KR0119297Y1 - 웨이퍼 이송아암 감지장치 - Google Patents
웨이퍼 이송아암 감지장치Info
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Abstract
본 고안은 웨이퍼가 놓여지는 로드락아암의 회동위치가 틀어졌는지의 위치여부를 감지하여 제어하는 웨이퍼 이송아암 감지장치에 관한 것으로, 로드락챔버 커버의 소정위치에 장착되어 로드락아암의 회동위치를 감지하여 발광하는 발광부; 상기 발광부로부터 투사된 빛을 받아 로드락 아암의 위치신호를 출력하는 수광부; 상기 로드락아암의 상단부 소정위치에 장착되어 상기 발광부로부터의 빛을 수광부에 전달하는 반사경; 및 상기 수광부로부터 출력된 위치신호를 인가하여 상기 로드락아암의 위치를 제어하므로서 트랜스퍼아암이 정확히 웨이퍼를 받아 이송할 수 있도록 하는 아암제어수단을 구비하므로서 웨이퍼 이송아암이 틀어지는 것을 감시하므로서 웨이퍼가 이송도중 떨어져 파손되는 것을 방지하며, 아암교정시, 종래 육안으로 확인하여야 하는 번거로운 작업없이 포토커플러의 동작만을 보고서 교정할 수 있는 효과가 있다.
Description
제 1a 도 내지 제 1d 도는 본 고안이 적용되는 일반적인 웨이퍼 이송장치의 작용상태도,
제 2도는 본 고안에 의한 웨이퍼 이송아암 감지장치의 일실시예 구성도,
제 3 도는 본 고안에 의한 웨이퍼 이송아암 감지장치의 동작설명도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1,1`:발광부 2,2`:수광부
3:반사경 4:아암제어부
21:로드락챔버 21a:로드락챔버 커버
22:로드락아암 22a:지지편
23:트랜스퍼아암 24:아웃도어
본 고안은 반도체 제조장비중 식각공정을 수행하기 위하여 고정챔버에 웨이퍼를 로딩시키는 웨이퍼 이송아암에 관한 것으로, 특히 웨이퍼가 놓여지는 로드락아암의 회동위치가 틀어졌는지의 위치여부를 감지하여 제어하는 웨이퍼 이송아암 감지장치에 관한 것이다.
일반적으로, 공정챔버에 웨이퍼를 로딩시키기 위한 웨이퍼 이송장치는 제 1a 도 내지 제 1d 도에 도시한 바와 같이, 먼저 로드락 챔버(21)내에 구비된 로드락아암(22)이 초기위치에 회동하면, 상기 로드락아암(22) 상단에 중첩되게 구비된 트랜스퍼아암(23)이 로드락챔버(21)의 아웃도어(out door)(24)를 통하여 웨이퍼가 구비된 로드포인트에 위치하도록 신장한다. 그러면, 상기 트랜스퍼아암(23)의 일단부에 일체로 구비된 원형의 웨이퍼지지편(23a)에 로드포인트에 위치된 웨이퍼가 정확히 놓여지도록 한후 로드록 챔버(21)내로 원위치된다.(제 1a 도 및 제 1b 도 참조)
그리고, 상기 트랜스퍼아암(23)과 로드락아암(22)이 초기상태위치로 원위치된후 대기를 하고 있다가 공정챔버로 인입시키기 위한 위치로 이동되고(제 1c 도 참조), 다시 공정챔버로 로딩시키기 위하여 웨이퍼를 받는 작동상태와 마찬가지로 로드락아암(22)이 회동하고 이어 트랜스퍼아암(23)이 신장하여 공정탬버내의 애노드상에 웨이퍼를 얹혀 놓게 되는 것이다.
상기와 같이 외부로부터 웨이퍼를 받아 공정챔버내로 이송시키는 웨이퍼 이송장치는 일정한 거리로 정확하게 계속 이송작업이 진행됨에 따라 시간이 지날수록 기계적 결함이 생기게 되고, 이는 위치제어의 정확성이 떨어지는 결과를 초래하게 되어 전체적인 아암의 이동위치가 조금씩 틀어지게 된다.
이때, 웨이퍼를 받아 이송시키는 트랜스퍼아암도 차츰 틀어지게 되고, 이상태에서 웨이퍼를 이송하게 되면, 이송도중 상기 웨이퍼가 아암에서 떨어져 파손되거나, 그 다음 도착지인 공정챔버의 위치로 정확히 이동시키지 못해 공장상의 문제점을 야기시켰다. 또한 상기 트랜스퍼 아암이 틀어진 상태인데도 이를 중단하지 못하고 계속 웨이퍼를 이동시키기 때문에 생산수율에 상당한 영향을 초래하는 문제점을 내포하고 있었다.
