KR100187637B1 - 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치에 관한 것으로, 복수개의 디바이스 튜브가 일정한 방향으로 적재되어 순차적으로 공급되도록 경사면을 형성한 슬라이드 안내부; 상기 슬라이드 안내부의 저면에서 동력 발생 수단에 따라 연동되는 제1이송 로울러; 상기 제1이송 로울러와 인접되어 동일 구동되는 제2이송 로울러; 상기 제1, 제2이송 로울러를 따라 이송된 튜브가 스톱퍼상에 고정되도록 마련된 좌/우 양 홀더부 및 상기 홀더부 전면에서 상기 튜브를 수용하여 핸들러상의 스태커에 로딩되도록 튜브 공급 수단을 갖는 디바이스 튜브 공급 장치에 있어서, 상기 홀더부 일 측에 튜브의 긴밀한 위치 고정이 이루어지도록 각각 한 쌍으로 설치된 복수의 인입 트랙; 상기 선택된 어느 하나의 인입 트랙에 설치되어 튜브 내의 디바이스 충입 여부를 확인받기 위한 감지 수단; 상기 선택된 어느 하나의 인입 트랙에 설치되어 튜브내의 디바이스 위치 정렬을 위하여 튜브의 고정과 동시에 에어 분사가 이루어지는 에어 공급 수단; 및 상기 위치 정렬된 튜브를 인도받아 스태커상에 공급하기 위한 튜브 공급 수단의 일 측에서 정렬된 디바이스가 라이브 버그 상태인지, 혹은 데드 버그 상태인지를 검출하기 위한 스캐너 감지 수단을 구비하여 핸들러로의 디바이스 공급에 신뢰성과 정확성을 부여하여 양질의 테스트 공정을 달성하는 것이다.
Description
제1도는 본 발명의 전체적인 내부 구성을 도시해 보인 사시도.
제2도는 본 발명에 있어서, 반도체 디바이스 튜브의 공급부를 도시해 보인 일부 사시도.
제3도는 본 발명에 있어서, 공급된 튜브의 디바이스 상태 확인을 위한 검출 확인부를 도시해 보인 일부 사시도.
제4도는 도면 제3도의 과정을 거친 디바이스 튜브가 핸들러상에 로딩되기 위하여 스태커상에 장착됨을 도시해 보인 일부 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 튜브 공급 장치 11 : 슬라이드 안내부
12,12a : 정/역 구동 모터 13,13a : 제1,2이송 로울러
14 : 인입 트랙 15 : 풀 센서부
16 : 스톱퍼 17 : 홀더부
18 : 에어 블로워 19 : 푸시 실린더
20 : 가이드 샤프트 21 : 튜브 그리퍼
22 : 업/다운 실린더 23 : 스캐너 센서부
본 발명은 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치에 관한 것으로, 특히 완성된 반도체 디바이스의 테스트를 위해 마련되는 핸들러에 소정의 기준에 따라 분류된 디바이스 내장 튜브(TUBE)를 로딩함에 있어서, 튜브 내의 디바이스 상태가 라이브 버그(Live bug)인가 혹은 데드 버그(Dead bug) 상태인가를 확인 검증 받아 핸들러가 필요로 하는 상태로 디바이스가 내장된 튜브만이 공급되도록 하는 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 반도체 디바이스의 수율 및 품질의 균일성을 검증 받기 위한 측정에 대응하기 위하여 제공되는 핸들러는 몰딩 공정 후 완성된 패키지의 제 성능을 측정받기 위해 마련되며, 로딩되는 디바이스가 트랙 상에 주로, 8개의 4병렬로 장착되어 테스터기에 의한 신뢰성 높은 동시 측정이 가능하도록 마련되는 바, 이때 상기의 디바이스는 소정의 기준에 의해 분류 처리된 채 각각의 튜브 내에 내장된 상태에서 로딩 완료되어 순차적인 공급을 위해 대기될 수 있는데, 해당 튜브 내의 디바이스 내장 상태가 핸들러 장착에 매우 적절하게 적용될 수 있는 상태로 유지될 수 있도록 배려되어야 한다.
즉, 고속화, 고기능화 및 고집적화된 다량의 반도체 디바이스에 대해 정당성과 신뢰성을 부여하여 양호한 측정 결과를 테스터기에 의해 평가받기 위해서는 고속 테스터기의 반복 주기에 적절히 대응될 수 있도록 역시 고속화된 핸들러로의 디바이스 로딩이 요구된다.
