JPWO2020250079A5 - 金属酸化物およびトランジスタ - Google Patents

Claims (5)

1. 結晶を有する金属酸化物であって、
   前記結晶は、第１の層と、第２の層と、第３の層と、が積層された構造を有し、
   前記第１の層、前記第２の層、および前記第３の層は、それぞれ前記金属酸化物の被形成面と概略平行であり、
   前記第１の層は、第１の金属と、酸素と、を有し、
   前記第２の層は、第２の金属と、酸素と、を有し、
   前記第３の層は、第３の金属と、酸素と、を有し、
   前記第２の層は、前記第３の金属を有さず、
   前記第３の層は、前記第２の金属を有さず、
   前記第１の層は、八面体形構造を有し、
   前記第２の層は、三方両錐形構造または四面体形構造を有し、
   前記第３の層は、三方両錐形構造または四面体形構造を有し、
   前記第１の層が有する、前記八面体形構造は、中心に前記第１の金属の原子が存在し、頂点に酸素の原子が存在し、
   前記第２の層が有する、前記三方両錐形構造または前記四面体形構造は、中心に前記第２の金属の原子が存在し、頂点に酸素の原子が存在し、
   前記第３の層が有する、前記三方両錐形構造または前記四面体形構造は、中心に前記第３の金属の原子が存在し、頂点に酸素の原子が存在し、
   前記第１の金属の価数は、前記第２の金属の価数と同じであり、
   前記第１の金属の価数は、前記第３の金属の価数と異なる、
   金属酸化物。
2. 結晶を有する金属酸化物であって、
   前記結晶は、第１の層と、第２の層と、第３の層と、が積層された構造を有し、
   前記第１の層、前記第２の層、および前記第３の層は、それぞれ前記金属酸化物の被形成面と概略平行であり、
   前記第１の層、前記第２の層のそれぞれは、第１の金属と、第２の金属と、酸素と、を有し、
   前記第３の層は、第３の金属と、酸素と、を有し、
   前記第２の層は、前記第３の金属を有さず、
   前記第３の層は、前記第２の金属を有さず、
   前記第１の層は、八面体形構造を有し、
   前記第２の層は、三方両錐形構造または四面体形構造を有し、
   前記第３の層は、三方両錐形構造または四面体形構造を有し、
   前記第１の層が有する、前記八面体形構造は、中心に前記第１の金属または前記第２の金属の原子が存在し、頂点に酸素の原子が存在し、
   前記第２の層が有する、前記三方両錐形構造または前記四面体形構造は、中心に前記第１の金属の原子または前記第２の金属の原子が存在し、頂点に酸素の原子が存在し、
   前記第３の層が有する、前記三方両錐形構造または前記四面体形構造は、中心に前記第３の金属の原子が存在し、頂点に酸素の原子が存在し、
   前記第１の金属の価数は、前記第２の金属の価数と同じであり、
   前記第１の金属の価数は、前記第３の金属の価数と異なる、
   金属酸化物。
3. 請求項１または請求項２において、
   前記結晶は、ＹｂＦｅ_２Ｏ_４型構造、または、Ｙｂ_２Ｆｅ_３Ｏ_７型構造を有する、
   金属酸化物。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
   前記第１の金属は、インジウムであり、
   前記第２の金属は、ガリウムであり、
   前記第３の金属は、亜鉛である、
   金属酸化物。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一に記載の金属酸化物を、チャネル形成領域に有する、
   トランジスタ。