KR100220798B1 - Plasma display panel and the manufacturing method of address electrode and barrier thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 어드레스 전극과 격벽의 고정도고정세 인쇄 및 패터닝(patterning)을 가능하게 하고, 상기 격벽의 상부면을 평탄화시켜 배기 불량이나 화질 저하를 방지할 수 있는 플라즈마 표시 패널 및 그 어드레스 전극과 격벽 제조방법에 관한 것으로서, 배면 유리기판의 일면을 에칭하거나 스트라이프형 홈을 형성시킨 후 어드레스 전극과 격벽을 형성시키기 때문에 상기 어드레스 전극과 격벽 하단부의 퍼짐 현상이 방지되어 고정도고정세 인쇄 및 패터닝을 가능하게 하는 효과가 있다.The present invention is a high accuracy of the address electrode and the partition wall The present invention relates to a plasma display panel capable of high-definition printing and patterning, and to flattening the upper surface of the partition to prevent defective exhaust or deterioration of image quality. Since one side is etched or a stripe-shaped groove is formed, the address electrode and the partition wall are formed to prevent spreading of the address electrode and the lower end of the partition wall and thus high accuracy. It has the effect of enabling high definition printing and patterning.
또한, 본 발명은 격벽의 상부면을 폴리싱(polishing)하여 평탄화시키기 때문에 배기나 가스의 주입 공정시 기체의 이동이 원활해져서 배기시간을 단축시키고, 배기를 완전하게 수행할 수 있으며, 방전공간 내부의 오염물 제거 또한 원활하게 수행되어 상기 방전공간 내부의 오염물 축적량이 감소되고, 그로 인해 플라즈마 표시 패널의 화질이 향상되는 효과가 있다.In addition, in the present invention, the upper surface of the partition is polished and planarized to smooth the movement of gas during the exhaust or gas injection process, thereby shortening the exhaust time and completely exhausting the gas into the discharge space. The removal of contaminants is also performed smoothly, and the amount of contaminants accumulated in the discharge space is reduced, thereby improving the image quality of the plasma display panel.
Description
본 발명은 플라즈마 표시 패널 및 그 어드레스 전극과 격벽 제조방법에 관한 것으로서, 특히 어드레스 전극과 격벽의 고정도고정세 인쇄 및 패터닝(patterning)을 가능하게 하고, 상기 격벽의 상부면을 평탄화시켜 배기 불량이나 화질 저하를 방지할 수 있는 플라즈마 표시 패널 및 그 어드레스 전극과 격벽 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel and a method for manufacturing the address electrode and the partition wall. The present invention relates to a plasma display panel capable of high-definition printing and patterning, and to flattening the upper surface of the barrier ribs to prevent defective exhaust or deterioration of image quality, and a method of manufacturing the address electrodes and the barrier ribs.
일반적으로 플라즈마 표시 패널은 내부의 기체 방전 현상을 이용하여 화상을 표시하는 발광형 표시소자의 일종으로서, 방전셀마다 액티브 소자를 장착할 필요가 없어 간단한 제조 프로세스에 의해 생산성을 높일 수 있고, 화면의 대형화가 용이하며, 응답속도가 빨라 대형 화면을 가지는 직시형 평면 표시장치 특히, HDTV(High Definition TeleVision) 시대를 지향한 평면 표시장치의 표시소자로 각광받고 있다.In general, a plasma display panel is a light emitting display device that displays an image by using an internal gas discharge phenomenon, and there is no need to install an active device for each discharge cell, thereby increasing productivity by a simple manufacturing process. It is easy to enlarge, and has a fast response speed, and has attracted much attention as a display device of a flat display device having a large screen, particularly for a high definition television (HDTV) era.
