KR100203018B1 - 대용량 게터펌프 - Google Patents

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KR100203018B1
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브루노 페라리오
파올로 마니니
Original Assignee
파오로 델라 폴라
사에스 게터스 에스.페.아.
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/02—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption

Abstract

진공상태를 만들고 유지시큰데 적합한 개선된 대용량 게터펌프는 비증발성 게터재료로 만들어진 다공성의 소결된 다수의 블레이드로 이루어지고, 제1 메인 표면, 및 상기 제1메인 표면과 평행하며, 그것으로부터 0.5-5.0㎜의 두께만큼 이격된 제2메인 표면을 포함한다. 상기 블레이드는 하우징에 배치되고, 서로로 부터 가스 전도도(빈 중간 공간) 만큼 분리되며, 인접 블레이드의 인접 표면은 0.5-10㎜의 거리 만큼 서로로 부터 이격된다.

Description

대용량 게터펌프
제1도는 동작 조건에서 본 발명에 따른 게터펌프의 개략도.
제2도는 제1도의 라인 II-II을 따라 절취한 본 발명에 따른 게터펌프의 단면도.
제3도는 제2도에 도시된 바와같은 게터펌프의 일부 확대 사시도.
제4도는 제2도의 라인 IV-IV을 따라 절취한 본 발명에 따른 게터펌프의 단면도.
제5도는 펌프의 축 평면 X-X에 대한 각도 α 를 형성하는 본 발명에 따른 일부 블레이드의 단면도.
제6도는 블레이드의 다른 형상을 도시한 제5도의 유사도.
제7도는 평면 직각 블레이드를 소결하기 위한 성형의 단면도.
제8도는 실시예의 테스트동안 사용된 펌프 시스템을 개략적으로 도시한도.
제9도는 다이어그램의 형태로 일부 펌핑 데스트의 결과를 도시한 그래프.
제10도는 달리 겹쳐진 로우(크라운 또는 카트리지)로 블레이드가 배열된 본 발명에 따른 통사적인 펌프의 일부 절단면도.
일반적이며 특별한 제1 및 제2도를 보면, 플렌지(14)에 제공된 가스로 가득찬 하우징(12)을 가지며, 상기 하우징(12)을 진공관(16)에 고착하기 위한 수단으로 구성되는 개선된 비증발성 게터펌프(10)가 도시되어 있다.
제2도의 상기 게터펌프(10)는 실린더형 하우징(12)의 내측에 비증발성 게터 금속으로 이루어진 다수의 다공의 소결성 블레이드(18,19,20)를 구비한다. 블레이드(18)는 제1평면 표면(22)과 실제로 제1표면(22)과 평행하며, 약 0.5-5㎜의 거리 "t" 두께 만큼 제1 표면과 간격진 제2평면 표면(24)을 구비한다. 블레이드(18)는 직각의 형상일 수 있다. 모든 블레이드(18,19,20등)는 동일한 형상일 수 있다. 블레이드(18,19,20등)는 실제로 0.5 및 10㎜간의 거리 "c" 만큼 서로 간격진 인접한 블레이드와 방사형으로 배열되어 있다. 인접 블레이드(18,19,20등)간의 빈공간 "c"은 가스 전도성 물질로 이루어져 있다.
각각의 블레이드의 축은 제5도에 도시된 바와 같이 펌프의 축 평면 X-X 에 대하여 작은 각도 α(여기서는 1 내지 15°)를 형성한다. 이는 적어도 하우징의 내측벽을 보호하고자 하는 것이며(제5도에 블레이드(18')을 보라), 그리고 상기 측벽으로부터 가스를 제거하는 가능성을 감소하고자 하는 것이다. 상기 각도 α의 적당한 선택은 방사방향에 따른 블레이드의 전체 조사를 가능하게 하며, 따라서 다공성 게터물질의 비동일한 가열을 방지하게 한다. 전체 가열효율 및 파워의 절약은 상기 배열의 무시할 수 없는 결과이다. 블레이드의 프로파일과 같이 스트레이트 프로파일일 수 있거나, 또는 제6도의 블레이드 18'와 같이 작은 오목부가 도시될 수 있다. 축방향에 대한 오목부나 각도 α의 편차의 모든 경우에 블레이드의 가열이 증가될 뿐만 아니라 가스가 흡수된다.