따라서, 본 고안은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 로드락 챔버의 커버에 로드락아암의 회동위치를 감지하는 포토커플러를 장착하여 신장되는 트랜스퍼 아암의 위치가 틀어졌는지의 여부를 감지하므로서 웨이퍼를 주고 받는 위치를 제어할 수 있도록 하는 웨이퍼 이송아암 감지장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 로드락챔버내에 구비되어 소정각도로 회동하는 로드락아암과, 상기 로드락아암의 상단부에 중첩되게 장착되어 좌우 신장하면서 로드포인트의 웨이퍼를 받아 공정챔버내로 로딩시키기 위한 트랜스퍼 아암을 구비한 웨이퍼 이송장치에 포함되어 웨이퍼 이송아암의 회동을 감지는 감지장치에 있어서, 상기 로드락챔버커버의 소정위치에 장착되어 로드락아암의 회동위치를 감지하여 발광하는 발광수단; 상기 발광수단으로부터 투사된 빛을 받아 로드락아암의 위치신호를 출력하는 수광수단; 상기 로드락아암의 상단부 소정위치에 장착되어 상기 발광수단으로 부터의 빛을 수광수단에 전달하는 반사수단; 및 상기 수광수단으로부터 출력된 위치신호를 인가하여 상기 로드락아암의 위치를 제어하므로서 트랜스퍼아암이 정확히 웨이퍼를 받아 이송할 수 있도록 하는 아암제어수단을 제공한다.
이하, 첨부된 제 2 도 및 제 3 도의 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.
제 2 도는 본 고안에 의한 웨이퍼 이송아암 감지장치의 일실시예 구성도, 제 3 도는 본 고안에 의한 웨이퍼 이송아암 감지장치의 동작설명도로서, 도면에서 1,1`는 발광부, 2,2`는 수광부, 3은 반사경, 4는 아암제어부를 각각 나타낼 것이다.
도면에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 이송아암 감지장치는 로드락 챔버(21)내에 구비된 로드락아암(22)의 회동위치를 감지하여 신장되는 트랜스퍼 아암(23)의 웨이퍼 로딩위치가 틀어졌는지의 여부를 감지하여 제어할 수 있도록 한 것으로, 상기 로드락 챔버(21)의 커버(21a) 소정위치에는 로드락아암(22)의 최종 회동위치를 감지하여 발광하는 발광부(1)가 구비되며, 상기 발광부(1)의 일측에는 그로부터 투사된 빛을 받아 로드락아암(22)의 위치신호를 출력하는 수광부(2)가 각각 구비된다.
본 실시예에서는 상기 로드락아암(22)이 웨이퍼를 받기 위해 회동하는 최종위치와 공정챔버로 로딩시키기 위해 회동하는 최종위치의 두곳에 상기 발광부(1,1`)와 수광부(2,2`)를 각각 장착한 구조를 제시하여 상기 로드락아암(22)의 회동위치가 감지됨에 따라 트랜스퍼 아암(23)이 로드포인트로 신장하기 위한 준비신호와, 공정챔버로 로딩시키기 위한 준비신호를 입출력하게 되는 것이다.
상기 발광부(1)와 수광부(2)의 중간부분에 대향되는 위치의 상기 로드락아암(22) 상단부에는 소정크기의 반사경(3)이 장착되어 상기 발광부(1)로부터 투사된 빛을 반사하여 수광부(2)가 그 신호를 입력할 수 있도록 한다.
그리고, 상기 수광부(2)로부터 출력된 위치신호를 인가받아 상기 로드락 아암(22)이 회동위치를 제어하는 아암제어부(4)를 구비하여 상기 트랜스퍼아암(23)이 신장되어 로드포인트의 웨이퍼를 정확히 받고, 공정챔버내로 로딩시킬 수 있도록 한다.
여기서, 상기 트랜스퍼 아암(23)이 로드포인트로 신장하기 위한 준비신호, 또는 상기 공정챔버로 로딩시키기 위한 준비신호가 상기 아암제어부(4)로 되돌아가야만 트랜스퍼아암(23)의 동작이 완료되었다는 것을 판단하며, 상기 신호를 인가받지 못하면 아암제어부(4)는 알람을 발생시켜 외부에 인지토록 하므로서 트랜스퍼아암(23)의 틀어진 위치를 교정하게 되는 것이다.
