KR100260264B1 - 전계방출소자의 게터 실장방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전계방출소자의 게터 실장방법에 관한 것으로, 게터의 양측에 지지대를 구비하여 백챔버내에 실장시 게터의 손상을 방지할 수 있고, 게터 고정을 위한 별도의 접착공정 없이도 실장이 가능하며, 또한 지지대와 백챔버 유리면의 마찰력만으로 게터를 고정할 수 있고, FED 배기 공정중 게터를 활성화하여 전계방출소자의 내부 진공도를 향상시킬 수 있다.

Description

전계방출소자의 게터 실장방법

본 발명은 전계방출소자(Field Emission Display; 이하 FED라 칭함)의 게터(getter) 실장방법에 관한 것으로, 특히 소형의 게터를 측면에서 지지하고, 백챔버내에 용이하게 고정될 수 있는 지지대를 구비하여 게터 실장시 게터의 손상을 방지함과 아울러, FED 패널의 팁-오프(Tip off) 공정전에 게터가 증발되도록 하여 FED 소자의 내부 진공도를 향상시킬 수 있는 FED 소자의 게터 실장방법에 관한 것이다.

게터의 실장 및 활성화를 도모하기 위한 종래의 방법에 있어서는, 특히 소형의 게터 예컨데, 소형 바륨 게터를 백챔버에 실장할 경우 FED 패널의 실링 이전단계에서 게터가 실장되게 되어지게 된다.

따라서 상기 종래의 게터 실장방법에 있어서는 게터를 백챔버내로 실장하게 되는 단계에서는 이미 게터가 고온의 공정에서 대기 또는 특정 가스에 노출되게 된다. 이 경우 이미 게터의 증발 이전 단계에서 일차 고온 공정에 의해 고온노출이 이루어진 상태이므로 이후 공정에서 게터의 증발이 이뤄진다 하더라도 게터의 효과를 충분히 기대할 수 없게 되는 문제점이 있다.

따라서 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 FED 패널의 백챔버 내로 소형 게터를 게터의 손상 없이 용이하게 실장할 수 있고, 가열함에 의해 활성화시킴으로써 게터의 역할을 증대시켜 FED 소자의 내부 진공도를 향상시킬 수 있는 FED 소자의 게터 실장방법을 제공함에 있다.

도 1 은 본 발명의 방법에 따라 FED 패널의 백챔버에 게터가 실장되어 있는 상태를 도시한 단면도

도 2A 와 도 2B 는 본 발명의 방법에 따라 게터에 지지대를 부착시키는 상태를 도시한 도면

도 3 은 백챔버내로 게터가 삽입되는 과정을 도시한 도면

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

1 : FED 패널 2 : 배기용 세관

3 : 백챔버 4 : 게터용 백챔버

5 : 게터 가열수단 6 : 게터 고정구

6a : 지지면 6b : 지지대

7 : 실링라인 8 : 배기구

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본발명의 FED 소자의 게터 실장 방법은,

게터의 양측면과 수직으로 각각 결착되는 지지면을 가지고, 상기 양 지지면으로부터 하부로 연장되어 나온 지지대로 이뤄지는 고정구를 형성하는 단계와,

상기 고정구의 지지면내에 게터의 양측면을 접합하는 단계와,

상기 접합된 상태의 게터와 고정구를 백챔버의 후방 단부에서 상부로 삽입하는 단계와,

백챔버내에서 소정 위치에서 상기 고정구의 지지대가 백챔버의 내측 벽면에 고정되도록 하는 단계와,

게터의 삽입후 백챔버의 후측 단부를 봉합시키는 단계와,

FED 패널을 배기장치에 장착하여 배기하면서 가열장치로 가열하여 게터를 증발시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 따른 FED 소자의 실장방법에 대해 일실시예에 대해 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1 은 본 발명의 방법에 따라 FED 패널의 백챔버에 게터가 실장되어 있는 상태를 도시한 단면도이고,

도 2A 와 도 2B 는 본 발명의 방법에 따라 게터에 지지대를 부착시키는 상태를 도시한 도면이다.

상기 도면에 도시된 바와 같이, FED 패널(1)은 패널 상부기판과 하부기판 그리고 상기 상판과 하판의 사이 공간을 봉합하는 실링라인(7)으로 구성되어, 소정 크기의 내부 공간을 형성하고 있다.

게터(4)는 패널 공간내의 진공도 향상을 위해 사용되는 것으로, 패널 하부기판의 소정위치에 게터(4)가 손상되지 않도록 백챔버(3)내에 장착된다.