주지된 바와 같이, 종래에는 8개의 디바이스를 포함하는 라인이 4병렬로 장착되기 위해서는 최초, 핸들러의 디바이스 공급부를 통해 소정의 기준에 의하여 분류된 디바이스가 트랙 커버와 베이스 트랙 사이에 형성된 가이드 홈을 따라 슬라이드 되어 제일 하단부에서 하나의 수평 라인으로 장착되기 위하여 낙하 위치 완료되면, 동시에 그 상부에서 스톱퍼가 돌출되어 이후 슬라이드 공급되는 제2의 디바이스 라인이 재치될 수 있는 등 스톱퍼와 디바이스 공급이 상호 교대로 이루어져 아래에서부터의 순차적인 장착이 이루어진다는 것이다.
따라서, 상기의 장착을 위해서는 최초, 로딩되는 디바이스의 제 방향 및 위치가 정확하게 설정되어 대기될 필요가 있었으나, 디바이스 튜브의 로딩시 현실적으로 이를 자동으로 확인시켜 줄 별도의 장치가 마련되지 못하여 작업자의 수동적인 확인 등에 의존함으로서 정확도가 낮았고, 신속을 요하는 로딩 공정에서의 장해 요인으로 기능하여 테스트 작업의 신뢰성을 저하시키는 등 문제점이 내재되어 있었다.
따라서, 상기의 제반 문제점을 보다 효율적으로 해결하기 위하여 안출된 본 발명의 목적은 반도체 디바이스를 내장한 튜브가 핸들러상에 로딩됨에 있어서, 상기 내장된 디바이스의 방향 및 위치 등이 로딩됨과 동시에 자동으로 검출되도록 하여 보상 조치가 신속하게 이루어지도록 한 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 수단으로 마련되는 본 발명의 튜브 공급 장치는 복수개의 디바이스 튜브가 일정한 방향으로 적재되어 순차적으로 공급되도록 경사면을 형성한 슬라이드 안내부; 상기 슬라이드 안내부의 저면에서 동력 발생 수단에 따라 연동되는 제1이송 로울러; 상기 제1이송 로울러와 인접되어 동일 구동되는 제2이송 로울러; 상기 제1, 제2이송 로울러를 따라 이송된 튜브가 스톱퍼상에 고정되도록 마련된 좌/우 양 홀더부 및 상기 홀더부 전면에서 상기 튜브를 수용하여 핸들러상의 스태커에 로딩되도록 튜브 공급 수단을 갖는 디바이스 튜브 공급 장치에 있어서, 상기 홀더부 일 측에 튜브의 긴밀한 위치 고정이 이루어지도록 각각 한 쌍으로 설치된 복수의 인입 트랙; 상기 선택된 어느 하나의 인입 트랙에 설치되어 튜브 내의 디바이스 충입 여부를 확인받기 위한 감지 수단; 상기 선택된 어느 하나의 인입 트랙에 설치되어 튜브내의 디바이스 위치 정렬을 위하여 튜브의 고정과 동시에 에어 분사가 이루어지는 에어 공급 수단; 및 상기 위치 정렬된 튜브를 인도받아 스태커상에 공급하기 위한 튜브 공급 수단의 일 측에서 정렬된 디바이스가 라이브 버그 상태인지, 혹은 데드 버그 상태인지를 검출하기 위한 스캐너 감지 수단을 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.
상기 튜브 공급 수단은 일직선 왕복 운동으로 튜브의 배출이 가능하도록 푸시 실린더에 의해 가이드 샤프트상에서 이동 자재하게 설치된 튜브 그리퍼가 포함되도록 함이 바람직하다.
상기 스캐너 감지 수단은 광센서 및 마그네틱 근접 센서로 마련되며, 에어 공급 수단과 상호 반대의 위치에서 설치됨이 바람직할 것이다.
또한, 상기 스캐너 감지 수단은 업/다운 실린더에 의해 승/하강되면서 튜브 감지가 가능케 됨이 보다 바람직할 것이다.
따라서, 디바이스 테스터용 핸들러로의 튜브 공급에 양호한 신뢰성을 부여할 수 있다는 것이다.
이하, 첨부된 도면에 잠조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 설명한다.
