KR100237210B1 - 플라스마 디스플레이 패널용 세정 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 위에 전극이나 격벽을 형성하기 전에 상기 기판 상에 존재하는 오염을 제거하는 PDP용 세정시스템에 관한 것으로서, 특히 상기 기판과 밀착되도록 설치된 롤 브러시를 회전시켜 상기 기판 상에 존재하는 오염을 제거하는 동작을 수행하는 제 1 세정조와, 상기 제 1 세정조를 지난 기판을 향해 애시드를 분사하여 상기 기판 상에 남아있는 오염을 제거하는 동작을 수행하는 애시드 샤워조와, 상기 기판과 밀착되도록 설치된 롤 브러시를 회전시켜 상기 기판 상에 남아있는 미세 오염을 제거하는 동작을 수행하는 제 2 세정조를 포함하여 구성된 PDP용 세정 시스템을 구비함으로써, 상기 기판의 다양한 오염에 대해 다각도로 대응할 수 있게 되어 시스템의 개조가 불필요하고 추가적인 설비 투자액이 절감되며 제품의 수율이 향상되도록 하는 PDP용 세정 시스템에 관한 것이다.

Description

플라스마 디스플레이 패널용 세정 시스템

본 발명은 플라스마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP ; 이하 PDP라 부름)의 제조 시스템에 관한 것으로서, 특히 유리기판 상에 전극이나 격벽을 형성시키기 전에 상기 유리기판의 표면오염을 제거하는 PDP용 세정 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 PDP는 페닝(penning)가스를 방전 현상에 이용한 평판 표시 장치로서 플라스마 디스플레이 장치의 정보표시부를 구성하고 있으며, 방전 방식에 따라 AC(Alternating Current)형과 DC(Direct Current)형으로 나누어진다.

일반적인 AC형 PDP는 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이 서로 대향되게 위치된 표면 유리기판(1)과 배면 유리기판(5)으로 이루어진다.

여기서, 상기 표면 유리기판(1)은 하면에 형성된 표시 전극(2)과, 상기 표시 전극(2) 위에 형성된 유전체층(3)과, 상기 유전체층(3)에 증착된 산화 마스네슘(MgO)막인 보호층(4)으로 구성되고, 상기 배면 유리기판(5)은 상면에 형성된 어드레스(address) 전극(6)과, 상기 어드레스 전극(6) 사이에 스트라이프 모양으로 형성된 격벽(7)으로 구성된다.

또한, 상기 격벽(7)은 상기 어드레스 전극(6)을 복수의 방전셀로 분리하는 역할을 하고, 상기 어드레스 전극(6)에는 피복하는 형태로 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 형광체(8)가 구분되어 도포되며, 상기 표면 유리기판(1)과 배면 유리기판(5) 사이에는 네온(Ne)이나 헬륨(He), 크세논(Xe) 등의 방전 가스(9)가 채워져 있다.

또한, 상기 표면 유리기판(1)과 배면 유리기판(5)은 경화된 실링재(10)를 이용하여 프리트 실링(frit sealing)되며, 상기 표시 전극(2)과 어드레스 전극(6)이 서로 직교하도록 조립된다.

상기와 같이 구성된 PDP는 투명 전극 상호 간에 전압을 인가함으로써 전극의 위에 있는 유전체층(3)과 보호층(4)의 표면에서 방전이 일어나 자외선이 발생하게 된다. 이 자외선에 의하여 상기 배면 유리기판(5)에 도포되어 있는 형광체가 여기하여 발광하며, 구분 도포된 형광체에 의해 컬러 표시가 된다.

도 2를 참조하여 종래 기술에 의한 PDP용 세정 시스템을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 참조번호 110은 유리기판(100)의 상면과 밀착되도록 설치된 디스크 브러시(disk brush)(111)를 회전시켜 상기 유리기판(100) 상의 오염을 제거하는 동작을 수행하는 디스크 브러시조를 나타내고, 참조번호 120은 상기 디스크 브러시조(110)의 뒤에 설치되고 상기 유리기판(100)의 상면과 밀착되도록 설치된 롤 브러시(roll brush)(121)를 회전시켜 상기 유리기판(100) 상에 남아있는 오염을 제거하는 동작을 수행하는 롤 브러시조를 나타낸다.