종래 기술에 의한 플라즈마 표시 패널은 제1도 및 제2도에 도시된 바와 같이 화상의 표시면인 전면 유리기판(1)과, 상기 전면 유리기판(1)과 일정 거리를 사이에 두고 대향되게 위치되는 배면 유리기판(2)과, 상기 전면 유리기판(1) 중 상기 배면 유리 기판(2)과의 대향면에 형성된 복수개의 스트라이프형 유지 전극(3)과, 상기 유지 전극(3) 위에 형성되어 방전 전류를 제한하는 유전체층(4)과, 상기 유전체층(4) 위에 형성되어 상기 유지 전극(3)을 보호하는 보호층(5)과, 상기 배면 유리기판(2) 중 상기 전면 유리기판(1)과의 대향면에 형성된 복수개의 스트라이프형 어드레스 전극(6)과, 상기 어드레스 전극(6) 사이에 각각 형성된 복수개의 스트라이프형 격벽(7)과, 상기 각 어드레스 전극(6) 위에 형성된 형광체층(8)과, 상기 전면 유리기판(1)과 배면 유리기판(5)과 복수개의 격벽(7)에 의해 형성되는 방전공간에 주입된 방전가스로 구성된다.The plasma display panel according to the prior art is positioned to face the front glass substrate 1, which is the display surface of the image, and a predetermined distance therebetween, as shown in FIGS. 1 and 2. And a plurality of stripe sustain electrodes 3 formed on opposite surfaces of the rear glass substrate 2 and the rear glass substrate 2 of the front glass substrate 1, and formed on the sustain electrode 3, respectively. A dielectric layer 4 for limiting discharge current, a protective layer 5 formed on the dielectric layer 4 to protect the sustain electrode 3, and the front glass substrate 1 of the rear glass substrate 2; A plurality of stripe-shaped address electrodes 6 formed on opposite surfaces of the plurality of stripe-shaped address electrodes 6, a plurality of stripe-shaped partition walls 7 formed between the address electrodes 6, and a phosphor layer 8 formed on each of the address electrodes 6; ), The front glass substrate (1) and the rear glass substrate (5) It consists of discharge gas injected into the discharge space formed by several partitions 7.
상기와 같이 구성되어 임의의 셀의 유지 전극(2)과 어드레스 전극(6)에 구동 펄스가 공급되면 해당 방전공간에 방전이 일어나 방전가스가 플라즈마 상태로 되면서 자외선이 방출되고, 상기 자외선이 해당 형광체층(8)을 여기시키면 가시광선이 발생되어 전면 유리기판(1)을 통해 방전공간 외부로 방출되며, 상기 가시광선이 방출되면 외부에서 해당 셀의 화상 표시를 인식할 수 있다.When the driving pulse is supplied to the sustain electrode 2 and the address electrode 6 of the arbitrary cell as described above, the discharge occurs in the corresponding discharge space, and the ultraviolet rays are emitted while the discharge gas is in the plasma state. When the layer 8 is excited, visible light is generated and emitted to the outside of the discharge space through the front glass substrate 1, and when the visible light is emitted, an image display of the corresponding cell can be recognized from the outside.
한편, 상기 복수개의 격벽(7)은 복수개의 어드레스 전극(6)이 형성된 다음 후막 인쇄방법으로 형성되는 데, 상기 후막 인쇄방법이라 함은 복수개의 격벽(7)이 형성될 위치마다 격벽 재료(유리 페이스트)를 이용하여 스크린 인쇄를 수행한 후 150에서 10분간 건조시키는 과정을 다수회(약 10회) 반복하여 160-200높이의 격벽(7)을 적층시키고, 적층 완료된 격벽(7)을 580에서 약 10분간 소성시켜 완성시키는 방법을 말한다.Meanwhile, the plurality of partitions 7 are formed by a thick film printing method after the plurality of address electrodes 6 are formed. The thick film printing method is a partition material (glass) at each position where the plurality of partitions 7 are to be formed. After screen printing using a paste) Repeat the process of drying for 10 minutes several times (about 10 times) -200 Stack the bulkheads 7 of height and stack the stacked bulkheads 7 580. It refers to the method of baking for about 10 minutes to complete.
