KR0186095B1 - 반도체 제조용 레티클 보관장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조용 레티클 보관장치에 관한 것으로, 종래에서 장비내 보관 대상물 및 부품들의 정전기 대전으로 이물질이 부착하여 이송용로봇의 신뢰성이 저하되고, 청정유지를 위하여 프리필터, 청정용팬의 사용이 불가피하여 장비의 부피가 커져 공간이용의 효율을 향상시키는데 한계가 있는 문제점이 있었던 바, 본 발명은 캐비닛(11)의 상부 소정부위에 이오나이저(18)를 설치하고, 그 이오나이저(18)의 상부에 공장의 공조를 이용한 울파필터(19)를 설치하여 정전기가 대전되는 보관대상물 및 부품들을 중화시킴으로써 핸들링로봇(13)의 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 종래의 프리필터(8), 청정용팬(9)의 사용을 배제함으로써 장비의 부피를 줄이게 되어 공간이용의 효율을 향상시키는 효과가 있다.

Description

반도체 제조용 레티클 보관장치

제1도는 종래 반도체 제조용 레티클 보관장치의 구조를 보인 것으로,

(a)는 평면도.

(b)는 정면도.

(c)는 우측면도.

제2도는 종래의 일반적인 레티클을 보인 것으로,

(a)는 평면도.

(b)는 정면도.

제3도는 종래의 일반적인 레티클을 보관하는 카세트를 보인 것이로,

(a)는 평면도.

(b)는 정면도.

제4도는 본 발명 반도체 제조용 레티클 보관장치의 구성을 보인 것으로,

(a)는 평면도.

(b)는 정면도.

(c)는 우측면도.

제5도는 제4도의 다른 실시예를 보인 개략구성도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 캐비닛 12 : 핑거

13 : 핸들링로봇 14 : 레티클저장선반

15 : 엘리베이터 16 : 제어부

17 : 입출고부 18 : 이오나이저

19 : 울파필터 20 : 팬 필터 유니트(FAN FILTER UNIT)

본 발명은 반도체 제조용 레티클 보관장치에 관한 것으로, 특히 적은 공간에서의 수납효율과 이오나이저(IONIZER)에 의한 청정도 및 로봇의 신뢰성을 향상시키도록 하는데 적합한 반도체 제조용 레티클 보관장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정중 노광공정에서 웨이퍼에 패턴을 이식하기 위하여 패턴이 형성된 원판인 레티클을 이용하게 되는데, 이와 같은 레티클을 보관하기 위한 보관장치는 높은 청정도가 요구될뿐아니라, 좁은 공간에서도 높은 수납효율을 갖는 것이 요구되는 실정이다.

이와 같은 종래의 일반적인 반도체 제조용 레티클 보관장치가 제1도에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

제1도는 종래 반도체 제조용 레티클 보관장치의 구조를 보인 것으로, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이며, (c)는 우측면도이다.

도시된 바와 같이, 종래 레티클 보관장치는 장치를 둘러싸고 있는 캐비닛(1)과, 그 캐비닛{(1)의 내부에 설치되는 레티클저장부(2)와, 그 레티클저장부(2)의 후방에 설치된 입출고수단과, 상기 캐비닛(1)의 내부에 설치되어 전체 장치의 동작을 제어하는 제어부(3)와, 상기 캐비닛(1) 내부의 전면에 설치되어 레티클저장부(2)의 청정환경을 유지하도록 하는 정정유지수단으로 구성되어 있다.

상기 입출고수단은 케비닛(1)의 내부 후방 즉, 레티클저장부(2)의 내부 후방에 설치되어 상,하,좌,우로 이동하는 이송용로봇(4)과, 그 이송용로봇(4)에 설치되어 레티클(5)(제2도 참조)을 수납하는 카세트(5')(제3도 참조)를 파지하는 핸들링유닛(6)과, 상기 캐비닛(1)의 전면부 일측의 요입부에 설치되어 입,출고될 카세트(5')가 놓여지는입출고부(7)로 구성되어 있다.

