JPWO2021142400A5 - - Google Patents

Claims (31)

1. １つ以上のインライン試料分析ツールに通信可能に結合される制御器を備える、検査システムであって、前記制御器は、１つ以上のプロセッサを含み、前記１つ以上のプロセッサは、
   前記１つ以上のインライン試料分析ツールのうちの少なくとも１つから受信されるデータに基づいて、ダイの群内の欠陥を識別すること、
   重み付き欠陥モデルを使用して前記識別された欠陥に重みを割り当てることであって、前記重み付き欠陥モデルは、前記ダイの信頼性に対する前記識別された欠陥の予測される影響を示す重みを、前記識別された欠陥に割り当てる、割り当てること、
   前記群内のそれぞれのダイにおける前記重み付き欠陥を集めることによって、前記群内の前記ダイのための欠陥スコアを生成すること、および
   前記群内の前記ダイのための前記欠陥スコアに基づいて外れ値ダイのセットを決定することであって、前記外れ値ダイのセットの少なくともいくつかは、前記群から分離される、決定することを、前記１つ以上のプロセッサに行わせるプログラム命令を実行するように構成される、検査システム。
2. 請求項１に記載の検査システムであって、前記１つ以上のインライン試料分析ツールは、
   検査ツールまたは計測ツールのうちの少なくとも一方を備える、検査システム。
3. 請求項１に記載の検査システムであって、前記外れ値ダイのセットのうちの少なくともいくつかを前記群から分離することは、
   前記分離されたダイを流通サプライから除去することを含む、検査システム。
4. 請求項１に記載の検査システムであって、前記外れ値ダイのセットのうちの少なくともいくつかを前記群から分離することは、
   前記分離されたダイを１つ以上の性能試験の対象とすることを含む、検査システム。
5. 請求項１に記載の検査システムであって、前記外れ値ダイのセットのうちの少なくともいくつかを前記群から分離することは、
   前記外れ値ダイのセットの少なくとも前記欠陥スコアをレビューのためにユーザに提供することを含む、検査システム。
6. 請求項５に記載の検査システムであって、前記外れ値ダイのうちの少なくともいくつかを前記群から分離することは、
   前記群の残部の前記欠陥スコアをレビューのために前記ユーザに提供することをさらに含む、検査システム。
7. 請求項１に記載の検査システムであって、前記群は、
   試料内のダイ、ロット内の複数の試料内のダイ、または複数のロット内の試料内のダイのうちの少なくとも１つを含む、検査システム。
8. 請求項１に記載の検査システムであって、重み付き欠陥モデルを使用して、前記識別された欠陥に重みを割り当てることは、
   前記識別された欠陥の１つ以上の測定された特性に基づいて、重み付き欠陥モデルを使用して、前記識別された欠陥に重みを割り当てることを含む、検査システム。
9. 請求項８に記載の検査システムであって、前記識別された欠陥の前記１つ以上の測定された特性は、
   設計仕様からの逸脱、欠陥タイプ、欠陥クラス、または欠陥深刻度のうちの少なくとも１つを含む、検査システム。
10. 請求項１に記載の検査システムであって、重み付き欠陥モデルを使用して前記識別された欠陥に重みを割り当てることは、
    特定の欠陥と１つ以上の追加の識別された欠陥との間の関係性に基づいて、重み付き欠陥モデルを使用して、前記識別された欠陥に重みを割り当てることを含む、検査システム。
11. 請求項１０に記載の検査システムであって、前記特定の欠陥と１つ以上の追加の識別された欠陥との間の前記関係性は、
    特定の層における欠陥密度、複数の層にわたる特定の場所における欠陥密度、または空間的欠陥パターンのうちの少なくとも１つを含む、検査システム。
12. 請求項１に記載の検査システムであって、重み付き欠陥モデルを使用して前記識別された欠陥に重みを割り当てることは、
    前記識別された欠陥の周囲の１つ以上の層の測定された特性に基づいて、重み付き欠陥モデルを使用して、前記識別された欠陥に重みを割り当てることを含む、検査システム。
13. 請求項１２に記載の検査システムであって、前記識別された欠陥の周囲の１つ以上の層の前記測定された特性は、
    前記識別された欠陥の周囲の１つ以上のパターン化された特徴部の層厚、層組成、層平坦性、層地形、層抵抗性、局部的な応力測定値、または臨界寸法測定値のうちの少なくとも１つを含む、検査システム。
14. 請求項１に記載の検査システムであって、重み付き欠陥モデルを使用して前記識別された欠陥に重みを割り当てることは、
    １つ以上の規定の保護領域内の場所に基づいて、重み付き欠陥モデルを使用して、前記識別された欠陥に重みを割り当てることを含む、検査システム。
15. 請求項１４に記載の検査システムであって、前記１つ以上の保護領域のうちの少なくとも１つは、
    電気的試験ツールによって試験されない１つ以上のテストエスケープ領域を含み、前記重み付き欠陥モデルは、前記１つ以上のテストエスケープ領域内の欠陥の識別を促進するために、前記１つ以上のテストエスケープ領域内の欠陥に比較的高い重みを割り当てる、検査システム。
16. 請求項１に記載の検査システムであって、重み付き欠陥モデルを使用して前記識別された欠陥に重みを割り当てることは、
