KR100221639B1 - Device interval controlling apparatus for semiconductor device tester - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자검사시 고객트레이내에 담겨져 있돈 소자를 픽업하여 위치결정블럭으로 이송시 픽업된 소자의 간격을 위치결정블럭의 공간부 피치에 알맞게 조절하는 장치에 관한 것으로 에어실린더의 구동으로 복수개의 가동부재가 펼쳐지거나, 오므러짐에 따라 픽업의 간격을 동일하게 유지할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a device for adjusting the spacing of the picked-up elements in accordance with the pitch of the space of the positioning block when picking up the elements contained in the customer tray during the inspection of the semiconductor device to the positioning block. As the movable member is extended or retracted, it is possible to maintain the same interval of pickup.
이를 위해, 서브모터의 구동에 따라 움직이는 벨트에 고정된 이송판(21)과, 상기 이송판의 상하에 고정된 제1,2가이드레일(22)(23)과, 상기 제1가이드레일의 일측에 고정되어 기준점역할을 하는 고정부재(24)와, 상기 제2가이드레일에 결합되어 고정부재와 일단이 고정된 제1가이드봉(26)으로 끼워진 제1가동부재(25)와, 상기 제1가동부재와 함께 수평이동가능하게 제2가이드레일에 결합되고 제1가동부재와 일단이 고정된 제2가이드봉(28)으로 끼워진 제2가동부재(27)와, 상기 제1가이드레일에 수평이동가능하게 결합되고 제2가동부재와 끼워진 제3가이드봉(30)의 일단이 끼워진 제3가동부재(29)와, 상기 제3가동부재에 일단이 고정된 제4가이드봉(34)이 결합되어 각 가동부재를 동시에 펼쳐주거나, 오므려 주는 에어실린더(33)와, 상기 이송판에 설치되어 에어실린더의 수평이동을 안내하는 로드(32)와, 상기 고정부재 및 각 가동부재에 고정되어 소자를 흡착하는 픽업(31)으로 구성하여서 된 것이다.To this end, a transfer plate 21 fixed to a belt moving according to the driving of the submotor, first and second guide rails 22 and 23 fixed to the upper and lower sides of the transfer plate, and one side of the first guide rail. A first movable member 25 fitted with a first guide rod 26 fixed to an anchoring member 24 fixed to the first guide rod 26 fixed to the second guide rail and fixed to the second guide rail; A second movable member 27 coupled to the second guide rail so as to be movable horizontally with the movable member and fitted with a second guide rod 28 fixed to the first movable member and one end thereof, and horizontally moved to the first guide rail; The third movable member 29, which is coupled to one end of the third guide rod 30 fitted with the second movable member, and the fourth guide rod 34 having one end fixed to the third movable member are coupled to each other. An air cylinder 33 for unfolding or retracting each movable member at the same time; and an air cylinder installed on the transfer plate It is fixed to the rod 32 for guiding the horizontal movement, the fixed member and the movable member is composed of a hayeoseo pickup 31 for adsorbing element.
Description
본 발명은 반도체 소자검사시 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 픽업하여 위치결정블럭으로 이송시 픽업된 소자의 간격을 위치결정블럭의 공간부 피치에 알맞게 조절하는 장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로 에어실린더의 구동으로 복수개의 가동부재가 펼쳐지거나, 오므로짐에 따라 픽업의 간격을 동일하게 유지할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to an apparatus for picking up an element contained in a customer tray during inspection of a semiconductor element and adjusting the spacing of the picked up element to a pitch of the space portion of the positioning block. As the plurality of movable members are unfolded or brought by the driving of the pickup, it is possible to maintain the same interval of pickup.
일반적으로 소자가 담겨져 보관되거나, 디바이스의 공정간 이송시 사용되는 플라스틱재의 고객트레이는 생산업자마다 모양, 크기, 용량 및 소자가 담겨지는 공간부의 피치가 각각 다르게 제작되어 사용되어 있다.In general, the customer tray of the plastic material used to store the device, or used during the process transfer of the device is manufactured and used in the shape, size, capacity, and pitch of the space portion in which the device is contained differently for each manufacturer.
