer

본 발명에 의한 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법은 투명 기판위에 제 1 전극을 형성하는 제 1 단계, 상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 순차적으로 형성된 제 1 내지 제 4 버퍼층을 복수개 형성하는 제 2 단계, 상기 버퍼층 위에 동일한 방향으로 전기절연층을 형성하는 제 3 단계, 상기 제 1 버퍼층, 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 제 1 격벽을 형성하는 제 4 단계, 상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 제 2 격벽을 형성하는 제 5 단계, 상기 버퍼층으로 나뉘어지는 각각의 제 1 전극 상에 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 어느 하나의 유기막만이 적층되게 하기 위하여 방향과 각도를 달리하여 상기 유기막들을 순차적으로 증착시키는 제 6 단계 및 상기 유기막 위에 제 2 전극을 형성하는 제 7 단계를 포함하여 구성함을 특징으로 한다.The method of manufacturing an organic light emitting display panel according to the present invention includes a first step of forming a first electrode on a transparent substrate, and a plurality of first to fourth buffer layers sequentially formed in a direction perpendicular to the first electrode. A third step of forming an electrical insulation layer in the same direction on the buffer layer, a fourth step of forming a first partition wall in the same direction on the first buffer layer, the third buffer layer and the fourth buffer layer, and the first step from the first buffer layer A fifth step of forming a second partition wall in a direction perpendicular to the first partition wall on one side of the first electrode across the three buffer layers, and an organic light emitting device having red, blue, and green light emission on each of the first electrodes divided by the buffer layer; A sixth step of sequentially depositing the organic layers in different directions and angles so that only one of the organic layers is stacked; It comprises a seventh step of forming a second electrode.

이때, 상기 제 6 단계는, 상기 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 제 1 유기막이 일방향으로 기울여서 증착될 때, 다른 하나인 제 2 유기막은 제 1 유기막의 증착방향과 반대방향인 타방향으로 기울여서 증착되며, 또다른 하나인 제 3 유기막은 상기 제 1 및 제 2 유기막이 증착된 방향과 수직되는 방향중 어느 하나의 방향으로 기울여서 증착됨을 특징으로 한다.In this case, in the sixth step, when the first organic film of the red, blue, and green light emitting organic light emitting layers is deposited by tilting in one direction, the second organic film, which is the other one, is in another direction opposite to the deposition direction of the first organic film. The third organic film, which is deposited at an angle, is another, wherein the third organic film is deposited at an angle in any one direction perpendicular to the direction in which the first and second organic films are deposited.

또한, 본 발명은 제 1 전극, 유기전계발광층, 제 2 전극으로 이루어진 유기전계발광 디스플레이 패널에 있어서, 상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 순차적으로 형성되는 복수개의 제 1 내지 제 4 버퍼층, 상기 버퍼층 위에 동일한 방향으로 형성되는 전기절연층, 상기 제 1 버퍼층, 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 형성되는 제 1 격벽, 상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 형성되는 제 2 격벽을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널을 제공한다.In addition, the present invention, in the organic light emitting display panel consisting of a first electrode, an organic electroluminescent layer, a second electrode, a plurality of first to fourth buffer layer sequentially formed in a direction perpendicular to the first electrode, the buffer layer The first barrier rib formed in the same direction on the electrically insulating layer, the first buffer layer, the third buffer layer, and the fourth buffer layer formed on the same direction, and the first electrode on one side of the first electrode from the first buffer layer to the third buffer layer. It provides an organic light emitting display panel comprising a second partition formed in a direction perpendicular to the first partition.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6 내지 도 12는 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 제조과정 및 공정도를 나타낸 개략도 혹은 그 단면도로서, 먼저 도 6에 도시된 바와 같이 투명 기판(1) 위에 제 1 전극(재질은 대개 Indium Tin Oxide ; ITO)띠(2)를 형성한다. 이때, 일반적인 포토리소그라피 공정을 써서 ITO박막을 띠(stripe) 모양으로 패터닝한다.6 to 12 are schematic views or cross-sectional views showing a manufacturing process and a process diagram of an organic light emitting display device according to the present invention. First, as shown in FIG. 6, a first electrode (material is usually indium tin) is illustrated on a transparent substrate 1. Oxide (ITO) strip 2 is formed. At this time, the ITO thin film is patterned into a stripe shape by using a general photolithography process.

