KR100233148B1 - 진공 펌프 - Google Patents

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    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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Abstract

본 발명은 진공 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 수명을 향상시키기 위해 진공 펌프와 연결되어 있는 배관에 필터가 장착되어 있는 진공 펌프에 관한 것이다. 체임버와 회전 날개를 이용하여 공기를 배기시켜 진공압을 발생시키는 펌프 사이에 진공 배관의 일측단이 체임버와 연결되어 있고 타측단이 펌프와 연결되어 있고 펌프와 연결되어 있으며 공기가 배출되는 배기관이 부착되어 있고 진공 배관과 배기과에 각각 부착되어 있으며 진공 배관과 배기관의 내부에 이동하는 입자 또는 오염 물질을 필터링하는 필터체가 부착되어 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공 펌프는 체임버와 로터리 펌프 사이 진공 배관에 부착되어 있는 필터에 의해 진공 가동시 체임버에서 로터리 펌프로 흐르는 입자나 오염 물질을 필터링하여 펌프의 날개 및 벽면과 이물질의 충돌을 방지함으로써 펌프의 수명 연장할 수 있고 배기관에 부착되어 있는 필터로 펌프 가동 중단시 펌프쪽으로 역류되는 오염물질과 입자들을 필터링하여 펌프의 성능을 극대화할 수 있는 효과가 있다.

Description

진공 펌프
제1도는 종래 기술에 따른 진공 펌프의 구성을 도시한 배치도이고.
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 진공 펌프의 구성을 도시한 배치도이고,
제3도는 제2도에서 A부분을 도시한 단면도이다.
본 발명은 진공 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 수명을 향상시키기 위해 진공 펌프와 연결되어 있는 배관에 필터가 장착되어 있는 진공 펌프에 관한 것이다.
일반적으로 진공이 필요한 공정에서 진공을 사용하는 장비에 있어서 필수적으로 사용하는 것은 진공 펌프이다. 이러한 진공 펌프는 체임버(chamber)의 용량 및 기능에 따라서 용도별로 나누어져 있으며 저진공(대기압~10-3torr)에서는 일반적으로 로터리 펌프(rotary pump)를 사용하고 있다.
로터리 펌프는 하나 또는 두 개의 회전자(rotor)를 회전시켜 액체를 밀어내는 형식의 펌프이다.구조가 간단하고 취급이 용이한 장점을 가지고 있다.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 종래의 진공 펌프에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.
제1도는 종래 기술에 따른 진공 펌프의 구성을 도시한 배치도이다.
제1도에 도시한 바와 같이, 종래의 진공 펌프는 체임버(1)에 체임버(1)의 내부를 진공으로 만들기 위해 진공 배관(2)의 일측단이 연결되어 있으며 진공 배관(2)의 타측단은 로터리 펌프(3)와 연결되어 있다. 체임버(1)와 로터리 펌프(3)사이에는 진공 배관(2)의 충격을 방지하기 위해 플렉시블 호스(flexible hose)(4)가 설치되어 있으며 진공배관(2)의 도중에 배관압을 증가시키기 위해 부스터 펌프(booster pump)(5)가 연결되어 있다. 그리고 로터리 펌프(3)에는 체임버(1)로부터 배출되는 공기를 배출시키기 위해 배기관(6)이 연결되어 있다.
이러한 종래의 진공 펌프에서는 로터리 펌프와 공기의 흐름에 역류가 발생하지 않도록 부스터 펌프를 가동시키면 진공 배관을 통하여 공기가 배기관을 통하여 배출되면 체임버 내부에 진공이 된다. 이때, 펌프 내부에서 발생하는 오일(oil)도 함께 배출된다.
그러나, 이러한 종래의 진공 펌프는 체임버 측으로부터 발생되는 입자나 기타 오염 물질들이 펌핑(pumping)시에 진공 배관을 따라서 부스터 펌프나 로터리 펌프에 흡입되므로 펌프 내부에 설치되어 있는 회전 날개와 펌프의 벽면과 부딪쳐서 펌프의 벽면을 마모시키고, 펌프를 가동시키다가 중단하는 경우에는 배기 측으로 배출되던 입자나 오염물질 등이 다시 역류하여 펌프 내부로 다시 흡입되어 다시 펌프를 가동하는 경우에 입자나 오염 물질 등 때문에 펌프의 성능을 저하시키는 문제점을 가지고 있다.