또한, 고객트레이에 형성된 공간부(소자가 담겨지는 부위)의 피치가 테스트시 소자가 담겨지는 테스트 트레이내에 형성된 공간부의 피치와 다르고 정밀도 또한 다르기 때문에 테스트 트래이내에 로딩된 소자를 테스트 콘택터와 완벽한 접촉이 이루어지도록 하기 위해서는 테스트 트레이에 형성된 공간부를 정밀하게 제작되어진다.In addition, the pitch of the space formed in the customer tray (the area in which the device is contained) is different from the pitch of the space formed in the test tray in which the device is contained during the test, and the accuracy is also different. In order to achieve this, the space formed in the test tray is precisely manufactured.
그러나 고객트레이에 형성된 공간부는 소자가 수용되기만 하면 되므로 그다지 정밀하게 가공되어 있지 않으므로 고객트레이내에 담겨진 소자를 테스트 트레이내의 공간부로 옮기기 위해서는 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 정밀하게 가공된 별도의 위치결정블럭으로 운반하여 위치를 재결정시킨 다음 테스트 트레이내에 옮겨야 소자의 로딩시 소자가 파손되는 현상을 방지하게 된다.However, the space formed in the customer tray is not precisely processed because only the element needs to be accommodated. Therefore, in order to move the device contained in the customer tray to the space part of the test tray, the device contained in the customer tray is precisely processed as a separate positioning block. It must be transported to reposition and moved into the test tray to prevent the device from breaking during loading of the device.
이를 위해 반도체 소자검사기에는 소자를 옮기는 역할을 하는 픽업(pick up)이 장착된 이송수단을 갖는다.To this end, the semiconductor device inspector has a transport means equipped with a pick-up which serves to move the device.
종래에는 고객트레이의 공간부내에 담겨진 소자를 위치결정블럭으로 옮기기 위해 1개의 픽업이 픽업블럭에 승강가능하게 장착되어 있어 실린더의 구동으로 상기 픽업이 하강하여 고객트레이내에 담겨진 소자를 흡착한 다음 위치를 옮겨가면서 위치결정블럭에 형성된 공간부내로 순차 이송시켰으므로 소자의 이송에 따른 시간이 지연되었고, 이에 따라 소자의 성능검사를 따른 작업능률이 저하되었다.Conventionally, one pickup is mounted on the pickup block so as to move the element contained in the space of the customer tray to the positioning block so that the pickup is lowered by driving the cylinder to adsorb the element contained in the customer tray. Since the transfer was sequentially transferred into the space portion formed in the positioning block, the time due to the transfer of the device was delayed, thereby reducing the work efficiency according to the performance test of the device.
상기한 문제점을 개선하기 위해, 고객트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일함과 동시에 위치결정블럭에 형성된 공간부의 개수와 동일한 개수의 픽업이 장착된 픽업헤드를 구비하고, 소자의 위치를 재정렬하는 위치결정블럭에는 테스트 트레이의 공간부 피치와 일치되게 조절하는 간격조절수단이 구비된 장치가 개발되어 사용되고 있다.In order to solve the above problems, a positioning head having a pickup head equipped with the same number of pickups as the pitch of the space portion formed in the customer tray and the same number as the number of the space portion formed in the positioning block, and repositioning the positions of the elements The device has been developed and used in the block is provided with an interval adjusting means for adjusting to match the pitch of the space portion of the test tray.
따라서 고객트레이에 담져진 소자를 테스트 트레이에 로딩하기 위해 일측의 픽업헤드가 고객트레이측으로 이동되어와 정지하면 픽업이 하강하여 상기 고객트레이에 담겨진 복수개의 소자를 동시에 흡착한다.Therefore, when the pick-up head of one side is moved to the customer tray side and stops to load the elements contained in the customer tray into the test tray, the pickup is lowered to simultaneously adsorb a plurality of elements contained in the customer tray.
그후, 픽업이 상승하고 나면 픽업헤드가 위치결정블럭의 직상부로 이동하여 픽업이 흡착된 소자를 간격이 고객트레이의 피치와 동일하게 조절된 위치결정브럭 공간내부에 얹어놓게 된다.Then, after the pick-up, the pick-up head moves to the upper portion of the positioning block so that the element on which the pick-up is adsorbed is placed in the positioning block space whose spacing is adjusted to be equal to the pitch of the customer tray.