그리고 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제 1 전극을 포함한 전면에 제 1 전극과 수직이 되게 버퍼층(buffer layer)(8)을 형성한다. 이 버퍼층은 제 1 전극과 제 2 전극 간의 절연을 위해 필요하다.As shown in FIG. 6, a buffer layer 8 is formed on the front surface including the first electrode to be perpendicular to the first electrode. This buffer layer is necessary for insulation between the first electrode and the second electrode.

또한, 상기 버퍼층으로서 레이져(laser)에 견딜 수 있도록 절연성이 좋은 고분자 또는 옥시드(oxide), 니트리드(nitride) 등의 무기물을 사용할 수 있다.In addition, as the buffer layer, a polymer having good insulating properties or an inorganic material such as oxide and nitride may be used to withstand a laser.

본 명세서에서는 발명의 명확한 설명을 위하여, 순차적으로 형성된 4개의 버퍼층을 한단위로 하여 이들을 제 1 내지 제 4 버퍼층으로 설정하기로 하며, 상기 순차적으로 형성된 제 1 내지 제 4 버퍼층이 연속적으로 형성되게 한다.In the present specification, for the sake of clarity, the four buffer layers sequentially formed are set as the first to fourth buffer layers, and the first to fourth buffer layers sequentially formed are sequentially formed.

다음으로, 상기 버퍼층(8)위에 전기절연층(6)을 형성시킨다. 상기 전기절연층을 만드는 공정은 대부분 포토리소그래피 공정으로 만들 수 있으며, 또한 상기 전기절연층(6)은 1층이상으로 만들어질 수 있다.Next, an electrical insulation layer 6 is formed on the buffer layer 8. The process of making the electrically insulating layer can be mostly made by a photolithography process, and the electrically insulating layer 6 can be made of one or more layers.

상기 전기절연층(6)에 쓰이는 물질로써 무기물 또는 고분자가 있을 수 있다. 이때 상기 전기절연층의 형태는 오버행(over-hang)을 함유한 것이면 어떤 것이든 상관 없는 데, 오버행을 함유한 전기절연층의 대표적인 형태를 도 10을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The material used for the electrical insulation layer 6 may be an inorganic material or a polymer. At this time, the shape of the electrical insulation layer may be any type containing an over-hang, but the representative shape of the electrical insulation layer containing the overhang will be described with reference to FIG. 10.

즉, 도 10의 (a)와 같은 전체적으로 하협상광(下狹上廣) 형태의 전기절연층으로서는 네가티브 포토레지스트(negative photoresist)가 사용될 수 있으며, 도 10의 (b)와 같은 하광상협 형태의 하부와 평편판의 상부가 연결되어 있는 전기절연층로서는 포지티브 포토레지스트(positive photoresist)가 사용될 수 있으며, 도 11의 (c)과 같이 하광상협 형태의 아래층과 평편판의 위층이 연결되어 있는, 즉 2층(layer)으로 이루어진 전기절연층이 가능하다.That is, a negative photoresist may be used as the overall electrical insulation layer of the lower narrow light form as shown in FIG. 10A, and the lower light narrow form as shown in FIG. 10B. A positive photoresist may be used as the electrical insulation layer that is connected to the lower part of the flat plate and the upper part of the flat plate. As shown in FIG. That is, an electrically insulating layer composed of two layers is possible.

또한, 상기 전기절연층은 2개 이상으로 나뉘어져 하나의 버퍼층 위에 결과적으로 2개이상의 전기절연층이 형성될 수 있는 데, 이와 관련하여 도 11과 도 12을 참조하여 설명하면 다음과 같다.In addition, the electrically insulating layer may be divided into two or more, and as a result, two or more electrically insulating layers may be formed on one buffer layer, which will be described below with reference to FIGS. 11 and 12.

