KR0128730B1 - 게터가 제공된 전구 - Google Patents

게터가 제공된 전구

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KR0128730B1
KR0128730B1 KR1019880005499A KR880005499A KR0128730B1 KR 0128730 B1 KR0128730 B1 KR 0128730B1 KR 1019880005499 A KR1019880005499 A KR 1019880005499A KR 880005499 A KR880005499 A KR 880005499A KR 0128730 B1 KR0128730 B1 KR 0128730B1
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hydrogen
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KR880014706A (ko
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발테르 스타인만 마르텐
아드리아누스 안토니우스 알로이시우스 마르텐스 빌헬무스
요제프 게라르두스 스테파누스 아드리아누스 빌렘스 요하네스
Original Assignee
이반 밀러 레르너
필립스 일렉트로닉스 엔. 브이.
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Publication date
Application filed by 이반 밀러 레르너, 필립스 일렉트로닉스 엔. 브이. filed Critical 이반 밀러 레르너
Publication of KR880014706A publication Critical patent/KR880014706A/ko
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    • H01K1/56Means for absorbing or absorbing gas, or for preventing or removing efflorescence, e.g. by gettering characterised by the material of the getter
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Abstract

내용없음

Description

게터가 제공된 전구
제1도는 부분적으로 절단된 백열등의 측면 정면도.
제2도 내지 제 7도와 제 9도 및 제 10도는 수증기와 다양한 물질의 반응을 도시하는 그래프.
제8도는 수소와 두 물질의 반응 속도를 도시한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 램프용기 2 : 분말층
3 : 필라멘트 4 : 전류 공급 도체
5 : 램프 캡 6 : 게터
7 : 와이어
본 발명은, 진공-밀폐 방법으로 봉인된 반투명 램프 관과, 램프관 내부에 배열된 광원과, 광원으로부터 램프관의 벽을 통하여 외부로 연장된 전류 공급 도전체와, 제 2금속과 제 1금속의 중간 혼합물을 포함하는 램프관 내부의 게터를 포함하는 전극에 관한 것이다. 이와 같은 램프는 독일 연방 공화국의 공개공보 제 1,905,646호에 공지되어 있다.
공지된 램프에서, 상기 게터는 주기율표의 III족, IV족, V족 중에서 최소한 무게 5%의 적어도 한 금속, 텅스텐과 주기율표의 VIII족의 적어도 한 금속, 알루미늄 및 구리의 합금이며, 이런 합금은 최대 1250℃의 융점을 가지고 있다. 특히 이와 같은 게터는 무게 5%의 Zr 또는 Zr2Ni를 포함하는 지르코늄/니켈 합금일 수도 있고, 후자(Zr2Ni)의 합금의 경우 Zr의 75.7% 무게를 구성한다. 상기 게터는 램프에서 산소를 결합시키는데 기여한다.
그러나, 다양한 형태의 램프에서, 물은 매우 해로운 불순물이다. 이런 물질은 정전기적으로 분말로 코팅된 램프관을 갖는 램프에서 많은 양이 존재할 수 있다. 램프관이 정전기적으로 코팅될 수 있도록 하기 위해서, 인가될 분말의 저항은 사실상 중요하며, 이런 값은 분말의 수분 함유량에 의해서 크게 영향받는다. 그래서, 정전기적으로 램프관을 코팅함으로써, 수분이 램프관으로 삽입된다.
백열 텅스텐 부분 예를 들면 필라멘트를 갖는 램프에서, 물은 텅스텐 산화물과 수소를 생성시킬 수 있다. 이런 산화물은 증발할 수도 있고, 램프관의 벽 위에 증착될 수도 있다. 또한 텅스텐 산화물은 더 차가운 지역에 침착된 수소와 반응하여 텅스텐 과 물을 형성할 수 있다. 결과적으로, 물은 순환 처리의 운반체이며, 텅스텐은 필라멘트로부터 더 차가운 지역으로 운송된다. 이와 같은 사실은 광 투과를 감소시키고, 상기 필라멘트의 붕괴와 램프의 수명을 단축시키는데 가속적인 역할을 한다.
예를 들면 물의 분해 작용에 의해서 얻어진 수소는 유리/금속 접속의 감소를 유도하며, 이와 같은 결과로서 램프관은 전류 공급 도전체를 따라 진공 누출되고, 램프는 이른 시기에 수명을 다한다. 수소는 진공의 램프관 내의 섬락(flashover)을 야기하거나, 또는 석영 유리벽을 통하여 방전관으로 침투하여 방전 아크의 점화 전압을 증가시킬 수도 있다.