게터펌프(10)는 금속시트로 만들어지며, 패시지(28,29,30,31,32,33)와 같은 다수의 방사형으로 배열된 가스 패시지를 가지는 제1환형유지 플레이트(26)를 가진다. 인접한 가스 패시지(슬롯 : 32,33)는 환형 플레이트(26)로부터 방사상으로 연장된 리브(34)에 의하여 분리된다.
방사형 리브(34)의 핀(36,38)은 서로 평행하며, 블레이드(19)의 폭과 실제로 동일한 거리만큼 서로 간격져 떨어져 있으며, 상기 핀(36,38)은 블레이드(19)의 한단부를 고정한다. 게터펌프(10)는 블레이드(18,19,20)와 같은 블레이드의 하부(도면에는 도시하지 않았음)에 위치한 제2동일한 환형유지 플레이트(도면에는 도시하지 않았음)을 가진다.
게터펌프(10)는 다수의 스트랩(40,41,42)을 가지는 바, 그 각각의 제1환형 유지 플레이트(26)와 제2환형유지 플레이트의 주변에 스포트 용접한다(도시되지 않음). 동일한 게터펌프(10)는 활성온도와 동작온도(제10도를 보라)에서 블레이드를 가열하기 위하여 제공되는 램프(44) 및 열전대(47)를 가진다. 램프(44)에서 소모되는 파워는 파워 소오스(46 : 제1도)에 의하여 공급된다. 블레이드의 내측 단부는 가스 전도 계수로 전달도는 지름(D : 제2도를 보라)을 가지는 내부 채널을 한정한다.
본 발명에 따른 게터 펌프는 주어진 체적에서 선행기술의 게터펌프보다 몇배 큰 흡수도를 가진다. 본 발명이 어떤 바람직한 실시예에 의하여 상세하게 고려되어 기재되어 있다 할지라도 여러가지의 변경과 변화가 본 발명의 요지를 벗어나지 않고 이루어질 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 다음의 실시예는 특히, 본 발명의 정신 및 범위를 제한하는 것이 아니라 단지 예시적인 목적으로 제공되는 것이다.
본 발명은 초고진공 챔버 또는 고에너지 입자 가속기의 같은 것에서 진공을 발생시키며 보존시키는데 적합한 대용량 게터펌프에 관한 것이다.
게터펌프는 종래기술에서 이미 잘 공지되어 있는 것으로, 진공을 발생 및 보존시키는데 접합하다. 미합중국 특허 제3,780,501호에 기술된 최초의 실용화에 성공한 게터펌프는 하우징내에서, 그 안에 장착된 게터 금속을 갖는 주름잡힌 금속 스트립을 사용하였다. 그러한 게터펌프의 또다른 예가 미합중국 특허 제 3,609,064호, 제3,662,522호. 제3,961,897호 및 제4,137,012호에 기술되어 있다. 이러한 종래의 게터펌프가 폭넓은 상업성에 성공을 거두고 시장에서 수용되었다 할지라도, 그것들은 하나의 단점을 갖는데 주어진 용적에서 수착(sorption)기능이 제한되어 있다.
상기 수착 기능을 증가시키기 위해서, 펌프 하우징을 제약분야에서 사용되는 것타블렛)과 유사한 크기 및 형태를 갖는 펠릿 형태의 게터 물질로 간단히 채우는 것이 제안되어 있으며, 그러한 펠릿은 통상적으로 직경이 5-10㎜이며, 높이가 2-10㎜인 실린더형을 나타낸다. 그러나, 상기 하우징이 그러한 펠릿으로 채워질 때, 벌크게터 구조로 가스를 엑세스 하는 것은 전혀 만족스럽지 않다. 상기 펠릿을 사용하는 것과 관련된 또 다른 단점은, 바람직하지 않게 약결합(loose)입자를 발생하는 것으로, 더우기 벌크구조는 가능한 시동 동안에(특히 사용된 게터물질의 낮은 활성 온도를 가질 때) 게터 물질의 높은 발열 가능성으로 인해 안정성 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 제1목적은 전술된 하나 이상의 단점이 없는 개선된 게터펌프를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 종래 기술의 게터 펌프에 대해 단위 용적당 더 높은 수착속도를 갖는 개선된 게터펌프를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 주름잡힌 코팅 스트립이나 게터물질의 펠릿이 없는 개선된 게터펌프를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 첨부된 설명 및 도면을 참조하여, 당업자라면 쉽게 이해할 수 있다.