이와 같이 고객트레이내에 담겨진 소자가 픽업에 의해 위치결정블럭의 공간부내에 얹혀지고 나면 별도의 구동수단에 의해 상기 위치결정블럭이 테스트 트레이의 피치와 동일하게 펼쳐지게 되므로 테스트 트레이측에 설치된 픽업헤드가 위치결정블럭측으로 이송되어와 전술한 바와 같이 동작하여 소자를 테스트 트레이의 공간부내로 옮기게 된다.After the element contained in the customer tray is placed in the space of the positioning block by pick-up, the positioning block is unfolded in the same manner as the pitch of the test tray by a separate driving means. It is transferred to the decision block side and operated as described above to move the device into the space portion of the test tray.
이러한 장치는 전술한 장치에 비해 싸이클 타임이 짧아져 생산성을 향상시키게 되는 잇점을 갖게 되나, 고객트레이측과 테스트 트레이측에 각각 픽업헤드를 설치하여야 되므로 2개의 픽업헤드르르 설치하므로 인해 기기의 공간활용도가 줄어들게 됨은 물론 반드시 위치결정블럭에 간격조절수단을 구비하여야 되는 구조적인 문제점이 있었다.This device has the advantage of shortening the cycle time compared to the above-described device, thereby improving productivity. However, since the pickup heads must be installed on the customer tray side and the test tray side, two pickup heads are installed so that space can be utilized. Of course, there is a structural problem that must be provided with a spacing control means in the positioning block.
따라서 상기한 문제점을 해결하기 위해서 출원인에 의해 개발되어 실용신안 95-7512호로 출원된 기술이 제안된 바 있다.Therefore, in order to solve the above problems, a technology developed by the applicant and filed in Utility Model 95-7512 has been proposed.
상기 기술을 첨부된 도면 제1도 내지 제4도를 참고로 설명하면 다음과 같다.The above description is made with reference to FIGS. 1 through 4 of the accompanying drawings.
상판(1)에 제1수평LM가이더(2)를 따라 수평 이동하도록 설치된 설치판(3)의 하방에 제1실린더(4)의 구동시 승,하강하는 픽업블럭(5)이 설치되어 있고 픽업블럭에는 설치판(3)의 이동방향과 동일한 방향으로 제2수평 LM가이더(6)를 따라 이동하는 복수개의 슬라이더(7)가 결합되어 있으며 상기 각 슬라이드에는 제2실린더(8)의 구동에 따라 수직 LM가이더(9)에 안내되어 승,하강하는 픽업(10)이 고정된 픽업헤드(11)가 결합되어 있다.A pickup block 5 is provided on the upper plate 1 to move up and down when the first cylinder 4 is driven below the mounting plate 3 installed to move horizontally along the first horizontal LM guider 2. The block is coupled with a plurality of sliders 7 moving along the second horizontal LM guider 6 in the same direction as the moving direction of the mounting plate 3, and the slides are driven in accordance with the operation of the second cylinder 8. The pickup head 11 is fixed to a pickup 10 which is guided to the vertical LM guider 9 and moves up and down.
그리고 복수개의 슬라이더(7) 상부에 핀(12)을 고정하여 상기 핀이 픽업블럭(5)의 상부에 형성된 장공(5a)를 통해 노출되도록 한 다음 상기 각 핀에 제1링크(13)를 힌지 결합하도록 되어 있고 상기 제1링크의 양단에는 제2링크(14)를 핀(15)으로 결합하도록 되어 있으며 상기 제1링크중 일측의 제1링크 끝단은 제3실린더(16)의 로드에 고정된 가이드편(17)의 가이드홈(17a)에 끼워지도록 돌기(18)가 형성되어 있다.The pins 12 are fixed to the plurality of sliders 7 so that the pins are exposed through the long holes 5a formed on the pick-up blocks 5, and then the first links 13 are hinged to the pins. The second link 14 is coupled to the pin 15 at both ends of the first link, and one end of the first link of the first link is fixed to the rod of the third cylinder 16. The protrusion 18 is formed so that the guide groove 17a of the guide piece 17 may be fitted.
따라서 고객트레이(19)의 공간부(19a)내에 담겨진 소자(20)를 흡착하기 위해 픽업블럭(5)이 상사점에 위치되고, 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 든 상태에서 설치판(3)이 제1수평 LM가이더(2)를 따라 이송되어 고객트레이(19)에 형성된 공간부의 1열과 일치되게 정지한다.Therefore, the pick-up block 5 is positioned at the top dead center to adsorb the element 20 contained in the space 19a of the customer tray 19, and the mounting plate 3 with the slider 7 retracted inward. ) Is transported along the first horizontal LM guider 2 and stops to coincide with one row of space portions formed in the customer tray 19.