램프내의 산소는 바람직하지 못한 산화 작용을 유도한다. 물은 해로운 효과가 산소와 수소보다 더 강하기 때문에 램프에서 이와 같은 해로운 물질이 될 수 있다. 그러므로 물을 결합시킬 수 있는 이용 가능한 수단이 있어야 한다는 것은 매우 중요한 것이다. 또한, 물을 결합시킬 때 결합되지 않은 산소나 수소가 형성되지 않아야 함이 중요하며, 분자로 된 산소와 수소를 결합시킬수 있는 이용 가능한 수단 역시 중요하다.
본 발명의 목적은 수소와 산소뿐만 아니라 특히 상대적으로 낮은 온도에서 화학량론적으로 물과 결합시킬 수 있는 게터를 가진 서두에서 설명된 종류의 램프를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 상기의 목적은, 게터가 제 1금속 몰×100%/ (제 1금속 몰+제 2금속 몰)의 비율이 0.4 내지 15%의 범위에 놓이는 Zr과 Y의 그룹으로부터 적어도 하나의 제 2금속과 화학적으로 결합하는 제 1금속으로서 Pd를 포함하고, O(화학적으로 결합된 산소) 몰/제 2 금속 몰의 비율이 0.02 내지 1.0의 범위에 놓이는 화학적으로 결합된 산소를 포함하고 또한 게터가 40㎛이하의 입자 크기를 갖는 것에 의해서 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 게터는 예를 들면 150 내지 300℃의 범위의 상대적으로 낮은 온도에서 화학량론적으로 물과 실질적으로 결합할 수 있으며, 추가로 산소와 수소와도 결합할 수 있다. 게터의 동작 속도와 수용 능력은 상기 공개 공보에서 공지된 게터와 비교해 볼 때 상당히 높다.
전구에 게터를 제공하는 것은 쉽다. 게터는 전류 공급 도체, 지지 배선 또는 마운트 위의 같은 램프의 한 부분 위에 분말층으로서 제공될 수 있다. 이와 같은 목적을 위해서, 결합제가 없는 용매나 또는 결합제를 가진 용매에서 게터의 분산은 부틸아세테이트에서 니트로셀룰로우즈 용액에서의 분산처럼 사용될 수 있다. 상기 게터는 가스에 대하여 개방된 밀폐관에서 분말로서 또는 모울딩으로서 예를 들면 압축되거나 소결된 필(pill) 로 존재할 수 있다.
상기 게터는 실내 온도에서 쉽게 처리되고 저장 될 수 있다. 램프 성분이 상승된 온도의 공기에 노출되는 제조 단계를 통해 램프를 처리하는 것도 가능하다. 이런 경우 원한다면, 게터를 얻기 위하여, 불충분한 산소 함유량을 가진 금속의 상기 혼합 물질이 사용될 수 있다. 제조 후 곧바로 물질이 도달해야만 하는 초기 산소 함량 즉, 상기 비율 O(화학적을 결합된 산소) 몰/제 2금속 몰은 램프의 제조 중 상기 물질이 거쳐야만 하는 조건에 좌우된다. 일련의 소규모 실험에 있어서, 이와 같은 초기 산소 함유량은 주어진 램프와 주어진 제조 처리에 대해서 쉽게 결정될 수 있다.
15%이상의 게터 금속의 비율에 있어서, 가스 흡수의 수용 능력은 상대적으로 낮을뿐만 아니라, 수소 흡수가 일어나는 수소 압력은 상대적으로 높다. 0.4%이하의 비율에 있어서, 가스 흡수의 속도는 낮다.
양호한 실시예에서, 게터에서의 금속의 비율은 2 내지 10%(mol/mol)의 범위내에 있다. 이러한 게터는 높은 수용 능력과 낮은 수소 잔류 압력을 가질 뿐만 아니라, 높은 가스 흡수 속도를 가진다. 게다가 상대적으로 값비싼 금속인 Pd의 함유량이 낮은 것은 바람직하다.
램프의 수명 초기에 산소 함유량이 O.O2 내지 1.O(O(화학적으로 결합된) 몰/제 2금속 몰)의 범위 예를 들면 0.05와 0.2 사이에 낮게 놓이는 것이 게터의 수용 능력에 바람직하다. 상당히 낮은 상기 광범위한 범위에 놓여진 비율에 대해서 수소는 매우 천천히 흡수된다.