이때, 상기 유리기판(100)의 표면에 존재하는 오염의 제거정도는 상기 디스크 브러시(111)와 롤 브러시(121)의 회전력, 상기 유리기판(100)과 디스크 브러시(111)의 밀착력, 상기 유리기판(100)과 롤 브러시(121)의 밀착력, 상기 유리기판(100)의 이동속도 등에 의해서 결정된다.

또한, 참조번호 130은 상기 롤 브러시조(120)를 지난 유리기판(100)에 노즐(131)을 통해 순수를 분사하여 상기 유리기판(100)의 표면에 남아있는 잔류 오염을 제거하는 동작을 수행하는 제 1 샤워조를 나타내고, 참조번호 140은 초음파를 이용하여 상기 제 1 샤워조(130)를 지난 유리기판(100) 상에 남아있는 미세 오염을 제거하는 동작을 수행하는 초음파조를 나타낸다.

여기서, 상기 초음파조(140)는 순수가 저장되고 상면이 개구된 용기(141)와 상기 용기(141) 내에 설치된 초음파 발진기(143)를 구비하고 있다. 상기와 같이 구성된 초음파조(140)에서는 상기 유리기판(100)이 상기 용기(141)의 순수 속에 잠겨있는 상태에서 상기 초음파 발진기(143)에 의해 음파의 응집 및 분산 작용이 일어나면, 이러한 음파의 응집 및 분산 작용에 의하여 상기 유리기판(100) 상에 존재하는 미세 오염이 박리되어 세정이 이루어진다.

또한, 참조번호 150은 상기 초음파조(140)를 지난 유리기판(100)으로 노즐(151)을 통해 순수를 분사하여 상기 유리기판(100) 상에 남아있는 부유물을 완전히 제거하는 동작을 수행하는 제 2 샤워조를 나타내고, 참조 번호 160는 상기 제 2 샤워조(150)을 지난 유리기판(100)으로 에어나이프(air knife)(161)를 통해 압축 공기를 분사하여 수분을 강제로 밀어내는 방식으로 상기 유리기판(100)을 건조시키는 동작을 수행하는 건조조를 나타낸다.

여기서, 상기 유리기판(100)은 롤러의 회전에 의해 동작되는 컨베이어(101)를 통해 로딩부(Loader)에서 언로딩부(Unloader)까지 정지하지 않고 계속 이동된다.

그러나, 상기와 같이 구성된 PDP용 세정 시스템은 상기 유리기판(100)이 로딩부(Loader)에서 바로 디스크 브러시조(110)로 진행되기 때문에 외부의 오염물질이 상기 디스크 브러시조(110) 내로 침투할 수 있고, 갑작스러운 환경변화로 인하여 상기 디스크 브러시조(110) 내의 환경에 상기 유리기판(100)이 적응하지 못하는 문제점이 있다.

또한, 종래 기술에 따른 PDP용 세정 시스템은 디스크 브러시조(110)에서 디스크 브러시(111)의 마모가 심하고, 상기 디스크 브러시(111)와 유리기판(100) 간의 거리조정이 어려우며, 상기 유리기판(100)의 상측에만 디스크 브러시(111)가 설치되기 때문에 유리기판(100)이 휘게 되는 문제점이 있다.

또한, 상기 디스크 브러시조(110)에서는 상기 디스크 브러시(111)의 회전으로 인하여 유리기판(100)의 표면에 훼손이 일어날 수도 있고, 한번 제거되었던 오염물질이 재부착될 수도 있으며, 상기한 이유로 유리기판(100)이 휘게 되면 상기 유리기판(100)의 전표면에 대한 균일한 세정이 불가능하게 되는 문제점이 있다.

또한, 종래 기술에 따른 PDP용 세정 시스템은 상기 롤 브러시조(120)에서 유리기판(100)과 롤 브러시(121)의 밀착정도가 불균일하거나 상기 롤 브러시(121)에 휨이 발생되면 상기 유리기판(100)의 전표면에 대해 균일한 세정을 할 수 없게 되는 문제점이 있다.