그 가장 넓은 측면으로 보면, 본 발명은 고에너지 입자 가속기나 초고진공 챔버와 같은 것에서 진공을 발생 및 유지하는데 적당한, 개선된 대용량 게터펌프에 관한 것으로, 상기 펌프는 다수의 비증발성 게터물질로 제조된 다공성 소결 블레이드를 포함하며, 상기 게터물질은, i) 제1주 표면과, ii) 상기 제1표면에 평행하며, 0.5-5.0㎜의 두께로 격리된 제2주표면을 가지며, 여기서 상기 블레이드는 하우징내에 배치되고 인접 블레이드의 인접표면이 0.5-10㎜의 거리로 서로 격리되는 가스도관(비어있는 중계공간)에 의해서 서로 분리된다.
인접 블레이드 사이의 가스도관은 빠른 속도로 다공성 게터구조로 가스 분자가 들어가게 하며, 상기 다공성 소결 블에이드의 더 높은 다공성은 종래기술의 주름잡힌 스트립 및 펠릿(또는 타블렛)에 대해 가스 수착의 효율을 더 향상시킨다.
상기 블레이드는 상기 하우징에서 방사상으로 적당히 배치되어, 그 내부 끝으로 내부채널을 한정한다. 본 발명에 따른 게터펌프는 작동온도 및 소정의 작용온도에서 블레이드를 가열시키기 위해 히터 및 진공에 상기 하우징을 부착시키는 플랜지가 제공된다.
본 발명에 따른 펌프의 다공성 소결 블레이드는 평면(특히 사각형 및 선택적으로 가늘어지는 경사진), 오목한 그리고 그것들의 결합으로 부터 선택된 형상을 가진다. 더우기 상기 블레이드는 밀도가 1 내지 5, 양호하게는 1.5 내지 3.5g/㎤이며, 표면영역은 0.05 내지 1㎡/g (양호하게는 0.1-1㎡/g)이다.
본 발명에 따른 게터펌프는, 예를들면 폐쇄된 진공용기(예를들면 유체 이송 파이핑을 위한 듀어(dewar) 또는 진공재킷), 입자 가속기(예를들면 싱크로트론) 및 초고진공 챔버와 같은 여러 진공장치에서 진공을 유지하는데 사용될 수 있으며, 새로운 게터펌프는 진공도를 10-6그리고 10-12mbar(10-10Pa)까지 유지시킬 수 있다.
다양한 비증발성 게터 금속이, 예를 들면 지르코늄, 티타늄, 하프늄, 탄탈륨, 토륨, 우라늄, 니오븀 및 그것들의 합성물과 그것들을 갖는 이러한 금속합금과 다른 금속을 갖는 합금과 같은 금속이 본 발명에 따른 펌프의 제조에 사용될 수 있으며, 그러한 합금은 금속상호간에 합성이 되거나 되지 않거나 한다. 이러한 게터 금속은 홀로 사용되거나 다른 물질과 혼합하여, 예를들면 항소결(antisintering)재와 혼합하여 사용될 수 있다. 상기 다공성 소결 블레이드의 제조에서 비증발성 게터 금속 계열을 예시하되 제한하지 않는 예가, a) 예로서 미합중국 특허 제3,203,209호에 기재된 바와 같이, 84% Zr, 발란스 Al 을 포함하는 합금과, b) Zr, Ta, Hf, Nb, Ti 내지 U 에 기초한 미합중국 특허 제3,584,253호에 따른 금속 합성물과, c) Zr 과 Zr-Al 합금의 합성물에 기초한 미합중국 특허 제3,926,832호의 예 3에 따른 금속 합성물과, d) 미합중국 특허 제4,071,335호와 같은 것에 기술된 금속 상호간의 합성물 Zr, NI와, e) 미합중국 특허 제4,269,624호에 따른 Zr-M1-M2합금으로써, 여기서 M1은 V 또는 Nb이며, M2는 Fe 또는 Ni이며, f) 미합중국 특허 제4,306,887호에 따른 Zr-Fe 합금과, g) 망간과 같은 약간의 전이금속과 지르코늄 및 바나듐의 합금은 물론, 미합중국 특허 제4,312,669호에 기술된 지르코늄, 바나듐 및 철의 어떤 합금과, h) 미합중국 특허 제4,907,948호에 기술된 바와같은 지르코늄, 티타늄 및 철이 어떤 합금을 포함한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따라서, 상기 비증발성 게터 금속은 Zr-V-Fe합금과 Zr-Ti-Fe 합금, 선택적으로 Zr 단독 또는 Ti 단독과 결합하여 상기 합금으로부터 선택되며, 상기 단독으로 사용되는 금속은 수화물의 형태로 선택될 수 있다. 동출원인 명의로 영국특허 제2,077,487호에 공개된 합성물은 매우 유용함이 알려졌으며, 다음으로부터 획득된다. 즉,
I) 그 코너에서 다음점(% b. w.)
