KR0133148Y1 - 엘씨디용 글래스 기판의 언로딩 장치 - Google Patents

엘씨디용 글래스 기판의 언로딩 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR0133148Y1
KR0133148Y1 KR2019960009382U KR19960009382U KR0133148Y1 KR 0133148 Y1 KR0133148 Y1 KR 0133148Y1 KR 2019960009382 U KR2019960009382 U KR 2019960009382U KR 19960009382 U KR19960009382 U KR 19960009382U KR 0133148 Y1 KR0133148 Y1 KR 0133148Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
unloading
tray
lcd
crack plate
Prior art date
Application number
KR2019960009382U
Other languages
English (en)
Other versions
KR970059461U (ko
Inventor
장용갑
Original Assignee
김광호
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김광호, 삼성전자주식회사 filed Critical 김광호
Priority to KR2019960009382U priority Critical patent/KR0133148Y1/ko
Publication of KR970059461U publication Critical patent/KR970059461U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0133148Y1 publication Critical patent/KR0133148Y1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치는 트레이에 장착된 글래스 기판을 언로딩하기 위해 실린더를 이용하여 글래스 기판과 균열판을 동시에 기계적으로 상승시키거나, 진공 흡착부에 의해 진공 흡착된 균열판을 기계적으로 상승시킨 후 실린더를 작동시켜 글래스 기판을 상승시키므로 글래스 기판의 균열 발생을 방지할 수 있고 또한 글래스 기판의 언로딩 작업을 자동화할 수 있다.
따라서, 글래스 기판의 품질이 향상됨은 물론 글래스 기판의 언로딩 작업의 효율이 향상된다.

