JPWO2021250497A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 排出流を処理するための乾式ガススクラバーであって、
   チャンバを有し、前記チャンバは、
   前記排出流を受け入れるための入口と、
   前記入口に接続され、前記排出流を冷却するように構成された冷却器と、
   前記冷却器の下流にあり、処理のために前記排出流を受け入れるように構成された樹脂チャンバと、
   を有する、乾式ガススクラバー。
2. 前記チャンバは、前記冷却器の下流にあり、前記排出流を濾過するように構成された粉体トラップを備え、前記樹脂チャンバは、前記粉体トラップの下流にある、請求項１に記載の乾式ガススクラバー。
3. 前記冷却器及び前記粉体トラップは、同心円状に併せて配置され、好ましくは、前記冷却器は、前記粉体トラップを取り囲む、請求項１又は２に記載の乾式ガススクラバー。
4. 前記冷却器は、内壁及び外壁を有する環状チャンバを備え、前記冷却器は、前記環状チャンバ内で前記入口から前記粉体トラップの移送ポートまで前記排出流を周方向に搬送するように構成されている、請求項１から３のいずれか１項に記載の乾式ガススクラバー。
5. 前記入口は、前記外壁に設けられ、前記移送ポートは、前記内壁に設けられる、請求項４に記載の乾式ガススクラバー。
6. 前記内壁は、前記粉体トラップのハウジングを画定する、請求項４又は５に記載の乾式ガススクラバー。
7. 前記冷却器は、前記入口と前記移送ポートとの間の前記環状チャンバ内での前記排出流の流れを妨害するように配置された冷却フィンを備える、請求項４から６のいずれか１項に記載の乾式ガススクラバー。
8. 前記冷却フィンは、前記内壁と前記外壁との間で軸方向及び半径方向のうちの少なくとも一方に延びる、請求項４から７のいずれか１項に記載の乾式ガススクラバー。
9. 前記冷却フィンは、前記排出流の円周方向の流れを促進するために少なくとも１つの開口を画定する、請求項７又は８に記載の乾式ガススクラバー。
10. 隣接する開口は、前記排出流の蛇行した円周方向の流れを促進するように軸方向にオフセットされている、請求項９に記載の乾式ガススクラバー。
11. 前記粉体トラップは、複数の同心円状のフィルタを備え、好ましくは、前記同心円状のフィルタの各々は、環状プレナムによって分離されている、請求項１から１０のいずれか１項に記載の乾式ガススクラバー。
12. 内部フィルタの内面は、前記樹脂チャンバと流体連通する内部プレナムを画定する、請求項１から１１のいずれか１項に記載の乾式ガススクラバー。
13. 前記粉体トラップは、前記移送ポートから前記フィルタを通って前記内部プレナムへの前記排出流の半径方向の流れを促進するように構成されている、請求項４を引用する請求項１１又は１２に記載の乾式ガススクラバー。
14. 前記粉体トラップは、前記排出流から粉体を受け取るように構成されたサンプ空間を備える、請求項１から１３のいずれか１項に記載の乾式ガススクラバー。
15. 前記樹脂チャンバは、前記冷却器上に積み重ねられる、請求項１から１４のいずれか１項に記載の乾式ガススクラバー。