또한, 종래 기술에 따른 PDP용 세정 시스템의 초음파조(140)에서는 유리기판(100)의 상면보다 하면의 세정이 더 잘 이루어지고, 유기오염의 세정이 잘 되지 않으며, 상기 용기(141)와 그 내부의 순수가 오염된 경우에는 유리기판(100)으로부터 박리된 오염물이 재부착되는 문제점이 있다.

또한, 상기 유리기판(100)은 가공업체의 가공기술에 따라 유리기판(100)의 표면오염의 종류 및 정도가 다양한데, 종래 기술에 따른 PDP용 세정 시스템은 상기 제 1 샤워조(130)와 제 2 샤워조(150)를 통해 순수만을 분사하기 때문에 유리기판(100)의 구입시 주로 문제가 되는 표면백화, 슬러지(sludge), 핀홀(pin hole), 파편, 잔류 연마제 등의 다양한 표면오염의 제거가 곤란한 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다양한 형태의 표면오염을 하나의 장비 내에서 모두 처리가능한 세정 시스템을 구비함으로써 유리기판의 오염에 대해 다각도로 대응할 수 있게 되어 제품의 수율이 향상 되도록 하는 PDP용 세정 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1a는 일반적인 PDP의 구조가 도시된 구성도,

도 1b는 PDP의 부분 단면이 도시된 구성도,

도 2는 종래 기술에 따른 PDP용 세정 시스템이 도시된 구성도,

도 3은 본 발명에 따른 PDP용 세정 시스템이 도시된 구성도,

도 4는 본 발명에 따른 롤 브러쉬의 동작 상태도,

도 5a 내지 도 5c는 본 발명에 따른 파이프 샤워가 도시된 구성도,

도 6a는 본 발명에 따른 에어커튼이 도시된 구성도,

도 6b는 본 발명에 따른 에어커튼의 동작 상태도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

500 : 유리기판 510 : 제 1 대기조

520 : 제 1 세정조 530 : 제 2 대기조

540 : 애시드 샤워조 550 : 제 1 샤워조

560 : 제 2 세정조 570 : 제 2 샤워조

580 : 린스조 590 : 건조조

600 : 에어커튼 601 : 공기 주입구

603 : 몸체 605 : 슬리트

610 : 파이프 샤워 611 : 세정제 주입구

613 : 몸체 615 : 구멍

620 : 롤 브러시

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 PDP용 세정 시스템의 특징은 기판 위에 전극이나 격벽을 형성하기 전에 상기 기판 상에 존재하는 오염을 제거하는 PDP용 세정시스템에 있어서, 상기 기판과 밀착되도록 설치된 롤 브러시를 회전시켜 상기 기판 상에 존재하는 오염을 제거하는 동작을 수행하는 제 1 세정조와, 상기 제 1 세정조를 지난 기판을 향해 애시드(acid)를 분사하여 상기 기판 상에 남아있는 오염을 제거하는 동작을 수행하는 애시드 샤워조와, 상기 애시드 샤워조를 지난 기판을 향해 순수를 분사하여 상기 기판 상에 남아있는 애시드와 부유물을 제거하는 동작을 수행하는 제 1 샤워조와, 상기 제 1 샤워조를 지난 기판과 밀착되도록 설치된 롤 브러시를 회전시켜 상기 기판 상에 남아있는 미세 오염을 제거하는 제 2 세정조와, 상기 제 2 세정조를 지난 기판을 향해 순수를 분사하여 상기 기판 상에 남아있는 미세 부유물을 제거하는 동작을 수행하는 제 2 샤워조와, 상기 제 2 샤워조를 지난 기판을 향해 순수를 분사하여 기판 상에 남아있는 오염을 완전히 제거하는 동작을 수행하는 린스조와, 상기 린스조를 지난 기판을 향해 압축공기를 분사하여 상기 기판을 건조시키는 동작을 수행하는 건조조를 포함하여 구성된 것이다.