이러한 상태에서 설치판(3)에 고정된 제1실린더(4)의 구동으로 픽업블럭(5)이 하사점에 도달하면 각 슬라이더(7)에 고정되어 픽업헤드(11)를 승,하강시키는 제2실린더(8)가 동작하게 되므로 상기 픽업헤드(11)의 끝단에 고정된 픽업(10)이 제2도의 일점쇄선과 같이 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨진 소자(20)의 상면과 접속된다.In this state, when the pickup block 5 reaches the bottom dead center by the driving of the first cylinder 4 fixed to the mounting plate 3, it is fixed to each slider 7 to raise and lower the pickup head 11. Since the two cylinders 8 are operated, the pickup 10 fixed to the end of the pickup head 11 of the element 20 contained in the space 19a of the customer tray 19, as shown by the dashed line in FIG. It is connected to the upper surface.
그후, 공압에 의해 픽업(10)의 내부에 진공압이 걸리면 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨져 있던 소자(20)가 픽업(10)에 흡착된다.After that, when the vacuum pressure is applied to the inside of the pickup 10 by pneumatic pressure, the element 20 contained in the space 19a of the customer tray 19 is attracted to the pickup 10.
소자(20)가 흡착된 상태에서 전술한 바와는 반대로 제2실린더(8)와 제1실린더(4)가 순차적으로 동작하면 픽업헤드(11)와 픽업블럭(5)이 초기상태와 같이 각각 상사점에 도달하게 된다.If the second cylinder 8 and the first cylinder 4 are sequentially operated in the state in which the element 20 is adsorbed, the pickup head 11 and the pickup block 5 are similar to each other as in the initial state. The point is reached.
그후, 설치판(3)이 제1수평 LM가이더(2)를 따라 위치결정블럭측으로 이동할 때 픽업블럭(5)의 상부에 고정된 제3실린더(16)가 구동하여 가이드편(17)을 밀어주게 되므로 제4도와 같이 제1링크(13)의 일단에 고정된 편(7a)이 상기 가이드편에 형성된 가이드홈(5a)을 따라 바깥측으로 이동하게 되고, 이에 따라 제1도 및 제4도에 도시한 바와 같이 상호 오므려져 있던 제1,2링크(13)(14)가 펼쳐져 픽업(10)이 테스트 트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일해지게 된다.Then, when the mounting plate 3 moves along the first horizontal LM guider 2 to the positioning block side, the third cylinder 16 fixed to the upper portion of the pickup block 5 is driven to push the guide piece 17. As shown in FIG. 4, the piece 7a fixed to one end of the first link 13 moves outward along the guide groove 5a formed in the guide piece. As a result, in FIG. As shown in the drawing, the first and second links 13 and 14 which are enclosed with each other are unfolded so that the pickup 10 is equal to the pitch of the space portion formed in the test tray.
이러한 상태에서 제1실린더(4)가 구동하여 픽업블럭(5)을 하사점에 위치시키고 나면 상기 픽업(10)에 흡착된 소자가 위치결정블럭의 공간부내에 위치되므로 상기 픽업에 작용하고 있던 진공압을 해제하여 소자가 자중에 의해 낙하되도록 하므로 상기 소자가 위치결정블럭의 공간부내에 정확히 위치 결정된다.In this state, after the first cylinder 4 is driven to position the pickup block 5 at the bottom dead center, the element adsorbed to the pickup 10 is located in the space portion of the positioning block. The air is released to cause the element to fall by its own weight, so that the element is accurately positioned in the space portion of the positioning block.