Description

LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치
제1도는 종래의 LCD용 글래스 기판이 언로딩되는 상태를 나타낸 예시도.
제2도는 본 고안의 실시예에 의한 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치가 LCD용 글래스 기판을 언로딩하는 상태를 나타낸 예시도.
제3도는 본 고안의 다른 실시예에 의한 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치가 균열 판을 언로딩하는 상태를 나타낸 예시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 글래스 기판 3 : 트레이
4 : 홀 5 : 실린더
7 : 언로딩용 지지부 8 : 지지대
9 : 트위저 11 : 균열판
20 : 언로딩 장치 21 : 피스톤
23 : 플레이트 25 : 완충부
30 : 언로딩 장치 31 : 모터
32 : 타이밍 벨트 33, 34 : 기어
35 : 볼 스크류 37 : 이동부
39 : 안내부 40 : 진공 흡착부
41 : 진공 라인 43 : 징공 패드
본 고안은 트레이에 장착된 LCD용 글래스 기판을 언로딩하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 증착 완료된 LCD용 글래스 기판을 트레이로부터 안전하게 언로딩할 수 있도록 한 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD용 글래스 기판을 장착한 트레이가 이송 장치에 의해 예열과 증착 및 냉각을 위한 챔버로 각각 이송되어 상기 LCD용 글래스 기판의 전면상에 비정질 질화 층 또는 비정실 실리콘 층이 적층된다. 이때, 상기 글래스 기판의 온도를 균일하게 하기 위해 상기 글래스 기판의 후면에 균열판(back plate)이 밀착된 상태로 상기 트레이에 장착된다.
상기 글래스 기판의 전면에 원하는 막이 적층되고 나면, 상기와 같은 과정이 반복되어 원하는 여러 가지의 막들이 상기 글래스 기판의 전면 상에 순차적으로 적층 완료된다.
이후, 상기 글래스 기판을 언로딩시키기 위해 균열판과 글래스 기판이 순차적으로 상기 트레이로부터 분리된다. 이렇게 분리된 글래스 기판은 다음의 공정을 위한 장치로 이송된다.
제1도는 종래의 LCD용 글래스 기판의 언로딩되는 상태를 나타낸 예시도이다.
글래스 기판(1)이 트레이(3)의 홀(4)의 상부에 위치하도록 장착되고, 상기 홀(4)을 기준으로 트레이(3)의 하부 면의 양측이 언로딩용 언로딩용 지지부(7)의 지지대(8)에 지지되며, 트레이(3)를 수직, 수평 상태로 위치 전환하도록 트레이(3)의 일측에 실린더(5)가 설치되어 있다.
상기 트레이에 장착된 LCD용 글래스 기판을 언로딩하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 원하는 막들이 증착 완료된 글래스 기판(1)과 균열판(도시 안됨)이 장착된 트레이(3)가 실린더(5)에 의해 수직의 상태로 언로딩용 지지부(7)에 이동되면, 상기 트레이(3)가 실린더(5)에 의해 수평의 상태로 위치 전환하게 되어 지지부(7)의 지지대(8)상에 걸쳐지게 된다.
이렇게 되면, 작업자는 상기 균열판과 트레이(3)사이의 틈에 금속의 트위저(9)를 밀어 넣은 후 트위저(9)에 일정한 힘을 가하여 균열판(도시 안됨)의 일 측을 들어올린다.
이어서, 작업자가 상기 균열판을 트레이(3)로부터 완전히 분리하여 정해진 장소에 위치시키고 나서, 상기와 동일한 방법으로 글래스 기판(1)을 트레이(3)로 부터 완전히 분리한다.
그러나, 작업자가 트위저를 이용하여 균열판과 글래스 기판을 들어올릴 때, 트위저가 글래스 기판에 충격을 가하여 글래스 기판에 균열을 발생시킴으로써 상기 글래스 기판의 품질이 악화되는 문제점이 있었다.
또한, 작업자가 일일이 수작업으로 균열판과 글래스 기판을 언로딩하므로 생산성이 낮은 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안의 목적은 글래스 기판 또는 균열판을 트레이로부터 언로딩 할 때 글래스 기판에 균열이 발생하는 것을 방지함은 물론 작업자의 인력을 이용하지 않도록 한 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안은 실린더와 같은 언로딩 장치를 이용하여 트레이에 장착된 글래스 기판을 기계적으로 밀어 올려 언로딩시킴으로써 글래스 기판에 균열을 발생시키지 않는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 고안은 진공 흡착 장치와 같은 언로딩 장치를 이용하여 트레이에 장착된 균열판을 진공 흡착하여 언로딩시킴으로써 글래스 기판에 균열을 발생시키지 않는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 고안에0 의한 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
제2도는 본 고안의 실시예에 의한 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치가 LCD용 글래스 기판을 언로딩하는 상태를 나타낸 예시도이다. 제1도의 부분과 동일한 부분에는 동일한 부호가 부여되도록 한다.
글래스 기판(1)이 트레이(3)의 홀(4)의 상부에 위치하도록 장착되고, 상기 홀()을 기준으로 트레이(3)의 하부 면의 양측이 언로딩용 언로딩용 지지부(7)의 지지대(8)에 지지되며, 트렝(3)를 수직, 수평 상태로 위치 전환하도록 트레이(3)의 일 측에 실린더(5)가 설치되는 한편, 언로딩 장치(20)가 트레이(3)에 장착된 글래스 기판(1)의 직하에 위치하도록 언로딩용 지지부(7)에 설치되어 있다.
이와 같이 구성되는 언로딩 장치의 작용을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 원하는 막들이 증착 완료된 글래스 기판(1)과 균열판(도시 안됨)이 장착된 트레이(3)가 실린더(5)에 의해 수직의 상태로 언로딩용 지지부(7)에 이동되면, 상기 트레이(3)가 실린더(5)에 의해 수평의 상태로 위치 전환하게 되어 지지부(7)의 지지대(8)상에 걸쳐지게 된다.
