KR100219801B1 - Connector of chemical supply line - Google Patents
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Abstract
반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터에 관한 것이다. 본 발명은, 몸체(22)의 양측 삽입부(25)에 케미컬 공급용 튜브(20)가 각각 끼워지고, 상기 몸체(22)의 양측 나사부(24)에 각기 너트(26)가 체결되어 상기 튜브(20)와 몸체(22)의 결합을 견고히 하도록 된 반도체 제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터에 있어서, 상기 양측 나사부(24) 사이의 상기 몸체(22) 표면에 돌출된 고정부재(30), 상기 각 너트(26)의 외측 표면에 돌출된 복수의 걸림턱(34) 및 상기 고정부재(30)에 의해서 소정부가 관통되어 상기 걸림턱(34) 사이에 양측 단부가 위치함으로서 상기 너트(26)의 회전을 방지할 수 있는 걸림쇠(28)를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a connector for connecting a chemical supply line of a semiconductor manufacturing facility. In the present invention, the chemical supply tube 20 is fitted to both insertion portions 25 of the body 22, and nuts 26 are fastened to the both threaded portions 24 of the body 22, respectively. In the connector for connecting the chemical supply line of the semiconductor manufacturing equipment to secure the coupling of the 20 and the body 22, the fixing member 30 protruding from the surface of the body 22 between the two threaded portions 24, The nut 26 has a predetermined portion penetrated by the plurality of locking projections 34 and the fixing member 30 protruding from the outer surface of each nut 26 so that both ends are positioned between the locking projections 34. It is characterized by comprising a latch 28 that can prevent the rotation of the.
따라서, 튜브가 커넥터에서 탈착되어 튜브를 통과하는 고온 및 고압의 케미컬이 튜브 여결부에서 누출되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.Therefore, there is an effect that the tube is detached from the connector to prevent the high temperature and high pressure chemicals from leaking from the tube filter.
Description
본 발명은 반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터에 관한 겄으로서, 보다 상세하게는 커넥터의 너트 플림으로 인한 케미컬의 누출을 방지할 수 있는 반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터에 관한것이다 .The present invention relates to a connector for connecting a chemical supply line of a semiconductor manufacturing facility, and more particularly, to a connector for connecting a chemical supply line of a semiconductor manufacturing facility that can prevent chemical leakage due to the nut flim of the connector.
통상, 반도체소자를 제조하는 공정에는 부식성과 유독성을 가진 고온의 케미컬(Chemical)을 많이 사용하고 있다.In general, a high temperature chemical having a corrosiveness and toxicity is used in the process of manufacturing a semiconductor device.
즉, 습식식각공정에서는 고온의 케미컬을 이용하여 웨이퍼 상에 형성된 폴리실리콘막, 산화막, 질화막 등을 제거하고 있으며, 세정공정에서는 고온의 케미컬을 이용하여 웨이퍼 표면에 부착된 폴리머, 파티클, 중금속 등과 같은 오영물질을 제거하고 있다.That is, in the wet etching process, polysilicon film, oxide film, and nitride film formed on the wafer are removed using high temperature chemical, and in the cleaning process, polymer, particles, heavy metals, etc. attached to the wafer surface using high temperature chemical are removed. It is removing the pollutants.
전술한 반도체소자 제조공정에 사용되는 케미컬은 T자형, L자형, 일자형 등의 커넥터(Connector)에 의해서 서로 연결된 튜브를 통해서 공급된다.Chemicals used in the semiconductor device manufacturing process described above are supplied through a tube connected to each other by a connector such as a T-shape, an L-shape, or a straight line.
도1은 종래의 반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터를 설명하기 위한 개략적인 단면도로서 일자형 커넥터의 연결구조를 나타낸 것이다. 도1을 참조하면, 테프론 재질의 케미컬 공급용 튜브(10)가 커넥터 몸체(12)에 형성된 양쪽 삽입부(15)에 끼워져 연결되고, 몸체(12)에 형성된 나사부(14)에 너트(16)가 체곁되어 케미컬의 누출을 방지할 수 있도록 되어있다.1 is a schematic cross-sectional view for explaining a connector for connecting a chemical supply line of a conventional semiconductor manufacturing facility, showing a connection structure of a straight connector. Referring to FIG. 1, a Teflon chemical supply tube 10 is fitted to both insertion portions 15 formed in the connector body 12, and the nut 16 is connected to the threaded portion 14 formed in the body 12. Is prevented from leaking chemicals.