상기와 같이 구성된 본 고안의 작용상태를 제 1a 도 내지 제 1d 도 및 제 3 도를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
제 1a 도 및 제 1b 도와 같이 로드락챔버(21)내의 로드락아암(22)과 트랜스퍼아암(23)이 외부의 로드포인트로부터 웨이퍼를 받기위해 회동한다. 이때, 상기 트랜스퍼아암(23)이 신장하기 위한 정확한 위치로 로드락아암(22)이 회동하면, 감지센서인 포토 커플러의 발광부(1)가 감지하여 빛을 반사경(3)을 통하여 수광부(2)로 입력되면서 두단자가 연결되어 위치신호를 아암제어부(4)에 인가한다.
상기 아암제어부(4)는 로드포인트로 신장하기 위한 준비신호를 출력하여 상기 트랜스퍼아암(23)을 신장시키므로써 로드포인트로부터 웨이퍼를 받아 되돌아오게 한다. 여기서, 상기 로드락아암(22)이 틀어지게 되어 최종회동위치가 정확하지 않으면 수광부(2)가 발광부(1)로부터 투사된 빛을 받지 못하게 되고, 이로 인해 트랜스퍼아암(23)이 신장되기 위한 준비신호가 인가되지 못하여 상기 아암제어부(4)는 알람을 발생하고, 웨이퍼 이송을 중단시킨다.
또한, 제 1c 도 및 제 1d도에서 보인바와 같이 상기 트랜스퍼 아암(23)이 공정챔버내로 웨이퍼를 로딩시킬 때에도 마찬가지로 포토커플러의 발광부(1`) 및 수광부(2`)가 로드락아암(22)의 위치를 감지하여 아암제어부(4)에 인가하므로서 로드락아암(22)의 회동위치를 제어하게 되는 것이다.
상기에서 기술된 본 고안의 작용상태를 뒷받침해주기 위하여 제 3 도에서 로드록챔버 커버에 각각 장착된 포토커플러(photo coupler)가 동작하는 상태를 개략적으로 나타내었다.
상기와 같이 구성되어 작용하는 본 고안은, 웨이퍼 이송아암이 틀어지는 것을 감시하므로서 웨이퍼가 이송동중 떨어져 파손되는 것을 방지하며, 아암교정시, 종래 육안으로 확인하여야 하는 번거로운 작업없이 포토커플러의 동작만을 보고서 교정할 수 있는 효과가 있다.
Claims (1)
- 로드락챔버내에 구비되어 소정각도로 회동하는 로드락아암과, 상기 로드락아암의 상단부에 중첩되게 장착되어 좌우 신장하면서 로드포인트의 웨이퍼를 받아 공정챔버내로 로딩시키기 위한 트랜스퍼 아암을 구비한 웨이퍼 이송장치에 포함되어 웨이퍼 이송아암의 회동을 감지하는 감지장치에 있어서, 상기 로드락챔버 커버의 소정위치에 장착되어 로드락아암의 회동위치를 감지하여 발광하는 발광수단; 상기 발광수단으로부터 투사된 빛을 받아 로드락아암의 위치신호를 출력하는 수광수단; 상기 로드락아암의 상단부 소정위치에 장착되어 상기 발광수단으로부터의 빛을 수광수단에 전달하는 반사수단; 및 상기 수광수단으로부터 출력된 위치신호를 인가하여 상기 로드락아암의 위치를 제어하므로서 트랜스퍼아암이 정확히 웨이퍼를 받아 이송할 수 있도록 하는 아암제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송아암 감지장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940036957U KR0119297Y1 (ko) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 웨이퍼 이송아암 감지장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940036957U KR0119297Y1 (ko) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 웨이퍼 이송아암 감지장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960025400U KR960025400U (ko) | 1996-07-22 |
| KR0119297Y1 true KR0119297Y1 (ko) | 1998-08-01 |
Family
ID=19403653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940036957U KR0119297Y1 (ko) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 웨이퍼 이송아암 감지장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0119297Y1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100653684B1 (ko) * | 2000-11-02 | 2006-12-04 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조용 화학기상증착 설비 |
-
1994
- 1994-12-28 KR KR2019940036957U patent/KR0119297Y1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100653684B1 (ko) * | 2000-11-02 | 2006-12-04 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조용 화학기상증착 설비 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960025400U (ko) | 1996-07-22 |
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