KR100190072B1 - 폴리이미드 도포장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의한 도포장치는 폴리이미드 저장탱크로부터 폴리이미드의 공급여부를 감지하는 버블 센서와 항시 일정량의 폴리이미드가 채워져 있는 되는 보조 저장탱크를 구비하고 있다. 또한, 상기 보조 저장탱크에는 배출관이 연결되어 있어서 유입된 가스의 7진행을 막고 가스를 쉽게 배출할 수 있다.
이에 따라 본 발명의 도포장치를 이용하면 폐액처리되는 폴리이미드 양을 극소량으로 줄일 수 있다. 또한, 공급관의 노즐로 나오는 폴리이미드에는 기포가 포함되는 것을 막을 수 있으므로 폴리이미드의 도포공정에서 공정불량을 방지하여 불필요한 폴리이미드 소모를 억제할 수 있다. 이와 같은 사실로 미루어볼 때, 폴리이미드의 원가를 절감하여 반도체장치의 제조단가를 낮출 수 있다.

Description

폴리이미드 도포장치
본 발명은 반도체장치의 폴리이미드 도포장치에 관한 것으로서, 특히, 폴리이미드 소모를 방지할 수 있는 수단을 구비하는 도포장치에 관한 것이다.
폴리이미드(Polyimide)는 반도체장치의 제조공정에서 사용하는 층간절연막의 하나이다. 폴리이미드는 산화막이나 질화막과 같은 다른 층간절연막과는 달리 액체상태로 존재한다. 감광막인 포토레지스트와 유사하다. 따라서 그 도포방법도 감광막의 도포와 유사하다.
상기 폴리이미드는 액체상태로 존재하므로 다른 절연막과는 달리 단차가 심한 구조물에 도포할 경우에는 단차의 높이를 줄일 수 있음은 물론이고 단차가 있는 부분의 표면을 부드럽게 하고 단차의 기울기를 완만하게 할 수 있다. 또한 높은 종횡비(aspect ratio)를 갖는 좁은 오픈홀을 보이드(viod) 없이 채울 수 있다. 특히, 경화된 폴리이미드의 경우는 500℃이상의 고온에서도 물질의 성질변화가 일으나지 않는다.
이와 같은 양호한 특성을 갖는 것은 폴리이미드의 도포상태에 따라 달라질 수 있다. 즉, 도포된 폴리이미드 막내에 기포성 입자가 내포되는등의 도포가 불량할 경우에는 상술한 특성을 제대로 발휘할 수가 없게 된다.
종래 기술에 의한 폴리이미드 도포장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 종래 기술에 의한 폴리이미드(Polyimide) 도포장치의 단면도인데, 이를 참조하면, 종래 기술에 의한 폴리이미드 도포장치는 크게 폴리이미드 저장탱크(10)와 상기 저장탱크(10)에 연결된 다수의 기능이 서로 다른 파이브 라인(16, 20 및 22)으로 구성되어 있다. 구체적으로, 상기 저장탱크(10)는 외부에서 내부를 볼 수 없는 밀폐형이다. 상기 저장탱크(10)에는 폴리이미드(12)가 채워진 병(14)이 있고 상기 저장탱크(10)내의 병(14)에는 반응챔버내로 상기 폴리이미드를 공급하는데 사용되는 폴리이미드 공급관(16)이 연결되어 있다. 상기 저장탱크(10)에서 공급관(16)을 통한 폴리이미드의 공급은 가압방식에 의한 것이다. 즉, 저장탱크(10)의 내부압력을 높혀서 상기 폴리이미드를 공급관으로 밀어내는 방식이다. 이와 같은 가압수단으로는 질소가스를 이용한다. 이를 위해 상기 저장탱크(10)에는 질소공급관(22)이 연결되어 있다. 그리고 상기 저장탱크(10)의 압력을 일정하게 유지하기 위한 수단으로써 상기 저장탱크(10)에는 에어밸브(24)가 구비되어 있다. 상기 저장탱크(10)로부터 일정거리의 폴리이미드 공급관(16)에는 저장탱크 (10)로부터 공급되는 폴리이미드의 차단과 배출을 위한 중간밸브(18)가 설치되어 있다. 상기 중간밸브(18)에는 상기 폴리이미드(12)를 배출하기 위한 배출관(20)이 연결되어 있다. 상기 중간밸브(18)는 연동밸브로써, 폴리이미드의 공급과 배출동작이 연동되게 되어 있다. 즉, 폴리이미드를 공급하는 상태로 상기 중간밸브(18)를 조작하면 배출관(20)으로 통하는 통로는 닫힌다. 반대로 폴리이미드를 배출하기 위해 배출관(20)을 오픈하는 상태로 중간밸브(18)를 조작하면 상기 공급관(16)으로 통하는 닫히게 된다.