그러나 이러한 종래의 장치 또한, 고객트레이내에 담겨진 1열의 소자를 한꺼번에 흡착한 다음 위치결정블럭측으로 이송시 간격을 조절하여 위치결정한 후 위치결정 완료된 소자를 테스트 트레이측으로 로딩하는 동작을 1개의 이송장치로 구현하도록 되어 있으므로 위치결정에 따른 시간을 줄이게 됨은 물론 기기의 설치 공간을 최소화할 수 있다는 잇점을 갖게 되지만, 슬라이더(7)가 다수개의 제1,2링크(13)(14)에 의해 연결되어 동시에 연동하도록 구성되어 있으므로 슬라이더(7)가 최대한 펼쳐진 상태에서 양단에 위치되는 픽업(10)은 위치결정블럭 또는 테스트 트레이의 공간부 직하방에 정확히 위치되지만, 그 사이에 위치되는 픽업(10)은 각 링크의 길이가 비교적 길어 링크가 유동되기 때문에 링크의 끝단위치가 부정확하게 되고, 이에 따라 픽업(10)이 위치결정블럭에 위치된 소자를 정확히 홀딩하지 못하거나, 테스트 트레이의 공간부내에 홀딩된 소자를 정확히 로딩하지 못하게 되는 치명적인 문제점을 야기시켰다.However, such a conventional device also implements the operation of loading the completed device to the test tray after positioning by adjusting the spacing at the time of transporting to the positioning block side by adsorbing one row of elements contained in the customer tray at once. Since the time required for positioning is reduced and the installation space of the device can be minimized, the slider 7 is connected by a plurality of first and second links 13 and 14 to simultaneously interlock. Since the pickup 10 positioned at both ends with the slider 7 fully extended, the pickup 10 is located exactly under the space of the positioning block or the test tray, but the pickup 10 positioned between the respective pickups 10 Because of the relatively long length of the link, the end position of the link becomes inaccurate because the link flows, so that the pickup 10 It does not exactly hold the element in position value decision block, or caused a serious problem of preventing the accurate loading of the holding element in the space portion of the test tray.
또한 그 구성이 복잡하여 부품수가 많게 되므로 부품의 가공 및 조립에 많은 시간이 걸리게 된다.In addition, since the configuration is complicated and the number of parts is large, it takes much time to process and assemble the parts.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 그 구조를 간단히 하면서도 가동부재가 펼쳐지거나, 오므러 들더라도 각 픽업의 간격이 정확히 유지될 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve such a problem in the prior art, and its purpose is to make it possible to maintain the interval of each pickup accurately even if the movable member is unfolded or retracted while simplifying its structure.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 서브모터의 구동에 따라 움직이는 벨트에 고정된 이송판과, 상기 이송판의 상하에 고정된 제1,2 가이드레일과 상기 제1가이드레일의 일측에 고정되어 기준점역할을 하는 고정부재와, 상기 제2가이드레일에 결합되어 고정부재와 일단이 고정된 제1가이드봉으로 끼워진 제1가동부재와, 상기 제1가동부재와 함께 수평이동가능하게 제2가이드레일에 결합되고 제1가동부재와 일단이 고정된 제2가이드봉으로 끼워진 제2가동부재와, 상기 제1가이드레일에 수평이동가능하게 결합되고 제2가동부재와 끼워진 제3가이드봉의 일단이 끼워진 제3가동부재와, 상기 제3가동부재에 일단이 고정된 제4가이드봉이 결합되어 각 가동부재를 동시에 펼쳐주거나, 오므려 주는 에어실린더와, 상기 이송판에 설치되어 에어실린더의 수평이동을 안내하는 로드와, 상기 고정부재 및 각 가동부재에 고정되어 소자를 흡착하는 픽업으로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a transfer plate fixed to the belt moving in accordance with the drive of the sub-motor, the first and second guide rails fixed above and below the transfer plate and one side of the first guide rail A first movable member coupled to the second guide rail and fitted with a first guide rod fixed to the second guide rail and fixed to the second guide rail, and horizontally movable together with the first movable member. A second movable member coupled to the second guide rail and inserted into a second guide rod having one end fixed thereto, and one end of the third guide rod coupled to the first guide rail and horizontally coupled to the first guide rail; The fitted third movable member and the fourth guide rod having one end fixed to the third movable member are combined to simultaneously expand or deflate each movable member, and an air cylinder installed on the conveying plate. A rod for guiding the horizontal movement of the cylinder and the fixing member and the spacing element of the semiconductor device tester, characterized by a pick-up adapted to secure the adsorbing elements of each movable member is provided.
제1도는 종래 장치의 일부를 절결하여 나타낸 종단면도.1 is a longitudinal cross-sectional view showing a part of a conventional device cut out.
제2도는 제1도의 일부를 절결하여 나타낸 측면도.FIG. 2 is a side view cut away from a portion of FIG. 1. FIG.
제3도는 슬라이드가 내측으로 오므러든 상태도.3 is a state in which the slide retracted inward.
제4도는 제3실린더의 구동으로 슬라이더가 펼쳐진 상태도.4 is a state in which the slider is unfolded by the driving of the third cylinder.