첨부된 도면 제1도는 본 발명의 전체적인 내부 구성을 도시해 보인 사시도로써, 본 발명의 튜브 공급 장치(10)는 복수개의 디바이스 튜브(A)가 일정한 방향을 향하여 횡설되도록 적재되어 순차적으로 저면부를 향해 개별 공급되도록 테이퍼형 경사면을 형성하여 튜브 공급 장치(10)의 내면부를 형성하는 슬라이드 안내부(11)가 마련되고; 상기 슬라이드 안내부(11)의 저면에서 동력 발생 수단인 정/역 구동 모터(12)의 휠 구동에 따라 연동되는 제1이송 로울러(13)가 슬라이드 안내부(11)의 길이 방향을 따라 위치되며; 상기 제1이송 로울러(13)의 전면에 인접되고, 상호 반대되는 위치에서 역시 정/역 구동 모터(12a)의 동력에 의해 동일 구동되게 설치된 제2이송 로울러(13a); 상기 제1, 제2이송 로울러(13),(13a)를 따라 전면으로 밀려져 이송된 튜브(A)를 그대로 수용하여 긴밀한 위치 고정이 이루어지도록 각각 한 쌍으로 입설되어 튜브(A) 좌/우에 설치되는 복수의 인입 트랙(14); 상기 한 쌍으로 마련된 복수의 인입 트랙(14) 중 튜브(A)의 입구부가 위치되는 어느 하나의 인입 트랙(14)을 선택하여 내장 디바이스의 충입 여부를 확인받기 위한 감지 수단으로 설치되는 풀 센서부(15); 상기 복수의 인입 트랙(14)에서 상호 대향되는 위치로 설치되는 좌/우 양 스톱퍼(16)와 일체로 형성된 홀더부(17); 상기 풀 센서부(15)가 설치된 선택된 어느 하나의 인입 트랙(14)에 설치되어 튜브(A)내의 디바이스 위치 정렬, 즉 튜브(A)의 내면 끝단으로 디바이스를 긴밀하게 밀어주도록 튜브(A)의 위치 고정과 동시에 별도로 인가되는 신호에 의해서 에어 분사가 이루어지는 에어 공급 수단으로의 에어 블로워(18); 상기 에어 블로워(18)에 의해 디바이스 정렬이 완료된 후 튜브 공급 수단으로 구성되는 푸시 실린더(19)에 의해 복수로 설치된 가이드 샤프트(20) 상에서 이동 자재하게 전/후진 왕복되도록 설치된 튜브 그리퍼(21)에 상기 튜브(A)가 안치됨과 동시에 상기 에어 블로워(18)와 상호 반대의 위치에 설치되어 튜브(A)내의 정렬된 디바이스 방향이 등의 위로 향한 라이버 버그 상태인지, 혹은 그와 반대의 데드 버그 상태인지를 확인하기 위해 디바이스 리드 프레임의 리드와 리드 사이에 빛을 투과시킴으로 방향 확인이 가능한 광센서 및 마그네틱 근접 센서로 마련된 스캐너 감지 수단을 제공하되, 상기 스캐너 감지 수단에는 슬라이드 빔이 포함되며, 업/다운 실린더(22)에 의해 튜브 그리퍼(21)상의 튜브(A) 일 측에 접촉되어 감지 기능을 갖는 스캐너 센서부(23)로 이루어진다.
도면중 미설명된 부호 (24)는 튜브 드롭퍼를 도시한 것이며, (25)는 스태커를 도시한 것이다.
이하, 상기의 구성으로 된 본 발명의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.
첨부된 도면 제2도는 본 발명에 있어서, 반도체 디바이스 튜브의 공급부를 도시한 것이며, 제3도는 공급된 튜브의 디바이스 상태 확인을 위한 검출 확인부를 도시한 것이고, 제4도는 도면 제3도의 과정을 거친 디바이스 튜브가 핸들러상에 로딩되기 위하여 스태커상에 장착됨을 도시해 보인 일부 사시도이다.
도시된 바와 같이, 최종 디바이스 테스터용 핸들러로의 디바이스 공급을 위해 디바이스 튜브 공급 장치(10)의 슬라이드 안내부(11)에 복수개로 적재된 디바이스 튜브(A)가 스타트의 전원 공급과 동시에 순차적으로 개별 공급되는데, 정/역 구동 모터(12),(12a)에 연동되는 제1이송 로울러(13) 및 제2이송 로울러(13a)를 타고서 전면으로 이송되고, 상기 이송된 튜브(A)는 각각 한 쌍으로 입설되어 튜브(A) 좌/우에 설치되는 복수의 인입 트랙(14)에 그대로 수용되도록 하는데, 수용과 동시에 튜브(A)의 입구부가 위치되는 어느 하나의 인입 트랙(14)에 설치된 에어 공급 수단으로의 에어 블로워(18) 작동에 의해서 튜브(A) 내의 디바이스 위치 정렬, 즉 튜브(A)의 내면 끝단으로 디바이스를 긴밀하게 밀어 주는 동작이 수행되어 스캐너 센서부(23)가 매우 유효하게 감지될 수 있도록 배려되고, 이후 내장 디바이스의 충입 여부를 확인받기 위한 감지 수단으로 설치되는 풀 센서부(15)에 의해서 제어 처리될 수 있다.
