JPWO2021095586A5 - - Google Patents

Description

なお、厚み測定部１２０、１３０を用いた第１のウェハＷの厚み測定においては、第１のウェハＷの径方向における複数の測定点において、第１のウェハＷの厚みを測定する。また径方向における各測定点においては、重合ウェハＴを回転させながら、第１のウェハＷの厚みを周方向に複数点で測定する。そして、周方向の複数点において測定された厚みの移動平均値又は移動中央値を算出し、算出された値を径方向の測定点における第１のウェハＷの厚みとして用いることができる。

その後、すべての処理が施された重合ウェハＴは、ウェハ搬送装置２２の搬送フォーク２３によってカセット載置台１０のカセットＣｔに搬送される。そして、カセットＣｔ内のすべての重合ウェハＴに対しての処理が終了すると、加工装置１における一連の加工処理が終了する。なお加工装置１においては、重合ウェハＴの加工処理が枚葉に、すなわち、一の重合ウェハＴの加工処理が完了した後に他の重合ウェハＴの加工処理を開始するようにしてもよいし、複数の重合ウェハＴに対する処理が連続的に、すなわち、加工装置１において複数枚の重合ウェハＴの処理が同時に行われるようにしてもよい。

また、制御部１４０では、上記実施形態と同様に、第２のウェハＳ１の厚みＨ１ｃの分布に基づいて、仕上研削におけるチャック３１の傾きを決定し、仕上研削における第１のウェハＷ１の研削量を決定する。また、仕上研削における第１のウェハＷ１の研削量は、第２のウェハＳ１の厚みＨ１ｃの分布に基づいて、例えば傾き調整部３３により仕上研削砥石に対するチャック３１の相対的な傾きを調整し、第１のウェハＷ１に当接する仕上研削砥石の面積を調整することにより調整される。

次に、図９（ｂ）に示すように仕上研削ユニット１００で第１のウェハＷ１の裏面Ｗ１ｂを仕上研削する。この際、傾き調整部３３によりチャック３１の傾きを調整し、当該チャック３１に重合ウェハＴ１が保持された状態で、制御部１４０で決定された第１のウェハＷ１の研削量に基づいて、裏面Ｗ１ｂを仕上研削する。仕上研削後、厚み測定部１３０によって第１のウェハＷ１の複数点の厚みＨ１ｄを測定し、厚みＨ１ｄの分布を測定する。この厚み測定部１３０の測定結果は、制御部１４０に出力される。

重合ウェハＴ２の処理においては、粗研削ユニット８０で第１のウェハＷ２の裏面Ｗ２ｂを粗研削した後、図９（ｃ）に示すように中研削ユニット９０で裏面Ｗ２ｂを中研削する。中研削後、総厚測定部１１０によって重合ウェハＴ２の複数点の総厚Ｈ２ａを測定し、総厚Ｈ２ａの分布を測定する。また中研削後、厚み測定部１２０によって第１のウェハＷ２の複数点の厚みＨ２ｂを測定し、厚みＨ２ｂの分布を測定する。これら総厚測定部１１０の測定結果と厚み測定部１２０の測定結果はそれぞれ、制御部１４０に出力される。制御部１４０では、上記式（１）を用いて第２のウェハＳ２の厚みＨ２ｃを算出し、第２のウェハＳ２の厚みＨ２ｃの分布を算出する。

次に、図９（ｄ）に示すように仕上研削ユニット１００で第１のウェハＷ２の裏面Ｗ２ｂを仕上研削する。この際、傾き調整部３３によりチャック３１の傾きを調整し、当該チャック３１に重合ウェハＴ２が保持された状態で、制御部１４０で決定された第１のウェハＷ２の研削量に基づいて、裏面Ｗ２ｂを仕上研削する。こうして、第１のウェハＷ２が面内で均一な厚みＨ２ｄに研削される。

以上の実施形態においても、上記実施形態と同様の効果を享受できる。すなわち、仕上研削におけるチャック３１の傾きを適切に調整して、第１のウェハＷ２が面内で均一な厚みＨ２ｄに研削され、当該第１のウェハＷ２の平坦度を向上させることができる。

また、以上の実施形態では、第１のウェハＷ１の仕上研削前後の厚み分布データを取得し、取得した厚み分布データに基づいて第１のウェハＷ１の平坦度の調節を行ったが、かかる平坦度の調節は、第１のウェハＷ１の粗研削や中研削の際に行われてもよい。すなわち、粗研削前後や中研削前後の厚み分布データを更に取得し、取得した厚み分布データに基づいて、粗研削や中研削を行う際の研削砥石に対するチャックベース３２の相対的な傾きを調節してもよい。