또한, 전면 유리기판(1)과 배면 유리기판(2)은 상기 전면 유리기판(1)에 형성된 복수개의 유지 전극(3)과 상기 배면 유리기판(2)에 형성된 어드레스 전극(6)이 서로 직교하도록 조립되고, 상기 전면 유리기판(1)과 배면 유리기판(2)의 조립이 완료되면 전면 유리기판(1)과 배면 유리기판(5)과 복수개의 격벽(7)에 의해 형성되는 방전공간이 고진공 상태가 되도록 배기시키고, 상기 방전공간 내부의 오염물이 제거되도록 청정가스를 주입/배기시킨 다음 네온 등의 방전가스를 주입/봉지시켜 플라즈마 표시 패널을 완성시킨다.In addition, the front glass substrate 1 and the rear glass substrate 2 have a plurality of sustain electrodes 3 formed on the front glass substrate 1 and address electrodes 6 formed on the rear glass substrate 2 perpendicular to each other. When the assembling of the front glass substrate 1 and the rear glass substrate 2 is completed, the discharge space formed by the front glass substrate 1, the rear glass substrate 5, and the plurality of partitions 7 is formed. The exhaust gas is discharged to a high vacuum state, a clean gas is injected / exhausted to remove contaminants in the discharge space, and then a discharge gas such as neon is injected / sealed to complete the plasma display panel.
상기에서 배기나 가스의 주입시 방전공간 내부의 기체는 전면 유리기판(1)과 격벽(7)의 상부면 사이의 갭을 통과하여 전체 방전공간으로 이동한다.In the above, when the exhaust or the gas is injected, the gas inside the discharge space passes through the gap between the front glass substrate 1 and the upper surface of the partition wall 7 and moves to the entire discharge space.
그러나, 종래에는 배면 유리기판의 표면이 매우 매끄럽기 때문에 제2도에 도시된 바와 같이 어드레스 전극이나 격벽의 하단부가 퍼지는 형상으로 형성되어 고정도고정세 패터닝이 불가능한 문제점이 있었다.However, in the related art, since the surface of the back glass substrate is very smooth, as shown in FIG. There was a problem that high-precision patterning was impossible.
또한, 종래에는 복수개의 격벽이 후막 인쇄방법으로 적층 형성되어 제2도에 도시된 바와 같이 상기 격벽의 상부면에 요철이 형성되고, 상기 격벽의 상부 형상이 매우 불규칙하기 때문에 배기 또는 가스의 주입시 기체의 이동이 원활하지 못해 배기시 오랜 시간이 소요되고, 완전한 배기가 불가능해 지며, 상기 요철에 축적된 오염물은 청정가스에 의해 잘 제거되지 않아 방전공간 내부의 오염물 축적량이 증가되고, 그로 인해 플라즈마 표시 패널의 화질이 저하되는 문제점이 있었다.In addition, conventionally, a plurality of partitions are formed by stacking a thick film printing method, and as shown in FIG. 2, irregularities are formed on the upper surface of the partitions, and the upper shape of the partitions is very irregular. The gas is not smoothly moved and exhausting takes a long time, and exhaustion is impossible. The contaminants accumulated in the unevenness are not easily removed by the clean gas, which increases the amount of contaminants accumulated in the discharge space. There was a problem that the image quality of the display panel is deteriorated.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 상기 어드레스 전극이나 격벽의 하단부 퍼짐 현상을 방지하여 고정도고정세 인쇄 및 패터닝을 가능하게 하고, 배기 및 가스의 주입시 기체의 이동을 원활하게 하여 배기시간을 단축시키고, 배기를 완전하게 수행할 수 있으며, 방전공간 내의 오염물 제거를 원활하게 하는 플라즈마 표시 패널 및 그 어드레스 전극과 격벽 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, it is possible to prevent the spreading of the lower end of the address electrode or the partition wall high accuracy Plasma display panel that enables high-definition printing and patterning, facilitates gas movement during exhaust and gas injection, shortens exhaust time, completes exhaust, and removes contaminants in discharge space And a method for manufacturing the address electrode and the partition wall.