제5도는 본 발명에 나타낸 사시도.5 is a perspective view of the present invention.
제6(a)도 및 제6(b)도는 본 발명을 설명하기 위한 제5도의 정면도로써,6 (a) and 6 (b) are front views of FIG. 5 for explaining the present invention.
제6(a)도는 각 가동부재가 내측으로 오므러든 상태도.Figure 6 (a) is a state in which each movable member retracted inward.
제6(b)도는 각 가동부재가 대한 부호의 설명.6 (b) is a description of symbols for each movable member.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
21 : 이송판 22 : 제1가이드레일21: transfer plate 22: the first guide rail
23 : 제2가이드레일 24 : 고정부재23: second guide rail 24: fixing member
25 : 제1가동부재 26 : 제1가이드봉25: first movable member 26: first guide rod
27 : 제2가동부재 28 : 제2가이드봉27: second movable member 28: second guide rod
29 : 제3가동부재 30 : 제3가이드봉29: third movable member 30: third guide rod
31 : 픽업 32 : 로드31: pickup 32: loading
33 : 에어실린더 34 : 제4가이드봉33: air cylinder 34: fourth guide rod
이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 제5도 및 제6(a)~6(b)도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 5 and 6 (a) to 6 (b).
첨부된 제5도는 본 발명을 나타낸 사시도이고 제6(a)도 및 제6(b)도는 본 발명의 동작을 설명하기 위한 제5도의 정면도로써, 본 발명은 서브모터의 구동에 따라 움직이는 벨트(도시는 생략함)에 이송판(21)이 고정되어 있고 상기 이송판의 상하부에는 제1,2가이드레일(22)(23)이 평행하게 고정되어 있으며 상기 제1가이드레일의 일측에는 기준점역할을 하는 고정부재(24)가 고정되어 있다.5 is a perspective view of the present invention, and FIGS. 6 (a) and 6 (b) are front views of FIG. 5 for explaining the operation of the present invention. The transfer plate 21 is fixed to the upper and lower portions of the transfer plate, and the first and second guide rails 22 and 23 are fixed in parallel to each other, and a side of the first guide rail serves as a reference point. The fixing member 24 is fixed.
그리고 상기 제2가이드레일에 제1가동부재(25)가 수평이동가능하게 결합되어 있고 상기 제1가이드레일(22)에 고정된 고정부재(24)와 제1가동부재(25)사이에는 제1가이드봉(26)이 끼워져 있는데, 이때 제1가이드봉(26)의 일단은 고정부재(24)에 고정되어 있고 다른 일단은 제1가동부재(25)에 이동가능하게 끼워져 있다.The first movable member 25 is horizontally coupled to the second guide rail, and the first movable member 25 is fixed between the fixed member 24 and the first movable member 25 fixed to the first guide rail 22. The guide rod 26 is inserted, wherein one end of the first guide rod 26 is fixed to the fixing member 24 and the other end of the guide rod 26 is movable to the first movable member 25.
이는 제1가동부재(25)가 고정부재(24)측으로 이동될 수 있도록 하기 위함이다.This is to allow the first movable member 25 to be moved to the fixing member 24 side.
또한, 상기 제1가동부재(25)의 일측에 위치하는 제2가이드레일(23)에 수평이동가능하게 제2가동부재(27)가 결합되어 있고 제1,2 가동부재(25)(27)사이에는 제2가이드봉(28)이 끼워져 있는데, 제2가이드봉(28)의 일단은 제1가동부재(25)에 고정되어 있고 다른 일단은 제2가동부재(27)에 이동가능하게 끼워져 있다.In addition, the second movable member 27 is coupled to the second guide rail 23 positioned at one side of the first movable member 25 so as to be horizontally movable, and the first and second movable members 25 and 27. The second guide rod 28 is inserted therebetween, one end of the second guide rod 28 being fixed to the first movable member 25 and the other end of the second guide rod 28 being movable to the second movable member 27. .
또한, 상기 제2가동부재(27)의 일측에 위치하는 제1가이드레일(22)에 제3가동부재(29)가 수평이동가능하게 결합되어 있고 제2,3가동부재(27)(29)사이에는 제3가이드봉(30)이 끼워져 있는데, 제3가이드봉(30)의 일단은 제3가동부재(29)에 고정되어 있고 다른 일단은 제2가동부재(27)에 이동가능하게 끼워져 있다.In addition, the third movable member 29 is horizontally movable to the first guide rail 22 positioned on one side of the second movable member 27, and the second and third movable members 27 and 29 are provided. A third guide rod 30 is inserted therebetween, one end of the third guide rod 30 being fixed to the third movable member 29 and the other end of the third guide rod 30 being movable to the second movable member 27. .