이와 같은 구성을 갖는 폴리이미드 도포장치는 상기 폴리이미드 저장탱크(10)의 내부를 외부에서 볼 수 없으므로 폴리이미드의 잔량을 확인하기가 어렵다. 이를 극복하기 위해서 종래 기술에 의한 폴리이미드 도포장치에서는 디스펜스 카운터(dispense counter)라는 것을 사용하여 도포횟 수를 측정하여 도포 횟수가 일정횟 수가 되면 상기 저장탱크(10: 정확히는 폴리이미드 병(12))에 담긴 폴리이미드는 새로운 것으로 교체된다.
일반적으로, 상기 디스펜스 카운터는 상기 저장탱크(10)에 있는 폴리이미드 한 병에 대해 120회를 카운터한다. 이와 같은 방식은 저장탱크(10)에 있는 폴리이미드량을 정확히 알 수 없고 또한, 사용하는 폴리이미드량은 도포시마다 조금씩 달라질 수 있으므로 동일한 도포횟 수를 카운터한다 하더라도 폴리이미드가 남을 수 있고 때로는 모자랄 수도 있다. 카운터 횟 수가 끝나면, 무조건적으로 중간밸브를 조작하여 배출관(20)이 오픈되도록 한다. 이때, 상기 저장탱크(10)내부를 정확히 볼 수 없고 저장탱크(10)안에 폴리이미드가 남아 있는지를 정확히 알 수 없다. 따라서 배출관(20)이 오픈되면 남아 있는 폴리이미드는 전량 배출되어 폐액처리된다.
반대로, 정해진 카운터가 끝나기 전에 저장탱크(10)내에 폴리이미드가 남아 있지 않을 경우에는 공급관(16)내로 가스가 유입된다. 공급관(16)에 유입된 가스는 폴리이미드가 교체된 후에도 공급관(16)의 노즐까지 차 있게 된다. 이 상태에서 폴리이미드를 공급관(16)을 통해서 공급하면 폴리이미드내에 기포가 유입되어 기판에 도포된 폴리이미드막에는 기포가 내재하게 된다. 이러한 폴리이미드막을 베이크하거나 열처리하면, 내재된 기포가 터져서 폴리이미드막의 표면은 거칠어지게 된다. 결국, 기포가 내재된 폴리이미드는 사용할 수 없게된다.
상술한 바와 같이 종래 기술에 의한 폴리이미드 도포장치는 획일적으로 정한 기준에 맞춰 폴리이미드를 사용하므로 폴리이미드의 정확한 잔량을 알 수 없다. 따라서 불필요한 부분에서 폴리이미드의 소모가 심하다. 이와 같은 폴리이미드의 소모는 반도체장치의 제조원가를 상승시키는 원인들 중의 하나가 된다.
따라서 본 발명의 목적은 상술한 종래 기술이 갖는 문제점을 해결하기 위한 것으로, 폴리이미드의 잔량을 감지하여 폴리이미드 교체시기를 최적화하여 폴리이미드의 불필요한 소모를 막을 수 있는 폴리이미드 도포장치를 제공함에 있다.
