JPWO2022210070A5 - - Google Patents
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Description
なお、図5A~5H及び図6A~6Gにおいて、VAPDは、APD1のカソードの電位またはポテンシャル(図2参照)を示す。VFDは、FD部2の電位またはポテンシャル(図2参照)を示す。VMIMは、MIM8の端子のうち、CNT-TR7のソースに接続された端子の電位またはポテンシャル(図2参照)を示す。また、P-wellは、FD部2を囲むp型ウェル(図示せず)の電位またはポテンシャルを示し、当該電位は、V3(=-1.1V)に固定されている。RSDは、RST-TR4のドレインの電位またはポテンシャルを示し、当該電位は、第1電源12の電源電圧、この場合は、+3Vに固定されている。
次に、図5Eに示すように、電位RSTが、V1とV2との間の値になるように、駆動信号RSTをRST-TR4のゲートに印加する(図4に示す期間V)。この場合の駆動信号RSTの大きさは、+2.5Vである。このようにすることで、RST-TR4のゲート直下のポテンシャルをRST-TR4のソースのポテンシャルとドレインのポテンシャルの間のレベルにすることができる。この場合、RST-TR4は、完全なオン状態にはならないものの、FD部2から第1電源12へ電子が流れるようにすることができる。APD1で発生した電荷量のばらつきに応じて、FD部2に蓄積される電荷量、ひいては電位VFDもばらつきを生じる。一方、図5Eに示すステップを行い、FD部2と第1電源12との導通状態を確保することで、電位VFDを調整して、所定のレベルに揃えることができる。さらに、図5Fに示すように、駆動信号RSTを0Vに低下させ、RST-TR4をオフ状態にして、電位VFDの調整を終了する(図4に示す期間VI)。
ここで、VFDAは、図4に示す期間IVにおけるFD部2の電位である。つまり、RST-TR4のゲートを中間電位にして、電位VFDを調整した後の値である。VFDBは、図4に示す期間VIIにおけるFD部2の電位である。つまり、FD部2に蓄積された電子をMIM8に転送した後のFD部2の電位である。図7に示すように、カウント数iに比例して、電圧VMIM(i)は低下する。なお、図7に示す例では、カウント数を24回まで増加させると、電圧VMIM(i)は3Vから1.6Vまで段階的に低下する。一方、カウント数を25回以上に増やしても、電圧VMIM(i)は1.6Vから変化しない。これは、MIM8に蓄積された電荷量が飽和値に達したためである。つまり、電圧VMIM(i)の変化量は、MIM8の容量CMIMに依存している。さらに言うと、FD部2の容量CFDとMIM8の容量CMIMとの比にも依存している。
画素セル10は、FD部2に接続されたCNT-TR7と、一方の端子がCNT-TR7に接続されたMIM8と、を少なくとも有している。
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