또한, 본 발명의 부가적인 특징은, 상기 제 1 세정조의 앞과 뒤에는 각각 외부로부터 공급된 기판을 시스템 내부의 환경에 적응시키는 동작을 수행하는 제 1 대기조와, 상기 애시드 샤워조에서 사용된 애시드가 기판을 타고 상기 제 1 세정조로 흘러드는 것을 방지하는 동작을 수행하는 제 2 대기조가 설치되고, 상기 제 1 세정조의 입구, 상기 제 2 대기조의 입구, 상기 애시드 샤워조의 입구과 출구, 상기 건조조의 입구측에는 에어커튼(air curtain)이 설치되며, 상기 에어커튼은 압축 공기가 공급되는 공기 주입구와, 상기 공기 주입구와 연결된 몸체와, 상기 몸체와 결합되어 압축 공기를 분사하는 슬리트(slit)로 구성되는데 있다.

또한, 본 발명의 다른 부가적인 특징은, 상기 제 1 세정조와 제 2 세정조에는 상기 기판의 상측과 하측에 각각 적어도 하나 이상의 롤 브러시가 설치되고, 상기 제 1 세정조와 제 2 세정조는 그 상부에 상기 기판을 향해 세정제를 분사하는 파이프 샤워(pipe shower)가 각각 설치되며, 상기 파이프 샤워는 세정제가 공급되는 세정제 공급구와, 상기 세정제 공급구와 연결되고 하측면에 다수의 구멍이 형성된 원통형의 몸체로 구성되는데 있다.

또한, 본 발명의 다른 부가적인 특징은, 상기 제 1 세정조는 상기 파이프 샤워를 통해 공급되는 세정제가 중성세제이고, 상기 제 2 세정조는 상기 파이프 샤워를 통해 공급되는 세정제가 순수인데 있다.

또한, 상기와 같이 구성된 본 발명은 기판의 다양한 오염에 대해 다각도로 대응할 수 있게 되어 시스템의 개조가 불필요하고 추가적인 설비 투자액이 절감되며 제품의 수율이 향상되는 이점이 있다.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 PDP용 세정 시스템이 도시된 구성도, 도 4는 본 발명에 따른 롤 브러쉬의 동작 상태도, 도 5a는 본 발명에 따른 파이프 샤워가 도시된 사시도, 도 5b는 도 5a의 단면도, 도 5c는 도 5a의 저면도, 도 6a는 본 발명에 따른 에어커튼이 도시된 구성도, 도 6b는 본 발명에 따른 에어커튼의 동작 상태도, 이다.

도 3을 참조하여 본 발명에 따른 PDP용 세정 시스템을 설명하면 다음과 같다.

먼조, 참조번호 520은 유리기판(500)과 밀착되도록 설치된 롤 브러시(620)를 회전시켜 상기 유리기판(500) 상에 존재하는 오염을 제거하는 동작을 수행하는 제 1 세정조를 나타내고, 참조번호 510은 상기 제 1 세정조(520)의 앞에 설치되어 외부로부터 공급된 유리기판(500)을 시스템 내의 환경에 적응시키는 동작을 수행하는 제 1 대기조를 나타낸다.

또한, 참조번호 540은 상기 제 1 세정조(520)를 지난 유리기판(500)으로 노즐(541)을 통해 애시드를 분사하여 상기 유리기판(500) 상의 표면백화, 슬러지, 잔류 연마제, 핀홀, 표면 스크래치(scratch) 등의 표면오염을 제거하는 동작을 수행하는 애시드 샤워조를 나타낸다. 이때, 상기 애시드는 유리기판(500)의 상면으로 균일하게 분사되도록 원추형의 스프레이(spray) 형태로 분사된다.

또한, 참조번호 530은 상기 제 1 세정조(520)와 애시드 샤워조(540) 사이에 설치되어 상기 제 1 세정조(520)와 애시드 샤워조(540)를 차단하는 동작을 수행하는 제 2 대기조를 나타내고, 참조번호 550은 상기 애시드 샤워조(540)를 지난 유리기판(500)으로 노즐(551)을 통해 순수를 분사하여 상기 유리기판(500) 상에 남아있는 애시드와 부유물을 제거하는 동작을 수행하는 제 1 샤워조를 나타내며, 참조번호 560은 상기 제 1 샤워조(550)를 지난 유리기판(500)과 밀착되도록 설치된 롤 브러시(620)를 회전시켜 상기 유리기판(500) 상에 남아있는 미세 오염을 제거하는 제 2 세정조를 나타낸다.