도 1은 종래 기술에 의한 폴리이미드(Polyimide) 도포장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명에 의한 폴리이미드(Polyimide) 도포장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 폴리이미드 도포장치의 버블센서에 포함된 경보회로도이다.
〈도면의 주요부분에 대한 부호설명〉
40:메인 저장탱크. 42:폴리이미드가 채워진 병.
46:폴리이미드 공급관. 48:버블센서(bubble sensor).
50:보조 저장탱크.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 폴리이미드 도포장치는
폴리이미드를 저장하여 공급하는 메인 저장탱크; 상기 메인 저장탱크에 연결된 폴리이미드 공급관; 상기 메인 저장탱크에 연결된 가압용 가스공급관; 상기 메인 저장탱크에 연결되어 상기 메인 저장탱크 내부 압력을 조절하는데 사용하는 에어밸브; 상기 공급관에 설치되어 상기 저장탱크로부터 상기 폴리이미드의 공급 유무를 감지하는 감지수단; 상기 감지수단보다 상기 메인 저장탱크로부터 멀리 이격되어 상기 공급관에 설치되어 있는 폴리이미드 보조 저장탱크; 상기 보조 저장탱크에 연결된 상기 보조 저장탱크 내부에서 발생되는 기포를 배출시키기 위한 통로로 사용되는 배출관; 및 상기 배출관에 설치되어 상기 기포의 배출을 개폐하는 배출밸브를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 감지수단은 버블센서(bubble sensor)이다. 상기 버블 센서는 3개의 제1 내지 제3 저항과 2개의 제1 및 제2 컨버터(converter) 각 한 개씩의 다이오드와 리액턴스로 구성되는데, 구체적으로는 입력단자에 일단이 연결된 제1 저항; 상기 제1 저항의 타 단에 입력단이 연결된 접지 상태의 제1 컨버터; 상기 제1 저항의 타 단과 상기 제1 컨버터의 입력단 사이에 일단이 연결되어 있고 타 단에는 5v정도의 직류전압이 인가되어 있는 제2 저항; 상기 제1 컨버터의 출력단에 입력단이 연결된 2 컨버터; 상기 제1 컨버터의 출력단과 상기 제2 컨버터의 입력단사이에 일단이 연결되어 있고 타 단에는 5V정도의 일정한 직류전압이 인가되어 있는 제3 저항; 및 상기 제2 컨버터의 출력단에 애노드와 일단이 연결되어 있고 캐소드와 타 단에는 5V정도의 일정전압이 인가되어 있는 다이오드와 리액턴스로 구성된 회로를 포함하고 있다.
상기 리액턴스에는 상기 리액턴스의 타 단과 상기 리액턴스의 임의의 위치에 연결되는 출력단자가 연결되어 있다.
상기 출력단자에는 부저(buzzer) 및 LED와 같은 경광수단이 연결되어 알람을 표시한다.
상기 공급관은 상기 메인 저장탱크내부에 있는 폴리이미드가 채워져 있는 병과 직접 연결되어 있다.
상기 메인 저장탱크내부를 가압하기 위해 상기 가스공급관을 통해서 공급하는 가스는 질소가스이다.
상기 도 1 내지 제 3 저항은 각각 3.3, 10, 및 10킬로 옴(㏀)의 저항이다.
본 발명은 상기 버블센서와 보조 저장탱크를 구비하므로 상기 메인 저장탱크에 폴리이미드가 적정수준으로 있는지를 쉽게 알 수 있다. 따라서 종래와 같이 폴리이미드의 완전 고갈이나 과다한 잔량을 방지하여 도포불량이나 기포가 내재된 폴리이미드막 형성등과 같은 공정상의 불량 또는 다량의 폐액방출을 최소화함은 물론 폴리이미드 구입에 들어가는 원가를 줄여서 반도체장치의 제조단가를 낮출 수 있다.
