KR0113253Y1 - 반도체 장치의 감광제 잔량감지장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안에 의한 감광제 용기가 안착되는 프레임을 대물안착부에 부착시킨 전자저울과, 전자저울에 의해 측정된 측정값의 전기적인 신호로 동작되는 센서앰프를 구비한다.
Description
제1도는 본 고안의 감광제 잔량감지 장치를 설명하기 위한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 감광제 12 : 감광제 용기
12-1 : 노즐 13 : 프레임
14 : 전자저울 14-1 : 대물안착부
15 : 센서앰프 16 : 유닛 콘트롤
본 고안은 반도체 장치의 감광제(photo resist)잔량감지장치에 관한 것으로 특히 최소량의 감광제의 잔량을 정확하게 감지하여 감광제 소비를 국소화하는데에 적당하도록 한 반도체 장치의 감광제 잔량감지장치에 관한 것이다.
반도체 제조에서 웨이퍼상에 반도체소자를 형성시킬 때에 감광제는 주요한 소모품으로 다량 사용되고 있으며, 감광제의 잔량을 측정하여 적당한 시기에 감광제 용기를 교체하여 주는 것이 중요하다.
종래의 감광제 잔량감지장치는 입구에 감광제가 배출되는 노즐을 용기 내부에서 외부로 부착시킨 밀폐된 감광제 용기와, 감광제 용기에 부착된 전극과, 전극에서 출력되는 출력값에 의해 동작되는 센서앰프(sensor amplifier)와, 센서앰프의 경보신호에 의해 감광제 잔량감지장치를 조정하는 유닛콘트롤(unit controller)로 이루어진다.(도면에 도시안함)
종래의 감광제 잔량감지장치를 이용하여 감광제 용기내에 남아있는 감광제잔량을 감지하는 방법은 감광제 용기내의 감광제를 유전체로 하여 정전용량(C; capacit anc e)을 계산하는 정전용량방식이다. 이때, 정전용량(C)의 계산 공식은 다음과 같다.
즉, 종래의 감광제 잔량감지장치에서 감광제 용기내의 감광제가 감소하게 되면, 전극과 감광제 용기바닥면의 접촉면적(A)은 일정하고, 용기내에 남아있는 감광제 높이(d)는 감소되므로 정전용량(C)이 증가하게 되며, 센서앰프는 정전용량값이 기준치 이상으로 증가되었을때에 경보신호를 유닛 콘트롤로 보내서, 이를 감지한 생산 작업자가 감광제 용기를 교체시키는 조치를 취할 수 있게 하였다.
그러나, 종래의 감광제 잔량장치에서는 감광제 용기내에 남아있는 감광제의 잔량이 적으면 적을수록 감광제의 유전률(ε)이 유동적으로 되어서 정전용량방식의 감광제 잔량감지의 정확도가 떨어지고, 감지에라(error)가 빈번히 발생하게 되었고, 이를 방지하기 위해서 잔량감지의 기준 정전용량값을 낮게(정전용량과 용기내의 남아있는 감광제의 높이는 반비례하므로 감광제의 잔량은 많아짐) 셋팅(setting)하여 사용함으로 감광제의 낭비를 초래하는 문제가 발행되었다.
본 고안에서는 이러한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로 감광제 잔량감지장치를 개선하여 감광제를 경제적으로 사용하는 것이 목적이다.
본 고안에 의한 감광제 잔량장치는 감광제 용기가 안착되는 프레임을 대물안착부에 부착시킨 전자저울과, 전자저울에 의해 측정된 측정값의 전기적인 신호로 동작되는 센서앰프를 구비한다.
제1도는 본 고안에 의한 감광제 잔량감지장치를 설명하기 위한 도면으로, 첨부한 도면을 참고로 본 고안의 감광제 잔량감지장치를 설명하면 다음과 같다.
본 고안에 의한 감광제 잔량감지장치(10)는 제1도에 도시된 바와 같이 감광제(11)가 담아있는 감광제 용기(12)가 안착되는 프레임(frame)(13)을 대물안착부(14-1)을 부착시킨 전자저울(14)과, 전자저울에 의해 측정된 측정값의 전기적인 신호로 동작되는 센서엠프(15)와, 센서앰프와 연결되어 감광제 잔량감지장치를 조정하는 유닛콘트롤(16)로 이루어진다. 이때, 감광제는 밀폐된 감광제 용기에 보관되고 노즐(nozzle)(12-1)에 의해서 외부의 반도체 장치로 배출된다.
본 고안에 의한 감광제 잔량감지장치를 사용하여 감광제 용기내에 남아있는 감광제잔량을 감지하는 방법은 전자저울의 대물안착부에 부착시킨 프레임에 감광제 용기를 안착시킨 후에, 감광제 잔량의 무게를 정화하게 측정하고, 감광제 잔량의 측정값이 센서엠프로 전기적인 신호로 입력되는데, 센서앰프에서는 셋팅시킨 기준치 이하의 측정값이 입력되면 유닛콘트롤로 경보신호를 보내서, 이를 감지한 생산 작업자가 감광제 용기를 교체시키는 조치를 취할 수 있게 한다. 이때 감광제 잔량의 무게는 최초의 전체무게에서 프레임과 감광제 용기의 무게를 빼주는 값이며, 이 값은 감광제를 사용할수록 작아진다.
본 고안에 의한 감광제 잔량감지장치에서는 감광제의 최소잔량의 무게치를 셋팅시키므로 감광제를 절약할 수 있으며, 감광제의 잔량감지의 정확도가 향상되므로 감지에라가 감소된다. 또한 본 고안의 감광제 잔량감지장치는 설치가 단순하고 간편하며, 설치비용도 경제적이다.
Claims (1)
- 감광제 용기내에 남아있는 감광제잔량의 감지장치에 있어서, 감광제 용기가 안착되는 프레임을 대물안착부에 부착시킨 전자저울과, 상기 전자저울에 의해 측정된 측정값의 전기적인 신호로 동작되는 센서앰프를 구비한 반도체 장치의 감광제 잔량감지장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940029334U KR0113253Y1 (ko) | 1994-11-05 | 1994-11-05 | 반도체 장치의 감광제 잔량감지장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940029334U KR0113253Y1 (ko) | 1994-11-05 | 1994-11-05 | 반도체 장치의 감광제 잔량감지장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960019127U KR960019127U (ko) | 1996-06-19 |
| KR0113253Y1 true KR0113253Y1 (ko) | 1998-04-14 |
Family
ID=19397473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940029334U KR0113253Y1 (ko) | 1994-11-05 | 1994-11-05 | 반도체 장치의 감광제 잔량감지장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0113253Y1 (ko) |
-
1994
- 1994-11-05 KR KR2019940029334U patent/KR0113253Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960019127U (ko) | 1996-06-19 |
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