JPWO2021172082A5 - - Google Patents

Description

検出器では、第１ガス室及び第２ガス室は特定のガス成分を含むガスで満たされている。第１ガス室及び第２ガス室は連絡路によって連絡されている。検出器に入射された赤外光は第１ガス室及び第２ガス室の順に透過する。第１ガス室では、特定のガス成分が赤外光の特定の波長成分を吸収する。第１ガス室を透過した赤外光の特定の波長成分は、第２ガス室に入っているガスの特定のガス成分によって吸収される。赤外光が吸収された場合、第１ガス室及び第２ガス室に入っているガスは膨張する。赤外光の吸収量が大きい程、ガスは大きく膨張する。

検出器５，６それぞれはニューマチック型の検出器である。ニューマチック型の検出器は、赤外線の強度を検出する熱型の検出器である。ニューマチック検出器には、特定のガス成分を含むガスが封入されている。ガスが赤外線を吸収した場合、ガスは膨張し、ガスの圧力が変化する。ニューマチック型の検出器は、この圧力変化を検出し、検出結果を、赤外線の強度を示す信号として出力する。圧力変化は、ニューマチック型の検出器内に配置されたコンデンサマイクロホンの電気容量の変化、又は、ニューマチック型の検出器内を流れるガスの流量の変化で表される。検出器５，６それぞれは、ガスの流量に基づいて赤外線の強度を検出する検出器である。

第１ガス室６４及び第２ガス室６５は、特定のガス成分を含むガスで満たされている。ブロック６０の側壁には、第１ガス室６４及び第２ガス室６５を連絡する連絡路６０ａが設けられている。連絡路６０ａの中途には、連絡路６０ａを流れるガスの流量を検出するフローセンサ６６が配置されている。フローセンサ６６の構成及び作用は、検出器５のフローセンサ５６の構成及び作用と同様である。ガスはブロック６０内に密封されている。

増幅器７０ａは、第１強度信号及び第２強度信号の振幅を増幅し、振幅を増幅したアナログの第１強度信号及び第２強度信号をＡ／Ｄ変換部７０ｃに出力する。Ａ／Ｄ変換部７０ｃは、アナログの第１強度信号をデジタルの第１強度信号に変換するとともに、アナログの第２強度信号をデジタルの第２強度信号に変換する。制御部７０ｇは、Ａ／Ｄ変換部７０ｃから第１強度信号及び第２強度信号を読み出す。実施の形態３においては、濃度算出部７０は、増幅器７０ｂ及びＡ／Ｄ変換部７０ｄを有していなくてもよい。