이하, 본 발명에 의한 폴리이미드 도포장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 폴리이미드(Polyimide) 도포장치의 단면도이다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 폴리이미드 도포장치는 다음과 같은 구성으로 되어 있다. 즉, 2개의 폴리이미드 저장탱크(40, 48)와 다수의 파이프 라인(44, 46, 52)으로 구성되어 있다. 구체적으로는 폴리이미드(41)의 주 저장탱크인 메인 저장탱크(40)에는 반응챔버내의 기판에 폴리이미드(41)를 공급하는데 통로로 사용되는 폴리이미드 공급관(46)이 연결되어 있다. 실제적으로는 상기 공급관(46)은 상기 메인 저장탱크(40)에 있는 폴리이미드(41)가 채워진 병(42)에 연결되어 있다. 상기 메인 저장탱크(40)는 종래 기술에 의한 것과 동일한 밀폐형 탱크이다. 상기 메인 저장탱크(40)로부터 반응챔버로의 폴리이미드 공급은 가압방식에 의한다. 따라서 상기 메인 저장탱크(40) 내부의 압력을 높여야 하는데, 이를 위해 상기 메인 저장탱크(40)에는 가스공급관(44)이 연결되어 있다. 상기 가스공급관 (44)을 통해서 상기 메인 저장탱크(40)에 특정가스를 공급하여 메인 저장탱크(40) 내부압력을 일정치 이상으로 높여서 유지한다. 상기 가압에 사용하는 가스의 일예는 질소가스(N2)로서 상기 가스공급관(44)은 질소공급관이다. 상기 메인 저장탱크(40)의 내부압력을 일정하게 유지하기 위해서 상기 메인 저장탱크(40)에는 에어밸브(45)를 구비하고 있다. 계속해서 상기 공급관(46)에는 상기 메인 저장탱크(40)로부터 폴리이미드가 공급되는지 여부를 감지하는 기능을 하는 수단(48)이 설치되어 있다. 상기 수단(48)의 한 예가 버블센서(bubble sensor)인데, 상기 버블센서는 평상시에는 온(ON)상태로 있고, 상기 메인 저장탱크 (40)에 폴리이미드가 비어 있을 경우에는 오프(OFF)상태가 된다. 상기 메인 저장탱크(40)로부터 폴리이미드 공급이 중단되면, 상기 버블센서는 자체에 부착된 경보장치(부저(buzzor))나 경광장치(LED등)을 이용하여 그 사실을 알린다. 이에 따라 신속히 폴리이미드 도포작업을 중지할 수 있고 폴리이미드의 교체시기를 정확히 알 수 있다. 상기 버블 센서의 회로의 일예를 도 3에 도시하였다. 제3도를 참조하면, 상기 버블 센서 회로는 3개의 저항(R1, R2 및 R3)과 2개의 컨버터(converter:C1, C2)와 한개의 다이오드(D)와 한개의 리액턴스(L)로 구성한다. 이하, 상기 3개의 저항들(R1, R2 및 R3)중 R1을 제1 저항이라 하고, R2를 제2 저항이라 하며, R3은 제3 저항이라 한다. 그리고 상기 2개의 컨버터(C1, C2)중에서 C1은 제1 컨버터라 하고, C2는 제2 컨버터라 한다. 상기 버블센서 회로를 구성하는 요소들간의 연결관계를 설명하면, 상기 버블센서 회로의 입력단자(56)에는 상기 제1 저항(R1)의 일단이 연결되어 있다. 본 실시예에서 상기 제1 저항(R1)은 3.3킬로 옴(㏀)의 저항값을 갖는 저항이다.
