KR100215935B1 - 진동 자이로의 진동자 - Google Patents

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    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces

Abstract

[목적]
본 발명은 평면에 수직한 방향을 회전축으로 하는 회전각속도가 평면구조의 진동자에서 검출되도록 구성되는 진동 자이로를 제공하기 위한 것이다.
[구성]
본 발명은 횡간보와, 상기 횡간보의 측면부 일측에 부착되는 제 1 압전소자와, 상기 제 1 압전소자가 형성된 대향면에 부착되는 제 2 압전소자와, 상기 횡간보의 일단에 일측의 중앙부분이 연결되어서 횡간보와 직교되는 방향으로 형성되는 제 1 세로보와, 상기 제 1 세로보가 횡간보와 연결되는 일측의 대향면인 타측에 부착되는 제 3 압전소자와, 상기 횡간보와 제 1 세로보가 연결되는 일단의 대향부인 타단에 제 1 세로보와 같은 방향으로 일측의 중앙부분이 연결되어서 세로로 형성되는 제 2 세로보 및 상기 제 2 세로보가 횡간보와 연결되는 일측의 대향면인 타측에 부착되는 제 4 압전소자로 구성되는 것이다.

Description

진동 자이로의 진동자
제 1 도는 종래기술에 따른 삼각기둥형상의 진동자 사시도,
제 2 도의 (a)는 본 발명에 따른 진동자 사시도,
(b)는 본 발명에 따른 진동자 평면도,
(c)는 본 발명에 따른 진동자 정면도,
(d)는 본 발명에 따른 진동자 측면도,
제 3 도의 (a)는 본 발명에 따른 다른 실시예의 진동자 사시도,
(b)는 본 발명에 따른 다른 실시예의 진동자 평면도,
(c)는 본 발명에 따른 다른 실시예의 진동자 정면도,
(d)는 본 발명에 따른 다른 실시예의 진동자 측면도이다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10, 20, 30 : 진동자 21, 31 : 횡간보
22, 32 : 제 1 세로보 23, 33 : 제 2 세로보
24 : 지지부 25, 35 : 강선
21a, 21b, 22a, 23a : 제 1, 2, 3, 4 압전소자
31a, 31b, 31c, 31d : 제 1, 2, 3, 4 전극
31a, 32b, 33a, 33b : 제 5, 6, 7, 8 전극
본 발명은 진동 자이로(Gyro)의 진동자에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 진동 자이로가 구성되는 평면상으로 수직한 방향을 회전축으로 하여 인가된 회전각속도가 검출되도록 되는 진동 자이로의 진동자에 관한 것이다.
일반적으로 자이로는 항공기, 선박, 자동차 및 캠코더 등에서 변화되는 운동 방향이 자동적으로 검출되도록 되는 장치로써 이용되는 것이다. 즉, 진동자이로는 질량인 진동자에 진동이 발생되도록 되는 구동용 압전소자가 부착되고, 상기 압전소자에 전기가 인가된다. 이에 따라서 일정한 방향으로 진동되는 진동자에 외부에서 인가되는 회전 힘에 의하여 코리올리의 힘이 발생되게 되는데, 상기 코리올리 힘에 따라서 진동에 의한 운동방향이 변화되는 것을 검출용 압전소자에서 감지될 수 있도록 진동자에 유발되는 힘에 의한 운동을 이용하여 변경된 위치가 감지되는 장치이다.
상기 코리올리 힘은 회전하고 있는 물체를 생각할 때, 겉보기의 힘으로써 원심력과 마찬가지로 회전하는 물체 위에서 그 운동을 보는 경우에 나타나는 가상적인 힘인데, 그 크기는 운동체의 속력에 비례하고, 운동방향에 수직으로 작용한다. 예를 들어, 북극점의 공간에서 진자를 놓았다고 가정하면, 그 진동면은 태양에서 보면 일정하지만 지상에서 보면 1주야에 360°회전한다. 따라서, 지상에서 이 진자를 볼 경우에는 진동면에 끊임없이 변하는 힘이 고려되어야 한다. 또, 어떤 지점의 바로 위에서부터 지상으로 낙하하는 물체는, 지구의 자전 때문에 북반구에서는 그 지점보다도 동쪽으로 쏠리고, 남반구에서는 서쪽으로 쏠리게 되는데 이와 같이 빗나감이 발생하는 것도 상기의 코리올리힘에 의한 것이다.