또한, 참조번호 570은 상기 제 2 세정조(560)를 지난 유리기판(500)으로 노즐(571)을 통해 순수를 분사하여 상기 유리기판(500) 상에 남아있는 미세 부유물을 제거하는 동작을 수행하는 제 2 샤워조를 나타내고, 참조번호 580은 상기 제 2 샤워조(570)를 지난 유리기판(500)으로 노즐(581)을 통해 초순수를 분사하여 상기 유리기판(500) 상에 남아있는 오염을 완전히 제거하는 동작을 수행하는 린스조를 나타내며, 참조번호 590은 상기 린스조(580)를 지난 유리기판(500)으로 에어나이프(air knife)(591)를 통해 압축 공기를 분사하여 수분을 강제로 밀어내는 방식으로 상기 유리기판(500)을 건조시키는 동작을 수행하는 건조조를 나타낸다.

여기서, 상기 제 1 세정조(520)와 제 2 세정조(560)는 도 4 내지 도 5c에 도시된 바와 같이 상기 유리기판(500)의 상하측에 적어도 하나 이상의 롤 브러시(620)가 각각 설치되고, 그 상부에는 상기 유리기판(500)을 향해 세정제를 분사할 수 있도록 세정제가 공급되는 세정제 공급구(611)와, 상기 세정제 공급구(611)와 연결되고 하측면에 다수의 구멍(615)이 형성된 원통형의 몸체(613)로 구성된 파이프 샤워(610)가 설치된다.

상기와 같이 구성된 제 1 세정조(520)와 제 2 세정조(560)는 상기 유리기판(500)이 이동하는 방향과 반대방향으로 상기 롤 브러시(620)를 회전되어 그 상호 회전력에 의해 세정이 이루어지며, 상기 롤 브러시(620)의 회전력 및 상기 롤 브러시(620)와 유리기판(500) 사이의 간격 조절이 용이하도록 상기 롤 브러시(620)를 설치하여 세정력을 향상시킨다.

또한, 상기 제 1 세정조(520)에서는 상기 롤 브러시(620)의 오염 및 제거된 오염입자의 비산을 방지하고 상기 유리기판(500) 상의 유기오염을 제거할 수 있도록 상기 파이프 샤워(620)를 통해 중성세제를 분사하고, 상기 제 2 세정조(560)에서는 미세한 유기오염 및 메탈오염을 제거하도록 순수를 분사한다.

또한, 상기 제 1 세정조(520)의 입구, 상기 제 2 대기조(530)의 입구, 상기 애시드 샤워조(540)의 입구와 출구, 상기 건조조(590)의 입구측에는 도 6a와 같이 압축 공기가 공급되는 공기 주입구(601)와, 상기 공기 주입구(601)와 연결되어 압축공기가 유입된 몸체(603)와, 상기 몸체(603)와 결합되어 압축 공기를 분사하는 슬리트(605)로 구성되어, 상기 유리기판(500)을 향해 압축 공기를 분사하는 에어 커튼(600)이 상기 유리기판(500)의 상하측에 위치되도록 각각 설치되어 있다.

상기와 같이 구성된 상기 에어 커튼(600)은 도 6b에 도시된 바와 같이 상기 슬리트(605)를 통해 상기 유리기판(500)으로 압축 공기를 분사함으로써 상기한 각각의 작업조에서 상기 유리기판(500)을 향해 분사되는 중성세제, 애시드, 순수 등이 상기 유리기판(500)을 타고 다른 작업조로 흘러드는 것을 방지하는 차단막 역할을 한다.

상기와 같이 구성된 세정 시스템에서 상기 유리기판(500)은 롤러(503)의 회전에 의해 동작되는 컨베이어(501)를 통해 로딩부(Loader)에서 언로딩부(Unloader)까지 정지하지 않고 계속 이동된다.

상기와 같이 구성되고 동작되는 본 발명에 따른 PDP용 세정 시스템은 유리기판(500) 상에 존재하는 표면백화, 무기오염, 유기오염, 슬러지, 핀홀, 잔류 연마제, 파편 등 다양한 형태의 표면오염을 하나의 장비 내에서 모두 처리가능한 세정 시스템을 구비함으로써 유리기판(500)의 오염에 대해 다각도로 대응할 수 있어 시스템의 개조가 불필요하고 추가적인 설비 투자액이 절감되며 제품의 수율이 향상되는 이점이 있다.