계속해서 상기 제1 저항(R1)의 타 단에는 상기 제1 컨버터(C1)의 입력단이 연결되어 있고 상기 제1 저항(R1)의 타 단과 상기 제1 컨버터(C1)의 입력단 사이에는 상기 제2 저항(R2)의 일단이 연결되어 있다. 그리고 상기 제2 저항(R2)의 타 단에는 일정 전압, 예컨대 5볼트(V)의 직류전압(DC)이 인가되어 있다. 상기 제2 저항(R2)은 본 실시예에서는 10킬로 옴(㏀)의 저항값을 갖는 저항이다. 상기 제1 컨버터(C1)는 접지되어 있으며, 상기 제1 컨버터(C1)의 출력단에는 상기 제2 컨버터(C2)의 입력단이 연결되어 있다. 그리고 상기 제1 컨버터(C1)의 출력단과 상기 제2 컨버터(C2)의 입력단사이에는 상기 제3 저항(R3)의 일단이 연결되어 있다. 상기 제3 저항(R3)의 타 단에는 5볼트 정도의 직류전압이 인가되어 있다. 본 실시예에서 상기 제3 저항(R3)은 10킬로 옴(㏀)의 저항값을 갖는 저항이다. 상기 제2 컨버터(C2)의 출력단에는 상기 다이오드(D)의 애노드(anode)와 리액턴스(L)이 일단이 병렬로 연결되어 있다. 그리고 상기 다이오드(D)의 캐소드(cathode)와 리액턴스(L)의 타 단에는 일정한 크기의 직류 전압(예컨대, 5V)이 인가되어 있다. 상기 리액턴스(L)에는 리액턴스 (L)의 타 단과 상기 리액턴스(L)의 임의의 위치를 연결하는 출력단자를 구성할 수 있다. 상기 출력단자에는 외부에 알람을 표시할 수 있는 상기 부저나 LED같은 경광등이 연결될 수 있다. 상기 알람을 표시하는 방법은 상기 리액턴스(L)의 출력단자로부터 전압을 측정하는 수단을 연결한 후 상기 수단을 통해서 상기 리액턴스(L)의 전압을 측정하고 이 전압을 이용하여 상기 출력단자에 연결된 알람표시장치의 스위치를 온(ON)시킴으로써 알람을 표시한다. 상기 출력단자에서 상기 리액턴스(L)에 연결되는 부분은 그 위치를 임의로 변화시킬 수 있다. 따라서 그 위치에 따라 상기 리액턴스(L)로 부터 측정되는 전압이 달라진다.
계속해서 상기와 같은 구성을 갖는 상기 버블센서 회로의 동작을 살펴본다. 먼저, 상기 신호 입력단자(56)에 5V이하의 낮은 전압(low voltage)이 인가되는 경우를 살펴본다. 상기 입력단자(56)에 낮은 전압이 인가되면, 상기 제2 저항(R2)이 타 단에는 5V의 전압이 인가되어 있으므로 상기 제1 저항(R1)을 통해서 전류가 흐른다. 따라서 상기 제1 컨버터(C1)의 입력단에는 낮은 전압이 걸린다. 따라서 상기 제1 컨버터(C1)의 출력단에는 높은 전압(High voltage)이 걸리게 된다. 상기 제1 컨버터(C1)의 출력단에 걸린 높은 전압은 상기 제2 컨버터(C2)의 입력단에 그대로 걸린다. 따라서 상기 제2 컨버터(C2)의 출력단에는 낮은 전압이 결리게 된다. 상기 제2 컨버터(C2)의 출력단에 걸린 낮은 전압은 상기 제2 컨버터(C2)와 병렬로 연결되어 있는 상기 다이오드(D)의 애노드와 상기 리액턴스(L)의 일단에 동시에 걸린다. 그런데, 상기 다이오드(D)의 캐소드와 상기 리액턴스(L)의 타 단에는 동시에 5V의 전압이 인가되어 있으므로 상기 다이오드(D)를 통해서는 전류가 흐르지 못하고 상기 리액턴스(L)를 통해서만 전류가 흐르게된다. 따라서 상기 리액턴스(L)에 연결된 출력단자(58)에서는 전압이 측정되고 이 전압으로 스위치를 온 시켜서 상기 브블센서를 통해서 알람을 표시할 수 있다. 상기 알람을 통해서 상기 메인 저장탱크(40)에 상기 폴리이미드가 고갈된 것을 쉽게 알 수 있다. 상기 메인 저장탱크(40)가 완전히 고갈되었다 하더라고 상기 보조 저장탱크(50)에는 일정량의 폴리이미드가 채워져 있으므로 상기 알람을 인식하고 상기 폴리이미드 공급을 중단할 때 까지 거품을 포함하는 폴리이미드가 공급되는 것을 방지할 수 있다. 상기 보조 저장탱크(50)에서 발생되는 거품은 폴리이미드의 공급을 재게하기전에 배출관(52)을 통해서 배출한다.