제 1 도는 종래기술에 따른 삼각기둥형상의 진동자 사시도이다.
종래기술에 따른 삼각기둥형상 진동자(10)는 단면의 형상이 삼각형인 각면에 제 1, 2, 3압전소자(11)(12)(13)가 부착되어 형성된다.
상기와 같이 구성된 종래기술에 있어서, 상기 삼각기둥형상의 진동자(10)는 제 1, 2 압전소자(11)(12)에 일정 주파수로 진동시키기 위하여 압전소자에 연결되는 전선(도시하지 않음)을 통하여 전압이 인가되어서 x, y, z의 축으로 형성되는 3차원상에서 x, y축이 벡터합을 이루는 x, y축 사이의 방향을 따라서 진동이 발생되거나, 또는 제 2, 3 압전소자(12)(13)에 전압이 인가되어서 x축을 따라서 진동이 발생된다.
이때, z축을 중심으로 하는 원주방향의 회전각속도(ω)가 인가되면 코리올리(Coriolis) 힘이 발생된다. 상기와 같이 회전각속도(ω)가 인가될 때, 상기 코리올리 힘의 방향은 진동자(10)의 진동방향이 x축이면 y축으로 발생되고, 또는 진동자(10)의 진동방향이 y축이면 x축으로 발생된다. 상기와 같이 x, y축 상에서의 진동은 제 1 압전소자(11)에서는 y축 방향으로의 진동이 검출되게 되고, 제 3 압전소자(13)에서는 x축 방향으로의 진동이 검출되게 된다. 상기의 진동은 제 1, 3 압전소자(11)(13)에 전압으로 발생되고 제 1, 2, 3 압전소자(11)(12)(13)에 연결되어 있는 전선을 통하여 연결되는 전자회로에서 상기 코리올리 힘에 비례되는 전압으로 발생된다.
한편, 진동자(10)는 하나의 축으로 인가되는 회전각속도가 측정되도록 구성되는 것이다. 그런데 실제의 적용에 있어서, 적어도 2개 이상의 축으로 구성되는 2차원 또는 3차원의 공간에서 상기의 진동자(10)가 진동 자이로에 구성되어서 측정되어야 하기 때문에 적어도 2개 이상의 진동자(10)로써 진동자이로가 이루어진다. 이때, 높이 방향으로 이루어지는 상기의 진동자(10)가 길이 만큼의 크기로 진동 자이로가 구성되기 때문에 종래 기술에서의 진동 자이로는 그 크기가 커진다.
그래서, 상기와 같은 종래 기술에서의 진동 자이로의 진동자는 세워져 있는 삼각기둥의 진동자에 길이 방향을 축으로 하여 인가되는 회전각속도가 검출되기 위하여 진동자인 삼각기둥이 세워져서 측정되어야 하기 때문에 진동 자이로의 크기가 증대되는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 발명의 주된 목적은 평면에 수직한 방향을 회전축으로 하는 회전각속도가 평면 구조의 진동자에서 검출되도록 구성되는 진동 자이로의 진동자를 제공하기 위함이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은
횡간보와, 상기 횡간보의 측면부 일측에 부착되는 제 1 압전소자와, 상기 제 1 압전소자가 형성된 대향면에 부착되는 제 2 압전소자와, 상기 횡간보의 일단에 일측의 중앙부분이 연결되어서 횡간보와 직교되는 방향으로 형성되는 제 1 세로보와, 상기 제 1 세로보가 횡간보와 연결되는 일측의 대향면인 타측에 부착되는 제 3 압전소자와, 상기 횡간보와 제 1 세로보가 연결되는 일단의 대향부인 타단에 제 1 세로보와 같은 방향으로 일측의 중앙부분이 연결되어서 세로로 형성되는 제 2 세로보 및 상기 제 2 세로보가 횡간보와 연결되는 일측의 대향면인 타측에 부착되는 제 4 압전소자로 구성되는 진동 자이로의 진동자에 있는 것이다.