제1도는 종래 기술에 의한 플라즈마 표시 패널의 분리 사시도이고,1 is an exploded perspective view of a plasma display panel according to the prior art,
제2도는 제1도에 도시된 A 부분의 확대 단면도이고,2 is an enlarged cross-sectional view of the portion A shown in FIG.
제3도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 플라즈마 표시 패널의 부분 단면도이고,3 is a partial cross-sectional view of a plasma display panel according to a second embodiment of the present invention.
제4(a)도 내지 제4(f)도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 플라즈마 표시 패널의 어드레스 전극과 격벽 제조과정을 설명하기 위한 단면도들이고,4 (a) to 4 (f) are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of an address electrode and a partition wall of a plasma display panel according to a second embodiment of the present invention.
제5(a)도 내지 제5(c)도는 본 발명에 따른 격벽 상부면의 평탄화과정을 설명하기 위한 단면도들임.5 (a) to 5 (c) are cross-sectional views for explaining the planarization process of the upper surface of the partition wall according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
11 : 전면 유리기판 12 : 배면 유리기판11: front glass substrate 12: rear glass substrate
12a, 12b : 스트라이프형 홈 13 : 유지 전극12a, 12b: Striped Groove 13: Sustaining Electrode
14 : 보호층 15 : 어드레스 전극14 protective layer 15 address electrode
16 : 격벽 17 : 형광체층16: partition 17: phosphor layer
21, 22 : 포토 레지스트 23 : 폴리싱 휠(polishing wheel)21, 22: photoresist 23: polishing wheel
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 플라즈마 표시 패널은 화상의 표시면인 전면 유리기판과, 상기 전면 유리기판과 일정 간격을 사이에 두고 대향되게 위치한 배면 유리기판과, 상기 배면 유리기판 중 상기 전면 유리기판과의 대향면에 형성된 복수개의 스트라이프형 어드레스 전극과, 상기 각 어드레스 전극 사이에 형성되어 각 셀을 구분하는 복수개의 스트라이프형 격벽을 포함하여 구성된 플라즈마 표시 패널에 있어서, 상기 배면 유리기판은 상기 전면 유리기판과의 대향면이 전면 에칭된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a plasma display panel according to the present invention includes a front glass substrate which is a display surface of an image, a rear glass substrate which is disposed to face each other with a predetermined distance therebetween, and a rear glass substrate. A plasma display panel comprising a plurality of stripe address electrodes formed on a surface facing the front glass substrate, and a plurality of stripe partition walls formed between the address electrodes and separating cells. The front surface of the glass substrate is characterized in that the entire surface is etched.
또한, 본 발명에 의한 플라즈마 표시 패널은 화상의 표시면인 전면 유리기판과, 상기 전면 유리기판과 일정 간격을 사이에 두고 대향되게 위치한 배면 유리기판과, 상기 배면 유리기판 중 상기 전면 유리기판과의 대향면에 형성된 복수개의 스트라이프형 어드레스 전극과, 상기 각 어드레스 전극 사이에 형성되어 각 셀을 구분하는 복수개의 스트라이프형 격벽을 포함하여 구성된 플라즈마 표시 패널에 있어서, 상기 배면 유리기판은 상기 복수개의 어드레스 전극과 상기 복수개의 격벽이 형성되는 각 위치에 스트라이프형 홈이 형성되고, 상기 복수개의 어드레스 전극과 상기 복수개의 격벽은 각각 해당되는 상기 스트라이프형 홈으로부터 돌출되어 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the plasma display panel according to the present invention includes a front glass substrate which is a display surface of an image, a rear glass substrate positioned to face the front glass substrate at a predetermined distance therebetween, and the front glass substrate of the rear glass substrate. 10. A plasma display panel comprising a plurality of stripe address electrodes formed on opposing surfaces and a plurality of stripe partition walls formed between the address electrodes and separating cells, wherein the back glass substrate comprises the plurality of address electrodes. And a stripe groove is formed at each position where the plurality of partition walls are formed, and the plurality of address electrodes and the plurality of partition walls are formed to protrude from the corresponding stripe grooves, respectively.