이렇게 되면, 작업자는 언로딩 지지부(7)에 설치된 언로딩 장치(20)를 작동시켜 글래스 기판(1)을 트레이(3)로부터 완전히 분리한다. 이를 좀 더 상세히 언급하면, 작업자가 언로딩 장치(20), 예를 들어 실린더를 작동 개시시키기 위하여 상승용 스위치(도시 안됨)를 온 시키면, 피스톤(21)이 상측 방향으로 상승하게 되고, 또한 피스톤(21)에 연결된 플레이트(23)가 함께 상승하게 되어 글래스 기판(1)과 균열판이 트레이(3)로부터 분리된다.
따라서, 본 고안은 균열판(도시 안됨)과 글래스 기판(1) 전체가 트레이(3)로 부터 수평 상태에서 분리할 때, 제1도의 트위저(9)로 인한 글래스 기판(1)의 일측에 균열이 발생하는 문제점을 근본적으로 해결할 수 있다.
이후, 작업자는 스톱용 스위치(도시 안됨)를 온 시켜 상기 실린더의 작동을 중단시킴으로써 피스톤(21)의 상승이 중지된다.
이러한 상태에서 작업자는 직접 손으로 글래스 기판(1)의 가장자리를 잡고 원하는 위치로 옮겨 놓는다.
이어서, 작업자는 하강용 스위치(도시 안됨)를 온 시켜 피스톤(21)을 하강시켜 피스톤(21)을 원위치시킨 후 상기 스톱용 스위치를 온 시켜 상기 실린더의 작동을 중단시킨다. 상기 피스톤(21)은 제어부(도시 안됨)에 의해 제어되어 상승되어 정지된 시점으로부터 소정의 시간, 예를 들어 10초 후에 자동적으로 하강하게 될 수 있다.
한편, 플레이트(23)가 글래스 기판(1)의 하면에 접하게 될 때, 글래스 기판(1)이 충격 받는 것을 방지하기 위해 글래스 기판(1)의 하면 가장자리에 각각 접하게 될 실리콘 튜브와 같은 완충부(25)들이 플레이트(23)에 설치되는 것이 바람직하다.
제3도는 본 고안의 다른 실시예에 의한 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치가 균열판을 언로딩하는 상태를 나타낸 예시도이다. 제2도의 부분과 동일한 부분에는 동일한 부호가 부여되도록 한다.
언로딩 장치(30)는 모터(31)와 같은 동력원의 동력이 동력 전달 수단을 거쳐 전달받아 이동부(37)가 안내부(39)를 따라 상하 이동하고, 이동부(37)에 지지되어 진공 흡착부(40)가 균열판(11)을 진공 흡착하는 구조로 이루어진다.
여기서, 상기 동력 전달 수단은 상기 모터(31)의 축에 설치된 기어에 연동하여 타이밍 벨트(32)가 회전하고, 타이밍 벨트(32)에 연동하여 볼 스크류(35)가 회전하는 구조로 이루어진다.
또한, 진공 흡착부(40)는 진공 장치(도시 안됨)의 진공 라인(41)에 진공 패드(43)가 연결되어 있다.
그리고, 다운 센서(도시 안됨)는 트레이(3)가 지지부(7)에 접촉하게 되는 것을 감지하도록 설치되어 있고, 위치 센서(도시 안됨)는 이동부(37)의 상, 하 이동 위치를 감지하도록 설치되며, 상기 센서들의 감지 결과에 따라 상기 각부들을 제어부(도시 안됨)가 제어하도록 설치되어 있다.
이와 같이 구성되는 언로딩 장치의 작용을 제3도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 원하는 막들이 증착 완료된 글래스 기판(도시 안됨)과 균열판(11)을 장착한 트레이(3)가 실린더(5)에 의해 수직의 상태로 언로딩용 지지부(7)에 이동되면, 상기 트레이(3)가 실린더(5)에 의해 수평의 상태로 위치 전환하게 되어 지지부(7)의 지지대(8)상에 걸쳐지게 된다.
이렇게 되면, 언로딩 장치(30)가 작동 개시하여 균열판(11)을 트레이(3)로부터 완전 분리한다. 이를 좀 더 상세히 언급하면, 다운 센서(도시 안됨)가 트레이(3)가 지지부(7)의 지지대(8)상에 걸쳐지는 것을 감지하면, 제어부(도시 안됨)는 언로딩 장치(30)의 모터(31)와 같은 동력원을 이동부(37)를 하강시키기 위한 방향으로 회전시킨다.
모터(31)가 이동부(37)를 하강시키기 위한 방향으로 회전하게 되면, 모터(31)의 축에 연결된 기어(33)와 타이밍 벨트(32) 및 볼 스크류(35)에 연결된 기어(34)가 연동하게 되고 볼 스크류(35) 또한 회전하게 되어 이동부(37)가 안내부(39)를 따라 하강하게 되고 진공 흡착부(40)의 진공 패드(43)또한 이동부(37)와 함께 하강하게 된다.
이동부(37)가 균열판(11)을 언로딩하기 위한 위치까지 하강하는 것이 위치센서(도시 안됨)에 의해 감지하면, 제어부는 이동부(37)의 하강을 정지시키기 위해 모터(31)의 구동을 정지시킨다.
이때, 진공 흡착부(40)의 진공 패드(43)가 균열판(11)의 상면에 접하게 되고, 제어부는 진공 흡착부(40)를 작동시켜 균열판(11)이 진공 패드(43)에 진공 흡착되면, 모터(31)를 이동부(37)의 상승 방향으로 구동하게 된다.
모터(31)가 이동부(37)의 상승 방향으로 구동하게 되면, 모터(31)의 축에 연결된 기어(33)와 타이밍 벨트(32) 및 볼 스크류(35)에 연결된 기어(34)가 연동하게 되고 볼 스크류(35) 또한 회전하게 되어 이동부(37)가 안내부(39)를 따라 상승하게 되고 진공 흡착부(40)의 진공 패드(43)또한 이동부(37)와 함께 상승하게 되어 균열판(11)이 트레이(3)로부터 분리된다.
따라서, 본 고안은 균열판(11)이 트레이(3)로부터 수평 상태에서 분리할 때, 제1도의 트위저(9)로 인한 글래스 기판(1)의 일 측에 균열이 발생하는 문제점을 근본적으로 해결할 수 있다.
이동부(37)가 균열판(11)을 소정의 위치까지 상승하는 것이 위치 센서(도시 안됨)에 의해 감지되면, 제어부는 이동부(37)의 상승을 정지시키기 위해 모터(31)의 구동을 정지시킨다.
이때, 작업자는 트레이(3)에 장착된 글래스 기판(도시 안됨)을 언로딩 장치(20)를 이용하여 글래스 기판(도시 안됨)을 언로딩한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 고안에 의한 LCD용 그래스 기판의 언로딩 장치는 트레이에 장착된 글래스 기판을 언로딩하기 위해 실린더를 이용하여 글래스 기판과 균열판을 동시에 기계적으로 상승시키거나, 진공 흡착부에 의해 진공 흡착된 균열판을 기계적으로 상승시킨 후 실린더를 작동시켜 글래스 기판을 상승시키므로 글래스 기판의 균열 발생을 방지할 수 있고 또한 글래스 기판의 언로딩 작업을 자동화할 수 있다.
따라서, 본 고안은 글래스 기판의 품질을 향상시킴은 물론 글래스 기판의 언로딩 작업의 효율을 향상시킬 수 있다.