상기 청정유지수단은 상기 캐비닛(1) 내부의 레티클저장부(2) 전방에 설치되며, 공기흡입부에 설치되어 외부에서 흡입되는 공기를 정화하는 프리필터(8)와, 공기를 캐비닛(1) 내부로 공급하는 청정용팬(9)과, 레티클저장부(2)로 공급되는 공기를 정화하는 울파필터(ULPA FILTER)(10)로 구성되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 제조용 레티클 보관장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 입고할 레티클(5)이 수납되어 있는 카세트(5')를 입출고부(7)에 놓는다. 그리고 제어부(3)에 입고할 선반의 위치를 지정하여 입고명령을 전달시킨다. 이와 같이 하면 입출고부(7)의 위치에 있던 이송용로봇(4)의 핸들링유닛(6)이 전진하여 상기 카세트(5')를 파지한 후, 이송용로봇(4)으로 되돌아간다. 그리고 나서 상기 이송용로봇(4)은 지정된 선반으로 이동하기 위해 X축 및 Z축방향의 운동을 차례로하여 레티클(5')이 저장될 지정된 선반의 위치로 이동한다. 지정된 선반의 위치에 상기 이송용 로봇(4)이 위치하게 되면 다시 핸들링유닛(6)이 뻗어나와 지정된 선반으로 레티클(5)이 수납된 카세트(5')를 입고시킨다. 그리고 다시 핸들링유닛(6)이 이송용로봇(4)으로 되돌아간다. 일단 입고가 끝나고 나면 이송용로봇(4)은 초기위치로 되돌아 간다.

그리고 저장이 되어 있던 레티클(5)을 출고하는 경우는, 입고시의 반대순서로 동작되어 진다. 즉 작업자가 출고하고자 하는 레티클(5)이 저장이된 선반을 제어부(3) 조작장치에 입력하고 출고명령을 내리게 되면, 이송용로봇(4)이 지정된 선반의 위치까지 이동을 하게 된다. 지정된 선반의 위치에 도달하면 핸들링유닛(6)이 전진하여 선반이 저장된 카세트(5')를 파지하여 이송용로봇(4)으로 되돌아 온다. 그리고 나면 이송용로봇(4)은 입출고부(7)의 위치로 이동을 하고, 입출고부(7)의 위치에 이송용로봇(4)이 위치하게 되면 다시 핸들링유닛(6)이 전진하여 카세트(5')를 입출고부(7)에 위치시킨다. 그러면 작업자가 입출고부(7)에서 카세트(5')를 꺼내어 다음 작업을 위한 장비를 이동시키게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래의 반도체 제조용 레티클 보관장치는 장치의 내부에 보관되어 있는 보관대상물(레티클이 수납된 카세트 등)에 공기와의 마찰 또는 대전체와의 접촉등에 의해 정전기가 대전되었을 경우 내부 또는 외부에서 발생한 먼지들이 유사한 대전상태에서 흡인작용으로 대전된 보관대상물에 부착하여 청정하게 보관되어야할 보관대상물을 오염시킬 수 있으며, 또한 정전기 방전이 이송용로봇 내의 정밀부품의 손상 또는 로봇 동작시 소음발생 및 오동작이 발생하는 등의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있었다.

그리고 장비의 내부에 청정을 유지하기 위한 프리필터(8), 청정용팬(9)의 사용이 불가피하여 장치의 부피가 커짐으로써 제조공장에서의 공간이용 효율을 향상시키는 데 한계가 있는 문제점이 있었다.

본 발명의 주목적은 상기와 같은 여러 문제점을 갖지 않는 반도체 제조용 레티클 보관장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 이온나이저를 설치하고 수직층류형청정방식을 채용하여 보관대상물의 이물질이 부착하는 것을 방지하고, 이송용로봇의 신뢰성을 향상시키는 데 적합한 반도체 제조용 레티클 보관장치를 제공함에 있다.