a) 75% Zr - 20% V - 5% Fe
b) 45% Zr - 20% V -35% Fe
c) 45% Zr - 50% V -5% Fe
을 갖는 다각형내에서, 삼각형에서 구획될 때 놓이는 합성물(중량으로)을 갖는 삼각형 각각의 Zr-V-Fe 비증발성 게터 합금과,
II) Zr 및 Ti로부터 선택된 각각의 비증발성 게터 금속으로, 여기서 Zr 및 T 입자는 합금 입자보다 작은 평균 크기를 갖는다. 그러한 결합물은 출원인이 "SAES St 172" 로 판매한다.
본 발명에 따르는 펌프의 다공성 소결 블레이드 제조를 위한 한가지 유용한 방법은, 전술된 결합으로 부터 시작해서 다음의 단계를 포함한다.
A) 상기 비증발성 게터 금속은 Zr-V-Fe 또는 Zr-Ti-Fe 합금 입자의 유리(loose)분말의 형태로 준비되며, 선택적으로 Zr 단독 또는 Ti 단독의 입자와, 그리고 확장재와 혼합하여 준비되며, B) 상기 유리분말(또는 결과 혼합물)이 몰드에 부어져 소결된다.
상기 합금 입자는 0.15 이상 또는 같은, 양호하게는 0.25㎡/g 의 예비-소결 표면영역과 400㎛ 까지, 양호하게는 1 내지 128㎛ 더 양호하게는 1 내지 50㎛ 의 예비소결 입자 크기를 갖는다.
상기 Zr 및 Ti 입자는, 계속해서 1 내지 55㎛ 의 평균 입자크기와, 0.1 내지 1.0㎡/ g 의 표면영역을 가지며, 여기서 합금입자와 상기 Zr 및/또는 Ti 입자 사이의 중량비는 10 : 1 내지 1 : 1 로 적당히 정해진다. 수분과 수시간 사이의 시간동안 유지되며, 700 내지 1200℃ 의 소결온도는 만족스러운 것으로 생각되며, 여기서 더 낮은 온도는 긴 시간을 필요로 하며, 소결시간은 규격 안정성을 향상시킨다.
확장재는 적당히 질소 및 인을 포함하는 무기 및 유기 염기가 될 수 있고, 이것은 비증발성 게터 물질에 대해(양호하게는 2-10%), 0.1 내지 15% b.w. 의 량으로 우레아, 아조-디-카보나미드 또는 암모늄 카바메이트와 같은 카바메이트와 같이 소결 온도 이하에서 완전히 분해된다. 상기 아조-디-카보나미드식은 NH2-CO-N=N-CO-NH2이다.
상기 히터는 게터펌프의 하우징 내측 또는 외측에 배열될 수 있다. 전류는 미합중국 특허 제3,609,064호에 기재된 바와같이 게터 물질을 통해 직접 흐르는 것이 허용될 수 있으나 또는 가열이 UVH 석영램프로 전도나 복사에 의하여 수행될 수 있다.
이러한 후자의 경우에, 다공의 소결성 블레이드는 전제적으로 복사되지 않기 위하여 서로에 대하여(그리고, 펌프의 축평면에 대하여) 약간 경사져 있다.