게터의 분자 크기가 40㎛의 상기 값보다 훨씬 크다면, 게터의 특정 표면적은 적어지고, 따라서 흡수 속도는 낮아지게 된다. 만약 게터의 입자 크기가 0.1㎛이하이면,, 게터의 흡수 속도는 매우 높아지게 되지만 램프 제조 조건의 일부 외에는 견디지 못한다. 또한 최적의 게터 효과는 0.1 내지 40㎛의 범위 내에 있는 입자 크기에서 얻어진다.
본 발명에 따른 램프는 광원이 필라멘트인 백열등, 또는 예를 들면 고압 방전 램프와 같은 가스 방전 램프일 수도 있다. 광원은 내부 밀폐관으로 둘러싸여진 이온화 가능한 매체 내의 한 쌍의 전극이 될 수 있다. 선택적으로 상기 램프는 예를 들면 저압의 수은 방전 램프일 수도 있다. 이 경우, 광원은 수은 함유 가스 내의 한 쌍의 전극이 될 수 있다.
본 발명에 따른 램프의 실시예가 도면에 도시되어 있다. 또한 도면은 게터와 관련 물질과의 실험 결과를 도시하고 있다.
제1도에서, 백열등은 진공 밀폐 방법으로 봉인되고, 광원(3)인 필라멘트가 배열된 백열 유리 램프 용기(1)를 구비한다. 전류 공급 도체(4)는 광원(3)으로부터 램프 용기(1)의 벽을 통하여 외부로 연장되고, 램프 캡(5)과 접속되어 있다. 램프 용기(1)는 내부 표면에서 정전기적으로 인가된 분말층(2)으로 코팅된다. 제 2금속과 제 1금속의 중간금속 혼합물의 분자를 포함한 게터(6)는 램프 용기(1)내에 배열된다.
게터(6)는 0.4 내지 15%의 범위에 놓이는 제 1금속 몰× 100%(제 1금속몰 + 제 2금속 몰)의 비율로 Zr과 y의 그룹으로부터 적어도 하나의 제 2금속과 화학적으로 결합하는 제 1금속으로서의 Pd를 포함하고, 0.02 내지 1.0의 범위에 놓이는 O(화학적으로 결합된) 몰/제 2금속 몰의 비율로 화학적으로 결합한 산소를 포함하고 또한 상기 게터의 입자 크기는 주로 40㎛이하이다. 도면에서, 게터 입자는 필(pill)을 형성하기 위해 와이어(7) 주위에서 압축된다.
실험을 위하여 225V에서 40W의 분말을 소비하는 램프가 일반의 생산 기계에서 제조되었다. 상기 램프는 직경이 60mm인 코팅되지 않은 투명 램프 용기 즉, 약 57mg의 SiO2와 약 6mg의 Ti02가 정전기적으로 인가되어 흰색 코팅된 램프 용기를 구비한다. 상기 필라멘트에 170mg의 빨간 인이 공급된다. 산소, 수소 및 특히 여기에서 가장 심각한 물과 같은 해로운 가스에 의한 게터의 손상 때문에, 모든 램프는 진공 처리된다. 뜨거운 점(hot pot)(H.P)즉 동작 중 상대적으로 높은 값으로 온도가 증가하는 실질적으로 폐쇄된 발광체에서와 같이, 상기 램프는 수명이 다할때까지 동작된다. 램프는 본 발명에 따른 게터를 포함하거나 포함하지 않은채 제조된다. 0.1 내지 40mm입자 크기의 8mg의 Pd분말로 구성된 상기 게터는 Pd 몰 × 100%/(Pd 몰 + Zr 몰) = 8.7%로 Zr과 화학적으로 결합하고, O(화학적으로 결합된) 몰/Zr 몰 = 0.1%로 산소와 화학적으로 결합한다. 본 분말은 16mg의 니켈 분말과 혼합되고, 압축되어 24mg로 된다. 뒤에 설명하겠지만, 니켈 분말 그 자체는 흡수 성질을 나타내지 않는다. 본 니켈 분말은 가스의 흡수 이 후, 필이 금이 가거나 분해되어 램프 내에 위치를 유지하지 못하는 것을 예방한다. 램프 동작 중의 케터의 온도는 대략 300℃에 도달한다.
상기 실험 결과는 다음의 표 1에 표시된다.