본 발명의 또다른 목적은 프리필터, 청정용팬의 사용을 배제함으로써 장치의 공간이용 효율을 향상시키는데 적합한 반도체 제조용 레티클 보관장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 상부가 개방이 됨과 아울러 내측이 일정크기의 공간부가 형성된 캐비닛과, 그 캐비닛의 내부 중앙에 설치되어 상, 하로 이동하며 레티클을 이동시키는 핑거를 구비한 핸들링로봇과, 그 핸들링로봇을 중심으로 원주형의 상,하로 설치되는 다수개의 레티클저장선반과, 상기 핸들링로봇의 후방에 설치되어 핸들링로봇을 상,하로 이동시키는 엘리베이터와, 상기 캐비닛의 내부 소정부위에 설치되어 전체장치의 동작을 제어하는 제어부와, 상기 캐비닛의 전면 소정부위에 설치되어 레티클을 입,출고하기 위한 입출고부와, 상기 캐비닛의 개방된 상부 소정부위에 설치되어 장비내 보관대상물 및 부품들이 정전기로 대전되는 것을 중화시키기 위한 이오나이저와, 그 이오나이저의 상부에 설치되어 공기를 정화시키기 위한 필터로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 레티클 보관장치가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되어 있는 본 발명의 반도체 제조용 레티클 보관장치의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

제4도는 본 발명 반도체 제조용 레티클 보관장치의 구성을 보인 것으로, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이며, (c)는 우측면도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명 반도체 제조용 레티클 보관장치는 상부가 개방이 된 상태로 장치를 둘러싸고 있는 캐비닛(11)의 내부 중앙에 상,하로 이동하며 레티클(5)을 이동시키기 위하여 핑거(12)를 구비한 핸들링로봇(13)이 설치되고, 그 핸들링로봇(13)을 중심으로 원주형의 상,하로 다수개의 레티클저장선반(14)이 설치되며, 상기 핸들링로봇(13)의 후방에는 그 핸들링로봇(13)을 상,하로 이동시키는 엘리베이터(15)가 설치된다.

그리고, 상기 캐비닛(11)의 내부 소정부위에는 전체장치의 동작을 제어하는 제어부(16)가 설치되고, 상기 캐비닛(11)의 전면 소정부위에는 레티클(5)을 입,출고하기 위한 입출고부(17)가 설치되며, 상기 캐비닛(11)의 개방된 상부 소정부위에는 장비내의 보관대상물 및 부품들이 정전기로 대전되는 것을 중화시키기 위한 이오나이저(18)가 설치된다.

또한, 그 이오나이저(18)의 상부인 제조공장(FAB)의 천정에는 울파필터{(ULPA FILTER)(19)가 설치되어 정화된 공기를 이오나이저(18)로 공급하는 수직층류방식을 취하여 정전기 대전에 의한 이물부착이 방지될 수 있는 구조로 되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 발명 반도체 제조용 레티클 보관장치의 동작을 제4도를 참고하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 레티클(5)이 수납된 카세트(5')를 장치에 입고하는 동작을 설명한다.

작업자가 장치에 보관할 레티클(5)이 수납된 카세트(5')를 입출고부(17)에 올려 놓는다. 그리고 제어부(16)에 카세트(5')가 저장될 위치를 지정하여 입력시킨다. 이와 같이 하면 입출고부(17)의 위치에 있던 핸들링로봇(17)이 핑거(12)를 입출고부(17) 방향으로 정렬하고 핑거(12)를 전진하여 카세트(5')를 파지한 후, 핑거(12)를 다시 핸들링로봇(17)으로 원위치 시킨다. 그런다음 엘리베이터(15)가 구동하여 지정된 레티클저장선반(14)의 높이까지 핸들링로봇(17)을 이동시키고, 이동이 완료되면 핸들링로봇(17)이 작동하여 핑거(12)를 레티클저장선반(14)의 위치로 정렬한다. 그리고 핑거(12)를 전진시켜 카세트(5')를 레티클저장선반(14)에 위치시키고, 핑거(12)를 핸들링로봇(17)으로 원위치 시킨 후, 엘리베이터(15)가 구동하여 핸들링로봇(17)을 초기의 위치로 이동시킨다.