한편, 본 실시예에서는 상기 백챔버(3)를 패널 하부기판에 부착시키되, 특히 실링라인(7) 내측에 형성되어 있는 배기구(8) 하부에 부착시킨다. 그리고 상기 백챔버(3)의 후방 단부는 내부로 상기 게터(4)가 삽입될 수 있도록 개방되어 있으며, 게터(4)의 삽입후에는 가스 토오치와 같은 소정 장치를 이용하여 봉합되어진다.

상기와 같이 구성된 백챔버(3)의 내부로 게터를 삽입할 경우, 본 실시예에서는 삽입을 보다 용이하게 하기 위해 별도의 보조기구인 고정구(6)를 사용한다.

즉 상기 고정구(6)는 게터(4)의 양측면을 수직으로 지지할 수 있는 지지면(6a)을 가지며, 상기 양측 지지면(6a)을 따라 지지대(6b)가 하부로 연장되어 나오되, 하부로 내려 올수록 외측으로 벌어져 나오는 형태로 형성되어 있다.

이때 상기 게터(4)의 양측면과 접하는 고정구의 지지면(6a)과 게터(4)와의 접합은 점용접(spot welding)으로 접합시킨다.

따라서 상기 고정구(6)의 지지면(6a)상에 일차 게터(4)를 접합시킨 후, 도 3 에 도시된 바와 같이 백챔버(3) 내로 게터(4)와 고정구(6)를 동시에 삽입하게 되면, 고정구(6)의 하부 지지대(6b)가 백챔버(2)의 내측 유리벽을 압착하여 고정되어진다. 즉 상기 지지대(6b)의 탄력을 이용하여 백챔버(3)내에 고정되므로 게터(4)의 실장을 위해 별도의 다른 부착재료가 필요 없게 되므로 실장에 따른 공정이 매우 용이해진다.

다음, 게터(4)가 백챔버(3)내에 실장된 후, 백챔버(3)의 후방 단부를 가스 토오치와 같은 가열수단(미도시)을 이용하여 밀봉시킨다. 그리고 FED 패널(1)을 배기장치에 장착하여 배기하면서 상기 도 1 에 도시된 바와 같이, 적당한 시기에 패널(1)의 상부에 위치한 가열장치 예컨데, RF 제너레이터 코일로 된 가열장치(5)로 게터(4)를 가열하여 증발시킨다. 이때 증발의 시점은 게터 증발시의 아웃 개싱(Out Gassing)을 고려하여 배기공정이 끝나기 전 단계에서 실시한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 기술에 따라 FED 패널의 배기부에 설치된 백챔버내로 게터를 실장할 시 게터의 양측면을 지지하는 지지면과, 상기 지지면으로부터 하부로 연장되어 나온 지지대로 구성된 고정구를 이용하여 백챔버내의 후방 단부에서 실장함으로써 게터의 손상을 방지함과 아울러 게터 고정을 위한 별도의 접착공정 없이도 실장을 가능하게 하고, FED 패널의 배기공정전에 게터가 증발되도록 하여 FED 소자의 내부 진공도를 향상시킬 수 있다.

Claims (6)

1. FED 소자의 게터를 백챔버내로 실장하는 게터 실장방법에 있어서,

   게터의 양측면과 수직으로 각각 결착되는 지지면을 가지고, 상기 양 지지면으로부터 하부로 연장되어 나온 지지대로 이뤄지는 고정구를 형성하는 단계와,

   상기 고정구의 지지면내에 게터의 양측면을 접합하는 단계와,

   상기 접합된 상태의 게터와 고정구를 백챔버의 후방 단부에서 상부로 삽입하는 단계와,

   백챔버내에서 소정 위치에서 상기 고정구의 지지대가 백챔버의 내측 벽면에 고정되도록 하는 단계와,

   게터의 삽입후 백챔버의 후측 단부를 봉합시키는 단계와,

   FED 패널을 배기장치에 장착하여 배기하면서 가열장치로 가열하여 게터를 증발시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 FED 소자의 게터 실장방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 게터는 소형 바륨 게터인 것을 특징으로 하는 FED 소자의 게터 실장방법.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 가열장치는 RF 제너레이터 코일로 된 가열장치인 것을 특징으로 하는 FED 소자의 게터 실장방법.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 고정구의 지지대는 상부 지지면으로부터 하부로 연장되어 나오되, 하부로 내려 올수록 외측으로 벌어져 나오는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 FED 소자의 게터 실장방법.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 게터의 양측면과 고정구 지지면과의 접합은 점용접에 의해 이뤄지는 것을 특징으로 하는 FED 소자의 게터 실장방법.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 패널의 활성화는 패널의 진공도 저하를 방지하기 위해 패널의 배기공정 중에 하는 것을 특징으로 하는 FED 소자의 게터 실장방법.

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