Figure kpo00001
+ = 예, - = 아니오
램프(I, II)는 본 발명에 따른 것이다. 램프(III, IV)는 동일하지만 게터가 내장되어 있지 않다. 램프(V)는 다른 램프와 같이 한 생산 기계에서 제조된 기준램프이지만, 물-함유 분말층은 존재하지 않는다. I 내지 V그룹마다 15개의 램프가 있다.
램프(I 및 V)의 비교는, 본 발명에 따른 램프(I)에서 분말층으로부터 물의 바람직하지 못한 효과가 완전히 제거하면서, 기준 램프(V)에 존재하는 잔류 가스의 해로운 효과를 추가로 중화시키는 것을 도시한다. 램프(I)의 수명 편차는 램프(V) 와 동일한 정도이지만 약간 작다.
상기 게터는 뜨거운 환경에서 동작되는 램프에 매우 강한 효과를 가지고 있고, 이는 램프(II)와 램프(IV)의 비교에 나타난다. 더욱이 수명 편차는 상당히 작다.
결과적으로 상기 게터는 물, 수소와 산소 같은 잔류 가스의 해로운 효과를 억제하는데 매우 효과적이다.
상기 게터는 아래와 같이 제조된다. Pd와 Zr은 분말 형태로 8.7/91.3의 몰 비율로 혼합되고 방전 아크의 아르곤 하에서 용해된다. 냉각 후, 상기 용해물은 분쇄되고 수소가 첨가된다. 반응 생산물은 0.1 내지 40㎛ 크기의 입자 얻기 위해서 가루로 만들어지고 걸러지게 된다. 상기 분말은 1시간 동안 진공에서 650℃로 가열시킴으로써 탈수소화된다. 상기 분말은 상온에서 13.3, 133.3, 1333 및 13330 Pa의 압력으로 연속적으로 산소에 노출시킴으로써 표면이 보호막 처리된다. 상기 결과의 분말은 상온에서 공기와 반응하지 않는다. 상기 분말은 X-광선 회절로 검사되었다. 그 결과 ZrPd와 같은 중간 금속의 혼합물을 보유하는 것이 발견되었다. 상기 혼합물은 간섭 현미경으로부터 나타난 것처럼 Zr의 매트릭스로 존재한다.
상기 분말은 200 내지 250℃의 온도에서 133Pa의 압력으로 산소 부분이 산화되어, 램프 내의 혼합 후의 O/Zr의 비율이 0.1(몰/몰)로 된다. 상기 분말은 니켈 분말과 혼합되고, 250um 직경의 몰리브덴 배선 주위에 1 MPa의 압력으로 압축되어 2mm 직경의 원통 모양의 필을 형성한다.
제2도에서, 수증기와 반응한 다수 물질의 질량 증가ΔM는 상기 반응과 관련된 수소 가스의 축적(Q)에 대해서 도시된다.
점선(A)은 오직 물로부터의 산소와 결합하는 물질의 경우에서 수소가스의 축적을 표시한 것이다(제 3도와 제4도의 경우도 동일하다). 한 물질이 초기에 결합된 수소와 산소를 갖고 주어진 순간에 오직 산소와만 결합한다면, 이런 물질의 곡선은 점선(A)에 평행한 순간으로부터 연장된다.
독일 연방 공화국 공개 공보 제 1,905,646호에서 설명된 게터의 그룹에 있어서, Zr과 다른 금속의 적어도 5%무게를 함유하는 게터가 포함된다. 다른 금속의 최소량은 표시되어 있지 않기 때문에, 순수 지르코늄은 설명된 게터 그룹 내에 포함되지 않은 물질일 수도 있다. 그러나, 공지된 게터는 1250℃ 이하의 용융점을 갖는다. 이는 공지된 Zr/Ni 게터가 적어도 17 몰.%의 Ni를 함유하도록 한다.
곡선(21)은 300℃에서 수증기와 Zr의 반응을 나타낸 것이다. 초기에, 물질의 질량 증가ΔM와 함께, 형성된 수소의 소량은 흡수되지만, 곧 곡선은 점선에 평행하게 연장된다. 상기 온도에서, 지르코늄은 물 게터가 아니다.
또한 350℃(곡선(22))에서는, 만약 Zr이 수증기부터의 산소와 결합한다면, 초기에서부터 수소는 방출된다. 곧 바로 수소는 더 이상 전혀 결합되지 않는다.
300℃에서 ZrNi(곡선(23))는 처음에 물로부터의 산소와만 결합한다(곡선(23)은 점선과 일치). 결과적으로, 생선된 수소는 상당히 낮은 잔류 압력으로 흡수된다. 최종적으로 수소는, 산소가 계속 결합되는 동안, 더 이상 흡수되지 않는다.