이후, 디바이스 정렬이 완료된 후 튜브 공급 수단으로 구성되는 푸시 실린더(19)에 의해 복수로 설치된 가이드 샤프트(20) 상에서 이동 자재하게 전/후진 왕복되는 튜브 그리퍼(21)에 상기 튜브(A)가 안치됨과 동시에 상기 에어 블로워(18)와 상호 반대의 위치에서 업/다운 실린더(22)가 확장되어 스캐너 센서부(23)가 튜브(A) 내의 상기 스캐너 센서부(23)쪽으로 정렬된 디바이스를 감지하여 디바이스의 방향이 등이 위로 향한 라이브 버그 상태인지, 혹은 그와 반대의 데드 버그 상태인지를 확인하여 검출 신호를 발하는 것으로서, 핸들러 장착에 적합하도록 확인된 디바이스 튜브(A)는 튜브 드롭퍼(24)에 의해 핸들러상의 스태커(25)로 낙하되어 적재될 수 있는 것이다.
따라서, 본 발명은 핸들러로의 디바이스 공급에 신뢰성과 정확성을 부여하여 양질의 테스트 공정이 마련되는 것이다.
Claims (6)
- 복수개의 디바이스 튜브가 일정한 방향으로 적재되어 순차적으로 공급되도록 경사면을 형성한 슬라이드 안내부; 상기 슬라이드 안내부의 저면에서 동력 발생 수단에 따라 연동되는 제1이송 로울러; 상기 제1이송 로울러와 인접되어 동일 구동되는 제2이송 로울러; 상기 제1, 제2이송 로울러를 따라 이송된 튜브가 스톱퍼상에 고정되도록 마련된 좌/우 양 홀더부 및 상기 홀더부 전면에서 상기 튜브를 수용하여 핸들러상의 스태커에 로딩되도록 튜브 공급 수단을 갖는 디바이스 튜브 공급 장치에 있어서, 상기 홀더부 일 측에 튜브의 긴밀한 위치 고정이 이루어지도록 각각 한 쌍으로 설치된 복수의 인입 트랙; 상기 선택된 어느 하나의 인입 트랙에 설치되어 튜브 내의 디바이스 충입 여부를 확인받기 위한 감지 수단; 상기 선택된 어느 하나의 인입 트랙에 설치되어 튜브내의 디바이스 위치 정렬을 위하여 튜브의 고정과 동시에 에어 분사가 이루어지는 에어 공급 수단; 및 상기 위치 정렬된 튜브를 인도받아 스태커상에 공급하기 위한 튜브 공급 수단의 일 측에서 정렬된 디바이스가 라이브 버그 상태인지, 혹은 데드 버그 상태인지를 검출하기 위한 스캐너 감지 수단을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 튜브 공급 수단은 일직선 왕복 운동으로 튜브의 배출이 가능하도록 푸시 실린더에 의해 가이드 샤프트상에서 이동 자재하게 설치된 튜브 그리퍼로 이루어짐을 특징으로 하는 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 스캐너 감지 수단은 디바이스의 리드와 리드 사이에 빛을 투과시킴으로 검출될 수 있도록 광센서로 마련됨을 특징으로 하는 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 스캐너 감지 수단은 마그네틱 근접 센서로 마련됨을 이루어짐을 특징으로 하는 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 스캐너 감지 수단은 에어 공급 수단과 상호 반대의 위치에 설치됨을 특징으로 하는 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치.
- 제1항 및 제5항에 있어서, 상기 스캐너 감지 수단은 업/다운 실린더에 의해 승/하강되면서 튜브 감지가 가능케 됨을 특징으로 하는 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치.
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| KR1019960008869A KR100187637B1 (ko) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019960008869A KR100187637B1 (ko) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR970067745A KR970067745A (ko) | 1997-10-13 |
| KR100187637B1 true KR100187637B1 (ko) | 1999-06-01 |
Family
ID=19454280
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960008869A KR100187637B1 (ko) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 핸들러 장착용 반도체 디바이스 튜브 공급 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| KR (1) | KR100187637B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140114534A (ko) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 위치정렬트레이, 그를 이용하는 테스트 핸들러, 반도체 패키지 위치 정렬 방법, 그리고 그를 이용하는 반도체 패키지 테스트 방법 |
-
1996
- 1996-03-28 KR KR1019960008869A patent/KR100187637B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140114534A (ko) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 위치정렬트레이, 그를 이용하는 테스트 핸들러, 반도체 패키지 위치 정렬 방법, 그리고 그를 이용하는 반도체 패키지 테스트 방법 |
| KR102138794B1 (ko) * | 2013-03-18 | 2020-07-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 위치정렬트레이, 그를 이용하는 테스트 핸들러, 반도체 패키지 위치 정렬 방법, 그리고 그를 이용하는 반도체 패키지 테스트 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970067745A (ko) | 1997-10-13 |
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