즉, 도 11의 (a)나 도 12의 (a)에 도시된 바와 같이 전기절연층이 2개로 나뉘어 질 수 있으며, 도 12의 (b)나 도 13의 (b)에 도시된 바와 같이 전기절연층이 3개로 나뉘어 질 수도 있다. 따라서, 나뉘어진 전기절연층의 개수를 n이라 하면 n≥1이며, 2개 이상으로 나뉘어진 전기절연층은 제 2 전극 띠간의 절연 효과를 극대화시킬 수 있게 한다.That is, as shown in (a) of FIG. 11 or (a) of FIG. 12, the electrical insulation layer may be divided into two, and as shown in (b) of FIG. 12 or (b) of FIG. The insulating layer may be divided into three. Therefore, when the number of divided electric insulation layers is n, n≥1, and the electric insulation layers divided into two or more parts can maximize the insulation effect between the second electrode strips.

도 11에 도시된 전기절연층의 형태는 앞서 설명한 도 10의 (a)형태인 전체적으로 하협상광의 형태를 가진 전기절연층이며, 도 12에 도시된 전기절연층의 형태는 도 10의 (b)형태, 즉 하광상협 형태의 하부와 평편판의 상부가 연결되어 구성된 전기절연층이다.The shape of the electrically insulating layer shown in FIG. 11 is an electrically insulating layer having a form of lower bargain light as a whole, which is the shape of FIG. 10 (a) described above, and the shape of the electrically insulating layer shown in FIG. 12 is (b) of FIG. It is an electrical insulation layer formed by connecting the lower portion of the shape, that is, the lower light negotiation form and the upper portion of the flat plate.

다음으로, 상기 제 1 버퍼층, 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 제 1 격벽(7a)을 형성시킨다. 또한, 상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 제 2 격벽(7b)을 형성한다. 상기 제 1 격벽(7a)과 제 2 격벽(7b)의 구조는, 앞서 언급한 바와 같이 제 1 내지 제 4 버퍼층이 연속되어 형성됨에 따라 유기전계발광 디스플레이 패널에서 연속되게 형성되어진다.Next, a first partition 7a is formed on the first buffer layer, the third buffer layer, and the fourth buffer layer in the same direction. In addition, a second partition 7b is formed on one side of the first electrode from the first buffer layer to the third buffer layer in a direction perpendicular to the first partition wall. The structures of the first and second barrier ribs 7a and 7b are continuously formed in the organic light emitting display panel as the first to fourth buffer layers are continuously formed as described above.

상기 격벽은 적, 청, 녹색의 유기막을 선택적으로 증착하기 위한 것으로서, 높이는 1μm - 100,000μm사이에서 결정되는 것이 바람직하며 폭은 0.1μm - 10,000μm사이에서 결정되는 것이 바람직하다.The barrier rib is for selectively depositing red, blue, and green organic films, and the height is preferably determined between 1 μm and 100,000 μm, and the width is preferably determined between 0.1 μm and 10,000 μm.