한편, 상기 입력단자(56)에 5V 또는 그 이상의 높은 전압이 인가되면, 상기 제1 컨버터(C1)의 입력단에는 높은 전압이 걸리게되므로 상기 제1 컨버터(C2)의 출력단에는 낮은 전압이 걸리게 된다. 그런데, 상기 제2 저항(R2)의 타 단에는 5V의 직류전압이 인가되어 있고 상기 제1 컨버터(C1)는 접지(60)되어 있으므로 상기 제2 저항(R2)을 통해서 상기 제1 컨버터(C1)로 전류가 흐른다. 그리고 상기 제2 컨버터(C2)의 입력단에는 낮은 전압이 걸린다. 따라서 상기 제2 컨버터(C2)의 출력단에는 높은 전압이 걸리게 되고 이 전압은 그대로 상기 다이오드(D)의 애노드와 상기 리액턴스(L)의 일단에 동시에 걸리게 된다. 그러나 상기 다이오드(D)의 캐소드와 리액턴스(L)의 타 단에도 동시에 5V정도의 높은 전압이 인가되어 있으므로 상기 다이오드(D)나 리액턴스(L)를 통해서 흐르는 전류는 존재하지 않는다. 따라서 버블센서를 통한 어떠한 알람표시도 없게 된다. 이 경우가 상기 메인 저장탱크(40)에 폴리이미드가 충분하게 존재하는 경우이므로 상기 폴리이미드의 공급은 원활이 이루어지게 된다.
계속해서 상기 수단(48) 다음에는 보조 저장탱크(50)가 설치되어 있다. 상기 보조 저장탱크(50)에는 항시 일정량의 폴리이미드가 채워져 있다. 따라서 상기 메인 저장탱크(50)에서 폴리이미드가 완전히 고갈되어 상기 버블센서(48)에 의해 알람이 표시된 이후 상기 폴리이미드 도포 장치를 멈출 때 까지 상기 공급관을 통해서 기포를 포함하는 폴리이미드가 공급되는 것을 막을 수 있다. 결국, 상기 폴리이미드 공급이 중단되더라도 상기 보조 저장탱크(50)에서 노즐까지의 상기 공급관(46)에는 항시 폴리이미드로 꽉 채워진 상태가 된다. 이에 따라 상기 공급관(46)내에 가스의 유입을 방지할 수 있고 폴리이미드가 교체되어 도포공정을 계속하더라도 종래와 같이 기포가 폴리이미드막에 포함되는 것을 방지할 수 있다. 따라서 폴리이미드 도포효율을 높일 수 있고 폴리이미드의 불필요한 소모를 막을 수 있다.
상기 보조 저장탱크(50)에는 상기 공급관(46)과는 전혀 무관한 배출관(52)이 연결되어 있다. 상기 배출관(52)을 통해서 상기 폴리이미드를 교체시 유입된 가스를 배출한다. 즉, 폴리이미드 교체시 공급관(46)에 유입된 가스는 메인 저장탱크(40)로부터 상기 보조 저장탱크(48)로 폴리이미드와 함께 유입된다. 상기 보조 저장탱크 (50)에는 일정량의 폴리이미드가 항시 채워져 있으므로 상기 보조 저장탱크(48)에 유입된 가스는 더 이상 공급관(46)을 따라 진행하지 못하고 상기 보조 조장탱크(48)의 윗쪽에 모이게 된다. 이렇게 모인 가스는 상기 배출관(52)을 통해서 외부로 배출된다. 상기 배출관(52)에는 배출밸브(54)가 설치되어 있어서 상기 가스의 배출을 단속한다.