그런데, 테프론재질의 튜브를 통과하는 반도체소자 제조공정에 사용되는 케미컬은 고온상태를 유지하고 있고, 높은 압력으로 커넥터의 연결부위를 이동하므로 인해서 오랜시간이 소요되면, 튜브가 고온에 의해서 변형되고 이에 따라 나사부 상부의 너트(16)가 회전하여 풀어짐으로서 커넥터의 튜브(10) 연결부에서 케미컬의 누출이 발생하거나 심할 경우 튜브(10)가 커넥터의 연결부위에서 탈착되었다.However, the chemical used in the semiconductor device manufacturing process passing through the Teflon tube is maintained at a high temperature, and if a long time is required due to the movement of the connector at high pressure, the tube is deformed by the high temperature. Accordingly, when the nut 16 of the upper portion of the screw is rotated and released, the tube 10 is detached from the connector of the connector when a chemical leak occurs in the connector of the connector of the connector 10 or is severe.
따라서, 튜브를 통과하는 케미컬이 유독성 및 유해성을 가지고 있을 경우에는 작업자의 건강에 악영향을 미치고, 부식성 등을 가진 케미컬일 경우에는 주변환경을 오염시키는 문제점이 있었다.Therefore, when the chemical passing through the tube has toxic and harmful effects on the health of the worker, and if the chemical having a corrosive or the like there was a problem of polluting the surrounding environment.
또한, 공정이 진행되고 있는 공정챔버에 케미컬을 공급하는 튜브일 경우에는 필연적으로 공정불량을 일으키는 문제점이 있었다.In addition, in the case of a tube for supplying a chemical to the process chamber in which the process is in progress, there was a problem inevitably causing a process defect.
본 발명의 목적은, 너트의 풀림으로 인해서 케미컬 공급라인의 커넥터 연결부위에서 케미컬이 누출되고, 튜브가 커넥터의 연결부위에서 탈착되는 것을 방지할 수 있는 반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터를제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a connector for connecting a chemical supply line of a semiconductor manufacturing equipment which can prevent chemical leakage from a connector connection part of a chemical supply line due to loosening of a nut and detachment of the tube from the connector connection part. have.
도1은 종래의 반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view for explaining a connector for connecting a chemical supply line of a conventional semiconductor manufacturing equipment.
도2는 본 발명에 따른 반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연결을 커넥터의 일 실시예를 설명하기 위한 단면도이다.2 is a cross-sectional view for explaining an embodiment of a connector for connecting a chemical supply line of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention.
도3은 본 발명에 따른 반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터의 일 실시예를 설명하기 위한 사시도이다.Figure 3 is a perspective view for explaining an embodiment of a connector for connecting a chemical supply line of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention.
도4는 도2 및 도3에 도시된 본 발명에 따른 반도체제조설비의 캐미컬 공급라인 연결용 커텍터의 사시도이다.4 is a perspective view of a connector for connecting a chemical supply line of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention shown in FIG. 2 and FIG.
도5는 도2 및 도3에 도시된 본 발명에 따른 반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커텍터에 구비되는 너터의 사시도이다.FIG. 5 is a perspective view of a nut provided in a connector for connecting a chemical supply line of a semiconductor manufacturing apparatus shown in FIGS. 2 and 3;
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10, 20 : 튜브 12, 22 : 몸체10, 20: tube 12, 22: body
14, 24 : 나사부 15, 25 : 삽입부14, 24: thread portion 15, 25: insertion portion
16, 26 : 너트 28 : 걸림쇠16, 26: Nut 28: Brace
30 : 고정부재 32 : 걸림돌기30: fixing member 32: locking projection
34 : 걸림턱34: jamming jaw
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연곁용 커넥터는, 몸체(22)의 양측 삽입부(25)에 케미컬 공급용 튜브(20)가 각각 끼워지고, 상기 몸체(22)의 양측 나사부(24)에 각기 너트(26)가 체결되어 상기 튜브(20)와 몸체(22)의 곁합을 견고히 하도록 된 반도체 제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터에 있어서, 상기 양측 나사부(24) 사이의 상기 몸체(22) 표면에 돌출된 고정부재(30), 상기 각너트(26)의 외측 표면에 돌출된 복수의 걸림턱(34) 및 상기 고정부재(30)에 의해서 소정부가 관통되어 상기 걸림턱(34) 사이에 양측 단부가 위치함으로서 상기 너트(26)의 회전을 방지할 수 있는 걸림쇠(28)를 구비하여이루어지는 것을 특정으로 한다.In order to achieve the above object, the chemical supply line connector of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention has a chemical supply tube 20 fitted into both insertion portions 25 of the body 22, and the body 22. In the connector for connecting the chemical supply line of the semiconductor manufacturing equipment, in which the nuts 26 are fastened to both sides of the threaded portion 24 of the crankshaft, respectively, so as to secure the coupling between the tube 20 and the body 22. A predetermined portion is penetrated by the fixing member 30 protruding from the surface of the body 22, a plurality of locking jaws 34 and the fixing member 30 protruding from the outer surface of the nut 26. It is specified that the two end portions are positioned between the locking projections 34 so that the latch 26 is provided to prevent rotation of the nut 26.
상기 고정부재에 의해서 소정부가 관통된 걸림쇠가 상향방향의 힘을 받아 상기 고정부재에서 이탈하는 것을 방지하도록 상기 고정부재 상부에 걸림 돌기가 더 형성될 수 있다.A locking protrusion may be further formed on an upper portion of the fixing member so as to prevent the latching portion penetrated by the fixing member from being separated from the fixing member by receiving upward force.
그리고, 상기 고정부재는 상기 몸체의 내부를 향하여 나사결합에 의해 삽입 고정될 수 있고, 상기 걸림턱은 복수의 나사산 및 골이 상기 너트 표면에 형성됨으로서 이루어질 수 있다.The fixing member may be inserted and fixed by screwing toward the inside of the body, and the locking jaw may be formed by forming a plurality of threads and valleys on the surface of the nut.
또한, 상기 몸체 일정영역에 상기 고정부재와 상기 걸림쇠가 더 형성될 수 있다.In addition, the fixing member and the latch may be further formed in a predetermined region of the body.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도2는 본 발명에 따른 반도체제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터의 일 실시예를 설명하기 위한 단면도이고. 도3은 본 발명에 따른 반포체 제조설비의 케미컬 공급라인 연결용 커넥터의 일 실시예를 설명하기 위한 사시조이고, 도4는 도2 및 도3에 도시된 케미컬 공급라인 연결용 커텍터의 사시도이고. 도5는 도2 및 도3에 도시된 케미컬 공급라인 연결용 커넥터에 구비되는 너트의 사신도이다.2 is a cross-sectional view for explaining an embodiment of a connector for connecting a chemical supply line of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention. 3 is a perspective view for explaining an embodiment of the connector for connecting the chemical supply line of the half cell manufacturing equipment according to the present invention, Figure 4 is a perspective view of the connector for connecting the chemical supply line shown in FIG. . FIG. 5 is a perspective view of a nut provided in the connector for connecting a chemical supply line shown in FIGS. 2 and 3.
도2, 도3 및 도4를 참조하면, 본 발명에 따른 커넥터에는 케미컬이 통과하는 관통구멍(넘버링되어 있지 않음)이 내부에 형성된 몸체(22)가 구비되며, 상기 몸체(22)의 좌우 양측에 상기 몸체(22)와 단차진 나사부(24)가구비된다. 상기 나사부(24) 표면에는 너트(26)가 체결될 수 있도록 복수의 나사산 및 골이 형성되어 있다.2, 3 and 4, the connector according to the present invention is provided with a body 22 formed therein through-hole (not numbered) through which the chemical passes, the left and right sides of the body 22 The body 22 and the stepped threaded portion 24 is provided. A plurality of threads and valleys are formed on the surface of the screw part 24 so that the nut 26 can be fastened.
그리고, 상기 나사부(24)와 단차진 삽입부(25)가 상기 나사부(24)에서 연장형성되어 있다. 상기 삽입부(25)에는 열이 가해져 단면적이 증가된 테프론재질의 케미컬 공급용 튜브(20)가 연결되어 있다.The screw portion 24 and the stepped insertion portion 25 extend from the screw portion 24. The inserting portion 25 is connected to a chemical supply tube 20 made of Teflon material having an increased cross section by applying heat.
또한, 몸체(30) 양측의 나사부(24)에는 도5에 도시된 바와 같이 외측 표면에 복수의 걸림턱(34)이 돌출 형성된 너트(26)가 각각 체결되어 있다. 상기 걸림턱(34)은 복수의 나사산 및 골이 너트(26) 외측 표면에 형성됨으로서 이루어질 수 있다.In addition, as shown in FIG. 5, nuts 26 having a plurality of locking projections 34 protruding from the outer surface of the body 30 are fastened to the threaded portions 24 on both sides of the body 30. The locking step 34 may be formed by forming a plurality of threads and valleys on the outer surface of the nut 26.
또한, 상기 몸체(22)의 양측 나사부(24) 사이의 몸체(22) 중앙부에는 나사흠(넘버링되어 있지 않음)이 형성되고, 상기 나사홈에 고정부재(30)가 삽입 나사결합 되어 있다.In addition, a screw flaw (not numbered) is formed at the center of the body 22 between the two threaded portions 24 of the body 22, and the fixing member 30 is inserted and screwed into the screw groove.
그리고, 상지 고정부재(30)에 의해 소정부가 관통되어 고정부재(30)를 중심으로 회전할 수 있는 걸림쇠(28)가 구비되어 있다. 기긴 고정부재(30)에 관통된 걸림쇠(28)는 너트(26)의 걸림턱(28) 사이에 양측 단부가 위치함으로서 튜브(20)가 변형되고, 이에 따라 너트(26)가 회전하여 풀리는 것을 방지하는 역할을수 행하도록 되어 있다.In addition, a predetermined portion penetrates through the upper limb fixing member 30 and is provided with a latch 28 that can rotate about the fixing member 30. The detent 28 penetrated by the base fixing member 30 has both ends positioned between the detent jaw 28 of the nut 26 so that the tube 20 is deformed and thus the nut 26 is rotated and released. It has a role to prevent.
또한, 상기 고정부재(30) 상부에는 걸림돌기(32)가 돌출 형성됨으로서 고정부재(30)에 의해서 소정부가 관통된 걸림쇠(28)가 고정부재(30)에서 이탈됨을 방지하도록 되어 있다. 즉, 상기 고정부재(30)에 의해서 소정부가 관통된 걸림쇠(28)가 상방향의 힘을 받을 경우, 상기 걸림쇠(28)가 걸림돌기(32)에 걸려 고정부재(30)에서 이탈하는 것이 방지되도록 되어 있다.In addition, the locking protrusion 32 is formed to protrude from the upper portion of the fixing member 30 to prevent the locking member 28 penetrated by the fixing member 30 from being separated from the fixing member 30. That is, when the latch 28 through which the predetermined portion is penetrated by the fixing member 30 receives upward force, the latch 28 is prevented from being caught by the locking protrusion 32 and detached from the fixing member 30. It is supposed to be.
따라서, 고온 및 고압의 케미컬이 통과하는 테프론 재질의 튜브(20)가 커넥터의 삽입부(2i)에 삽입되고 너트(26)가 나사부(24)에 체결된 후, 몸체(22)에 형성된 고정부재(30)에 관통되는 걸림쇠(26)가 너트(26) 상부에 형성된 걸림턱(34)에 삽입되어 너트(26)의 체결을 견고히 함으로서 너트(26)가 회전하여 풀림에 의해서 케미컬이 튜브(2O)와 커넥터 접속부위에서 누출되고, 튜브(20)가 커넥터 연결부위에서 이탈되는 것을 방지한다.Therefore, the fixing member formed on the body 22 after the Teflon tube 20 through which the high temperature and high pressure chemical passes is inserted into the insertion portion 2i of the connector and the nut 26 is fastened to the threaded portion 24. The latch 26 penetrating the 30 is inserted into the latching jaw 34 formed on the upper portion of the nut 26 to secure the fastening of the nut 26 so that the nut 26 is rotated and loosened so that the chemical tube 20 is released. ) And the connector connection part, and prevents the tube 20 from coming off the connector connection part.
이때, 고정부재(30) 상부에 형성된 걸림돌기(32)는 걸림쇠(28)가 상방향의 힘을 받아 고정부재(30)에서 이탈됨을 방지한다.At this time, the locking protrusion 32 formed on the fixing member 30 prevents the latch 28 from being separated from the fixing member 30 by receiving upward force.
또한, 제작자의 의도에 따라서 몸체(22)에 고정부재(30)를 더 형성한 후, 고정부재(30)를 관통하여 상기 고정부재(30)를 중심으로 회전하는 걸림쇠(28)를 설치하면 더욱 케미컬의 누출을 방지할 수 있고, 상기 너트(26)상부에 형성되는 걸림턱(34)은 나사산 및 골을 가지는 나사형상으로 제작할 수도 있다.In addition, after the fixing member 30 is further formed on the body 22 according to the intention of the manufacturer, the locking member 28 which penetrates the fixing member 30 and rotates about the fixing member 30 is further installed. The leakage of the chemical can be prevented, and the locking step 34 formed on the nut 26 may be manufactured in a screw shape having a thread and a valley.
따라서, 본 발명에 의하면 테프론재질의 튜브를 통과하는 고온 및 고압의 케미컬이 튜브 연결부에 누출되고, 튜브가 커넥터에서 탈착되는 것을 방지할 수 있으므로 케미컬의 누출에 의해서 작업자의 건강에 악영향을 미치거나, 주변환경을 오염시키는 등의 종래의 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, the high temperature and high pressure chemicals passing through the Teflon tube may leak to the tube connection part, and the tube may be prevented from detaching from the connector, thereby adversely affecting the health of the operator due to the leakage of the chemical. There is an effect that can solve the conventional problems such as polluting the surrounding environment.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 밭명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the embodiments described, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and variations belong to the appended claims.
Claims (5)
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