이하의 도면(제1-10)도은 본 발명의 범위를 줄이는 것이 아니며, 본 발명을 더욱 이해하기 쉬울 것이다.
부분 "A" (블레이드 제조 및 펌프 어셀블리)
다공의 소결성 블레이드는 다음의 특징으로 도시된 Zr-V-Fe 합금의 유리 분말에서 시작하여 제조된다.
-혼합(% b.w.) :
Zr = 70; V = 24.5; Fe = 5.5;
-평균 입자크기 =1-128㎛;
-표면 영역 = 0.25㎡/g
그후 합금 분말은 다음의 특징을 가진 Zr 유리분말과 웨이트 비율 1.5 : 1로 혼합된다.
-평균 입자 크기 =1-55㎛;
-표면 영역 = 0.45㎡/g.
그리고 암모늄 카바메이트(NH2-CO-O-NH4)의 5% b.w.
혼합의 결과는 제7도의 직각 흑연 성형물에 가해지며 10분동안 1000℃에서 소결되고 결과적인 블레이드는 75㎜의 길이와 20㎜의 폭과 1.4㎜ 의 두께가 된다. 다공의 소결성 블레이드의 표면영역은 0.14-0.15㎡/g 이며, 블레이드의 기하학적 (가시적) 표면은 대략 33㎠ 이다. 블레이드의 밀도는 3g/㎠이다.
전체수가 112개인 블레이드가 동일한 방법으로 준비되며, 상기 블레이드는 100㎜ 의 내부 지름을 가진 스테인레스 스틸의 원통형 하우징에서 하우징의 내측벽에 접합 블레이드의 외부 크기를 가지고 동일한 환형 거리에서 두 개의 동일하게 겹쳐진 로우 (각 카트리지에서 56개의 블레이드) 에서 방사상으로 배열된다. 표면 비율 즉, 블레이드의 기하학적인 표면과 하우징의 체적간의 비율은 3.1㎠/㎤ 이며, 방사상으로 배열된 블레이드의 내부 단에 의하여 한정된 내부 채널의 지름은 58㎜이다. 체적비율 즉, 블레이드의 전체 체적과 하우징의 빈 체적간의 비율은 0.21㎠/㎤ 이며, 중량 비율은 대략 0.64g/㎤ 이다.
부분 "B" (펌핑 검사)
제8도에 개략적으로 도시된 바와 같이 게터펌핑(GP)은, 공지된 전도성(C)을 가진 파이핑에 의하여 높은 체적 펌핑 시스템(VP)과 접속된 진공 챔버(VC)에 고착된다. 실험적인 진공챔버는 10-8torr 범위의 압력으로 낮춰진 주된 펌핑 그룹에 의하여 증발된다.
게터 펌프의 가열은 도면에는 도시하지 않았으나 펌프의 하우징과 동축인 내부 석영램프를 이용함에 의하여 얻어진다.
석영램프가 스위치 온되며, 500℃의 온도에 도달할 때까지 게터 블레이드가 조사된다. 상기의 온도는 1시간동안 유지된다. 추후에 상기 램프는 오프되며 게터 물질은 실온(25℃)으로 되돌아온다. 이러한 점에서 고순도 가스탱크(R)에서 나온 공지된 검사가스(CO)는 펌핑 시스템과 접속된 파이핑을 통해 측정된 전도 계수로 흐르게 한다. 가스 흐름은 UHV의 사파이어 밸브로 제어된다. 두개의 압력제어 게이지(Bayard-Alpeert, BAG1,BAG2)가 공지된 전도계수(C)전후의 압력값을 연속하여 측정하는데 이용된다.
