KR100207460B1 - Rotation multi-sample holder - Google Patents

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KR100207460B1 KR1019960004196A KR19960004196A KR100207460B1 KR 100207460 B1 KR100207460 B1 KR 100207460B1 KR 1019960004196 A KR1019960004196 A KR 1019960004196A KR 19960004196 A KR19960004196 A KR 19960004196A KR 100207460 B1 KR100207460 B1 KR 100207460B1
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Abstract

본 발명에 의한 회전 다중 시료 호울더는, 종래의 호울더에 샘플을 회전시키기 위한 로테이터(Rotater)를 이용함으로써 하나의 호울더에 여러개의 샘플을 장착시켜 분석 효율을 증가시킬 수 있고 또한 호울더 위치 변화에 따라 데이터의 오차가 발생하는 현상을 방지할 수 있다.The rotary multi-sample holder according to the present invention can increase the analysis efficiency by mounting multiple samples in one holder by using a rotator for rotating the sample in a conventional holder. It is possible to prevent a phenomenon in which data errors occur according to the change.

Description

회전 다중 시료 호울더Rotary multisample holder

제1a도 및 제1b도는 종래 기술에 의한 단일 시료 호울더(Sigle Sample Holder)의 측면도 및 윗면도를 나타낸다.1A and 1B show side and top views of a single sample holder according to the prior art.

제2a도 및 제2b도는 종래 기술에 의한 다중 시료 호울더(Multi Sample Holder)의 측면도 및 윗면도를 나타낸다.2A and 2B show side and top views of a multi-sample holder according to the prior art.

제3a도 및 제3b도는 본 발명에 의한 회전 다중 시료 호울더(Rotation Multi-Sample Holder)의 측면도 및 윗면도를 나타낸다.3a and 3b show side and top views of a Rotation Multi-Sample Holder according to the present invention.

본 발명은 반도체 분석 장치에 관한 것으로, 특히 시료 분석시 데이터에 오차가 발생하는 현상을 방지할 수 있는 회전 다중 시료 호울더(Rotation Multi-Sample Holder)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor analysis device, and more particularly, to a rotation multi-sample holder capable of preventing an error in data from being analyzed.

제1a도 및 제1b도는 종래 기술에 의한 단일 시료 호울더(Single Sample Holder)의 측면도 및 윗면도를 나타낸다.1A and 1B show side and top views of a single sample holder according to the prior art.

참조 번호 11은 샘플 호울더 몸체(Sample Holder Body)를, 13은 탄탈륨 판(Tantalium Plate)을 , 15는 윈도우(Window)를, 17은 시료(Sample)를, 19는 클립 스프링(Clip Spring)을, 21은 샘플 클립(Sample Clip)을, 23은 호울더 얼라이너(Holder Aligner)를, 25는 호울더의 진행 방향을 각각 나타낸다.Reference numeral 11 is a sample holder body, 13 is a tantalum plate, 15 is a window, 17 is a sample, 19 is a clip spring. , 21 denotes a sample clip, 23 denotes a holder aligner, and 25 denotes a moving direction of the holder.

상세하게, 시료(17)를 탄탈륨 판(13)이 열려져 있는 곳, 예컨대 윈도우(15)에 위치시키고 클립 스프링(19)이 달려있는 샘플 클립(21)을 이용해 누르면서 상기 시료(17)를 움직이지 않게 장착한다.In detail, the sample 17 is moved to the place where the tantalum plate 13 is opened, for example, the window 15, and the sample 17 is moved while pressing the sample clip 21 with the clip spring 19 attached thereto. Not to be installed.

이어서 호울더는 호울더 얼라이너(23)에 의해 서브 챔버영역(A)에서 분석 챔버 영역(B)으로 옮겨지고, 상기 시료(17)가 분석된다.The holder is then moved by the holder aligner 23 from the subchamber area A to the analysis chamber area B, and the sample 17 is analyzed.