또한, 본 발명에 의한 플라즈마 표시 패널의 어드레스 전극과 격벽 제조방법은 배면 유리기판의 일면을 전면 에칭하는 제 1 단계와, 상기 제 1 단계 후 상기 배면 유리기판의 에칭면에 복수개의 스트라이프형 어드레스 전극을 일정 간격으로 형성시키는 제 2 단계와, 상기 제 2 단계 후 상기 복수개의 어드레스 전극 사이에 각각 스트라이프형 격벽을 형성시키는 제 3 단계로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, according to the present invention, a method of manufacturing an address electrode and a partition wall of a plasma display panel includes a first step of etching an entire surface of a rear glass substrate, and a plurality of stripe address electrodes on the etching surface of the rear glass substrate after the first step. And a third step of forming stripe-shaped barrier ribs between the plurality of address electrodes after the second step, respectively.
또한, 본 발명에 의한 플라즈마 표시 패널의 어드레스 전극과 격벽 제조방법은 배면 유리기판의 일면에 복수개의 스트라이프형 홈을 일정 간격으로 형성시키는 제 1단계와, 상기 제 1 단계 후 상기 복수개의 스트라이프형 홈 중 짝수번째 홈에 각각 어드레스 전극을 형성시키는 제 2 단계와, 상기 제 2 단계 후 상기 복수개의 스트라이프형 홈 중 홀수번째 홈에 각각 격벽을 형성시키는 제 3 단계로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, according to the present invention, a method of manufacturing an address electrode and a partition wall of a plasma display panel includes a first step of forming a plurality of stripe grooves on one surface of a rear glass substrate at predetermined intervals, and after the first step, the plurality of stripe grooves. And a third step of forming address electrodes in even-numbered grooves, and a third step of forming partition walls in odd-numbered grooves of the plurality of stripe grooves after the second step.
이하, 본 발명에 의한 플라즈마 표시 패널 및 그 어드레스 전극과 격벽 제조방법의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of a plasma display panel, an address electrode, and a partition wall manufacturing method according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[제1 실시예][First Embodiment]
본 발명의 제1 실시예에 의한 플라즈마 표시 패널은 도면상 도시된 바는 없으나 종래 기술에서 설명된 전면 유리기판과, 배면 유리기판과, 복수개의 스트라이프형 유지 전극과, 유전체층과, 보호층과, 복수개의 스트라이프형 어드레스 전극과, 복수개의 스트라이프형 격벽과, 형광체층과, 방전가스로 구성된다.Although the plasma display panel according to the first embodiment of the present invention is not illustrated in the drawings, the front glass substrate, the back glass substrate, the plurality of stripe sustain electrodes, the dielectric layer, the protective layer, It consists of a plurality of stripe address electrodes, a plurality of stripe partitions, a phosphor layer, and a discharge gas.
단, 상기 배면 유리기판은 전면 유리기판과의 대향면이 전면 에칭되어 있어 표면이 거칠고, 상기 에칭면에 형성되는 어드레스 전극이나 격벽은 하단부의 퍼짐이 발생하지 않는다.However, the back glass substrate is roughly etched because its opposite surface to the front glass substrate is etched from the front, and the bottom surface of the address electrode or partition formed on the etched surface does not occur.