상기한 바와 같이 고정부재(24)의 각 가동부재의 이동시 안내역할을 하는 각 가이드봉은 가동부재가 상호 오므러 들 때 간섭이 발생되지 않도록 어긋나게 설치되어 있다.As described above, the guide rods serving as guides during the movement of the movable members of the fixing member 24 are provided to be shifted so as not to cause interference when the movable members are retracted from each other.
상기한 고정부재(24)의 각 가동부재의 일측면에는 소자를 흡착하는 픽업(31)이 각각 고정되어 있다.On one side of each of the movable members of the fixing member 24, pickups 31 for absorbing elements are fixed.
한편, 이송판(21)의 상측에 각 가이드레일(22)(23)과 평행하게 로드(32)가 고정설치되어 있고 상기 로드에는 에어실린더(33)가 수평이동가능하게 결합되어 있으며 상기 에어실린더에는 제3가동부재(29)에 일단이 고정된 제4가이드봉(34)이 끼워져 있다.On the other hand, the rod 32 is fixedly installed in parallel with the guide rails 22 and 23 on the upper side of the transfer plate 21, and the air cylinder 33 is coupled to the rod so as to be movable horizontally. The fourth guide rod 34 having one end fixed to the third movable member 29 is fitted therein.
이때 상기 제4가이드봉(34)에는 코일스프링(35)이 끼워져 있는데, 이는 로드(32)에 결합된 에어실린더(33)가 도면상 우측으로 이동하여 각 가동부재가 완전히 오므러든 상태에서 계속해서 에어실린더(33)가 우측으로 이동하더라도 상기 에어실린더가 코일스프링을 압축시키므로 인해 에어실린더(33)에 충격이 가해지지 않도록 하기 위함이다.At this time, the coil spring 35 is fitted to the fourth guide rod 34. The air cylinder 33 coupled to the rod 32 moves to the right in the drawing, and the movable member is completely retracted. Even if the air cylinder 33 moves to the right, the air cylinder compresses the coil spring so that the impact is not applied to the air cylinder 33.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above is as follows.
먼저, 고객트레이의 공간내부에 담겨진 소자를 흡착하기 위해서는 고객트레이에 형성된 공간부의 피치가 테스트 트레이에 형성된 공간부의 피치보다 좁기 때문에 각 가동부재(25)(27)(29)가 고정부재(24)측으로 오므러 든 상태에 있게 된다.First, in order to adsorb elements contained in the space of the customer tray, each movable member 25, 27, 29 is fixed member 24 because the pitch of the space portion formed in the customer tray is narrower than the pitch of the space portion formed in the test tray. It is in a state of being closed to the side.
즉, 제6(a)도에서와 같이 에어실린더(33)가 제4가이드봉(34)에 결합된 코일스프링(35)을 압축시키면서 도면상 로드(32)의 우측에 위치되어 있으므로 제1,2가이드레일(22)(23)에 결합된 제1,2,3 가동부재(25)(27)(29)가 고정부재(24)측에 차례로 밀착된 상태를 유지하게 된다.That is, as shown in FIG. 6 (a), the air cylinder 33 is positioned on the right side of the rod 32 in the drawing while compressing the coil spring 35 coupled to the fourth guide rod 34. The first, second and third movable members 25 and 27 and 29 coupled to the two guide rails 22 and 23 are in close contact with the fixing member 24 in order.
이러한 상태에서 고객트레이내에 담겨진 소자를 흡착이송하여 테스트 트레이의 공간부내에 위치결정하고자 할 경우에는 이송판(21)의 수평 LM가이더(도시는 생략함)를 따라 이송되어 고객트레이에 형성된 공간부의 1열과 일치된 지점에서 정지한다.In this state, when the element contained in the customer tray is to be transferred by adsorption and positioned in the space part of the test tray, the space part formed in the customer tray is transferred along the horizontal LM guide (not shown) of the transfer plate 21. Stop at the point in line with the row.