다음은 장치에 저장이 되어 있던 카세트(5')의 출고하는 동작을 설명하면 다음과 같다.

작업자가 출고하고자 하는 카세트(5')가 보관되어 있는 레티클저장선반(14)을 제어부(16) 조작장치에 입력하고 출고 명령을 내리게 되면, 엘리베이터(15)의 작동으로 핸들링로봇(17)이 이동하여 지정된 레티클저장선반(14)의 위치까지 이동한다. 그리고 핑거(12)가 레티클저장선반(14)의 위치로 정렬하고, 전진하여 카세트(5')를 파지한 후, 핸들링로봇(17)으로 다시 원위치 한다. 그런다음 엘리베이터(15)의 구동으로 핸들링로봇(17)을 입출고부(17)의 위치까지 이동시키고, 그 입출고부(17) 방향으로 핑거(12)를 정렬한 후, 핑거(12)를 전진시켜 입출고부(12)에 카세트(5')를 위치시킨다. 그러면 작업자는 카세트(5')를 꺼내어 다음작업을 위한 장비로 카세트(5')를 이동시킨다.

한편, 상기와 같이 울파필터(19) 방식을 이용한 청정유지 방식 이외에도 제5도에 도시한 바와 같이 캐비닛(11)의 상부에 팬 필터 유니트(FFU:FAN FILTER UNIT)(20)를 설치하여 FAB의 공조를 대신할수도 있다.

상기와 같은 구조를 가지고 동작을 하는 본 고안의 반도체 제조용 레티클 보관장치는 다음과 같은 효과가 있다.

먼저, 캐비닛의 상부 소정부위에 이오나이저를 설치하고, 그 이오나이저의 상부에 공장의 공조를 이용하는 울파필터를 설치하여 수직층류형청정방식으로 청정유지를 함으로써 장비내 보관대상물 및 부품들의 정전기 대전에 의한 이물질부착이 방지되어 이송용로봇의 신뢰성이 향상되고, 정전기 방전에 의한 노이즈(NOISE)가 방지된다.

그리고, 종래의 수평층류형청정방식에서 사용하던 청전용팬, 프리필터의 사용을 배제하고 수직층류형청정방식을 이용함으로써 장비의 부피를 줄이게되어 장비의 공간 이용효율을 향상시키는 효과가 있다.

또한, 핸들링로봇을 중심으로 레티클저장선반이 원주형으로 배치가 되므로 일정공간에서 종래보다 많은 수의 레티클(200장 기준시 약 1/2의 공간차지)을 보관할 수 있는 효과등이 있다.

Claims (3)

1. 상부가 개방이 됨과 아울러 내측이 일정크기의 공간부가 형성된 캐비닛과, 그 캐비닛의 내부 중앙에 설치되어 상,하로 이동하며 레티클을 이동시키는 핑거를 구비한 핸들링로봇과, 그 핸들링로봇을 중심으로 원주형의 상,하로 설치되는 다수개의 레티클저장선반과, 상기 핸들링로봇의 후방에 설치되어 핸들링로봇을 상,하로 이동시키는 엘리베이터와, 상기 캐비닛의 내부 소정부위에 설치되어 전체장치의 동작을 제어하는 제어부와, 상기 캐비닛의 전면 소정부위에 설치되어 레티클을 입,출고하기 위한 입출고부와, 상기 캐비닛의 개방된 상부 소정부위에 설치되어 장비내 보관대상물 및 부품들이 정전기로 대전되는 것을 중화시키기 위한 이오나이저와, 그 이오나이저의 상부에 설치되어 공기를 정화시키기 위한 필터로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 레티클 보관장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 필터는 제조공장의 천정에 설치되는 울파필터인 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 레티클 보관장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 필터는 캐비닛의 상부에 설치되는 팬 필터 유니트인 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 레티클 보관장치.