한편, 본 발명의 제1 실시예에 의한 플라즈마 표시 패널의 어드레스 전극과 격벽 제조방법은 먼저 배면 유리기판의 일면 즉, 전면 유리기판과의 대향면을 전면 에칭하고(제 1 단계), 상기 제 1 단계 후 배면 유리기판의 에칭면에 복수개의 스트라이프형 어드레스 전극을 일정 간격으로 형성시키며(제 2 단계), 상기 제 2 단계 후 상기 복수개의 어드레스 전극 사이에 각각 스트라이프형 격벽을 형성시켜(제 3 단계) 복수개의 어드레스 전극과 격벽을 완성시킨다.Meanwhile, in the method of manufacturing the address electrode and the partition wall of the plasma display panel according to the first embodiment of the present invention, first, one surface of the rear glass substrate, that is, the opposite surface of the front glass substrate is etched entirely (first step), and the first After the second step, a plurality of stripe address electrodes are formed on the etching surface of the rear glass substrate at a predetermined interval (second step), and after the second step, stripe-shaped partition walls are formed between the plurality of address electrodes (step 3). ) A plurality of address electrodes and partitions are completed.
상기 제 1 단계예서 배면 유리기판의 일면이 전면 에칭되면 표면이 거칠어져서 제 2, 3 단계에서 형성되는 어드레스 전극과 격벽의 하단부에 퍼짐 현상이 발생하지 않아 고정도고정세 형상의 어드레스 전극 및 격벽의 인쇄가 가능해진다.If one surface of the rear glass substrate is etched in the first step, the surface is roughened so that the phenomenon of spreading at the lower end of the address electrode and the partition wall formed in the second and third steps does not occur High-definition address electrodes and partition walls can be printed.
또한, 상기 제 3 단계에서 격벽은 종래 기술에서 설명된 후막 인쇄방법으로 형성된다.Further, in the third step, the partition wall is formed by the thick film printing method described in the prior art.
[제2 실시예]Second Embodiment
본 발명의 제2 실시예에 의한 플라즈마 표시 패널은 제3도에 도시된 바와 같이 전면 유리기판(11)과, 배면 유리기판(12)과, 복수개의 스트라이프형 유지 전극(13)과, 유전체층(도시되지 않음)과, 보호층(14)과, 복수개의 스트라이프형 어드레스 전극(15)과, 복수개의 스트라이프형 격벽(16)과, 형광체층(17)과, 방전가스로 구성된다.As shown in FIG. 3, the plasma display panel according to the second embodiment of the present invention includes a front glass substrate 11, a back glass substrate 12, a plurality of stripe sustain electrodes 13, and a dielectric layer ( Not shown), the protective layer 14, the plurality of stripe address electrodes 15, the plurality of stripe partitions 16, the phosphor layer 17, and the discharge gas.
상기 전면 유리기판(11), 유지 전극(13), 유전체층, 보호층(14)은 종래 기술에서 설명된 바와 같다.The front glass substrate 11, the sustain electrode 13, the dielectric layer, and the protective layer 14 are as described in the prior art.
상기 배면 유리기판(12)은 전면 유리기판(11)과 일정 거리를 사이에 두고 대향되게 위치하고, 복수개의 어드레스 전극(15)과 격벽(16)이 형성될 각 위치에 스트라이프형 홈(12a, 12b)이 형성되며, 상기 복수개의 어드레스 전극(15)과 상기 복수개의 격벽(16)은 각각 해당되는 상기 스트라이프형 홈(12a, 12b)으로부터 돌출되어 형성된다.The rear glass substrate 12 is disposed to face the front glass substrate 11 with a predetermined distance therebetween, and the stripe grooves 12a and 12b are disposed at respective positions where the plurality of address electrodes 15 and the partition walls 16 are to be formed. ) Is formed, and the plurality of address electrodes 15 and the plurality of partitions 16 protrude from the corresponding stripe grooves 12a and 12b, respectively.
상기와 같이 구성된 본 발명의 제 2 실시예에 의한 플라즈마 표시 패널의 어드레스 전극과 격벽 제조방법을 제4(a)도 내지 제4(f)도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The address electrode and the partition wall manufacturing method of the plasma display panel according to the second exemplary embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 4A to 4F.