그후, 종래의 장치와 마찬가지로 설치판에 고정된 실린더의 구동으로 이송판(21)을 하강시킴과 동시에 픽업(31)이 동작하게 되므로 고객트레이의 공간부내에 담겨진 1줄의 소자가 흡착된다.Thereafter, as in the conventional apparatus, the transfer plate 21 is lowered by the driving of the cylinder fixed to the mounting plate and the pickup 31 is operated, so that one line of elements contained in the space portion of the customer tray is absorbed.
상기한 동작으로 픽업에 소자가 흡착되면 전술한 바와는 반대로 동작하여 이송판(21)을 초기상태와 같이 상승시킴과 동시에 설치판이 수평 LM가이더를 따라 위치결정블럭측으로 이동하게 되는데, 이때 에어실린더(33)가 로드(32)의 좌측으로 이동하면 제1,2,3 가이드봉(26)(28)(30)으로 연결된 제1,2,3가동부재(25)(27)(29)가 제1,2가이드레일(22)(23)을 따라 이동하게 되므로 고정부재(24)측으로 부터 펼쳐진다.When the element is adsorbed to the pickup by the above operation, the operation is reversed as described above to raise the transfer plate 21 as the initial state, and at the same time, the installation plate moves to the positioning block side along the horizontal LM guider. When the 33 moves to the left side of the rod 32, the first, second and third movable members 25, 27 and 29 connected to the first, second and third guide rods 26, 28 and 30 are removed. Since the first and second guide rails 22 and 23 move along, they are unfolded from the fixing member 24 side.
이에 따라 상기 고정부재(24) 및 각 가동부재(25)(27)(29)에 고정된 픽업(31)의 간격이 넓어지게 되므로 상기 픽업에 흡착된 소자가 테스트트레이에 형성된 공간부의 간격과 일치된다.As a result, the interval between the fixed members 24 and the pickups 31 fixed to the movable members 25, 27 and 29 is widened, so that the elements adsorbed on the pickups coincide with the intervals of the spaces formed in the test tray. do.
상기한 바와 같은 동작시 각 가동부재(25)(27)(29)는 제1,2,3 가이드봉(26)(28)(30)에 끼워져 있어 각 가이드봉에 끼워진 가동부재가 가이드봉으로부터 빠져 나오면서 각 가동부재가 차례로 펼쳐지게 되므로 제6(b)도와 같이 픽업(31)의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있게 된다.In the operation as described above, the movable members 25, 27 and 29 are fitted to the first, second and third guide rods 26, 28 and 30 so that the movable members fitted to the guide rods are moved from the guide rods. Since each movable member is unfolded in turn as it exits, the interval of the pickup 31 can be kept constant as shown in FIG. 6 (b).
즉, 픽업(31)이 테스트 트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일해지게 되므로 이송판(21)이 하사점에 위치된 상태에서 픽업에 작용되전 진공압을 해제하면 픽업에 흡착되어 있던 소자가 자중에 의해 위치결정블럭의 공간부내에 정확히 위치결정되므로 소자의 로딩작업이 완료되는 것이다.That is, since the pickup 31 becomes equal to the pitch of the space portion formed in the test tray, when the transfer plate 21 is located at the bottom dead center, the element absorbed by the pickup is released when the vacuum pressure is released before acting on the pickup. By positioning precisely in the space portion of the positioning block, the loading operation of the device is completed.
이상에서와 같이 본 발명은 에어실린더(33)의 이동에 따라 픽업이 점진적으로 펼쳐지거나, 오므러 들도록 구성되어 있어 고정부재 및 각 가동부재에 끼워지는 가이드봉(26)(28)(30)의 길이만 정밀하게 가공하면 픽업의 피치를 정확히 유지할 수 있게 됨은 물론 테스트 트레이의 공간부피치가 달라질 경우에는 가이드봉의 길이만을 가변시키면 되므로 설비의 적용범위가 보다 확대되는 잇점을 얻게 된다.As described above, the present invention is configured to gradually unfold or retract the pickup according to the movement of the air cylinder 33, so that the guide rods 26, 28, 30 fitted to the fixed member and each movable member are If the length is precisely processed, the pitch of the pickup can be maintained accurately, and if the space of the test tray is changed, only the length of the guide rod can be changed, thereby obtaining the advantage of wider application range.
또한, 그 구조가 보다 간편해지게 되므로 부품의 가공 및 조립에 따른 생산성을 향향시키게 된다.In addition, since the structure becomes simpler, the productivity according to the processing and assembly of the parts is improved.
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