JPWO2021167408A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. ＲＦ電力を受信することによってチャンバーにプラズマを誘導するアンテナ構造体において、
   仮想の中心軸に垂直な第１平面上で前記中心軸を基準に第１曲率半径を有するように配置された第１アンテナと、
   前記第１平面上で前記中心軸を基準に第２曲率半径を有するように配置された第２アンテナと、
   前記第１曲率半径を有する第１ターンと前記第２曲率半径を有する第２ターンとを直列接続するターン間キャパシタと、を備え、
   前記第１アンテナは、前記第１アンテナが前記第１ターンを形成するように、前記第１曲率半径を有する第１アンテナセグメントと、前記第１曲率半径を有する第２アンテナセグメントとを含み、
   前記第１アンテナセグメントは第１端部を備え、前記第２アンテナセグメントは第２端部を備え、
   前記第２曲率半径は前記第１曲率半径よりも大きく、
   前記第２アンテナは、前記第２アンテナが前記第２ターンを形成するように、前記第２曲率半径を有する第３アンテナセグメントと、前記第２曲率半径を有する第４アンテナセグメントとを含み、
   前記第３アンテナセグメントは第３端部を備え、前記第４アンテナセグメントは第４端部を備え、
   前記第１アンテナセグメントは前記第２アンテナセグメントに直列接続され、前記第３アンテナセグメントは前記第４アンテナセグメントに直列接続され、
   前記第２アンテナセグメントは、前記第１アンテナセグメントと前記第３アンテナセグメントとの間に電気的に介在され、
   前記第２アンテナセグメントの前記第２端部と前記第３アンテナセグメントの前記第３端部との間にある前記ターン間キャパシタは、前記第１曲率半径を有する前記第１ターンが、前記ターン間キャパシタを介して前記第２曲率半径を有する前記第２ターンに直列接続されるように、前記第１端部と前記第２端部とを直列接続するように構成される、アンテナ構造体。
2. 前記第１アンテナセグメント乃至前記第４アンテナセグメントは同じインダクタンスを有する、請求項１に記載のアンテナ構造体。
3. 前記第１および第２アンテナセグメントを電気的に直列接続する第１キャパシタと、
   前記第３および第４アンテナセグメントを電気的に直列接続する第２キャパシタと、を備える、請求項１に記載のアンテナ構造体。
4. 前記第１アンテナセグメントを円弧とする扇形の中心角は、前記第３アンテナセグメントを円弧とする扇形の中心角と等しい、請求項３に記載のアンテナ構造体。
5. 前記第１および第２キャパシタとターン間キャパシタは、同一の静電容量を有する、請求項３に記載のアンテナ構造体。
6. 仮想の中心軸に垂直な前記第１平面と異なる第２平面上で前記中心軸を基準に前記第１曲率半径を有するように配置された第３アンテナと、
   前記第３アンテナは、前記第１曲率半径を有する第５アンテナセグメントと、前記第１曲率半径を有する第６アンテナセグメントとを含み、
   前記第３アンテナは、前記第５および第６アンテナセグメントを電気的に直列接続する第３キャパシタをさらに含む、請求項１に記載のアンテナ構造体。
7. 前記第２アンテナおよび前記第３アンテナを電気的に直列接続する第１層間キャパシタをさらに備える、請求項６に記載のアンテナ構造体。
8. 前記第１アンテナセグメントは前記第１端部とは異なる第５端部を有し、前記第１アンテナセグメントの前記第５端部は前記第１キャパシタの一端と電気的に接続され、
   前記第２アンテナセグメントは前記第２端部とは異なる第６端部を有し、前記第２アンテナセグメントの前記第６端部は前記第１キャパシタの他端と電気的に接続される、請求項３に記載のアンテナ構造体。
9. 前記アンテナ構造体に交流電源が印加されるとき、基準ノードに対する第１アンテナセグメントの前記第５端部の最大電圧は、前記基準ノードに対する第２アンテナセグメントの前記第２端部の最大電圧に対応する、請求項８に記載のアンテナ構造体。
10. 前記アンテナ構造体に交流電源が印加されるとき、前記第２アンテナセグメントの前記第６端部から前記第２アンテナセグメントの前記第２端部までの電圧は、前記第１アンテナセグメントの前記第１端部から前記第１アンテナセグメントの前記第５端部までの電圧に対応する、請求項８に記載のアンテナ構造体。
11. 前記アンテナ構造体に交流電源が印加されるとき、基準ノードに対する前記第１アンテナセグメントの前記第５端部の最大電圧の大きさは、前記基準ノードに対する前記第２アンテナセグメントの前記第６端部の最大電圧の大きさに対応する、請求項８に記載のアンテナ構造体。
12. 前記アンテナ構造体に交流電源が印加された後の任意の時点で、基準ノードに対する前記第１アンテナセグメントの前記第５端部の電圧と前記基準ノードに対する前記第２アンテナセグメントの前記第６端部の電圧とは互いに逆符号を有する、請求項８に記載のアンテナ構造体。
13. 前記第１アンテナセグメントの前記第１端部と前記第５端部との間に位置する第１点と、
    前記第２アンテナセグメントの前記第２端部と前記第６端部との間に位置する第２点と、を含み、
    前記アンテナ構造体に交流電源が印加されるとき、基準ノードに対する前記第１点の最大電圧は、前記基準ノードに対する前記第２点の最大電圧に対応する、請求項８に記載のアンテナ構造体。
14. 前記アンテナ構造体に交流電源が印加された後の任意の時点で、基準ノードに対する前記第１アンテナセグメントの前記第５端部の電圧と前記基準ノードに対する前記第２アンテナセグメントの前記第２端部の電圧とは互いに対応する、請求項８に記載のアンテナ構造体。
15. 前記アンテナ構造体は、上部または下部にプラズマを誘導する平板状および中心部にプラズマを誘導するチューブ状のうちの少なくとも一方で構成される、請求項１に記載のアンテナ構造体。