먼저, 제4(a)도 내지 제4(d)도에 도시된 바와 같이 배면 유리기판(12)의 일면 즉, 전면 유리기판(11)과의 대향면에 복수개의 스트라이프형 홈(12a, 12b)을 일정 간격으로 형성시킨다. (제1 단계)First, as illustrated in FIGS. 4A to 4D, a plurality of stripe grooves 12a and 12b are disposed on one surface of the rear glass substrate 12, that is, the surface facing the front glass substrate 11. ) At regular intervals. (First stage)
상기 제1 단계는 제4(a)도와 제4(b)도에 도시된 바와 같이 포토 레지스트(21)를 이용한 포토리소그래피(photolithography) 공정 즉, 포토 레지스트(21)의 도포, 노광 및 현상을 차례로 수행하여 배면 유리기판(12)의 일면 중 복수개의 스트라이프형 홈 (12a, 12b)이 형성될 위치만 개방시키고(제1 과정), 상기 제1 과정 후 제4(c)도에 도시된 바와 같이 개방된 위치의 배면 유리기판(12)을 소정 두께만큼 에칭/박리시켜 복수개의 스트라이프형 홈(12a, 12b)을 형성시키며(제 2 과정), 상기 제 2 과정 후 제4(d)도에 도시된 바와 같이 상기 배면 유리기판(12)의 일면에 잔존하는 포토 레지스트(21)를 제거하여(제 3 과정) 배면 유리기판(12)의 일면 중 전면 유리기판(11)과의 대향면에 복수개의 스트라이프형 홈(12a, 12b)을 일정 간격으로 형성시킨다.The first step is a photolithography process using the photoresist 21, that is, application, exposure and development of the photoresist 21, as shown in FIGS. 4A and 4B. By performing only the position where a plurality of stripe-shaped grooves (12a, 12b) of one surface of the rear glass substrate 12 is to be formed (first process), after the first process as shown in Figure 4 (c) The rear glass substrate 12 in the open position is etched and peeled off by a predetermined thickness to form a plurality of stripe grooves 12a and 12b (second process), and the second process shown in FIG. 4 (d) after the second process. As described above, the photoresist 21 remaining on one surface of the rear glass substrate 12 is removed (third process), and a plurality of photo resists 21 are disposed on a surface of the rear glass substrate 12 opposite to the front glass substrate 11. Striped grooves 12a and 12b are formed at regular intervals.
상기 제1 단계 후 제4(e)도에 도시된 바와 같이 복수개의 스트라이프형 홈(12a, 12b) 중 짝수번째 홈(12a)에 각각 어드레스 전극(15)을 형성시킨다. (제 2 단계)As shown in FIG. 4E after the first step, the address electrodes 15 are formed in the even-numbered grooves 12a of the plurality of stripe grooves 12a and 12b, respectively. (Second stage)
상기 제 2 단계 후 제4(f)도에 도시된 바와 같이 복수개의 스트라이프형 홈(12a, 12b) 중 홀수번째 홈(12b)에 종래 기술에서 설명된 후막 인쇄방법으로 각각 격벽(16)을 형성시킨다. (제 3 단계)As shown in FIG. 4 (f) after the second step, the partition walls 16 are formed in the odd-numbered grooves 12b among the plurality of stripe grooves 12a and 12b, respectively, by the thick film printing method described in the prior art. Let's do it. (Third step)
상기 제1 내지 3 단계를 거쳐 형성 완료된 어드레스 전극(15)과 격벽(16)은 제3도에 도시된 바와 같이 각각의 하단부가 스트라이프형 홈(12a, 12b) 내부에 형성되므로 하단부의 퍼짐 현상이 발생하지 않아 고정도고정세 형상의 어드레스 전극(15)과 격벽(16)의 인쇄가 가능해진다.As shown in FIG. 3, the lower end portions of the address electrodes 15 and the partition walls 16 formed through the first to third steps are formed in the stripe-shaped grooves 12a and 12b, so that the spreading of the lower ends may occur. High accuracy The high-definition address electrode 15 and the partition 16 can be printed.