본 발명의 또 다른 특징은 횡간보와, 상기 횡간보의 일측면에서 횡간보의 길이 방향으로 일단부에 부착되는 제 1 전극과, 상기 횡간보의 일측면에서 횡간보의 길이 방향으로 상기 일단부에 구성된 제 1 전극과 나란하게 타단부에 부착되는 제 2 전극과, 상기 제 1 전극과 제 2 전극이 구성된 횡간보 일측면의 대향면인 타측면의 일단부에서 제 1 전극과 같은 방향으로 부착되는 제 3 전극과, 상기 제 3 전극과 나란하게 타단부에 부착되는 제 4 전극과, 상기 횡간보의 일단에서 일측의 중앙부분이 연결되어 상기 횡간보와 직교되는 방향으로 형성되는 제 1 세로보와, 상기 제 1 세로보가 횡간보와 연결되는 일측의 대향면인 타측에서 제 1 세로보의 길이 방향으로 일단부에 부착되는 제 5 전극과, 상기 제 5 전극이 구성되는 일단부의 타단부에서 제 5 전극과 나란하게 부착되는 제 6 전극과, 상기 횡간보와 제 1 세로보가 연결되는 일단의 대향부인 타단에서 일측의 중앙부분이 연결되어 상기 제 1 세로보와 같은 방향으로 형성되는 제 2 세로보과, 상기 제 2 세로보가 횡간보와 연결되는 일측의 대향면인 타측에서 제 2 세로보의 길이 방향으로 일단부에 부착되는 제 7 전극 및 상기 제 7 전극 일단부의 타단부에서 제 7 전극과 나란하게 부착되는 제 8 전극으로 구성되는 진동 자이로의 진동자에 있는 것이다.
이하 첨부도면에 의하여 본 발명에 따른 진동 자이로의 진동자의 바람직한 일실시예에 대하여 상세하게 설명한다.
제 2 도의(a)는 본 발명에 따른 진동자 사시도, (b)는 본 발명에 따른 진동자 평면도, (c)는 본 발명에 따른 진동자 정면도, (d)는 본 발명에 따른 진동자 측면도이다.
본 발명에 따른 진동 자이로의 진동자(20)는
횡간보(21)와, 상기 횡간보(21)의 측면부 일측에 부착되는 제 1 압전소자(21a)와, 상기 제 1 압전소자(21a)가 형성된 대향면에 부착되는 제 2 압전소자(21b)와, 상기 횡간보(21)의 일단에 일측의 중앙부분이 연결되어서 횡간보(21)와 직교되는 방향으로 형성되는 제 1 세로보(22)와, 상기 제 1 세로보(22)가 횡간보(21)와 연결되는 일측의 대향면인 타측에 부착되는 제 3 압전소자(22a)와, 상기 횡간보(21)와 제 1 세로보(22)가 연결되는 일단의 대향부인 타단에 제 1 세로보(22)와 같은 방향으로 일측의 중앙부분이 연결되어서 세로로 형성되는 제 2 세로보(23) 및 상기 제 2 세로보(23)가 횡간보(21)와 연결되는 일측의 대향면 타측에 부착되는 제 4 압전소자(23a)로 구성된다.
상기 제 1 세로보(22)와 제 2 세로보(23)는 진동자(20)의 변위가 가장 작은 부분에서 부착되는 강선(25)에 의하여 지지부(24)에 지지되도록 일측과 타측의 진동지지점에 z축 방향으로 지지된다.
상기 제 1 압전소자(21a)와 제 2 압전소자(21b)는 보의 길이 방향으로 횡간보(21) 보다 짧은 장방형 형상으로 되어 횡간보의 양쪽의 측면부 중앙부에 부착된다.
상기 제 3 압전소자(22a)는 제 1 세로보(22)의 중앙부에 길이 방향으로 제 1 세로보(22)보다 짧은 장방형 형상으로 되어 부착되고, 상기 제 4 압전소자(23a)는 제 2 세로보(23)의 중앙부에 길이 방향으로 제 2 세로보(23) 보다 짧은 장방형 형상으로 되어 부착된다.
상기 횡간보(21)와 제 1 세로보(22) 그리고 제 2 세로보(23)는 일체형의 금속재질로 되어 진동자(20)가 형성되고, 상기 제 1, 2, 3, 4 압전소자(21a)(21b)(22a)(23a)는 전선이 연결되는 Pb(Zr, Ti)O3계열의 압전소자이다.