250℃에서 ZrPd(곡선(24))는 실질적으로 이 그래프에 따라 초기에 수소를 생성하지 않으며, ZrPd보다 더 큰 ΔM에서만 수소를 흡수할 수 있는 능력을 상실하게 된다. ZrPd는 ZrNi(300℃ 에서의 곡선(23))보다 더 활성적(250℃에서의 곡선(24))이다. Zr2Ni와 ZrPd 는 각각의 Ni와 Pd를 33.3 몰.%를 함유한 중간 금속의 혼합물이다.
제3도는 250℃에서 Zr이 초기 산소와 물로부터의 약간의 수소와만 결합(곡선(31))하고, 결과적으로 오직 산소와만 결합하는 것을 도시한다. 곡선(32)은 제 2도(250℃에서 ZrPd)의 곡선(24)에 대응한다. 곡선(33)은 8.7 몰.%의 Pd와 나머지 Zr을 함유하는 본 발명에 따른 금속 합성물을 보유한 게터가, 방출되는 수소 없이, 곡선(32)의 중간 금속 혼합물인 ZrPd보다 화학량론적으로 상당히 더 많은 양의 수증기를 흡수할 수 있음을 도시한다. 한편, 곡선(33)으로부터 8.7 몰.%의 Pd를 함유하는 합금이 수증기로부터 산소를 흡수할 때 초기에 수소를 방출시키는 것이 나타나 있다. 그러나 O/Zr의 비율(몰/몰)이 대략 0.07이 될때, 수소 흡수지체가 형성된다. 대략 0.03의 O/Zr 비율에 대해, 수증기로부터 산소 흡수에 의해 형성된양보다 더 많은 양의 수소가 이미 흡수되어 있다(특히 주목할 점은 19 몰.%보다 적은 팔라듐 함유량을 갖는 지르코늄/팔라듐 합금이 1250℃이상의 용융점을 가진다는 것이다.)
제4도는 Pd를 각각 8.7(곡선(41)), 4.3(곡선(42)) 및 0.43(곡선(42))몰.%를 함유한 합금에 대한 유사한 곡선을 도시한다. 증가하는 Pd함유량에 대해, 초기에는 많은 양의 수소가 방출되지만, 이 양은 아직까지는 흡수된다. 수소가 실질적으로 완전히 흡수된 물질의 산소 함유량은 낮은 Pd함유량보다 약간 더 높다.
제5도는 Zr(곡선(51))이 물로부터 발생되는 증가하는 산소량에 대해 더 이상 실질적으로 수소를 흡수하지 않고, 최종적으로 O/Zr=1(몰/몰)인 점에서 더이상 수소를 함유하지 않는 것을 도시한다. 점선(B)은 산소 몰의 2배인 수소 몰을 흡수하고, 화학량론적으로 물과 결합하는 물질의 변화를 나타낸 것이다. 곡선(52)은 중간 금속 혼합물(ZrPd)이 수증기로부터 화학량론적으로 물을 흡수하는 것을 도시한 것이다. 그러나, 이미 낮은 로딩에서, 만약 추가의 산소량이 결합된다면, 상기 혼합물은 수소를 방출시키기 시작한다.
곡선(53)은 각각 8.7과 4.3 몰.%의 Pd를 함유한 합금에 대해 화학량론적 수증기 흡수가 합금 내의 지르코늄의 충분히 로드될 때까지 지속됨을 도시한다. 이와 같은 경우는 점선(B)이 점선(C) 과 교차한 경우이다. 결과적으로 게터는 이론적으로 최대 용량을 갖는다. 점선(C)은 수소로 완전히 로드되고(세로좌표와 라인(C)의 교차점( δ-ZrH :)), 산소 또는 수소와 산소로 충분히 충전된(가로좌표와 교차점(Zr0 :)) 지르코늄 물질의 합성을 도시한 것이다.
곡선(53)이 점선(C)에 도달했을 때, 상기 물질은 수소를 치환하면서 부가적인 량의 산소를 흡수한다. 상기 도면은 본 발명에 따른 게터의 금속 혼합물을 보유한 물질이 Zr과 ZrPd 보다 수증기에 대해서 더 높은 게터 수용 능력을 갖는 것을 도시한다. 본 발명에 따른 게터에서 지르코늄/팔라듐 합금과 ZrPd 사이의 바람직한 차이은Pd의 상대적으로 높은 가격의 관점에서 유리하다.
