JPWO2020185415A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 入口ポート、
   出口ポート、
   前記入口ポート又は前記出口ポートのうちの一方に近接した弁座、
   前記弁座に対して配置されたダイヤフラムであって、前記入口ポートと前記出口ポートとの間の流体経路を可能にするために前記ダイヤフラムが前記弁座から間隔を空けられる開状態と、前記流体経路を遮断するために前記ダイヤフラムが前記弁座上に着座する閉状態とを有するダイヤフラム、
   前記ダイヤフラムに結合され、開位置と閉位置との間で移行するように構成された往復運動可能部材であって、前記開位置は前記ダイヤフラムを前記開状態に移動させ、前記閉位置は前記ダイヤフラムを前記閉状態に移動させる、往復運動可能部材、及び
   前記ダイヤフラムと前記往復運動可能部材との間に結合された結合部材
   を備え、前記結合部材は、第１の端部と前記第１の端部の反対側の第２の端部とを有し、前記第１の端部は前記ダイヤフラムに結合され、前記第２の端部は、前記往復運動可能部材又は前記ダイヤフラムの少なくとも一つに対して前記結合部材の変位を提供する接続を介して前記往復運動可能部材に結合され、前記結合部材の前記第２の端部は、ループ部材と前記ループ部材を通って延在するピンとを含む、ダイヤフラム弁。
2. 前記結合部材は、前記往復運動可能部材が前記開位置にあるときに、前記ダイヤフラムを前記開状態に引っ張り、前記ダイヤフラムを前記弁座から所定の最小距離に維持するように構成される、請求項１に記載のダイヤフラム弁。
3. 前記第２の端部は、前記往復運動可能部材に対する前記結合部材のクリアランスギャップを提供する、請求項１に記載のダイヤフラム弁。
4. 前記ダイヤフラム及び前記結合部材は、同じ材料から形成される、請求項１に記載のダイヤフラム弁。
5. 前記ダイヤフラムは、Co-Cr-Ni合金で構成される、請求項１に記載のダイヤフラム弁。
6. 前記往復運動可能部材が前記開位置にある間、前記結合部材は前記ダイヤフラムを前記開状態に維持するように構成され、前記往復運動可能部材が前記閉位置にあるときに、前記結合部材は前記往復運動可能部材に対するクリアランスギャップを有する、請求項１に記載のダイヤフラム弁。
7. 前記ダイヤフラムと前記往復運動可能部材との間に配置されたインサートを更に備え、前記インサートは、前記往復運動可能部材が前記閉位置にあるときに、前記ダイヤフラムを前記弁座に対して押し付けるように構成される、請求項１に記載のダイヤフラム弁。
8. 前記往復運動可能部材を前記閉位置に付勢するように構成されたバネを更に備える、請求項１に記載のダイヤフラム弁。
9. 前記往復運動可能部材を通ってチャンバまで延在する流体チャネルを更に備え、前記チャンバ内の正の流体圧力が、前記往復運動可能部材を前記開位置に押圧する、請求項１に記載のダイヤフラム弁。
10. 前記結合部材は、１．０ミリトルと５００トルとの間の範囲内の減圧条件下で、前記ダイヤフラムと前記弁座との間の最小距離を維持する、請求項１に記載のダイヤフラム弁。
11. 前記結合部材は、２０℃と５００℃との間の温度条件下で、前記ダイヤフラムと前記弁座との間の最短距離を維持する、請求項１に記載のダイヤフラム弁。
12. 入口ポート、
    出口ポート、
    前記入口ポート又は前記出口ポートのうちの一方に近接した弁座、
    前記弁座に対して配置されたダイヤフラムであって、前記入口ポートと前記出口ポートとの間の流体経路を可能にするために前記ダイヤフラムが前記弁座から間隔を空けられる開状態と、前記流体経路を遮断するために前記ダイヤフラムが前記弁座上に着座する閉状態とを有するダイヤフラム、
    前記ダイヤフラムに結合され、開位置と閉位置との間で移行するように構成された往復運動可能部材であって、前記開位置は前記ダイヤフラムを前記開状態に移動させ、前記閉位置は前記ダイヤフラムを前記閉状態に移動させる、往復運動可能部材、
    前記ダイヤフラムと前記往復運動可能部材との間に結合された結合部材、及び
    前記往復運動可能部材と前記ダイヤフラムとの間に位置付けられたインサートであって、前記結合部材が通過するチャネルを有するインサート
    を備える、ダイヤフラム弁。
13. 入口ポート、
    出口ポート、
    前記入口ポート又は前記出口ポートのうちの一方に近接した弁座、
    前記弁座に対して配置されたダイヤフラムであって、前記入口ポートと前記出口ポートとの間の流体経路を可能にするために前記ダイヤフラムが前記弁座から間隔を空けられる開状態と、前記流体経路を遮断するために前記ダイヤフラムが前記弁座上に着座する閉状態とを有するダイヤフラム、
    前記ダイヤフラムに結合され、開位置と閉位置との間で移行するように構成された往復運動可能部材であって、前記開位置は前記ダイヤフラムを前記開状態に移動させ、前記閉位置は前記ダイヤフラムを前記閉状態に移動させ、当該往復運動可能部材はピストンを備える、往復運動可能部材、及び
    前記ダイヤフラムと前記往復運動可能部材との間に結合された結合部材
    を備え、前記結合部材は、第１の端部と前記第１の端部の反対側の第２の端部とを有し、前記第１の端部は前記ダイヤフラムに結合され、前記第２の端部は、前記往復運動可能部材又は前記ダイヤフラムの少なくとも一つに対して前記結合部材の変位を提供する接続を介して前記往復運動可能部材に結合され、前記結合部材の前記第２の端部は、ループ部材と前記ループ部材を通って延在するピンとを含む、ダイヤフラム弁。
14. 前記往復運動可能部材が前記開位置にある間、前記結合部材は前記ダイヤフラムを前記開状態に維持するように構成され、前記往復運動可能部材が前記閉位置にあるときに、前記結合部材は前記往復運動可能部材に対するクリアランスギャップを有する、請求項１３に記載のダイヤフラム弁。
15. 前記往復運動可能部材を通ってチャンバまで延在する流体チャネルを更に備え、前記チャンバ内の正の流体圧力が、前記往復運動可能部材を前記開位置に押圧する、請求項１３に記載のダイヤフラム弁。