상기와 같은 단일 시료 호울더는 호울더의 위치가 변하지 않아 재현성이 뛰어난 반면 하나의 호울더에 하나의 시료만 장착함으로 분석 효울이 감소하는 단점이 있다.Such a single sample holder has a disadvantage that the analysis efficiency is reduced by mounting only one sample in one holder while the holder is not changed in position.

제2a도 및 제2b도는 종래 기술에 의한 다중 시료 호울더(Multi Sample Holder)의 측면도 및 윗면도를 나타냈다.2A and 2B show side and top views of a multi-sample holder according to the prior art.

참조 번호 31은 샘플 호울더 몸체(Sample Holder Body)를, 33은 탄탈륨 판(Tantalium Plate)을, 35는 윈도우(Window)를, 37은 샘플을, 39는 클립 스프링(Clip Spring)을, 41은 샘플 클립(Sample Clip)을, 43은 호울더 얼라이너(Holder Aligner)를, 45는 호울더의 진행 방향을 각각 나타낸다.Reference numeral 31 is a sample holder body, 33 is a tantalum plate, 35 is a window, 37 is a sample, 39 is a clip spring, 41 is a A sample clip, 43 indicates a holder aligner, and 45 indicates a moving direction of the holder.

상세하게, 4개의 시료(37)를 탄탈륨 판(33)이 열려져 있는 곳, 예컨대 윈도우(35)에 위치시키고 클립 스프링(39)이 달려있는 샘플 클립(41)을 이용해 누르면서 상기 시료(37)를 움직이지 않게 장착한다.In detail, the four samples 37 are placed in a position where the tantalum plate 33 is opened, for example, the window 35, and the sample 37 is pressed while pressing the sample clip 41 with the clip spring 39 attached thereto. Mount it so that it does not move.

이어서 호울더는 호울더 얼라이너(43)에 의해 서브 챔버 영역(A)에서 분석 챔버 영역(B)으로 옮겨지고, 호울더의 위치를 바꾸면서 각각의 시료(37)가 분석되어 진다.The holder is then moved from the subchamber area A to the analysis chamber area B by the holder aligner 43, and each sample 37 is analyzed while changing the position of the holder.

상기와 같은 다중 시료 호울더는 하나의 호울더에 여러개의 시료를 장착함으로써 분석 효율을 증가시킬 수 있는 반면, 호울더 위치 변화에 따라 분석 데이터에 오차가 발생하는 단점이 있다.The multi-sample holder as described above can increase the analysis efficiency by mounting several samples in one holder, but there is a disadvantage that an error occurs in the analysis data according to the change in the holder position.

따라서 본 발명의 목적은, 시료 분석시 데이터에 오차가 발생하는 현상을 방지할 수 있는 회전 다중 시료 호울더(Rotation Multi-Sample Holder)를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a rotation multi-sample holder (Rotation Multi-Sample Holder) that can prevent the phenomenon that an error occurs in the data during sample analysis.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 하나의 호울더(Holder)에 여러개의 시료(Sample)를 장착하고 로테이터(Rotater)를 이용하여 상기 호울더의 위치를 변화시키지 않은 채 상기 시료를 회전시키는 것을 특징으로 하는 회전 다중 시료 호울더(Rotation Multi-Sample Holder)를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is to mount a plurality of samples (Sample) in one holder (rotator) and rotate the sample without changing the position of the holder using a rotator (Rotater) A Rotation Multi-Sample Holder is provided.

본 발명에 의한 회전 다중 시료 호울더는, 종래의 호울더에 시료를 회전시키기 위한 로테이터(Rotater)를 이용함으로써 하나의 호울더에 여러개의 시료를 장착시켜 분석 효율을 증가시킬 수 있고 또한 호울더 위치가 변하지 않아 분석 데이터에 오차가 발생하는 현상을 방지할 수 있다.In the rotary multi-sample holder according to the present invention, by using a rotator for rotating a sample in a conventional holder, it is possible to increase the analysis efficiency by mounting several samples in one holder, and also in the holder position. It can be prevented that error does not occur in the analysis data due to the constant change.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제3a도 및 제3b도는 본 발명에 의한 회전 다중 시료 호울더(Rotation Multi-Sample Holder)의 측면도 및 윗면도를 나타낸다.3a and 3b show side and top views of a Rotation Multi-Sample Holder according to the present invention.

