KR0168133B1 - 감광액 사전처리방법 및 그 장치 - Google Patents
감광액 사전처리방법 및 그 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 감광액 사전처리방법 및 그 장치를 개시한다. 개시된 감광액 사전처리방법 및 장치는, 교반공정에서 교반된 감광액을 여과공정으로 투입하기 전에 교반된 감광액에 혼합된 중금속을 자력을 이용하여 제거한 다음 여과공정으로 투입하도록 하였으므로, 중금속이 제거된 감광액을 얻을 수 있게 된다. 따라서 감광액에 혼합된 중금속으로 인해 절연되어야 할 부분이 통전되는 것을 방지할 수 있게되어 고집적화된 미세 회로패턴의 구현이 가능하게 된다.
Description
제1도는 종래의 감광액 사정처리장치를 도시한 개략도.
제2도는 본 발명에 따른 감광액 사전처리장치를 도시한 개략도.
* 도면이 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 교반실 12 : 감광제 투입구
13 : 용제 투입구 14 : 교반기
15 : 배출구 16 : 밸브
20 : 중금속 제거수단 21 : 중금속 제거실
22 : 전자석 23 : 구멍
24 : 모터 25 : 배출구
26 : 필터
본 발명은 감광액 사전처리방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 특히 감광액에 혼합된 중금속을 제거할 수 있도록 한 감광액의 사전처리방법 및 그 장치에 관한 것이다.
종래 감광액 사전처리방법은 제1도에 도시되어 있는 바와같이 감광제와 용제인 솔벤트를 각각 소정비율로 교반실(1)로 투입하고, 투입된 감광제와 솔벤트를 교반기(2)로 교반시킨 다음 필터(3)를 통과시켜 여과시킴으로써 감광액내의 불순물을 사전에 걸러내도록 되어 있었다. 그러나 이와같은 종래의 감광액 사전처리방법은, 필터를 통한 여과 방식으로 입자의 크기만을 제어하도록 되어 있으므로, 미세한 중금속이 필터에 의해 걸러지지 않고 필터를 통과하여 감광액과 혼합된 상태로 남아 있게 된다. 이러한 중금속은 주로 Na,Mg,K,Fe,Cu,Pb등이며 감광제의 종류에 따라 0.5-7ppm 정도 함유되어 있다.
따라서 감광액을 소정 패턴으로 코팅시 감광액에 함유된 중금속이 도체로 작용하에 됨에따라 절연되어야 할 부분이 중금속에 의해 통전되게 되는 문제점이 있었다. 이러한 문제점은 고집적화된 미세 회로패턴일수록 더욱 현저하게 발생되어 고집적화된 미세 회로패턴의 구현이 어렵게 된다.
본 발명은 상술한 바와같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 감광액내의 중금속을 제거할 수 있도록 한 감광액 사전처리방법을 제공하는데 첫번째 목적이 있다.
또한 본 발명은 상술한 감광액 사전처리방법을 실시하기에 적합한 감광액 사전처리장치를 제공하는데 두번째 목적이 있다.
상술한 첫번째 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 감광제와 용제를 소정비율로 교반실로 투입하고, 교반기를 회전시켜 상기 감광제와 용제를 교반시킴으로서 형성되는 감광액의 점도를 낮추는 교반공정과, 상기 교반공정에 의해 형성된 감광액을 필터로 여과시키는 여과공정을 포함하는 감광액 사전처리방법에 있어서, 상기 교반공정과 여과공정사이에, 상기 교반공정에 의해 형성된 감광액을 다수개의 구멍이 형성되어 회전가능하게 설치된 전자석으로 통과시켜, 상기 점도가 낮추어진 감광액에 혼합된 중금속이 상기 전자석의 구멍을 통과하면서 상기 전자석에 부착되어 상기 감광액으로부터 제거되는 중금속 제거공정이 마련된 것을 특징으로 하는 감광액 사전처리방법을 제공하는데 그 특징이 있다.
상술한 두번째 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 소정 비율로 투입된 감광제와 용제를 교반시켜 점도가 낮은 감광액을 형성시키는 교반기가 내부에 설치된 교반실과, 상기 교반기에 의해 형성된 감광액을 여과시키는 필터를 구비하는 감광액 사전처리장치에 있어서, 상기 교반실의 배출구와 상측이 연통하고, 하측에 상기 필터가 설치되는 배출구가 형성된 중금속 제거실과, 상기 중금속 제거실의 내부에 회전가능하게 설치되며, 몸체에 상기 교반기에 의해 형성된 상기 감광액이 통과하도록 몸체에 다수개의 구멍이 형성된 전자석과를 구비하는 중금속제거수단을 상기 교반실과 필터사이에 설치하는 것을 특징으로 하는 감광액 사전처리장치를 제공하는데 그 특징이 있다.