제 3 도의 (a)는 본 발명에 따른 다른 실시예의 진동자 사시도, (b)는 본 발명에 따른 다른 실시예의 진동자 평면도, (c)는 본 발명에 따른 다른 실시예의 진동자 정면도, (d)는 본 발명에 따른 다른 실시예의 진동자 측면도이다.
본 발명에 따른 다른 실시예의 진동 자이로의 진동자(30)는
횡간보(31)와, 상기 횡간보(31)의 일측면에서 횡간보(31)의 길이 방향으로 일단부에 부착되는 제 1 전극(31a)과, 상기 횡간보(31)의 일측면에서 횡간보(31)의 길이 방향으로 상기 일단부에 구성된 제 1 전극(31a)과 나란하게 타단부에 부착되는 제 2 전극(31b)과, 상기 제 1 전극(31a)과 제 2 전극(31b)이 구성된 횡간보(31) 일측면의 대향면인 타측면의 일단부에서 제 1 전극(31a)과 같은 방향으로 부착되는 제 3 전극(31c)과, 상기 제 3 전극(31c)과 나란하게 타단부에 부착되는 제 4 전극(31d)과, 상기 횡간보(31)의 일단에서 일측의 중앙부분이 연결되어 상기 횡간보(31)와 직교되는 방향으로 형성되는 제 1 세로보(32)와, 상기 제 1 세로보(32)가 횡간보(31)와 연결되는 일측의 대향면인 타측에서 제 1 세로보(32)의 길이 방향으로 일단부에 부착되는 제 5 전극(32a)과, 상기 제 5 전극(32a)과 나란하게 부착되는 제 6 전극(32b)과, 상기 횡간보(31)와 제 1 세로보(32)가 연결되는 일단의 대향부인 타단에서 일측의 중앙부분이 연결되어 상기 제 1 세로보(32)와 같은 방향으로 형성되는 제 2 세로보(33)과, 상기 제 2 세로보(33)가 횡간보(31)와 연결되는 일측의 대향면인 타측에서 제 2 세로보(33)의 길이 방향으로 일단부에 부착되는 제 7 전극(33a) 및 상기 제 7 전극(33a) 일단부의 타단부에서 제 7 전극(33a)과 나란하게 부착되는 제 8 전극(33b)으로 구성된다.
상기 제 1 세로보(32)와 제 2 세로보(33)는 진동자(30)의 변위가 가장 작은 부분에서 부착되는 강선(35)에 의하여 지지부(34)에 지지되도록 일측과 타측의 진동지지점에 z축 방향으로 지지된다.
상기 횡간보(31)의 길이 방향으로 짧은 장방형 형상으로써 일측에 부착되는 제 1 전극(31a)은 횡간보(31) 일측의 일단부에 부착되고, 제 2 전극(31b)은 횡간보(31)일측의 타단부에 부착된다.
상기 횡간보(31)의 길이 방향으로 짧은 장방형 형상으로써 타측에 부착되는 제 3 전극(31c)은 횡간보(31) 타측의 일단부에 부착되고, 제 4 전극(31d)은 횡간보(31)타측의 타단부에 부착된다.
상기 제 5 전극(32a)과 제 6 전극(32b)은 제 1 세로보(32) 타측의 일단부와 타단부에 제 1 세로보(32) 보다 짧은 장방형의 형상으로 부착된다.
상기 제 7 전극(33a)과 제 8 전극(33b)은 제 2 세로보(33) 타측의 일단부와 타단부에 제 2 세로보(33)보다 짧은 장방형의 형상으로 부착된다.
상기 횡간보(31)와 제 1 세로보(32) 그리고 제 2 세로보(33)는 일체형의 Pb(Zr, Ti)O3계열의 압전소자로 되어 진동자(30)가 형성되고, 상기 제 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8전극(31a)(31b)(31c)(31d)(32a)(32b)(33a)(aab)은 상기 진동자(30)의 표면에 인쇄되어 전선이 연결되는 도전성재질의 전극이다.
다음은 상기와 같이 구성된 본 발명의 작동상태에 대해서 설명한다.
