JPWO2021255819A5 - - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2020/023554 WO2021255819A1 (ja) | 2020-06-16 | 2020-06-16 | 画像処理方法、形状検査方法、画像処理システム及び形状検査システム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2021255819A1 JPWO2021255819A1 (https=) | 2021-12-23 |
| JPWO2021255819A5 true JPWO2021255819A5 (https=) | 2023-02-14 |
| JP7390486B2 JP7390486B2 (ja) | 2023-12-01 |
Family
ID=79268639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022531135A Active JP7390486B2 (ja) | 2020-06-16 | 2020-06-16 | 画像処理方法、形状検査方法、画像処理システム及び形状検査システム |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20230222764A1 (https=) |
| JP (1) | JP7390486B2 (https=) |
| KR (1) | KR102780234B1 (https=) |
| TW (1) | TWI777612B (https=) |
| WO (1) | WO2021255819A1 (https=) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023127081A1 (ja) * | 2021-12-28 | 2023-07-06 | 株式会社日立ハイテク | 画像検査装置、画像処理方法 |
| CN115242982B (zh) * | 2022-07-28 | 2023-09-22 | 业成科技(成都)有限公司 | 镜头调焦方法及其系统 |
| JP2024108492A (ja) * | 2023-01-31 | 2024-08-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 堆積判定方法及び基板処理装置 |
| WO2024261931A1 (ja) | 2023-06-21 | 2024-12-26 | 株式会社日立ハイテク | 画像検査装置及び画像処理方法 |
| WO2026047363A1 (en) * | 2024-08-30 | 2026-03-05 | Applied Materials Inc | Self-operating substrate measurement |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006302952A (ja) * | 2005-04-15 | 2006-11-02 | Toshiba Corp | パターン計測システムおよび半導体装置の製造方法 |
| US9185291B1 (en) * | 2013-06-13 | 2015-11-10 | Corephotonics Ltd. | Dual aperture zoom digital camera |
| US9785752B1 (en) * | 2014-02-25 | 2017-10-10 | Flagship Biosciences, Inc. | Method for stratifying and selecting candidates for receiving a specific therapeutic approach |
| CN104881868B (zh) * | 2015-05-14 | 2017-07-07 | 中国科学院遥感与数字地球研究所 | 植物群落空间结构提取方法 |
| US10163061B2 (en) * | 2015-06-18 | 2018-12-25 | International Business Machines Corporation | Quality-directed adaptive analytic retraining |
| US9965901B2 (en) * | 2015-11-19 | 2018-05-08 | KLA—Tencor Corp. | Generating simulated images from design information |
| US9915625B2 (en) * | 2016-01-04 | 2018-03-13 | Kla-Tencor Corp. | Optical die to database inspection |
| JP6668199B2 (ja) * | 2016-08-19 | 2020-03-18 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マスク検査方法 |
| US10395362B2 (en) * | 2017-04-07 | 2019-08-27 | Kla-Tencor Corp. | Contour based defect detection |
| US10671881B2 (en) * | 2017-04-11 | 2020-06-02 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Image processing system with discriminative control |
| JP7144244B2 (ja) | 2018-08-31 | 2022-09-29 | 株式会社日立ハイテク | パターン検査システム |
-
2020
- 2020-06-16 US US18/009,890 patent/US20230222764A1/en active Pending
- 2020-06-16 WO PCT/JP2020/023554 patent/WO2021255819A1/ja not_active Ceased
- 2020-06-16 JP JP2022531135A patent/JP7390486B2/ja active Active
- 2020-06-16 KR KR1020227041722A patent/KR102780234B1/ko active Active
-
2021
- 2021-06-11 TW TW110121442A patent/TWI777612B/zh active
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