KR100216558B1 - 화학약품 용기내의 유효액량 표시장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 화학약품이 담겨진 화학약품 용기내의 화학약품 유효액량을 감지하여 표시해 주는 유효액량 표시장치에 관한 것으로

사용가능한 유효액량에 도달했을때 이를 감지하여 부저 및 발광소자로 표시해 주는 것이다.

이러한 본 발명의 화학약품 용기내에 유도봉을 설치하고 유도봉 하부 내측에 금속접점을 위치시킨 후 유도봉 하부 외측에 상기 금속접점을 접촉시키는 부표를 끼우되 상기 부표는 유도봉 하부의 일정거리만 이동시키는 한편 내부에는 자석을 위치시킴으로써 이루어지는 것으로 화학약품의 유효액량 도달시 이를 표시시켜 주어 새로운 용기로 쉽게 교체시켜 주게 된다.

Description

화학약품 용기내의 유효액량 표시장치

본 발명은 화학약품이 담겨진 화학약품 용기내의 화학약품 유효액량을 감지하여 표시해 주는 유효액량 표시장치에 관한 것으로

사용가능한 유효액량에 도달했을 때 이를 감지하여 부저 및 발광소자로 표시해 주는 것이다.

반도체 공장에서 사용되는 TEOS(Tetraethyl orthosilicate), TEB(Trietthyl borate), TMB(Trimethyl borate), TMPI(Trimethyl phospite), TMOP(Trimethyl phosphate), TEPO(Triethl phosphate)등의 화학약풍은 화학약품 용기에 액체형태로 담겨져 공급되고 화학약품용기에 담겨진 화학약품은 어느정도 사용하여 사용가능한 유효액량이 되었을 때 새로운 화학약품용기로 교체해 주어야만 한다.

화학약품 용기교체는 작업자가 용기의 무게를 달아 잔여 화학약품랴을 측정하는 방식을 사용하게 되어 용기 교체시기가 너무 바르거나 늦게 되는 경우가 발생된다.

용기 교체 시기가 빠르면 사용할 수 있는 화학약품까지 재충전시 버리게 되는 문제점이 발생되며

용기의 교체시기가 늦으면 용기바닥의 이물질까지 분출되거나 화학약품이 분출되지 않아 반도체 제조시 불량품 발생의 요인이 되는 것이었다.

따라서 화학약품 용기내의 담겨진 화학약품의 사용가능한 유효액량을 정확히 감지하여 표시재 줄 필요가 있는 것이었다.

본 발명은 화학약품 용기에 담겨진 화학약품을 사용하여 사용가능한 유효 액량이 되었을때 이를 감지하여 작업자에게 인식시킴으로써 최적의 교체시기에 새로운 화학약품 용기를 교체시켜 주어 용기내의 화학약품을 최대한 사용할 수 있도록 하는 한편 화학약품의 부족이나 이물질 분출을 방지하여 반도체 불량 발생요인을 없애도록 하는 것이다.

이러한 본 발명은 화학약품 용기내에 유도봉을 설치하고 유도봉 하부 내측에 금속접점을 위치시킨 후 유도봉 하부 외측에 상기 금속접점을 접촉시키는 부표를 끼우되 상기 부표는 유도봉 하부의 일정거리만 이동시키는 한편 내부에는 자석을 위치시킴으로써 화학약품을 사용하여 부표가 하강되면 내부 자석에 의해 금속 접점이 접촉되어 부저나 발광소자를 구도시키게 된다.

즉 부표는 화학약품의 비중보다 가벼워 뜰 수 있도록 하고 내부에는 자석을 설치하여 상기 자석의 자력에 의해 금속접점이 접축될 수 있도록 한다.

제1도는 유효액량 표시장치가 구비된 화학약품용기의 사시도

제2도는 유효액량 표시자치가 구비된 화학약품용기의 일부 절결 단면도

제3도는 본 발명의 분해 사시도

제4도는 유효액량 표시장치의 결합상태 확대 단면도

제5도는 본 발명의 부표작동 상태도

제6도는 본 발명의 부표확대 단면도

제7도는 본 발명의 경보장치 일예도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 화학약품용기 4 : 조임너트

10 : 고정구 13 : 테프론링

14 : 유도봉 15, 16 : 금속핀

20 : 부표 21 : 결속구

23 : 조임너트 25 : 자석

30 : 감지부 31 : 리드선

33, 34 : 금속접점 40 : 경보장치

화학약품용기(1)는 화학약품 주입과 배출 및 배출가스 주입을 위한 밸브본체(2),(3)가 설치되며 본 발명은 화학약품용기(1)에 유효액량 표시장치를 구비시킨 것이다.

유효액량 표시장치는 하부가 막히고 화학약품용기(1) 내부에 삽입되는 유도봉(14)과, 유도봉(14) 하부에 일정거리를 두고 고정된 금속핀(15), (16) 사이를 이동하는 부표(20)와, 유도봉(14) 상부에서 삽입공(12)이 유도봉(14) 내부와 통하게 고정되고 걸림턱(11)이 형성된 고정구(10)와, 걸림턱(11) 하부에 끼워져 기밀을 유지시키는 테프론링(13)과, 유도봉(14) 내부에 끼워지고 하측에 감지부(30)가 형성된 리드선(31)과, 고정구(10)에 끼워지고 리드선(31)을 조임너트(23)의 조임에 따라 조임편(22)으로 잡아주는 결속구(21)로 구성되며 고정구(10)는 고정너트(4)에 의해 화학약품용기(1)에 고정 설치된다.

리드선(31) 하부에 형성된 감지부(30)의 금속접점(33), (34)은 고정체(35)에 의해 고정되고 금속점점(33), (34)에는 전선이 연결되어 금속점점(33), (34)이 붙을때 경보장치(40)의 부저나 발광소자(41)를 구동시킨다.

부표(20)는 내부에 자석(25)이 고정되고 공기가 들어있는 상태로 밀폐시켜 주어 화학약픔내에서 뜨려는 힘을 받도록 하며 자석(25)은 자력에 의해 금속접점(33), (34)을 접촉시키게 된다.

이러한 구성의 본 발명은 고정구(10) 하부에 삽입공(12)과 내부 공간이 일치하는 유도봉(14)을 고정시키되 유도봉(14) 하부는 막혀 있도록 한다.

유도봉(14) 하부 일정높이에 금속핀(15)을 고정시키고 유도봉(14) 하부에서 부표(20)를 끼운후 유도봉(14) 하측에 금속핀(10)을 고정시켜 부표(20)가 유도봉(14)을 타고 이동하되 금속핀(15), (16) 사이를 이동하게 한다.

그리고 리드선(31)의 선단을 조임너트(23)와 결속구(21)를 관통시켜 유도봉(14) 내부로 끼워주어 감지부(30)가 유도봉(14) 하측에 위치되게 하고 조임너트(23)를 조여 조임편(22)을 압착시킴으로써 리드선(31)이 끊어지거나 움직 이지 않게 한다.

고정구(10)를 화학약품용기(1)에 고정너트(4)로 고정시켜 테프론링(3)으로 기밀이 유지되게한 후 리드선(31) 선단의 플러그(32)를 감지장치와 접속시킨다.

화학악품용기(1)내에 화학약품이 채워지면 부표(20)는 떠오르게 되나 금속핀(15)에 걸려 더이상 더이상 떠오르지 못하고 금속핀(15)에 걸려있게 된다.

화학약품용기(1) 내의 화학약품을 사용하여 화학약품이 줄어들면 부표(20)는 화학약품 위에 떠있게 되며 이상태에서 더이상 사용하면 부표(20)는 화학약품을 따라 내려가게 된다.

화학약품 제5도에 도시된 위치(화학약품의 유효액량)까지 내려가면 부표(20)도 내려가게 되고 이 위치에서 감지부(30)의 금속접점(33), (34)이 부표(20) 내부의 자석(25)에 의해 붙게 된다.

즉 감지부(30)의 금속접점(33), (34)은 부표(20) 내부의 자석(25)에 의해 붙게 되므르 부표(20)의 위치와 감지부(30)의 위치에 따라 화학약품의 유효액량을 감지하게 된다.

부표(20)가 내려가 금속접점(33), (34)이 붙게 되면 경보장치(40)에서 이를 감지하여 부저 및 발광소자(41)를 구동시킴으르써 작업자가 이를 인식하여 화학약품용기(1)를 새것으로 교체사용하면 된다.

따라서 작업자는 부저가 울리면 화학약품용기(1)를 교체해 주게 되므로 최적의 상태로 사용할 수 있으며 용기내의 화학약품 잔량을 측정하기 위해 저울로 달아주는 불편함을 겪지 않아도 된다.

한편 고정구(10)에서 돌출된 리드선(31)을 작업자가 그대로 당길경우 리드선(31)이 끊어질 염려가 있으므르 본 발명에서는 결속구(21)와 조임너트(23)를 이용하여 리드선(31)을 고정시킴으로써 리드선(31)이 끊어지는 문제점을 없앴다.

즉 결속구(21)를 고정구(10)의 삽입공(12)에 나사결합시킨 상태에서 조임너트(23)를 결속구(21)에 나사결합시키는 것으로 조임너트(23)가 조여질때 결속구(21)의 조임편(22)이 내측으로 밀리면서 리드선(31)을 단단치 압착고정시키게된다.

따라서 리드선(31) 외측에서 조임편(22)이 단단히 고정시키게 되므로 리드선(31)을 당기더라도 쉽게 끊어지지 않게 된다.

본 발명은 화학약품 용기에 담겨진 화학약품을 사용하여 사용가능한 유효액량이 되었을때 이를 감지하여 작업자에게 인식시킴으르서 최적의 교체시기에 새로운 화학약품 용기로 교체시켜 주어 용기내의 화학약품을 최대한 사용할 수 있도록 하는 한편 화학약품의 부족이나 이물질 분출을 방지하여 반도체 불량 발생을 없애는 효과가 제공된다.

Claims (3)

1. 화학약품용기(1)에 고정너트(4)로 고정되고 기밀유지용 테프론링(13)이 끼워진 고정구(10)와, 고정구(10) 하부에 고정되며 하부가 막힌 유도봉(14)과, 유도봉(14) 하부에서 일정거리를 두고 고정된 금속핀(15), (16)사이를 이동하는 부표(20)와, 고정구(10)에 끼워지고 조임편(22)이 조임너트(23)에 의해 리드선(31)을 조여주는 결속구(21)와, 리드선(31)으로 연결되며 유도붕(14) 내부 하측에 위치되는 감지부(30)로 이루어진 것을 특징으로 하는 화학약품 용기내의 유효액량 표시장치.
2. 제1항에서, 부표(20)는 유도봉(14)에 끼워져 금속핀(15), (16)사이를 이동하고 내측에 자석(25)이 고정되며 밀폐된 구형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화학약품 용기내의 유효액량 표시장치.
3. 제1항에서, 감지부(30)는 고정체(35)로 고정되고 전선에 연결된 금속점점(33), (34)으로 구성되고 부표(20)의 자석(25)에 의해 금속접점(33), (34)이 접촉되게 구성한 것을 특징으로 하는 화학약품 용기내의 유효액량 표시장치.

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