또한, 본 발명은 다양한 형태의 오염에 대해 모두 대응 가능하므로 상기 유리기판(500)의 수입시 요구되는 정밀검사가 필요없고, 유리기판(500)의 구입처를 다각화하여 그로 인한 가격절감을 꾀할 수 있는 이점이 있다.

Claims (9)

1. 기판 위에 전극이나 격벽을 형성하기 전에 상기 기판 상에 존재하는 오염을 제거하는 PDP용 세정시스템에 있어서,

   상기 기판과 밀착되도록 설치된 롤 브러시를 회전시켜 상기 기판 상에 존재하는 오염을 제거하는 동작을 수행하는 제 1 세정조와, 상기 제 1 세정조를 지난 기판을 향해 애시드를 분사하여 상기 기판 상에 남아있는 오염을 제거하는 동작을 수행하는 애시드 샤워조와, 상기 애시드 샤워조를 지난 기판을 향해 순수를 분사하여 상기 기판 상에 남아있는 애시드와 부유물을 제거하는 동작을 수행하는 제 1 샤워조와, 상기 제 1 샤워조를 지난 기판과 밀착되도록 설치된 롤 브러시를 회전시켜 상기 기판 상에 남아있는 미세 오염을 제거하는 제 2 세정조와, 상기 제 2 세정조를 지난 기판을 향해 순수를 분사하여 상기 기판 상에 남아있는 미세 부유물을 제거하는 동작을 수행하는 제 2 샤워조와, 상기 제 2 샤워조를 지난 기판을 향해 순수를 분사하여 기판 상에 남아있는 오염을 완전히 제거하는 동작을 수행하는 린스조와, 상기 린스조를 지난 기판을 향해 압축공기를 분사하여 상기 기판을 건조시키는 동작을 수행하는 건조조를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 PDP용 세정 시스템.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 제 1 세정조의 앞과 뒤에는 각각 외부로부터 공급된 기판을 시스템 내부의 환경에 적응시키는 동작을 수행하는 제 1 대기조와, 상기 애시드 샤워조에서 사용된 애시드가 기판을 타고 상기 제 1 세정조로 흘러드는 것을 방지하는 동작을 수행하는 제 2 대기조가 설치된 것을 특징으로 하는 PDP용 세정 시스템.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 제 1 세정조의 입구, 상기 제 2 대기조의 입구, 상기 애시드 샤워조의 입구과 출구, 상기 건조조의 입구측에는 에어커튼이 설치된 것을 특징으로 하는 PDP용 세정 시스템
4. 제 3항에 있어서,

   상기 에어커튼은 압축 공기가 공급되는 공기 주입구와, 상기 공기 주입구와 연결된 몸체와, 상기 몸체와 결합되어 압축 공기를 분사하는 슬리트로 구성된 것을 특징으로 하는 PDP용 세정 시스템.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 제 1 세정조와 제 2 세정조에는 상기 기판의 상측과 하측에 각각 적어도 하나 이상의 롤 브러시가 설치된 것을 특징으로 하는 PDP용 세정 시스템.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 제 1 세정조와 제 2 세정조는 그 상부에 상기 기판을 향해 세정제를 분사하는 파이프 샤워가 각각 설치된 것을 특징으로 하는 PDP용 세정 시스템.
7. 제 5항에 있어서,

   상기 파이프 샤워는 세정제가 공급되는 세정제 공급구와, 상기 세정제 공급구와 연결되고 하측면에 다수의 구멍이 형성된 원통형의 몸체로 구성된 것을 특징으로 하는 PDP용 세정 시스템.
8. 제 5항에 있어서,

   상기 제 1 세정조는 상기 파이프 샤워를 통해 공급되는 세정제가 중성세제인 것을 특징으로 하는 PDP용 세정 시스템.
9. 제 5항에 있어서,

   상기 제 2 세정조는 상기 파이프 샤워를 통해 공급되는 세정제가 순수인 것을 특징으로 하는 PDP용 세정 시스템.

Images