제6도는 게터 필의 수증기 흡수 작용을 도시한 것이다. 상기 필은 8.7 몰.%의 Pd와 0.1(몰/몰)의 O/Zr과의 8mg의 지르코늄/팔라듐 합금으로 구성되고, 16mg의 니켈 분말이 추가되거나(곡선(62)), 니켈 분말이 추가되지 않은(곡선(61)) 합금으로 구성한다.
제7도는 수증기에 대한 두 개의 게터 필의 흡수 속도를 도시한 것이다.
제6도와 제 7도는 니켈 분말이 게터 효과에 영향을 미치지 않음을 나타낸다. 그러나, 니켈의 존재 때문에, 게터 필에서 기계적 스트레스는 중화되고, 이 결과에 의해서 니켈이 추가된 게터 필은 금(크랙)이 발생하여 분쇄되지 않는다. 결과적으로, 상기 필은 손쉽게 램프 내에 유지 될 수 있다.
제8도에서, 곡선(81)은 산소가 부족한 표면 보호막 처리된 지르코늄/팔라듐 합금의 샘플에 의한 수소 흡수를 나타낸 것이고(Pd = 8.7 몰.%), 곡선(82)은 연속적으로 증가하는 온도에 대해 본 발명에 따른 지르코늄/팔라듐 게터의 샘플의 흡수를 나타낸 것(Pd=8.7 몰.%와 O/Zr = 0.1 몰/몰)이다. 350℃까지의 온도에서 본 발명에 따른 게터의 상당히 높은 흡수 속도는 확실하다. 본 발명에 따른 게터 샘플의 흡수 속도는, 상기 샘플이 상당한 정도의 수소로 이미 포화되어 있기 때문에, 도시된 도면에서 350℃정도에서 낮아지게 된다.
8mg의 게터 물질에 대한 8.7 몰.%의 Pd, 0.1(몰/몰)의 O/Zr 및 16mg의 Ni을 갖는 상기의 필에 대한 제9도에 있어서, 온도에 의존하는 수증기와의 반응에 대한 산소(ΔM)의 결합에 기인하는 질량 증가의 대수 값은 시간이 대수 값으로써 도시되었다. 이로부터 상대적으로 낮은 온도에서 상대적으로 높은 반응속도가 나타나게 된다.
제10도는, 제 9도에서 측정된 바와 같은 동일한 필의 다양한 온도에 대해서 수증기와의 반응에 대한 수소 축적이 게터 내의 O/Zr(몰/몰) 비율로 도시되었다. 350℃에서 매우 낮은 잔류 압력(0.4 Pa 보다 낮은)의 수소가 존재하는 것이 밝혀졌다. 250℃와 350℃에서 수소의 잔류 압력은 0.1Pa 보다 작다.

Claims (5)

  1. 진공 밀폐 방법으로 봉인된 백열 램프 용기와 램프 용기 내에 배열된 광원과, 램프 용기의 벽을 통하여 광원으로부터 외부까지 연장되는 전류 공급 컨덕터와, 제 2금속과 제 1금속의 혼합물을 포함하는 램프 용기 내의 게터가 제공된 전구에 있어서, 상기 게터는 0.4 내지 15% 범위 내의 "제 1금속 몰×100%(제 1금속 몰+제 2금속 몰)"비율로 Zr 및 Y 그룹으로부터 적어도 하나의 제 2금속과 화학적으로 결합하는 제 1금속으로서 Pd를 함유하고, 0.02 내지 1.0의 범위 내의 "O(화학적으로 결합된 산소) 몰"/제 2금속 몰비율로 화학적으로 결합한 산소를 더 함유하고, 상기 게터는 주로 40㎛이하의 입자 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 전구.
  2. 제1항에 있어서, "제 1금속 몰×100%/(제 1금속 몰+제 2금속 몰)"의 비율이 2 내지 10%인 것을 특징으로 하는 전구.
  3. 또는 제2항에 있어서, "O(화학적으로 결합된 산소) 몰/제 2금속 몰"의 비율이 0.05 내지 0.2인 것을 특징으로 하는 전구.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 니켈 분말과 혼합된 게터가 필(Pill)로 형성되는 것을 특징으로 하는 전구,
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, "O(화학적으로 결합된 산소) 몰/제 2금속 몰"의 비율이 0.05 내지 0.2이고, 니켈 분말과 혼합된 게터가 필로 형성되는 것을 특징으로 하는 전구.
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