제 2 도에서와 같이 본 발명에 따른 진동자(20)는 우선, 제 1, 2 압전소자(21a)(21b)에 동일한 위상의 교류전압이 인가되어 진동자(20)가 일정한 방향으로 진동되도록 하기 위하여, 상기 제 1, 2 압전소자(21a)(21b)는 동일한 분극방향으로 분극처리 되어서 분극방향이 같도록 되어 진동자(20)에 부착된다.
그리고, 제 3, 4 압전소자(22a)(23a)는 진동자(20)가 코리올리 힘에 의하여 진동될 때, 반대의 역 위상의 전압이 출력될 수 있도록 분극방향이 반대가 되도록 분극처리되어서 진동자(20)에 부착된다.
진동자(20)가 구성되는 횡간보(21)에 부착되어 있는, 상기 제 1, 2 압전소자(21a)(21b)에 동일한 위상과 일정한 주파수를 가지는 교류전압이 인가되면, 상기의 횡간보(21)는 ±x축 방향으로 진동이 된다. 상기와 같이 횡간보(21)가 ±x축 방향으로 진동이 되는 상태에서, z축을 중심축으로 하는 회전각속도(ω)가 인가되면, 코리올리 힘의 원리에 의하여 상기 ±x축 방향의 진동속도와 인가된 회전각속도(ω), 진동자(20)의 질량에 비례되는 힘인 코리올리 힘이 ±y축 방향으로 작용된다.
상기와 같이 코리올리 힘이 ±y축 방향으로 작용되면, 진동자(20)의 제 1, 2 세로보(22)(23)에 부착된 제 3, 4 압전소자(22a)(23a)에서 팽창 및 압축력으로 작용되어서 진동되고, 상기 진동은 제 3, 4 압전소자(22a)(23a)에서 상기 코리올리 힘과 비례되는 전압으로 발생되게 된다.
상기의 제 3, 4 압전소자(22a)(23a)에서 발생되는 전압은 인가된 회전각속도(ω)에 비례되므로 이 전압을 측정하여 인가된 회전각속도(ω)가 검출된다.
한편, 제 3 도에서와 같이 본 발명에 따른 실시예의 진동자(30)는 보의 길이 방향과 같은 방향으로 형성되어 일측의 일단부에 제 1 전극(31a), 일측의 타단부에 제 2 전극(31b)이 부착되고, 타측의 일단부에 제 3 전극(31c), 타측의 타단부에 제 4 전극(31d)이 부착되어서 형성되는 횡간보(31)에서, 진동자(30)가 다른 방향으로 진동되도록 분극되는 방향이 서로 다르게 된다. 즉, 상기 제 1 전극(31a)과 제 2 전극(31b)에 의하여 분극되는 방향과, 상기 제 3 전극(31c)과 제 4 전극(31d)에 의하여 분극되는 방향이 서로 반대로 되기 때문에 상기 전극에 전압이 인가되는 횡간보(31)는 한 쪽 방향으로 보의 휨이 발생된다.
또한, 상기 횡간보(31)의 일단에 일측의 중앙부분이 직교되고, 길이 방향으로 부착되는 제 1 세로보(32) 타측의 일단부에 제 5 전극(32a), 타측의 타단부에 제 6 전극(32b)에 의하여 분극되는 방향과, 상기 횡간보(31)의 타단에 일측의 중앙부분이 직교되고, 길이 방향으로 부착되는 제 2 세로보(33) 타측의 일단부에 제 7 전극(33a), 타측의 타단부에 제 8 전극(33b)에 의하여 분극되는 방향이 서로 동일하게 되도록 된다.
상기와 같이 횡간보(31) 일측의 제 1 전극(31a)과, 제 2 전극(31b)에 의하여 분극되는 방향과, 타측의 제 3 전극(31c)과 제 4 전극(31d)에 의하여 분극되는 방향이 다르기 때문에 동일한 위상의 전압이 인가되면, 횡간보(31)의 일측과 타측에서는 동일한 방향으로 보의 휨이 발생된다.