도 6은 유기전계발광층(4)이 증착되기 전에 기판(1)위에 제 1 전극(2)과 버퍼층(8), 전기절연층(6)와 격벽(7a 및 7b)이 형성되어 있는 유기전계발광 디스플레이 패널의 구조도(a) 및 상기 구조도의 단면도들( (b) 및 (c) )이다. 전기절연층와 수직으로 세워진 격벽의 끝쪽(확대한 부분)은 전기절연층과 붙으면 안되고, 버퍼층위로 올라가야 하는 데, 이를 나타낸 확대도가 도 6a의 오른편 상단부에 나타나 있다. 즉, 전기절연층로부터 격벽까지의 수직거리를 A, 전기절연층 한쪽편의 버퍼층의 전체 폭을 B라 한다면, 제 2 전극간의 절연 효과를 확실히 하기 위하여 상기 격벽의 끝이 전기절연층과 붙지 않도록 해야 하므로 A는 0보다 커야 하며, 또한 제 1 전극과 제 2 전극이 직접 접촉하여 쇼트(short)되는 것을 방지하기 위하여 상기 격벽이 버퍼층위로 올라가야 하므로 A는 B보다 작거나 같아야 한다. (0<A≤B)6 shows an organic electroluminescence in which a first electrode 2, a buffer layer 8, an electrical insulation layer 6, and partitions 7a and 7b are formed on a substrate 1 before the organic electroluminescent layer 4 is deposited. Structural diagram (a) of the display panel and cross-sectional views (b) and (c) of the structural diagram. The end (extended portion) of the bulkhead erected perpendicularly to the electrically insulating layer should not stick with the electrically insulating layer but should rise above the buffer layer, an enlarged view of which is shown in the upper right side of FIG. 6A. In other words, if the vertical distance from the electrical insulation layer to the partition wall is A and the total width of the buffer layer on one side of the electrical insulation layer is B, the end of the partition wall should not stick to the electrical insulation layer to ensure the insulation effect between the second electrodes. Therefore, A must be greater than 0, and A must be less than or equal to B since the barrier rib must rise above the buffer layer to prevent the first electrode and the second electrode from directly contacting and shorting. (0 <A≤B)

상기 격벽을 형성시킨 후의 기판의 입체도가 도 9에 나타나 있다.9 is a three-dimensional view of the substrate after the partition wall is formed.

다음으로, 상기 버퍼층(8)으로 나뉘어지는 각각의 제 1 전극(2) 상에 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 어느 하나의 유기막만이 적층되게 하기 위하여 방향과 각도를 달리하여 상기 유기막들을 순차적으로 증착시킨다.Next, in order to allow only one organic film of red, blue, and green light emitting layers to be stacked on each of the first electrodes 2 divided by the buffer layer 8, The films are deposited sequentially.

이와 관련한 도 7과 도 8을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 도 7 및 도 8은 상기 유기막들의 증착방향과 증착각도를 도식화하여 설명한 공정도이다.This will be described in detail with reference to FIGS. 7 and 8 as follows. 7 and 8 are process diagrams illustrating the deposition direction and deposition angle of the organic layers.

즉, 적색 발광을 하는 유기막(4a)을 도 7의 화살표 a 방향에서와 같이 소자의 일방향(왼쪽 또는 오른쪽)으로 기울여서, 도 8에 도시된 바와 같은 θ의 각을 주며 증착시킨다. 이때 각도 θ는 상기 격벽의 높이와 폭, 그리고 발광 픽셀의 폭에 따라 1°에서 89°의 범위내에서 변할 수 있다.That is, the organic film 4a that emits red light is inclined in one direction (left or right) of the device as in the arrow a direction of FIG. 7, and is deposited at an angle of θ as shown in FIG. 8. In this case, the angle θ may vary within a range of 1 ° to 89 ° according to the height and width of the partition wall and the width of the light emitting pixel.

다음으로, 녹색 발광을 하는 유기막(4b)을 도 7의 화살표 b 방향에서와 같이, 전술한 과정으로 증착된 적색 발광을 하는 유기막과 같은 셀안에 겹쳐지지 않도록 하는 소자의 타방향(오른쪽 또는 왼쪽)으로 기울여서, 도 8에 도시된 바와 같은 θ`의 각을 주며 증착한다. 이때 각도 θ`는 상기 격벽의 높이와 폭, 그리고 발광 픽셀의 폭에 따라 1°에서 89°의 범위내에서 변할 수 있다.Next, as shown in the arrow b direction of FIG. 7, the organic film 4b for emitting green light is not overlapped in the same cell as the organic film for emitting red light deposited by the above-described process (right or Tilt to the left) and deposit at an angle of θ ′ as shown in FIG. 8. In this case, the angle θ` may vary within a range of 1 ° to 89 ° according to the height and width of the partition wall and the width of the light emitting pixel.