상기 밸브(V)를 적당히 동작함에 의하여 측정된 전도계수의 상부에서의 압력(Pm)은 일정 레벨(1.5×10-4torr)로 유지되며, 그의 하부에서의 압력(Pg)즉, 게터의 근접도는 몇시간동안 감시된다. 상기 압력(Pg)가스 전도계수의 상부에서의 압력(Pm)보다 더 작은데, 이는 게터펌프가 체적(VC)에 들어가 있는 가스의 부분을 흡수하기g
압력 Pm(torr), 가스전도도 C(ℓ/s) 및 시간에 따른 압력 Pg(torr)의 변동으로부터, 흡착된 가스링(torr x ℓ)의 함수로서 게터펌프의 펌핑률 G(ℓ/s)이 계산될 수 있다. 공지된 바와 같이, 가스전도도(C)를 통해 어떤점에서 흐르는 가스량(Qi)은 하기식에 의해 얻어진다 :
시간단위당 상기 가스량은 G x Pg(torr x ℓ/s)로서, 즉, 게터의 펌핑률과 동일한 게터 부근의 압력과의 곱으로서 표현될 수 있는, 게터펌프에 의해 흡착된 가스량(시간 단위당)과 일치한다. 2개의 양이 동일하기 때문에,
그것으로 부터,
이 얻어진다.
시간 t에서 게터펌프에 의해 흡착된 총 가스량 (Q)은 공지된 바와 같이 시간 단위당 흡착된 가스량(Qi)을 시간에 따라 적분함으로써 얻어질 수 있다 :
상기 측정의 결과, 즉 동일한 것에 의해 흡착되는 가스량의 함수로서 게터의 펌핑율의 진행은 G(펌핑률) 대 Q(흡수용량)를 나타내는 제9도에 도시되며, 여기서 상기 데이타(라인 1)는 미국특허 제3,662,522호에 개시되어 있으며, 동일한 하우징 체적을 가진 선행기술에 따른 게터펌프(SAES Getters GP 200)를 사용해서 얻은 결과(라인 2)와 비교된다.
상기 비교로 부터, 본 발명에 따른 개선된 게터펌프 GP 의 펌핑률이 코팅된 스트립상에 기초를 둔 종래의 GP 200 펌프의 률의 2배 이상이라는 것을 알 수 잇다. 또한, 두 펌프의 펌핑률이 100ℓ/s 이하로 떨어질 때 측정되는 바와 같은 흡수용량은 종래의 펌프에 비해 한층 더 많다. 따라서, 본 발명에 따른 개선된 게터펌프는 주어진 하우징 체적에 있어서 종래의 NEG(non-evaporable getter) 펌프보다 현저히 높은 흡수 및 용량 특성을 제공한다.
[실시예 2]
일산화 탄소를 질소로 바꿔 제1실시예를 재차 수행한다. 이 결우에도, 펌핑률 및 흡수용량이 표준 GP 200 펌프에 비해 현저히 높다.
[실시예 3]
일산화탄소(CO)를 수호(H2)로 바꿔 제1 실시예를 재차 수행한다. 이 경우에도 본 발명에 따른 게터펌프의 펌필률이 GP 200 의 값의 2배 이상이다. 펌프제조에 사용되는 NEG 재료의 수소의 용량이 CO 및 N2에 대한 것보다 훨씬 많기 때문에, 펌프가 H2의 10 torr x ℓ 을 흡수한 후, 그리고 펌필률이 서서히 떨어지기 시작하는 점 훨씬 전에 테스트가 끝난다.

Claims (11)

  1. 진공을 만들고 유지하는데 적합한 대용량 게터펌프에 있어서, 비증발성 게터 재료로 만들어진 다공성의 소결된 다수의 블레이드를 포함하여,
    i) 제1 메인 표면
    ii) 상기 제1 메인 표면과 평행하며, 그것으로부터 0.5-5.0㎜의 두께 만큼 이격된 제2메인 표면을 가지며, 상기 블레이드는 하우징에 배치되고, 서로로 부터 가스전도 도 만큼 분리되며 (빈 중간 공간), 인접 블레이드의 인접 표면은 0.5-10㎜의 거리만큼 서로로 부터 이격되는 것을 특징으로 하는 대용량 게터 펌프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 블레이드가 방사방향으로 배치되고, 그것의 내부 말단이 펌프의 대칭 종축 둘레에 내부 채널을 한정하며, 상기 하우징에 접속된 히터 및 고정 플랜지가 제공되는 것을 특징으로 하는 대용량 게터 펌프.