    欠陥属性のライブラリまたは機械学習技術のうちの少なくとも一方による信頼性問題のグランドトゥルース表示に基づいて、重み付き欠陥モデルを使用して、前記識別された欠陥に重みを割り当てることを含む、検査システム。
17. 請求項１に記載の検査システムであって、重み付き欠陥モデルを使用して前記識別された欠陥に重みを割り当てることは、
    前記識別された欠陥を選択された数の重み付きクラスへと分類することを含む、検査システム。
18. 請求項１７に記載の検査システムであって、前記選択された数の重み付きクラスは、３つの重み付きクラスを含む、検査システム。
19. 請求項１７に記載の検査システムであって、前記重み付きクラスのうちの少なくとも１つは、即時故障または初期故障のうちの少なくとも一方を引き起こすことが予測されるキラー欠陥を含む、検査システム。
20. 請求項１７に記載の検査システムであって、前記重み付きクラスのうちの少なくとも１つは、ゼロに重み付けされるニューサンス欠陥を含む、検査システム。
21. 請求項１に記載の検査システムであって、前記群内の前記ダイのための前記欠陥スコアに基づいて外れ値ダイのセットを決定することは、
    前記欠陥スコアに基づいて前記群内の前記ダイをソートすること、および
    前記ソートされた欠陥スコアに基づいて前記外れ値ダイのセットを前記群の残部から区別する前記欠陥スコアの切り捨て値を決定することを含む、検査システム。
22. 請求項２１に記載の検査システムであって、前記ソートされたダイに基づいて前記外れ値ダイのセットを前記群の残部から区別する前記欠陥スコアの切り捨て値を決定することは、
    前記ソートされた欠陥スコアをプロットする外れ値グラフを生成すること、および
    前記外れ値グラフに基づいて前記外れ値ダイのセットを前記群の残部から区別する前記欠陥スコアの切り捨て値を決定することを含む、検査システム。
23. 請求項１に記載の検査システムであって、前記群内の前記ダイのための前記欠陥スコアに基づいて外れ値ダイのセットを決定することは、
    選択された閾値を上回る欠陥スコアを有する前記群内のダイを前記外れ値ダイのセットへと分類することを含む、検査システム。
24. 請求項２３に記載の検査システムであって、前記群内の前記ダイのための前記欠陥スコアに基づいて外れ値ダイのセットを決定することは、
    上限に基づいて前記外れ値ダイのセット内のダイの数を制限することをさらに含み、前記上限は、経済的な制限または歩留り制限のうちの少なくとも一方に基づいて決定される、検査システム。
25. 請求項１に記載の検査システムであって、前記群内の前記ダイのための前記欠陥スコアに基づいて外れ値ダイのセットを決定することは、
    ダイの訓練群に基づいて全体的欠陥限界を規定すること、および
    前記全体的欠陥限界を上回る欠陥スコアを有する前記群内のダイを前記外れ値ダイのセットへと分類することを含む、検査システム。
26. 請求項２５に記載の検査システムであって、
    前記全体的欠陥限界に合格するダイの群に基づいて動的な欠陥限界を規定すること、および
    前記動的な欠陥限界を上回る欠陥スコアを有する前記群内のダイを前記外れ値ダイのセットへとさらに分類することをさらに含む、検査システム。
27. 請求項１に記載の検査システムであって、前記群内の前記ダイのための前記欠陥スコアに基づいて外れ値ダイのセットを決定することは、
    前記群の試料内の前記ダイと関連付けられた前記重み付き欠陥または前記欠陥スコアのうちの少なくとも一方を含むダイマップを生成すること、
    前記試料内の前記ダイと関連付けられた前記重み付き欠陥または前記欠陥スコアのうちの少なくとも一方に基づいて前記試料上の１つ以上の空間的欠陥特徴を識別すること、および
    前記外れ値ダイのセットにおいて前記１つ以上の空間的欠陥特徴内の欠陥を分類することを含む、検査システム。
28. 請求項２７に記載の検査システムであって、前記ダイマップは、電気的試験で不合格になる不合格ダイをさらに含み、前記試料上の１つ以上の空間的欠陥特徴を識別することは、
    前記不合格ダイに少なくとも部分的に基づいて前記試料上の１つ以上の空間的欠陥特徴を識別することを含む、検査システム。
29. 請求項１に記載の検査システムであって、前記群は、
    電気的試験に合格するダイを含む、検査システム。
30. 請求項１に記載の検査システムであって、前記システムは、
    １つ以上の試料分析ツールのうちの少なくとも１つをさらに備える、検査システム。
31. １つ以上のインライン試料分析ツールから受信される検査データに基づいてダイの群内の欠陥を識別すること、
    重み付き欠陥モデルを使用して、前記識別された欠陥に重みを割り当てることであって、前記重み付き欠陥モデルは、前記ダイの信頼性に対する前記識別された欠陥の予測される影響を示す重みを、前記識別された欠陥に割り当てる、割り当てること、
    前記群内のそれぞれのダイ内の前記重み付き欠陥を集めることによって、前記群内の前記ダイのための欠陥スコアを生成すること、および
    前記群内の前記ダイのための前記欠陥スコアに基づいて外れ値ダイのセットを決定することであって、前記外れ値ダイのセットの少なくともいくつかは、前記群から分離される、決定することを含む、検査方法。