본 발명의 목적은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 입자나 오염 불질 등을 필터링하여 로터리 펌프나 부스터 펌프의 내부에 입자나 오염 흡입을 방지하여 펌프 내부의 회전 날개 또는 벽면에 충격을 방지하고 펌프 가동 중단 시에도 필터링하여 입자나 오염 물질의 역류를 방지하는 데에 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공 펌프용 필터부는, 내부를 관통하는 통로가 형성되어 있는 몸체, 상기 통로 쪽으로 상기 몸체에 부착되어 있으며 제1방향의 흐름을 필터링하는 제1필터, 상기 통로 쪽으로 상기 몸체에 부착되어 있으며 상기 제1방향의 역흐름을 필터링하는 제2필터를 포함하고 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공 펌프는, 체임버, 회전 날개를 이용하여 공기를 배기시켜 진공압을 발생시키는 펌프, 일측단은 상기 체임버와 연결되어 있으며 타측단은 상기 펌프와 연결되어 있으며 상기 진공압을 상기 체임버로 전달하는 진공 배관, 상기 펌프와 연결되어 있으며 상기 공기가 배출되는 배기관, 상기 진공 배관과 배기관에 각각 부착되어 있으며 상기 진공 배관과 배기관의 내부에 이동하는 입자 또는 오염 물질을 필터링하는 필터체를 포함하고 있다.
본 발명에 따른 이러한 진공 펌프에서는 체임버와 로터리 펌프 사이 진공 배관에 부착되어 있는 필터에 의해 진공 가동시 체임버에서 로터리 펌프로 흐르는 입자나 오염 물질이 필터링되고, 진공 배관에 부착되어 있는 필터와 반대방향으로 배기관에 부착되어 있는 필터에 의해 펌프의 날개와 펌프 내부에서 마찰에 의해 자연적으로 발생하는 입자와 체임버로부터 흡입되었던 이 물질이 배출되고 펌프 가동 중단시 펌프쪽으로 역류되는 배기되던 오염 물질과 입자들은 필터링된다. 여기서 펌프에서 발생하는 미세한 오일은 펌프 가동시 이 물질과 함께 배출된다.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명에 따른 진공 펌프의 한 실시예를 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명한다.
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 진공 펌프의 구성을 도시한 배치도이고, 제3도는 제2도에서 A부분을 도시한 단면도이다.
제2도에 도시한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 진공 펌프는 체임버(10)에 체임버(10)의 내부에 채워져 있는 공기 또는 유체를 흡입하기 위한 진공 배관(20)의 일측단이 연결되어 있으며 진공 배관(20)의 타측단은 회전 날개가 가동되어 흡입력을 발생케하는 로터리 펌프(30)와 연결되어 있다. 로터리 펌프(30)에 근접한 진공 배관(20)에는 로터리 펌프(30)에서 흡입력 발생시에 유발되는 진동을 흡수하기 위해 플렉시블 호스(40)가 설치되어 있고, 플랙시블 호스(40)와 로터리 펌프(30) 사이 진공 배관(20)에는 진공 배관(20) 전체에 미치는 흡입력을 보충하여 송수압을 증가시키기 위해 부스터 펌프(50)가 연결되어 있다. 그리고 로터리 펌프(30)와 플랙시블 호스(40) 사이 진공 배관(20)에는 체임버(10)로부터 배출되는 공기 또는 유체의 흡입에 따라 체임버(10)로부터 배출되는 입자나 이 물질을 필터링하기 위해 필터체(70)가 장착되어 있다. 그리고 체임버(10)로부터 로터리 펌프(30)에 흡입되어 있는 공기나 유체를 배출하기 위해 로터리 펌프(50)에 배기관(60)이 연결되어 있다. 배출 중단시에 체임버(10)로부터 흡입되었거나 또는 펌프(40. 50)에서 자연적으로 발생하는 이 물질이 로터리 펌프(3)로 역류되는 것을 방지하기 위해 배기관(60) 필터체(70)가 부착되어 있다. 여기서 배기관(60)에 부착되어 있는 필터(70)는 진공 배관(20)에 부착되어 있는 필터(70)와 내부 구조는 동일하며 방향은 반대로 부착되어 있다.