이때 도 7의 화살표 b 방향, 즉 녹색 발광을 하는 유기막의 증착방향은 적색 발광을 하는 유기막의 증착 방향(도 7의 화살표 a 방향)과는 반대의 방향이 된다. 예를 들어, 적색 발광을 하는 유기막의 증착방향 화살표 a가 왼쪽으로 기울어진 증착방향이었다면, 녹색 발광을 하는 유기막의 증착방향 화살표 b는 오른쪽으로 기울어진 증착방향이 된다.In this case, the arrow b direction of FIG. 7, that is, the deposition direction of the organic film that emits green light is the opposite direction to the deposition direction of the organic film that emits red light (the arrow a direction of FIG. 7). For example, if the deposition direction arrow a of the organic film that emits red light is the deposition direction inclined to the left, the deposition direction arrow b of the organic film that emits green light is the deposition direction inclined to the right.

그 다음, 같은 방식으로 청색 발광을 하는 유기막(4c)을 도 7의 화살표 c 또는 c`방향에서와 같이, 상기 적색 및 녹색 발광을 하는 유기막이 증착된 셀안에 청색 발광을 하는 유기막이 함께 겹쳐지지 않도록 하는 또다른 방향(전방 또는 후방 모두 가능)으로 기울여서, 도 8에 도시된 바와 같은 θ``의 각을 주며 증착한다. 상기 적색 및 녹색 발광을 하는 유기막이 증착된 셀안에 함께 겹쳐지지 않도록 하는 또다른 방향이란, 앞서 적색과 녹색 유기막이 증착된 방향과는 수직되는 방향중 어느 하나의 방향이 되어 유기전계발광 디스플레이 패널의 전방 또는 후방이 모두 될 수 있다. 이때 각도 θ``는 1°에서 89°까지의 범위내에서 변할 수 있다. (1°≤θ``≤ 89°)Then, the organic film 4c emitting blue light in the same manner is superposed together with the organic film emitting blue light in the cell in which the organic film emitting red and green light is deposited, as shown by the arrow c or c` direction of FIG. 7. Tilt in another direction (not both forward or backward) to be unsupported, depositing at an angle of θ`` as shown in FIG. 8. Another direction for preventing the red and green light emitting organic films from overlapping in the deposited cells is one of the directions perpendicular to the direction in which the red and green organic films are deposited. It can be both forward or backward. In this case, the angle θ '' may vary within a range from 1 ° to 89 °. (1 ° ≤θ``≤ 89 °)

상술한 적색, 녹색 및 청색의 유기막을 증착하는 순서와 위치는 서로 바꾸어도 상관이 없다.The order and position of depositing the red, green, and blue organic films described above may be interchanged.

그 다음, 상기 증착된 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막(4) 위에 제 2 전극(3)을 증착한다. 이때 미리 만든 전기절연층(6)이 제 2 전극(3) 띠간을 절연시킨다.Next, a second electrode 3 is deposited on the deposited organic film 4 emitting red, blue, and green light. At this time, the electrical insulating layer 6 made in advance insulates the band between the second electrodes 3.

마지막으로 상기 제 2 전극 위에 복수의 보호막을 형성시켜 유기전계발광 디스플레이 패널을 완성한다. 상기 보호막층은 흡습층, 방습층, 쉴드 글래스(shield glass) 등을 포함한다.Finally, a plurality of passivation layers are formed on the second electrode to complete the organic light emitting display panel. The protective layer includes a moisture absorbing layer, a moisture proof layer, shield glass, and the like.

이상 설명한 것과 같이, 본 발명에 의하면, 정밀한 새도우 마스크가 필요없고, 새도우 마스크를 기판과 정확하게 정열(align)할 필요가 없으며, 또한 새도우 마스크 없이 소자를 만들 때 대기중에 노출된다거나 솔벤트, 수용액에 노출됨이 없이 진공에서 유기전계발광소자를 제조할 수 있으며, 또다른 종래기술의 문제점인 서로 다른 유기막 2개층의 증착이 되지 않는 유기전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, there is no need for a precise shadow mask, accurate alignment of the shadow mask with the substrate, and exposure to an atmosphere, solvent, or aqueous solution when the device is made without the shadow mask. The organic electroluminescent device can be manufactured in a vacuum without this, and an organic electroluminescent display panel and a method of manufacturing the organic electroluminescent display panel which do not deposit two layers of different organic films, which are another problem of the prior art, can be provided.

