JPWO2023089852A5 - - Google Patents
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Description
上述したようなプレフィルターのチャージアップ現象は、コリジョン測定モードから非コリジョン測定モードへの切替え直後における信号のドリフトの発生を適切に説明し得る。従って、このドリフトを軽減するには、非コリジョン測定モードにおいても、コリジョン測定モードと同程度に、プレフィルターを含む四重極マスフィルターに不要なイオンやラジカル等が衝突しにくいようにすればよい。本発明に係るＩＣＰ－ＭＳは、こうした知見に基いてなされたものである。
［一実施形態のＩＣＰ－ＭＳの構成］
以下、本発明の一実施形態であるＩＣＰ－ＭＳについて、添付図面を参照して説明する。
図１は、本実施形態のＩＣＰ－ＭＳの概略ブロック構成図である。説明の便宜のために、図１中に示すように、互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚの３軸を空間内に定義する。
このＩＣＰ－ＭＳは、略大気圧雰囲気であって電気的に接地されたイオン化室１と、該イオン化室１側から順に真空度が高くなる第１真空室２、第２真空室３、及び第３真空室４という三つの真空室、を備える。図示しないものの、第１真空室２内はロータリーポンプにより真空排気され、第２真空室３及び第３真空室４内はロータリーポンプ及びターボ分子ポンプを組み合わせた真空ポンプによって真空排気される。
以下、本発明の一実施形態であるＩＣＰ－ＭＳについて、添付図面を参照して説明する。
図１は、本実施形態のＩＣＰ－ＭＳの概略ブロック構成図である。説明の便宜のために、図１中に示すように、互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚの３軸を空間内に定義する。
このＩＣＰ－ＭＳは、略大気圧雰囲気であって電気的に接地されたイオン化室１と、該イオン化室１側から順に真空度が高くなる第１真空室２、第２真空室３、及び第３真空室４という三つの真空室、を備える。図示しないものの、第１真空室２内はロータリーポンプにより真空排気され、第２真空室３及び第３真空室４内はロータリーポンプ及びターボ分子ポンプを組み合わせた真空ポンプによって真空排気される。
コリジョン測定モードの実行時、制御部２０の制御に応じてガス供給部２２は、第１ガス供給管２３を通してＨｅガスをコリジョンセル１０内に連続的に又は間欠的に供給する。電圧発生部２１は、引込電極８、イオンレンズ９、イオンガイド１３、エネルギー障壁形成用電極１４を含む各電極（イオン光学素子）にそれぞれ所定の電圧を印加する。
上記実施形態のＩＣＰ－ＭＳはいわゆるシングルタイプの四重極型質量分析装置であるが、質量分析部の構成は適宜に変更可能である。本発明に係るＩＣＰ－ＭＳは例えば、ＩＣＰイオン源を備えたトリプル四重極型質量分析装置、ＩＣＰイオン源を備えた四重極－飛行時間型（Ｑ－ＴＯＦ型）質量分析装置などとすることができる。
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|---|---|---|---|
| JP2021186854 | 2021-11-17 | ||
| PCT/JP2022/022452 WO2023089852A1 (ja) | 2021-11-17 | 2022-06-02 | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2023089852A1 JPWO2023089852A1 (ja) | 2023-05-25 |
| JPWO2023089852A5 true JPWO2023089852A5 (ja) | 2024-03-25 |
Family
ID=86396576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023562114A Pending JPWO2023089852A1 (ja) | 2021-11-17 | 2022-06-02 |
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Family Cites Families (2)
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2022
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- 2022-06-02 JP JP2023562114A patent/JPWO2023089852A1/ja active Pending
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