Claims (6)

  1. 트레이에 장착된 글래스 기판을 언로딩하는 장치에 있어서, 언로딩 장치가 상기 트레이의 하부에 위치하도록 설치되어 상기 글래스 기판을 상기 트레이로부터 언로딩하도록 상기 글래스 기판을 상측 방향으로 밀어 올리는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 언로딩 장치가 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 언로딩 장치가 상기 글래스 기판과 상기 글래스 기판의 후면 상에 밀착된 균열판을 함께 언로딩시키는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치.
  4. 트레이에 장착된 균열판을 언로딩하는 장치에 있어서, 언로딩 장치가 상기 트레이의 상부에 위치하도록 설치되어 상기 균열판을 상기 트레이로부터 언로딩하도록 상기 균열판을 진공 흡착하여 상측 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 언로딩 장치가 동력원과, 상기 동력원에 연동하는 동력 전달 수단과, 상기 동력 전달 수단에 연동하여 상, 하 이동하는 이동부와, 상기 이동부의 이동을 안내부와, 상기 이동부에 지지되어 상기 균열판을 흡착하는 진공 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치
  6. 제5항에 있어서, 상기 동력 전달 수단이 상기 동력원에 연동하는 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트에 연동하는 볼 스크류를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스 기판의 언로딩 장치.
KR2019960009382U 1996-04-26 1996-04-26 엘씨디용 글래스 기판의 언로딩 장치 KR0133148Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019960009382U KR0133148Y1 (ko) 1996-04-26 1996-04-26 엘씨디용 글래스 기판의 언로딩 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019960009382U KR0133148Y1 (ko) 1996-04-26 1996-04-26 엘씨디용 글래스 기판의 언로딩 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970059461U KR970059461U (ko) 1997-11-10
KR0133148Y1 true KR0133148Y1 (ko) 1999-03-20

Family

ID=19454595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019960009382U KR0133148Y1 (ko) 1996-04-26 1996-04-26 엘씨디용 글래스 기판의 언로딩 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR0133148Y1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100493384B1 (ko) * 2002-11-07 2005-06-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을로딩하기 위한 구조

Also Published As

Publication number Publication date
KR970059461U (ko) 1997-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4545393B2 (ja) 薄膜蒸着装置用基板固定装置及び基板固定方法
JP3153372B2 (ja) 基板処理装置
US6340405B2 (en) Etching apparatus for manufacturing semiconductor devices
US6389677B1 (en) Perimeter wafer lifting
JP2949547B2 (ja) 処理装置及び処理方法
GB2375733A (en) Bonding apparatus, and bonding method
KR100244688B1 (ko) 웨이퍼 반송장치
JP2002003230A (ja) ガラス板の加工方法及びその装置
WO2007037005A1 (ja) ワーク収納装置
JPH0745644A (ja) チップボンデイング方法及び装置
KR0133148Y1 (ko) 엘씨디용 글래스 기판의 언로딩 장치
JP3629358B2 (ja) 処理液塗布装置
JPH0964147A (ja) ウェーハリングの供給・返送装置
JPS63141342A (ja) 半導体ウエハ処理方法及びその装置
JPH09293659A (ja) 塗布液の乾燥防止方法及びその装置
JP2980433B2 (ja) カセットチャンバ
JPH09221218A (ja) パネルの傾転移載装置
JP2000150456A (ja) 試料の分離装置及び分離方法
JP2000128344A (ja) 薄板の保持搬送装置および薄板の保持搬送方法
JP3442254B2 (ja) ガラス板の持上げ装置および持上げ方法
JP3387412B2 (ja) 電子部品実装装置および電子部品実装方法
JP2005019914A (ja) 基板の授受装置
JPH11121581A (ja) 基板搬送機構
JPH07176586A (ja) プラズマ処理装置
US20230230867A1 (en) Pre-aligner

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20070928

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee