JPWO2022229182A5 - 液体中のワークピースをレーザ加工するための方法 - Google Patents

Claims (8)

1. 液体中でワークピースをレーザ加工するための方法であって、
   液体で満たされたプロセスチャンバ内にワークピースを提供することと、
   集束ユニットを使用して、前記ワークピースの表面上にパルス状のレーザ放射を集束させることと、
   位置決めユニットを使用して、前記集束されたレーザ放射と前記ワークピースの表面との間の相対移動を生成することと、
   検出ユニットを使用して、所定の検出領域内の気泡を検出することと、
   前記検出された気泡によって引き起こされるレーザ加工中の干渉効果を回避または低減するための第１の動作を行うことと、
   前記レーザ放射と前記気泡との間の相互作用が予想される領域に前記気泡が存在する、前記検出された気泡の通過時間を決定することと、
   前記決定された通過時間の間、前記レーザ放射を非活性化すること、または、前記レーザ放射が前記気泡の外側に配置されるように、前記レーザ放射を位置決めすること、を含む、方法。
2. 前記気泡を検出することが、
   カメラユニットを用いて前記所定の検出領域の写真画像を撮影し、対応する画像ファイルを生成することと、
   特にパターン認識アルゴリズムの使用を含む評価によって前記画像ファイルを評価すること、を含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
3. 前記気泡を検出することは、散乱光測定を含み、前記散乱光測定が、
   ＬＥＤを用いて前記検出領域を照明することと、
   フォトダイオードを使用して検出信号を取得することであって、前記フォトダイオードは、前記検出領域を伝播した前記ＬＥＤによって放出される放射を取得するように構成されることと、
   評価ユニットを用いて前記検出信号を評価すること、を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
4. 前記第１の動作が、前記プロセスチャンバ内の前記液体の流量を変化させることを含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
5. 前記第１の動作が、前記レーザ放射が前記検出された気泡上に向けられるように前記レーザ放射を位置決めすることを含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
6. 前記レーザ放射が前記気泡が検出された前記ワークピースの表面の前記領域上に、デフォーカスされた形態で向けられることを特徴とする、請求項５に記載の方法。
7. 前記第１の動作が、超音波発生器を使用して、前記検出された気泡の近傍に超音波を発生させることを含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
8. 前記第１の動作は前記液体の流れのタイプを変化させることを含み、前記流れのタイプは特に、層流、乱流、および脈動流の間で変化させることができることを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。