따라서 본 발명은, 감광액에 혼합된 중금속으로 인해 절연되어야 할 부분이 통전되는 것을 방지할 수 있게 되어 고집적화된 미세 회로패턴의 구현이 가능하게 된다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 감광액 사전처리장치는 제2도에 도시되어 있는 바와같이, 교반실(11)의 상면과 일측에 감광제 투입구(12)와 용제인 솔벤트 투입구(13)가 형성되고, 교반실(11)의 내부에는 투입된 감광제와 용제를 교반기(14)가 설치된다.
그리고 교반실(11)의 타측에는 교반기(14)에 의해 소망하는 정도의 점도로 낮아지도록 형성된 감광액이 배출되는 배출구(15)가 형성되고, 이 배출구(15)에는 감광액에 혼합된 중금속을 자력을 이용하여 제거하기 위한 중금속 제거수단(20)이 마련된다.
상술한 중금속 제거수단(20)은, 교반실(11)이 배출구(15)와 그 상측이 연통되는 중금속 제거실(21)과, 이 중금속 제거실(21) 내부에 설치되며 교반실(11)에서 교반되어 형성된 감광액이 통과하는 다수개의 구멍(23)이 형성된 전자석(22)을 구비하여 구성된다.
그리고 상술한 전자석(22)과 중금속 제거실(21)은 원통형으로 형성되고, 상술한 전자석(22)은 모터(24)에 의해 회전되도록 설치된다.
그리고 상술한 중금속 제거실(21)의 타측에는 중금속이 제거된 감광액이 배출되는 배출구(25)가 형성되고, 이 배출구(25)에는 필터(26)가 설치되며, 상술한 교반실(11)의 배출구(15)에는 교반시 감광액이 중금속 제거실(21)로 유입되는 것을 방지하는 밸브(16)가 설치된다.
이와같이 구성된 본 발명에 따른 감광액 사전처리장치를 이용하여 본 발명에 따른 감광액 사전처리방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저 감광제 투입구(12)와 용제 투입구(13)를 통하여 감광제와 용제인 솔벤트를 각각 교반실(11)로 투입한 다음, 교반실(11)내부의 교반기(14)를 회전시켜 이들을 교반시킴으로써 감광액의 점도를 낮추기 위한 교반공정을 수행하게 된다.
그리고 교반공정이 완료되면 교반실(11)의 배출구(15)에 설치된 밸브(16)를 열어 교반공정에 의해 형성된 감광액을 중금속 제거수단(20)의 중금속 제거실(21)로 투입하여 감광액에 혼합된 중금속을 제거하는 공정을 수행하게 된다.
즉, 교반공정에 의해 형성된 감광액을 중금속 제거실(21)로 투입하면, 투입된 감광액이 중금속 제거실(21) 내부에 설치된 전자석(22)에 형성된 다수개의 구멍(23)을 통해 이동되면서 전자석(22)의 자력에 의해 감광액에 혼합된 중금속이 전자석(22)에 부착됨으로써 감광액으로부터 제거되게 된다.
이때 전자석(22)을 모터(24)로 회전시키게 되면 감광액의 유동이 향상되어 중금속의 제거효율이 배가되게 된다.
그리고 중금속 제거공정에 의해 중금속이 제거된 감광액은 중금속 제거실(21)의 배출구(25)에 설치된 필터(26)를 통해 여과되는 여과공정을 거친 후 수조에 모이게 된다. 이후 과잉의 솔벤트를 날려보내면 금속이 제거된 양질의 감광액을 얻을 수 있게 된다.
이상에서 설명한 바와같이 본 발명 감광액 사전처리방법 및 그 장치에 의하면, 감광액에 혼합된 중금속을 자력을 이용하여 제거하도록 되어 있으므로, 종래 감광액으로 기판에 회로패턴을 형성시 감광액에 혼합된 중금속이 도체로 작용하여 절연되어야 할 부분이 통전되던 문제점을 해소시킬 수 있게 되어 고집적화된 미세 회로패턴의 구현이 가능하게 된다.
Claims (1)
- 소정 비율로 투입된 감광제와 용제를 교반시켜 점도가 낮은 감광액을 형성시키는 교반기가 내부에 설치된 교반실과, 상기 교반기에 의해 형성된 감광액을 여과시키는 필터를 구비하는 감광액 사전처리장치에 있어서, 상기 교반실의 배출구와 상측이 연통하고, 하측에 상기 필터가 설치되는 배출구가 형성된 중금속 제거실과, 상기 중금속 제거실의 내부에 회전가능하게 설치되며, 몸체에 상기 교반기에 의해 형성된 상기 감광액이 통과하도록 몸체에 다수개의 구멍이 형성된 전자석과를 구비하는 중금속제거수단을 상기 교반실과 필터사이에 설치하는 것을 특징으로 하는 감광액 사전처리장치.
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