제3도는 제2도에서 배기관(60)에 부착되어 있는 필터체(70)의 구조를 나타낸 것으로서, 몸체(71)의 중앙에 공기 또는 유체가 흐르는 통로(72)가 형성되어 있고, 상부와 하부에 볼륨을 갖는 돌출부로 형성되어 있으며 제2도의 진공 배관(20) 또는 배기관(60)과 접합 시에 공기 또는 유체가 세는 것을 방지하기 위해 링을 삽입될 수 있는 홈이 형성되어 있는 접합부(73)가 형성되어 있다. 몸체(71)의 통로(72) 쪽에 고정용 와셔(74)에 의해 다수의 필터(75) 고정되어 있다. 여기서 다수의 필터(75) 중에서 일부는 위 방향으로 굴곡되어 아래 방향의 흐름에 따라 필터링이 가능하도록 부착되어 있고 나머지 일부는 위 방향으로 굴곡되어 있는 필터(75)보다 크며 아래 방향으로 굴곡되어 위 방향의 흐름에 따라 필터링이 가능하도록 되어 있다.
이러한 진공 배관(20)에 부착되는 필터체(70)는 배기관(60)에 부착되는 필터체(70)와 동일하며 필터링하는 방향이 서로 반대 방향이므로 반대 형태를 가지고 있으며 필터(75)의 재질은 스테인너스로 제작하는 것이 적당하다.
따라서, 본 발명에 따른 진공 펌프는 체임버와 로터리 펌프 사이 진공 배관에 부착되어 있는 필터에 의해 진공 가동시 체임버에서 로터리 펌프로 흐르는 입자나 오염 물질을 필터링하여 펌프의 날개 및 벽면과 이 물질의 충돌을 방지함으로써 펌프의 수명 연장할 수 있고 배기관에 부착되어 있는 필터로 펌프 가동 중단시 펌프쪽으로 역류되는 오염물질과 입자들을 필터링하여 펌프의 성능을 극대화할 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 내부를 관통하는 통로가 형성되어 있는 몸체, 상기 통로 쪽으로 상기 몸체에 부착되어 있으며 제1방향의 흐름을 필터링하는 제1필터, 상기 통로쪽으로 상기 몸체에 부착되어 있으며 상기 제1방향의 역 흐름을 필터링하는 제2필터를 포함하는 필터체.
  2. 제1항에서, 상기 제1필터와 상기 제2필터는 스테인너스 이루어진 필터체.
  3. 체임버, 회전 날개를 이용하여 공기를 배기시켜 진공압을 발생시키는 펌프, 일측단은 상기 체임버와 연결되어 있으며 타측단은 상기 펌프와 연결되어 있고 상기 진공압을 상기 체임버로 전달하는 진공 배관, 상기 펌프와 연결되어 있으며 상기 공기가 배출되는 배기관, 상기 진공 배관과 배기관에 각각 부착되어 있으며 상기 진공 배관과 배기관의 내부에 이동하는 입자 또는 오염 물질을 필터링하는 필터체를 포함하는 진공 펌프.
  4. 제3항에서, 상기 진공 배관과 상기 배기관에 접합되는 필터체의 접합부에 공기의 누출을 방지하기 위해 링이 삽입되는 홈이 형성되어 있는 진공 펌프.
  5. 제3항에서, 상기 진공 배관에 부착되어 있으며 상기 로터리 펌프에서 발생하는 진동을 흡수하는 플렉시블 호스를 더 포함하는 진공 펌프.
  6. 제3항에서, 상기 진공 배관에 부착되어 있으며 상기 진공 배관에 송수압을 증가시키기는 부스터 펌프를 더 포함하는 진공 펌프.
  7. 제3항에서, 상기 배기관에 부착되어 있는 필터체와 상기 진공 배관에 부착되어 있는 필터체는 반대 형태로 부착되어 있는 진공 펌프.
  8. 제3항에서, 상기 필터체는 제1방향의 흐름을 필터링하는 제1필터와 상기 제1방향의 역흐름을 필터링하는 제2필터로 이루어진 진공 펌프.
  9. 제8항에서, 상기 제1필터와 상기 제2필터는 스테인리스로 이루어진 진공 펌프.
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