KR0132642Y1 - 버블러 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 미세홀이 다수 형성되어 있는 기판과, 상기 미세홀에 소정의 개스를 공급하는 개스공급수단을 구비하는 버블러에 있어서, 상기 기판을 관통하는 세정수의 저항을 줄여주는 홀을 적어도 하나 구비하여, 세정수의 흐름을 원활하게 하고, 형성된 대구경홀의 측면에도 기포 발생용 미세홀을 형성시켜 기포발생률 또한 향상시킴으로써 세정 효율을 향상시켜 제품의 수율 및 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있는 것을 특징으로 하는 버블러에 관한 것이다.
Description
제1도는 종래의 버블러의 평면도.
제2도 및 제3도의 본 고안의 일 실시예에 따른 버블러의 평면도 및 부분 확대 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 10 : 테프론 기판 2, 20, 20' : 미세홀
3, 30 : 질소 가스 주입구 40 : 대구경홀
본 고안은 반도체 제조 장비 중 세정 장비에 장착되는 버블러(bubber)에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 세정 장치에서는 세정수가 웨이퍼를 스치며 흐르도록 해서 웨이퍼를 세정한다. 이때, 웨이퍼의 세정 효율을 향상시키기 위해 주로 버블러에서 발생되는 기포를 세정수와 함께 흘리게 된다.
종래 버블러가 제1도에 도시되어 있는데, 이를 참조하여 종래기술을 살펴본다. 먼저, 제1도를 종래의 버블러의 평면도로서, 도면에서 1은 테프론 기판, 2는 미세홀, 3은 질소 가스 주입구를 각각 나타낸 것이다.
도면에 도시된 바와 같이 종래 버블러는, 직사각형 평판 모양의 테프론 기판(1)에 다수개의 미세한 홀(2)이 규칙적으로 배치되어 있고, 미세홀(2) 각각에 질소 가스를 공급하는 질소 가스 주입구(3)를 구비하여, 세정수가 미세홀(2)을 통과할 때 질소 가스 주입구(3)로부터 공급된 질소 가스에 의하여 질소 가스 기포가 발생되는 것이다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 버블러는 그 구조가 직사각형 평판 구조에 미세한 홀만 형성되어 있어 버블러 밑으로부터 공급되는 세정수가 미세홀만을 통과하기 때문에 그 흐름이 방해받음으로써 세정 불량을 유발시켜 제품의 수율 및 생산성을 감소시키는 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안은 기포 발생률의 저하 없이 세정수의 흐름을 원활하게 함으로서 세정 효율을 향상시키는 버블러를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 버블러에 있어서, 미세홀 형상을 가진 다수개의 제 1 기포 발생 수단이 배치된 기판; 상기 기판을 관통하여 공급되는 세정수의 관통 저항을 줄이기 위해 상기 기판에 홀 형상으로 제공된 적어도 하나의 세정수 유통 수단; 상기 세정수 유통 수단의 내벽에 다수로 제공되는 미세홀 형상의 제 2 기포 발생 수단; 및 상기 제 1 및 제 2 기포 발생 수단에 기포 발생용 가스를 공급하는 가스 공급 수단을 구비한다.
이하, 첨부된 도면 제2도 및 제3도를 참조하여 본 고안의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제2도는 본 고안의 일 실시예에 따른 버블러의 평면도이며, 제3도는 제2도에 도시된 대구경홀의 확대 사시도로서, 도면에서 10은 테프론 기판, 20, 20'은 미세홀, 30은 질소 가스 주입구, 40은 대구경홀을 각각 나타낸 것이다.
도시된 버블러는, 직사각형 평판 모양의 테프론 기판(10)에 다수개의 미세한 홀(20)이 규칙적으로 배치되어 있고, 미세홀(2) 각각에 질소 가스를 공급하는 질소 가스 주입구(3)를 구비하고, 또한 지름이 30mm 내지 60mm인 원형의 대구경의 홀(40)을 다수개 배치시켜 버블러 밑에서부터 공급되는 세정수의 흐름을 원활하게 한다.
이때, 제3도에 도시된 바와 같이 대구경홀(40)의 내벽에도 질소 가스 주입구(30)를 통하여 공급되는 질소 가스를 방출하는 미세홀(20')을 배치하여 대구경홀(40)의 배치에 따른 기포 발생률의 저하를 억제한다.
또한, 대구경홀(40)의 모양은 여기서는 원형을 그 일예로 들었지만, 실제 사각형이나 그 이외의 모양도 사용 가능하다.
상기와 같은 본 고안의 버블러의 상세한 동작을 살펴본다.
먼저, 세정수가 미세홀(20)에서 공급되는 질소 가스와 함께 섞이면서 질소 가스 기포가 발생된다. 이때, 공급되는 세정수가 미세홀(20)만을 통과하기에는 어려움이 있으며, 따라서, 일부 세정수는 대구경홀(40)을 통하여 저항 없이 유입될 수 있어 전체적으로 세정수의 흐름을 억제시키는 요인이 많이 줄어들게 된다. 또한, 대구경홀(40)의측면에 배치된 미세홀(20')은 세정수의 일부가 대구경홀(40)을 통하여 유입되는 것에 의해 감소되는 기포 발생률의 손실을 보충할 수 있게 된다.
상기와 같이 이루어지는 본 고안은 기포 발생률의 저하 없이 세정수의 흐름을 원활하게 함으로써 세정 효율을 향상시키는 효과가 있으며, 이로 인하여 제품의 생산성 및 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Claims (4)
- 미세홀 형상을 가진 다수개의 제 1 기포 발생 수단이 배치된 기판; 상기 기판을 관통하여 공급되는 세정수의 관통 저항을 줄이기 위해 상기 기판에 홀 형상으로 제공된 적어도 하나의 세정수 유통 수단; 상기 세정수 유통 수단이 내벽에 다수로 제공되는 미세홀 형상의 제 2 기포 발생 수단; 및 상기 제 1 및 제 2 기포 발생 수단에 기포 발생용 가스를 공급하는 가스 공급 수단을 구비하는 버블러.
- 제1항에 있어서, 상기 기포 발생용 가스가 질소인 것을 특징으로 하는 버블러.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제 2 기포 발생 수단이 원형인 것을 특징으로 하는 버블러.
- 제3항에 있어서, 상기 제 2 기포 발생 수단의 직경이 30mm 내지 60mm인 것을 특징으로 하는 버블러.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940029089U KR0132642Y1 (ko) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | 버블러 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940029089U KR0132642Y1 (ko) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | 버블러 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960019101U KR960019101U (ko) | 1996-06-19 |
| KR0132642Y1 true KR0132642Y1 (ko) | 1999-02-01 |
Family
ID=19397268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940029089U KR0132642Y1 (ko) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | 버블러 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0132642Y1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012507881A (ja) * | 2008-11-04 | 2012-03-29 | シルトロン インク | 対象物の湿式処理装置及び方法、並びにそれに使用される流体拡散板及びバレル |
| KR20200029247A (ko) * | 2018-09-10 | 2020-03-18 | (주)신우에이엔티 | 웨이퍼 세정용 나노 버블 분사 구조 |
-
1994
- 1994-11-02 KR KR2019940029089U patent/KR0132642Y1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012507881A (ja) * | 2008-11-04 | 2012-03-29 | シルトロン インク | 対象物の湿式処理装置及び方法、並びにそれに使用される流体拡散板及びバレル |
| KR20200029247A (ko) * | 2018-09-10 | 2020-03-18 | (주)신우에이엔티 | 웨이퍼 세정용 나노 버블 분사 구조 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960019101U (ko) | 1996-06-19 |
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