KR100259879B1 - Connector for testing semiconductor and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A connector for testing semiconductor devices and a manufacturing method of the same are provided to minimize the length of terminals electrically connecting leads and a tester as well prevent the degradation of elasticity of the terminal with excluding the influence of external high frequency. CONSTITUTION: A plurality of elastic pieces(9) are formed to be isolated from each other by cut parts(10) on one side of a non-conductor supporting block(8). Conductive terminals(12) are respectively coupled to front ends of the elastic pieces(9). Therefore, a bottom surface of the supporting block(8) and a bottom surface of the terminals(12) are positioned on a horizontal line. Conductive material is inserted into portions of a mold corresponding to the front ends of the connector(13) and is then injected. Next, the cut parts910) are formed in accordance with the number and pitch of leads for forming the terminals(12) and elastic pieces(9) from the inserted conductive material.

Description

반도체 소자 테스터용 컨넥터 및 그 제조방법{Connector for testing semiconductor and method for manufacturing the same}Connector for semiconductor device tester and method of manufacturing the same {Connector for testing semiconductor and method for manufacturing the same}

본 발명은 제조공정에서 생산완료된 반도체(이하 "소자"라 함)의 리드와 전기적으로 접속되어 소자의 성능을 검사하는 핸들러의 테스트부에 설치되는 컨넥터(connector) 및 그 제조방법에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 그 구조를 개선하여 고용량 소자의 테스트에 적합하도록 한 것이다.The present invention relates to a connector (connector) installed in the test section of the handler electrically connected to the lead of the semiconductor (hereinafter referred to as "element") produced in the manufacturing process to check the performance of the device, and a method of manufacturing the same More specifically, the structure has been improved to be suitable for testing high capacity devices.

일반적으로 생산공정에서 생산완료된 1개 또는 여러개의 소자를 핸들러의 테스터부로 이송시켜 소자의 리드를 테스터부와 연결된 컨넥터와 전기적으로 접속시키므로써 소자의 특성이 테스터부에서 판별되는데, 테스트 결과에 따라 소자는 양품과 불량품으로 선별되어 양품의 소자는 출하되고, 불량품은 폐기 처분된다.In general, the characteristics of the device are determined at the tester by transferring one or more devices produced in the production process to the tester part of the handler and electrically connecting the device leads with the connectors connected to the tester part. Is classified as good or bad, the good device is shipped, and the bad is discarded.

근래에는 산업의 발달로 인해 컴퓨터 등의 용량 증대 및 신속한 처리속도가 요구되어 소자의 용량 또한 MHz에서 GHz로 증가하는 추세이므로 소자의 특성 검사시 외부에서 작용되는 고주파에 대한 영향을 고려하여야 된다.In recent years, due to the development of the industry, the capacity of devices, such as computers, and the rapid processing speed are required, so the capacity of devices is also increasing from MHz to GHz.

도 1은 종래의 컨넥터에서 단자를 분해하여 나타낸 사시도이고 도 2는 제 1 도의 결합상태 종단면도로써, 합성수지재의 본체(1)내에 복수개의 단자(2)가 일체로 몰딩되어 있다.1 is an exploded perspective view illustrating a terminal in a conventional connector, and FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of the coupled state of FIG. 1, in which a plurality of terminals 2 are integrally molded in the main body 1 of a synthetic resin material.

상기 단자(2)는 소자(3)의 리드(3a)에 접속되는 접속부(4)와, 상기 리드에 외력이 가해져 접속부가 눌림에 따라 압축된 다음 외력이 제거되면 접속부를 초기상태로 환원시키는 탄성부(5)와, 상기 단자를 테스터부(도시는 생략함)의 단자에 리드선으로 연결시키는 핀(6)이 일체로 형성되어 있다.The terminal 2 has a connecting portion 4 connected to the lead 3a of the element 3, and an elastic force that reduces the connecting portion to an initial state when the external force is applied by compressing the external portion by pressing the lead and then the external force is removed. A portion 5 and a pin 6 for connecting the terminal to a terminal of a tester portion (not shown) by a lead wire are integrally formed.

따라서 복수개의 단자(2)가 일체로 몰딩된 한쌍의 본체(1)를 핸들러의 테스터부에 도 2와 같이 나란히 설치한 상태에서 테스트하고자 하는 1개의 소자(3)가 이송수단에 의해 이송되어 오면 상기 소자의 리드(3a)가 단자(2)의 접속부(4)와 접속된다.Therefore, when a pair of main bodies 1 in which a plurality of terminals 2 are integrally molded is installed side by side in the tester part of the handler as shown in FIG. The lead 3a of the element is connected to the connecting portion 4 of the terminal 2.

이러한 상태에서 부도체인 사파이어와 같은 누름핀(7)이 리드(3a)를 화살표방향으로 눌러주면 탄성부(5)가 도 2의 일점쇄선과 같이 압축력을 받으며 하강하게 되므로 소자(3)의 리드(3a)와 접속부(4)가 긴밀히 접속되고, 이에 따라 테스터부에서 생산완료된 소자의 성능을 판단하여 중앙처리장치(CPU)에 그 결과를 알리게 된다.In this state, when the push pin 7 such as sapphire, which is an insulator, presses the lead 3a in the direction of the arrow, the elastic part 5 is lowered under the compressive force as shown by the dashed line in FIG. 3a) and the connection part 4 are closely connected, and accordingly, the performance of the device produced in the tester part is judged and the result is informed to the CPU.

그후, 테스트완료된 소자(3)가 이송수단에 의해 이송트랙상으로 복귀되면 탄성부(5)에 가해지던 외력이 제거되므로 접속부(4)는 초기상태로 환원된다.Then, when the tested element 3 is returned to the conveying track by the conveying means, the external force applied to the elastic portion 5 is removed, so that the connecting portion 4 is reduced to the initial state.

이와 같이 테스트가 완료되면 판정결과에 따라 분류부에서 테스트완료된 소자를 양품과 불량품으로 분류하게 된다.When the test is completed as described above, according to the determination result, the classification unit classifies the tested device as good or bad.

그러나 접속부(4)와 탄성부(5), 그리고 테스터부의 단자와 리드선으로 연결되는 핀(6)으로 구성된 단자(2)를 사용하는 종래의 컨넥터는 상기 단자의 전체 길이가 길어 테스트시 저항치가 증가되고, 노이즈의 영향을 많이 받게 되어 시그날 및 측정에 따른 시간이 각기 다를 염려가 있게 되므로 GHz용량 소자의 고주파 테스트시 소자의 성능을 오판정하는 경우가 빈번히 발생되었음은 물론 심한 경우에는 테스트 자체가 불가능해지게 되는 문제점이 있었다.However, the conventional connector using the terminal 4 composed of the connecting portion 4, the elastic portion 5, and the pin 6 connected to the terminal and the lead wire of the tester portion has a long overall length of the terminal, thereby increasing the resistance value during the test. In addition, due to a lot of noise, there is a possibility that the time according to the signal and the measurement may be different. Therefore, in the high frequency test of the GHz capacitive device, the misjudgment of the device's performance frequently occurs, and in severe cases, the test itself is impossible. There was a problem.

또한, 부품의 조립성이 불량하였고, 장시간 사용에 따라 단자(2)의 탄성력이 저하되어 테스트시 접촉불량을 유발하였다.In addition, the assembly of the parts was poor, and the elastic force of the terminal (2) is lowered with the use for a long time, causing contact failure during the test.

상기한 문제점을 감안하여 단자(2)의 길이를 짧게 형성할 경우에는 탄성력이 더욱 저하되어 수명이 짧아지게 되므로 실현 불가능하였다.In view of the above problems, when the length of the terminal 2 is short, the elastic force is further lowered and the life is shortened.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 소자의 리드와 테스터부를 전기적으로 연결 역할을 하는 단자의 길이를 최소화하면서도 단자의 탄성력이 저하되는 현상을 미연에 방지함과 동시에 고용량의 소자를 테스트시 외부의 고주파영향을 받지 않도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve such a problem of the prior art, while minimizing the length of the terminal that electrically connects the lead and the tester of the device, while preventing the phenomenon that the elastic force of the terminal is deteriorated, and at the same time high capacity The purpose of this test is to prevent the external high-frequency effect from testing the device.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 부도체인 지지블럭의 일측에 복수개의 탄성편이 절결부에 의해 각각 격리되게 형성되고 상기 탄성편의 선단에는 도전성재질인 단자가 고정됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스터용 컨넥터가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a semiconductor element characterized in that a plurality of elastic pieces are formed on each side of the support block which is a non-conductor, each separated by a notch, and a terminal made of a conductive material is fixed to the tip of the elastic piece. Connectors for testers are provided.

본 발명의 다른 형태에 따르면, 컨넥터에 일체로 형성되는 탄성부의 선단부위에 위치되는 금형내에 도전성재질을 인써트하여 사출작업을 실시하는 제 1 단계와, 상기 탄성부를 테스트하고자 하는 리드의 갯수 및 피치에 따라 절결하여 탄성편 및 인써트된 도전성재질로 부터 단자를 형성하는 제 2 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 소자 테스터용 컨넥터의 제조방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, a first step of performing an injection operation by inserting a conductive material in a mold located at the tip of the elastic portion formed integrally with the connector, and according to the number and pitch of leads to be tested for the elastic portion There is provided a method of manufacturing a connector for a semiconductor device tester, which comprises the second step of cutting and forming a terminal from an elastic piece and an inserted conductive material.

도 1은 종래의 컨넥터에서 단자를 분해하여 나타낸 사시도1 is an exploded perspective view of a terminal in a conventional connector

도 2는 제 1 도의 결합상태 종단면도Figure 2 is a longitudinal cross-sectional view of the engagement state of FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시예를 나타낸 사시도3 is a perspective view showing one embodiment of the present invention

도 4는 본 발명의 사용상태를 예시한 종단면도Figure 4 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a state of use of the present invention

도 5a 및 도 5b는 컨넥터의 제조방법을 설명하기 위한 공정도5a and 5b is a process chart for explaining the manufacturing method of the connector

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

8 : 지지블럭 9 : 탄성편8: support block 9: elastic piece

9a : 탄성부 10 : 절결부9a: elastic part 10: cutout

12 : 단자 12a : 도전성재질12: terminal 12a: conductive material

13 : 컨넥터13: Connector

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 첨부된 도 3 내지 도 5를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying Figures 3 to 5 showing an embodiment of the present invention in more detail as follows.

도 3은 본 발명의 일 실시예를 나타낸 사시도이고 도 4는 본 발명의 사용상태를 예시한 종단면도이며 도 5a 및 도 5b는 컨넥터의 제조방법을 설명하기 위한 공정도로써, 본 발명은 부도체인 지지블럭(8)의 일측에 복수개의 탄성편(9)이 절결부(10)에 의해 각각 격리되게 형성되어 있고 상기 탄성편(9)의 선단에는 기판(11)에 형성된 각각의 패턴(도시는 생략함)과 접속되는 도전성재질인 단자(12)가 고정되어 있다.Figure 3 is a perspective view showing an embodiment of the present invention, Figure 4 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a state of use of the present invention and Figures 5a and 5b is a process diagram for explaining the manufacturing method of the connector, the present invention is a non-conductive support A plurality of elastic pieces 9 are formed on one side of the block 8 so as to be separated from each other by the cutouts 10, and respective patterns formed on the substrate 11 are not shown at the ends of the elastic pieces 9 (not shown). Terminal 12, which is a conductive material to be connected thereto, is fixed.

이때 지지블럭(8)의 바닥면과 단자(12)의 저면이 수평선상에 위치되어 있는데, 이는 소자(3)의 리드(3a)가 단자(12)의 상면에 접속되었을 경우 단자가 패턴과 전기적으로 통하여지도록 하기 위함이다.At this time, the bottom surface of the support block 8 and the bottom surface of the terminal 12 are located on the horizontal line. When the lead 3a of the element 3 is connected to the top surface of the terminal 12, the terminal is electrically connected with the pattern. This is to be passed through.

그리고 기판(11)의 패턴과 전기적으로 접속되는 단자(12)의 단면은 "C" 형상으로 되어 있는데, 이는 소자(3)의 리드(3a)가 접속된 상태에서 소자의 리드를 가압할 때 단자(12)가 약간 회동하여 탄성편(9)에 복원력을 갖도록 하기 위함이다.And the cross section of the terminal 12 electrically connected with the pattern of the board | substrate 11 is a "C" shape, which is a terminal when the lead of the element is pressed in the state where the lead 3a of the element 3 is connected. This is to make the elastic piece 9 have a restoring force by rotating 12 slightly.

본 발명의 일 실시예에 적용되는 단자(12)의 길이는 4mm 내외로 설정되어 있는데, 이는 단자(12)가 소자(3)의 리드(3a)와 테스터부가 전기적으로 연결되도록 하는 역할을 할 때 외부에서 작용되는 고주파에 의한 영향을 최소화하기 위함이다.The length of the terminal 12 applied to an embodiment of the present invention is set to about 4mm, which is when the terminal 12 serves to electrically connect the lead 3a of the device 3 and the tester part. This is to minimize the influence of high frequency from the outside.

이와 같이 구성된 본 발명의 제조방법을 첨부된 도 5를 참고로 설명하면 다음과 같다.Referring to Figure 5 attached to the manufacturing method of the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 컨넥터(13)에 일체로 형성되는 탄성부(9a)의 선단부위에 해당하는 금형내에 도전성재질(12a)을 인써트시킨 다음 사출작업을 실시하여 도 5a와 같은 사출물을 얻는다.First, the conductive material 12a is inserted into a mold corresponding to the distal end portion of the elastic part 9a integrally formed on the connector 13, and then injection is performed to obtain an injection product as shown in FIG. 5A.

그후, 도 5a와 같은 사출물의 탄성부(9a)를 테스트하고자 하는 리드의 갯수 및 피치에 따라 절결부(10)가 형성되게 절결하여 도 5b와 같이 탄성편(9) 및 인써트된 도전성재질(12a)로 부터 단자(12)를 형성한다.Subsequently, the cutout portion 10 is formed according to the number and pitch of the leads to be tested to the elastic portion 9a of the injection molded product as shown in FIG. 5A, and the elastic piece 9 and the inserted conductive material 12a as shown in FIG. 5B. To form a terminal (12).

이와 같은 작업에 의해 컨넥터(13)가 형성되고 나면 상기 컨넥터를 핸들러의 테스터부에 도 4와 같이 설치한 상태에서 테스트하고자 하는 1개의 소자(3)가 이송수단에 의해 이송되어 오거나, 여러개의 소자(3)가 테스트 트레이에 홀딩된 상태에서 이송수단에 의해 이송되어 오면 상기 소자(3)의 리드(3a)가 탄성편(9)의 선단에 인써트되어 기판(11)의 패턴과 전기적으로 통하여 있는 단자(12)의 상면과 접속된다.After the connector 13 is formed by the above operation, one device 3 to be tested is transferred by a transfer means or the multiple devices are installed in the state where the connector is installed as shown in FIG. When (3) is conveyed by the conveying means in the state held in the test tray, the lead 3a of the element 3 is inserted into the tip of the elastic piece 9 to be electrically connected with the pattern of the substrate 11. It is connected to the upper surface of the terminal 12.

이러한 상태에서 부도체인 사파이어와 같은 누름핀(7)이 리드(3a)를 화살표 방향으로 눌러주거나, 또는 푸싱수단이 테스트 트레이를 컨넥터측으로 동시에 밀어주면 단자(12)가 도면상 화살표방향으로 약간 회동하면서 탄성편(9)을 압축시키게 되고, 이에 따라 단자(12)의 상면은 소자(3)의 리드(3a)와, 그리고 하면은 기판(11)의 상면에 형성된 패턴과 긴밀히 접속되므로 테스터부에서 소자의 성능을 판단하여 중앙처리장치(CPU)에 그 결과를 알리게 된다.In this state, if the push pin 7 such as sapphire, which is a non-conductor, pushes the lead 3a in the direction of the arrow, or the pushing means pushes the test tray toward the connector at the same time, the terminal 12 rotates slightly in the direction of the arrow on the drawing. The elastic piece 9 is compressed, so that the upper surface of the terminal 12 is intimately connected to the lead 3a of the element 3 and the lower surface of the elastic member 9 is closely connected to the pattern formed on the upper surface of the substrate 11. The performance of the CPU is determined and the result is reported to the CPU.

이때 상기 소자(3)의 리드(3a) 및 패턴에 접속되는 단자(12)의 단면이 "C" 형상으로 되어 있어 상,하면이 점접촉을 하게 되므로 소자(3)의 반복 테스트시에도 단자의 마모량이 적어지게 됨은 물론 이물질에 의해 쉽게 오염되지 않는다.At this time, the cross section of the terminal 12 connected to the lead 3a and the pattern of the element 3 has a “C” shape, and the upper and lower surfaces are in point contact. The amount of wear is reduced as well as not easily contaminated by foreign matter.

그후, 이송수단에 의해 테스트완료된 소자 또는 테스트 트레이가 송출측으로 이송되면 단자(12)에 가해지던 외력이 제거되므로 탄성편(9)의 복원력에 의해 내측으로 약간 회동되었던 단자(12)는 초기상태로 환원된다.Then, when the device or test tray tested by the conveying means is conveyed to the delivery side, the external force applied to the terminal 12 is removed, so that the terminal 12 slightly rotated inward by the restoring force of the elastic piece 9 is returned to its initial state. Reduced.

이와 같이 소자(3)의 테스트가 완료되면 판정결과에 따라 분류부에서 테스트 완료된 소자를 양품과 불량품으로 분류하게 되는 것이다.As described above, when the test of the device 3 is completed, the tester classifies the tested device as good or defective according to the determination result.

이상에서와 같이 본 발명은 소자(3)의 테스트시 소자의 리드(3a)와 테스터부를 전기적으로 연결시키는 단자(12)의 길이가 최소화되어 있어 소자의 용량이 크더라도 테스트시 저항치 및 노이즈 등에 의한 측정오차가 발생되지 않게 되므로 테스트에 따른 신뢰도가 향상됨은 물론 소자의 리드와 단자(12)가 점접촉을 하게 되므로 콘택 핀의 수명이 연장되는 효과를 얻게 된다.As described above, the present invention minimizes the length of the terminal 12 which electrically connects the lead 3a of the device and the tester to the device 3 when the device 3 is tested. Since the measurement error does not occur, the reliability of the test is improved, and the lead and the terminal 12 of the device are in point contact, and thus the life of the contact pin is extended.

또한, 컨넥터의 성형작업시 도전성재질(12a)을 인써트시킨 다음 소자(3)의 리드(3a) 갯수 및 피치에 따라 탄성부(9a)를 일정간격으로 절결하여 주기만 하면 탄성편(9) 및 단자(12)가 형성되므로 컨넥터의 제조에 따른 작업성이 향상되는 효과도 얻게 된다.In addition, when the connector is molded, the conductive material 12a is inserted, and then the elastic piece 9a and the terminal are simply cut at regular intervals according to the number and pitch of the leads 3a of the element 3. Since the 12 is formed, the workability according to the manufacture of the connector is also improved.

Claims (3)

부도체인 지지블럭(8)의 일측에 복수개의 탄성편(9)이 절결부(10)에 의해 각각 격리되게 형성되고 상기 탄성편(9)의 선단에는 도전성재질인 단자(12)를 고정하여 지지블럭(8)의 바닥면과 단자(12)의 저면이 수평선상에 위치되도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스터용 컨넥터.A plurality of elastic pieces 9 are formed to be separated from each other by the notch 10 on one side of the support block 8, which is a non-conductor, and the terminal 12, which is a conductive material, is fixed to the front end of the elastic piece 9 to be supported. A connector for a semiconductor device tester, characterized in that the bottom surface of the block (8) and the bottom surface of the terminal (12) are positioned on a horizontal line. 제 1 항에 있어서The method of claim 1 단자(12)의 단면이 "C" 형상으로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 소자 테스터용 컨넥터.A connector for a semiconductor device tester, characterized in that the cross section of the terminal 12 has a "C" shape. 탄성부(9a)가 일체로 형성되는 컨넥터(13)의 선단부 위에 해당하는 금형 내에 도전성재질(12a)을 인서트시킨 다음 사출작업을 실시하는 제1단계와, 상기 탄성부(9a)를 테스트하고자 하는 리드의 갯수 및 피치에 따라 절결부(10)가 형성되게 절결하여 탄성편(9) 및 인서트된 도전성재질(12a)로부터 단자(12)를 형성하는 제2단계로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 소자 테스터용 컨넥터의 제조방법.The first step of inserting the conductive material 12a into a mold corresponding to the front end of the connector 13 in which the elastic part 9a is integrally formed and then performing an injection operation, and to test the elastic part 9a. And a second step of forming the terminal 12 from the elastic piece 9 and the inserted conductive material 12a by cutting the cutout portion 10 according to the number and pitch of the leads. Method for manufacturing a connector for
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