예를 들면, 진동자(30) 진동을 구동시키기 위하여 제 1 전극(31a)와 제 3 전극(31c)에 동일한 위상의 교류전압이 인가되면, 진동자(30)의 진동은 ±x축 방향으로 된다. 이 상태에서 z축을 중심으로 하는 회전각속도(ω)가 인가되면, 진동자(30)의 진동 속도, 질량 및 회전각속도(ω)에 비례되는 코리올리 힘이 ±y축 방향으로 작용된다. 상기와 같이 작용되는 코리올리 힘은 제 1 세로보(32)와 제 2 세로보(33)에서 보의 휨이 발생되도록 작용되고, 제 1 세로보(32)와 제 2 세로보(33)에서 보의 휨은 상기 보에 부착된 제 5 전극(32a)과 제 7 전극(33a)에 작용되어 인가된 회전각속도(ω)에 비례되는 전압이 출력되게 된다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 진동 자이로의 진동자는 평면 구조의 진동자에서 평면에 대한 수직한 방향의 회전각속도를 검출할 수 있기 때문에 크기가 감소되며, 구동되는 운동에 의한 질량이 보의 중앙부에서 작용되기 때문에 압전소자의 검출감도가 증대되는 특징을 지닌 것이다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 명백하다.

Claims (16)

  1. 평면상에 서로 동일한 길이로 평행하게 구비되는 제 1 세로보와
    제 2 세로보 ;
    상기 제 1 세로보와 제 2 세로보의 중앙부분을 일체로 연결하는 횡간보;
    상기 횡간보의 양측면에 부착되는 제 1, 2 압전소자; 및
    상기 제 1 세로보와 제 2 세로보의 바깥측면에 대응되게 부착되는 제 3, 4 압전소자;
    로 구성되는 진동 자이로의 진동자.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 횡간보와 제 1 세로보 및 제 2 세로보는 보의 단면 형상이 사각형인 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 압전소자와 제 2 압전소자는 보의 길이 방향으로 횡간보보다 짧은 장방형 형상으로 형성되어 횡간보의 양쪽의 측면부 중앙부에 부착되는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 3 압전소자는 상기 제 1 세로보의 중앙부에 길이 방향으로 제 1 세로보보다 짧은 장방형 형상으로 형성되어 부착되는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 4 압전소자는 제 2 세로보의 중앙부에 길이 방향으로 제 2 세로보보다 짧은 장방형 형상으로 형성되어 부착되는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 세로보와 제 2 세로보는 진동자가 지지되는 강선이 부착되도록 일측과 타측의 진동지지점에 Z축 방향으로 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기의 횡간보와 제 1 세로보 및 제 2 세로보는 일체형의 금속재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1, 2, 3, 4 압전소자는 PZT 압전소자인 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  9. (정정) 평면상에 서로 동일한 길이로 평행하게 구비되는 제 1 세로보와
    제 2 세로보;
    상기 제 1 세로보와 제 2 세로보의 중앙부분을 일체로 연결하는 횡간보;
    상기 횡간보의 양측면에 길이 방향으로 상, 하로 부착되는 제 1 전극과 제 2 전극과 제 3 전극과 제 4 전극;
    상기 제 1 세로보와 제 2 세로보의 바깥측 중앙에 상,하로 대응되게 부착되는 제 5 전극과 제 6 전극과 제 7 전극과 제 8 전극;
    으로 구성되는 진동 자이로의 진동자.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 횡간보의 일측과 타측에 부착되는 제 1 전극, 제 2 전극, 제 3 전극 및 제 4 전극은 상기 횡간보보다 길이 방향으로 짧은 장방형 형상으로 되는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 세로보에 부착되는 제 5 전극과 제 6 전극은 제 1 세로보보다 짧은 장방형의 형상으로 부착되어 구성되는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 2 세로보에 부착되는 제 7 전극과 제 8 전극은 제 2 세로보보다 짧은 장방형의 형상으로 부착되어 구성되는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 세로보와 제 2 세로보는 진동자가 지지되는 강선이 부착되도록 일측과 타측의 진동지지점에 Z축 방향으로 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기의 횡간보와 제 1 세로보 및 제 2 세로보는 일체형의 PZT 압전소자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  15. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8전극은 금속재질로써 진동자에 인쇄되어 형성되는 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
  16. 제 9 항에 있어서,
    상기 횡간보와 제 1 세로보 및 제 2 세로보는 보의 단면 형상이 사각형인 것을 특징으로 하는 진동 자이로의 진동자.
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