본 발명은 상기 버블센서와 보조 저장탱크를 구비하고 있으므로 메인 저장탱크로부터 폴리이미드의 공급상태를 감지할 수 있으므로 폐액처리되는 폴리이미드양을 극소량으로 줄일 수 있다. 또한, 폴리이미드 교체시 유입된 가스는 공급관의 중간부분에서 배출하므로 공급관의 노즐로 나오는 폴리이미드에는 기포가 포함되지 않는다. 따라서 폴리이미드의 도포공정에서 불량공정을 방지하여 불필요한 폴리이미드 소모를 억제할 수 있다. 이와 같은 사실로 미루어볼 때, 본 발명에 의한 도포장치를 이용하면 폴리이미드 구입원가를 크게 낮출 수 있으므로 반도체장치의 제조단가가 낮아지는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상내에서 당분야에서의 통상의 지식을 가잔자에 의하여 실시가능함은 명백하다.

Claims (7)

  1. 폴리이미드를 저장하여 공급하는 메인 저장탱크;
    상기 메인 저장탱크에 연결된 폴리이미드 공급관;
    상기 메인 저장탱크에 연결된 가압용 가스공급관;
    상기 메인 저장탱크에 연결되어 상기 메인 저장탱크 내부 압력을 조절하는데 사용하는 에어밸브;
    상기 공급관에 설치되어 상기 저장탱크로부터 상기 폴리이미드의 공급 유무를 감지하는 감지수단;
    상기 감지수단보다 상기 메인 저장탱크로부터 멀리 이격되어 상기 공급관에 설치되어 있는 폴리이미드 보조 저장탱크;
    상기 보조 저장탱크에 연결된 상기 보조 저장탱크 내부에서 발생되는 기포를 배출시키기 위한 통로로 사용되는 배출관; 및
    상기 배출관에 설치되어 상기 기포의 배출을 개폐하는 배출밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 도포장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 감지수단은 버블센서(bubble sensor)인 것을 특징으로 하는 폴리이미드 도포장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 버블 센서는 3개의 제1 내지 제3 저항과 2개의 제1 및 제2 컨버터(converter) 각 한 개씩의 다이오드와 리액턴스로 구성되는데, 구체적으로는 입력단자에 일단이 연결된 제1 저항;
    상기 제1 저항의 타 단에 입력단이 연결된 접지 상태의 제1 컨버터;
    상기 제1 저항의 타 단과 상기 제1 컨버터의 입력단 사이에 일단이 연결되어 있고 타 단에는 5v정도의 직류전압이 인가되어 있는 제2 저항;
    상기 제1 컨버터의 출력단에 입력단이 연결된 2 컨버터;
    상기 제1 컨버터의 출력단과 상기 제2 컨버터의 입력단사이에 일단이 연결되어 있고 타 단에는 5V정도의 일정한 직류전압이 인가되어 있는 제3 저항; 및
    상기 제2 컨버터의 출력단에 애노드와 일단이 연결되어 있고 캐소드와 타 단에는 5V정도의 일정전압이 인가되어 있는 다이오드와 리액턴스로 구성된 회로를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 도포장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 리액턴스에는 상기 리액턴스의 타 단과 상기 리액턴스의 임의의 위치에 연결되는 출력단자가 있는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 도포장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 출력단자에는 부저(buzzer) 및 LED와 같은 경광수단이 연결되어 알람을 표시하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 도포장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 공급관은 상기 메인 저장탱크내부에 있는 폴리이미드가 채워져 있는 병과 직접 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 도포장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 메인 저장탱크내부를 가압하기 위해 상기 가스공급관을 통해서 공급하는 가스는 질소가스인 것을 특징으로 하는 폴리이미드 도포장치.
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