Claims (20)

투명 기판위에 제 1 전극을 형성하는 제 1 단계;Forming a first electrode on the transparent substrate; 상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 순차적으로 형성된 제 1 내지 제 4 버퍼층을 복수개 형성하는 제 2 단계;A second step of forming a plurality of first to fourth buffer layers sequentially formed in a direction perpendicular to the first electrode; 상기 버퍼층 위에 동일한 방향으로 전기절연층을 형성하는 제 3 단계;Forming an electrically insulating layer on the buffer layer in the same direction; 상기 제 1 버퍼층 , 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 제 1 격벽을 형성하는 제 4 단계;A fourth step of forming a first barrier rib in the same direction on the first buffer layer, the third buffer layer, and the fourth buffer layer; 상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 제 2 격벽을 형성하는 제 5 단계;A fifth step of forming a second partition wall in a direction perpendicular to the first partition wall on one side of the first electrode from the first buffer layer to the third buffer layer; 상기 버퍼층으로 나뉘어지는 각각의 제 1 전극 상에 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 어느 하나의 유기막만이 적층되게 하기 위하여 방향과 각도를 달리하여 상기 유기막들을 순차적으로 증착시키는 제 6 단계; 및A sixth step of sequentially depositing the organic layers in different directions and angles so that only one organic layer of red, blue, and green light emitting layers is stacked on each of the first electrodes divided by the buffer layer; ; And 상기 유기막 위에 제 2 전극을 형성하는 제 7 단계를 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.And a seventh step of forming a second electrode on the organic layer. 제 1항에 있어서, 상기 제 6 단계가The method of claim 1, wherein the sixth step is 상기 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 제 1 유기막이 일방향으로 기울여서 증착될 때, 다른 하나인 제 2 유기막은 제 1 유기막의 증착방향과 반대방향인 타방향으로 기울여서 증착되며, 또다른 하나인 제 3 유기막은 상기 제 1 및 제 2 유기막이 증착된 방향과 수직되는 방향중 어느 하나의 방향으로 기울여서 증착됨을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.When the first organic film of the red, blue, and green light emitting organic films is deposited by tilting in one direction, the second organic film, which is the other one, is deposited by tilting in another direction opposite to the deposition direction of the first organic film. The third organic film is a method of manufacturing an organic light emitting display panel, characterized in that the deposition is inclined in any one of the direction perpendicular to the direction in which the first and second organic film is deposited. 제 1항에 있어서, 상기 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 어느 하나의 유기막의 증착 각도가 각각 1°~89°의 범위내에 있음을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.The method of manufacturing an organic electroluminescent display panel according to claim 1, wherein the deposition angles of any one of the organic films emitting red, blue, and green light are within a range of 1 ° to 89 °. 제 1항에 있어서, 상기 제 2 전극을 포함한 전면에 복수의 보호막을 형성하는 단계가 더욱 포함됨을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.The method of claim 1, further comprising forming a plurality of passivation layers on the entire surface including the second electrode. 제 1항에 있어서, 상기 전기절연층은 단층 또는 복수층인 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.The method of claim 1, wherein the electrical insulation layer is a single layer or a plurality of layers. 제 1항에 있어서, 상기 전기절연층은 오버행(over-hang)을 함유함을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.The method of claim 1, wherein the electrically insulating layer contains an overhang. 제 1항에 있어서, 상기 전기절연층은 하나의 버퍼층 위에 1개이상 형성됨을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.The method of claim 1, wherein at least one electrically insulating layer is formed on one buffer layer. 제 1항에 있어서, 상기 제 1 격벽 및 제 2 격벽은 상기 전기절연층보다 높게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.The method of claim 1, wherein the first and second partitions are formed higher than the electrically insulating layer. 제 1항에 있어서. 상기 제 2 격벽은 상기 제 2 버퍼층에 의해 분리되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.The method of claim 1. The second partition wall is a manufacturing method of an organic light emitting display panel, characterized in that separated by the second buffer layer. 