참조 번호 51은 샘플 호울더 바디(Sample Holder Body)를, 53은 탄탈륨 판(Tantalium Plate)을, 55는 윈도우(Window)를, 57a·57b·57c·57d는 샘플을, 59는 샘플 로테이터(Sample Rotater)를, 61은 로테이터 고정 축을, 63은 호울더 얼라이너(Holder Aligner)를, 65는 호울더의 진행 방향을, 67은 로테이터 클릭(Rotater Click)을 각각 나타낸다.Reference numeral 51 is a sample holder body, 53 is a tantalum plate, 55 is a window, 57a, 57b, 57c, 57d is a sample, and 59 is a sample rotator. Rotater, 61 is a rotator fixing axis, 63 is a holder aligner, 65 is a holder direction, 67 is a rotator click.

상세하게, 4개의 시료(37)를 샘플 로테이터(59)의 스프링을 이용하여 고정시키고 시료(55a)를 분석한다.In detail, four samples 37 are fixed using the spring of the sample rotator 59 and the samples 55a are analyzed.

이어서 샘플 얼라이너(63)로 호울더를 분석 챔버 영역(B)에서 시브 챔버 영역(A)으로 옮기고, 상기 샘플 얼라이너(63)에 장착된 로테이터 클릭(67)이 샘플 로테이터(59)를 회전시켜 시료(57b)를 분석 위치, 예컨대 시료(57a)가 있던 위치에 오게 한다.Then the sample aligner 63 moves the holder from the analysis chamber area B to the sieve chamber area A, and a rotator click 67 mounted on the sample aligner 63 rotates the sample rotator 59. The sample 57b is brought to the analysis position, for example, the position where the sample 57a was.

서브 챔버 영역(A)에 존재하는 호울더를 다시 분석 챔버 영역(B)으로 옮겨 상기 시료(57b)를 분석한 후, 시료(57c,57d)에 대해서도 상기의 과정을 반복하여 분석한다.After the holder in the subchamber area A is moved back to the analysis chamber area B to analyze the sample 57b, the above process is also repeated for the samples 57c and 57d.

본 발명에 의한 회전 다중 시료 호울더는, 종래의 호울더에 시료를 회전시키기 위한 로테이터(Rotater)를 이용함으로써 하나의 호울더에 여러개의 시료를 장착시켜 분석 효율을 증가시킬 수 있고 또한 호울더 위치가 변하지 않아 분석 데이터에 오차가 발생하는 현상을 방지할 수 있다.In the rotary multi-sample holder according to the present invention, by using a rotator for rotating a sample in a conventional holder, it is possible to increase the analysis efficiency by mounting several samples in one holder, and also in the holder position. It can be prevented that error does not occur in the analysis data due to the constant change.

이상, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 명백하다.As described above, the present invention is not limited thereto, and it is apparent that many modifications are possible by those skilled in the art within the technical spirit of the present invention.

Claims (1)

반도체 분석장치에 사용되는 시료 호울더에 있어서, 복수 개의 시료를 장착하며, 고정된 회전축 및 상기 시료들이 장착된 부분의 사이에 외부에서 작용하는 힘에 의하여 동작되는 복수개의 로테이터를 구비하는 호울더 ; 및 상기 호울더를 챔버영역으로 이동시키며, 상기 로테이터에 힘을 가하여 상기 호울더를 상기 회전축을 따라 회전시켜 상기 시료를 차례대로 분석위치에 위치시키는 호울더 얼라이너를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 다중 시료 호울더.A sample holder for use in a semiconductor analysis device, comprising: a holder for mounting a plurality of samples, the holder including a plurality of rotators that are operated by externally acting forces between a fixed rotating shaft and a portion on which the samples are mounted; And a holder aligner for moving the holder to the chamber region and applying a force to the rotator to rotate the holder along the axis of rotation to position the sample in the analysis position in turn. Holder.
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