  3. 제2항에 있어서, 상기 다공성의 소결된 블레이드가 평면의 (특히 직사각형 및 경우에 따라 점차 가늘어진 및/또는 경사진), 오목한 그리고 그들의 결합으로부터 선택된 형상을 가지며, 상기 블레이드의 축은 축방향 평면과 각을 형성하고, 각각의 블레이드가 펌프의 상기 종축을 통과하며, 상기 각이 바람직하게는 1 내지 15°사이로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대용량 게터펌프.
  4. 제1항에 있어서, 상기 다공성의 소결된 블레이드가 1 내지 5g/㎤밀도를 가지며, 0.05 내지 1㎡/g 표면적을 가지는 것을 특징으로 하는 대용량 게터 펌프.
  5. 제1항에 있어서, 비증발성 게터 재료가 지르코늄, 티타늄, 하프늄, 탄탈륨, 토륨, 우라늄, 니오븀, 그것들의 혼합물 및/또는 합금 및/또는 다른 금속과의 합금으로부터 선택된 금속이고, 상기 금속은 경우에 따라 항소결제와 혼합되는 것을 특징으로 하는 대용량 게터펌프.
  6. 제5항에 있어서, 비증발성 게터 금속이
    a) Zr-V-Fe 합금, 및
    b) Zr-Ti-Fe 합금으로 부터
    경우에 따라 단지 Zr 및/또는 단지 Ti 와 결합해서, 경우에 따라 Zr 수소화물 및 Ti 수소화물의 형태로 선택되는 것을 특징으로하는 대용량 게터펌프.
  7. 제6항에 있어서, 상기 비증발성 게터 금속이
    I) 3원 도표에 나타낼 때 그것의 각점인 아래점(% b.w.)
    a) 75% Zr - 20% V - 5% Fe
    b) 45% Zr - 20% V- 35% Fe
    c) 45% Zr - 50% V- 5% Fe
    인 다각형내에 놓이는 조성(중량)을 가진 3원 미립자 Zr-V-Fe 비증발성 게터 합금.
    II) Zr 및 Ti 로부터 선택된 미립자 비증발성 게터 금속, 여기서 Zr 및/또는 Ti 입자는 합금 입자보다 작은 평균크기를 가짐으로 부터 얻어진 결합물인 것을 특징으로 하는 대용량 게터펌프.
  8. 선택적으로 단지 Zr 및/또는 Ti 만의 입자 및 팽창제와 혼합해서, 상기 게터 금속을 합금 입자의 조밀하지 않은 분말의 형태로 준비하고,
    -상기 팽창제는 질소 및/또는 인을 함유하는 유기 또는 무기 염이며, 소결온도 이하에서 완전히 분해하고 바람직하게는 우레아, 아조-디-카본아미드 및 카바메이트로부터 선택되며,
    -상기 조밀하지 않은 분말(또는 혼합물)을 주형내에 넣고 700 내지 1200℃온도로 소결시키고,
    -상기 합금 입자는 0.15㎡/g 보다 크거나 같은 예비 소결 표면적 및 400㎛ 이하의 예비소결 입자크기를 가지며; 상기 Zr 및/또는 Ti 입자는 1 내지 55㎛의 평균 입자크기 및 0.1 내지 1.0㎡/g의 표면적을 가지며, 합금 입자와 상기 Zr 및/또는 Ti 입자 사이의 중량비는 10 : 1 내지 1 : 1인 것을 특징으로 하는 제6항에 따른 펌프의 다공성의 소결된 블레이드 제조방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 팽창제가 암모늄 카바메이트이고, 카바메이트의 양이 상기 비증발성 게터 금속에 대해 0.1 내지 15중량 % b.w.인 것을 특징으로 하는 제조방법.
  10. 진공상태로, 특히 10-6및 10-12mbar 보다 높거나 같은 레벨의 진공상태로 유지되어야 하는 장치내에 진공을 형성 및/또는 유지시키는 방법에 있어서, 상기 장치가 제1항의 개선된 대용량 게터펌프에 접속되거나 고정되는 것을 특징으로 하는 장치 내에 진공을 만들고 유지시키는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 장치가
    -예컨대 듀어병과 같은 진공용기 또는 유체의 이송을 위한 파이핑의 진공 쟈켓,
    -초 고진공 챔버,
    -입자 가속기 및 특히 싱크로트론으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 방법.
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