제 8항에 있어서, 상기 제 1 격벽 및 제 2 격벽은 높이가 1μm - 100,000μm이며, 폭은 0.1μm - 10,000μm임을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.The method of claim 8, wherein the first and second partitions have a height of 1 μm to 100,000 μm and a width of 0.1 μm to 10,000 μm. 제 9항에 있어서, 상기 제 2 버퍼층 위에 형성된 전기절연층은 제 2 격벽에 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.The method of claim 9, wherein the electrically insulating layer formed on the second buffer layer does not contact the second partition wall. 제 1 전극, 유기전계발광층, 제 2 전극으로 이루어진 유기전계발광 디스플레이 패널에 있어서,In the organic electroluminescent display panel consisting of a first electrode, an organic electroluminescent layer, a second electrode, 상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 순차적으로 형성되는 복수개의 제 1 내지 제 4 버퍼층;A plurality of first to fourth buffer layers sequentially formed in a direction perpendicular to the first electrode; 상기 버퍼층 위에 동일한 방향으로 형성되는 전기절연층;An electrical insulation layer formed on the buffer layer in the same direction; 상기 제 1 버퍼층, 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 형성되는 제 1 격벽;A first barrier rib formed in the same direction on the first buffer layer, the third buffer layer, and the fourth buffer layer; 상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 형성되는 제 2 격벽을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.And a second partition formed on one side of the first electrode from the first buffer layer to the third buffer layer in a direction perpendicular to the first partition. 제 12항에 있어서, 복수의 보호막을 더욱 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.The organic electroluminescent display panel according to claim 12, further comprising a plurality of protective films. 제 12항에 있어서, 상기 전기절연층은 단층 또는 복수층인 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.The organic light emitting display panel of claim 12, wherein the electrical insulation layer is a single layer or a plurality of layers. 제 12항에 있어서, 상기 전기절연층은 오버행(over-hang)을 함유함을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.13. The organic light emitting display panel of claim 12, wherein the electrically insulating layer contains an over-hang. 제 12항에 있어서, 상기 전기절연층은 하나의 버퍼층에 1개이상 형성됨을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.The organic light emitting display panel of claim 12, wherein at least one electrically insulating layer is formed in one buffer layer. 제 12항에 있어서, 상기 제 1 격벽 및 제 2 격벽은 상기 전기절연층보다 높게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.The organic light emitting display panel of claim 12, wherein the first and second partitions are formed higher than the electrically insulating layer. 제 12항에 있어서, 상기 제 2 격벽은 상기 제 2 버퍼층에 의해 분리되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.The organic light emitting display panel of claim 12, wherein the second partition wall is separated by the second buffer layer. 제 17항에 있어서, 상기 제 1 격벽 및 제 2 격벽은 높이가 1μm - 100,000μm이며, 폭은 0.1μm - 10,000μm임을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.The organic light emitting display panel of claim 17, wherein the first and second partitions have a height of 1 μm to 100,000 μm and a width of 0.1 μm to 10,000 μm. 제 18항에 있어서, 상기 제 2 버퍼층 위에 형성된 전기절연층은 제 2 격벽에 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.The organic light emitting display panel of claim 18, wherein the electrical insulation layer formed on the second buffer layer does not contact the second partition wall.
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JP2001203080A (en) * 2000-01-21 2001-07-27 Nec Corp Display device
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KR20030014062A (en) * 2001-08-10 2003-02-15 씨엘디 주식회사 Manufacturing Method of Partition Wall of Organic Electroluminescent Device
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KR100508002B1 (en) * 2002-09-03 2005-08-17 엘지.필립스 엘시디 주식회사 fabrication method of an organic electro-luminescence device using nozzle coating
KR100915546B1 (en) * 2003-03-31 2009-09-07 주식회사 동진쎄미켐 Cathode separator of organic electro luminescence display device
KR100781595B1 (en) * 2005-12-20 2007-12-03 엘지.필립스 엘시디 주식회사 The organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same
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