한편, 본 발명의 제1, 2 실시예에 의한 플라즈마 표시 패널의 어드레스 전극과 격벽 제조방법의 제 3 단계 수행 후 제5(a)도 내지 제5(c)도에 도시된 바와 같이 배면 유리기판(12)의 일면에 형성된 복수개의 어드레스 전극(15)과 복수개의 격벽(16) 사이에 포토 레지스트(22)를 도포하고(제4 단계), 상기 제 4 단계 후 제5(b)도에 도시된 바와 같이 폴리싱 휠(polishing wheel, 23)을 이용한 폴리싱을 수행하여 복수개의 격벽(16) 상부면을 평탄화시키고(제 5 단계), 상기 제 5 단계 후 제5(c)도에 도시된 바와 같이 잔존하는 상기 포토 레지스트(22)를 제거하면(제 6 단계) 각 격벽(16)의 상부면에 형성된 요철이 제거되어 평탄화된다.On the other hand, after performing the third step of the address electrode and the partition wall manufacturing method of the plasma display panel according to the first and second embodiments of the present invention, the rear glass substrate as shown in Figs. 5 (a) to 5 (c) A photoresist 22 is applied between the plurality of address electrodes 15 formed on one surface of the surface 12 and the plurality of partition walls 16 (step 4), and is shown in FIG. 5 (b) after the fourth step. As described above, polishing using the polishing wheel 23 is performed to planarize the top surfaces of the plurality of partition walls 16 (step 5), and as shown in FIG. 5 (c) after the fifth step. When the remaining photoresist 22 is removed (sixth step), irregularities formed on the upper surface of each partition 16 are removed and planarized.
상기에서 각 격벽(17)의 상부면이 평탄화되면 배기나 가스의 주입시 기체의 이동이 원활해져서 배기시간이 단축되고, 배기를 완전하게 수행할 수 있다.When the upper surface of each of the barrier ribs 17 is flattened, the movement of the gas is smoothed when the exhaust gas or the gas is injected, so that the exhaust time is shortened and the exhaust gas can be completely performed.
또한, 각 격벽(17)의 상부면에 형성된 요철이 제거되면 청정가스에 의한 오염물 제거도 원활히 수행될 수 있다.In addition, when the irregularities formed on the upper surface of each partition wall 17 is removed, contaminants may be smoothly removed by clean gas.
이와 같이 본 발명은 배면 유리기판의 일면을 에칭하거나 스트라이프형 홈을 형성시킨 후 어드레스 전극과 격벽을 형성시키기 때문에 상기 어드레스 전극과 격벽 하단부의 퍼짐 현상이 방지되어 고정도고정세 인쇄 및 패터닝을 가능하게 하는 효과가 있다.As described above, the present invention forms an address electrode and a partition wall after etching one surface of the rear glass substrate or forming a stripe-shaped groove, thereby preventing spreading of the address electrode and the lower end of the partition wall and thus providing high accuracy. It has the effect of enabling high definition printing and patterning.
또한, 본 발명은 격벽의 상부면을 폴리싱하여 평탄화시키기 때문에 배기나 가스의 주입 공정시 기체의 이동이 원활해져서 배기시간을 단축시키고, 배기를 완전하게 수행할 수 있으며, 방전공간 내부의 오염물 제거 또한 원활하게 수행되어 상기 방전공간 내부의 오염물 축적량이 감소되고, 그로 인해 플라즈마 표시 패널의 화질이 향상되는 효과가 있다.In addition, in the present invention, since the upper surface of the partition is polished and planarized, the gas is smoothed during the exhaust or gas injection process, thereby shortening the exhaust time, completely exhausting, and removing contaminants in the discharge space. It is performed smoothly to reduce the accumulation of contaminants in the discharge space, thereby improving the image quality of the plasma display panel.
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