JPWO2020109923A1 - 半導体装置、および半導体装置の作製方法 - Google Patents

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Abstract

信頼性が良好な半導体装置を提供する。第１の導電体、および第２の導電体は第１の酸化物上に接して設けられ、第１の絶縁体は、第１の酸化物、第１の導電体、および第２の導電体を覆って設けられ、第１の絶縁体は、開口部を有し、開口部の底面には、第１の酸化物が露出し、開口部の側面には、第１の導電体の側面、および第２の導電体の側面が露出し、開口部内に、第２の酸化物は、第１の酸化物、第１の導電体の側面、および第２の導電体に接して設けられ、開口部内に、第２の絶縁体は、第２の酸化物を介して設けられ、開口部内に、第３の導電体は、第２の絶縁体を介して設けられ、第１の導電体の側面、および第２の導電体の側面の下端部は、第１の酸化物よりも上方に中心を有する楕円または円に接する。

Description

本発明の一態様は、半導体装置、および半導体装置の作製方法に関する。また、本発明の一態様は、半導体ウエハ、モジュール、および電子機器に関する。
なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能し得る装置全般を指す。トランジスタなどの半導体素子をはじめ、半導体回路、演算装置、記憶装置は、半導体装置の一態様である。表示装置（液晶表示装置、発光表示装置など）、投影装置、照明装置、電気光学装置、蓄電装置、記憶装置、半導体回路、撮像装置、電子機器などは、半導体装置を有すると言える場合がある。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の一態様は、物、方法、または、製造方法に関するものである。また、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物（コンポジション・オブ・マター）に関するものである。
絶縁表面を有する基板上に形成された半導体薄膜を用いてトランジスタを構成する技術が注目されている。当該トランジスタは集積回路（ＩＣ）や画像表示装置（単に表示装置とも表記する。）のような電子デバイスに広く応用されている。トランジスタに適用可能な半導体薄膜としてシリコン系半導体材料が広く知られているが、その他の材料として酸化物半導体が注目されている。
酸化物半導体において、単結晶でも非晶質でもない、ＣＡＡＣ（ｃ−ａｘｉｓ ａｌｉｇｎｅｄ ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ）構造およびｎｃ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ）構造が見出されている（非特許文献１及び非特許文献２参照）。
非特許文献１および非特許文献２では、ＣＡＡＣ構造を有する酸化物半導体を用いてトランジスタを作製する技術が開示されている。
Ｓ．Ｙａｍａｚａｋｉ ｅｔ ａｌ．，"ＳＩＤ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ Ｄｉｇｅｓｔ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｐａｐｅｒｓ"，２０１２，ｖｏｌｕｍｅ ４３，ｉｓｓｕｅ １，ｐ．１８３−１８６ Ｓ．Ｙａｍａｚａｋｉ ｅｔ ａｌ．，"Ｊａｐａｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ"，２０１４，ｖｏｌｕｍｅ ５３，Ｎｕｍｂｅｒ ４Ｓ，ｐ．０４ＥＤ１８−１−０４ＥＤ１８−１０
本発明の一態様は、信頼性が良好な半導体装置を提供することを課題の一つとする。また、本発明の一態様は、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することを課題の一つとする。また、本発明の一態様は、オン電流が大きい半導体装置を提供することを課題の一つとする。また、本発明の一態様は、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することを課題の一つとする。また、本発明の一態様は、低消費電力の半導体装置を提供することを課題の一つとする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一態様は、第１の酸化物、第２の酸化物、第１の導電体、第２の導電体、第３の導電体、第１の絶縁体、第２の絶縁体、を有する半導体装置において、第１の導電体、および第２の導電体は第１の酸化物上に接して設けられ、第１の絶縁体は、第１の酸化物、第１の導電体、および第２の導電体を覆って設けられ、第１の絶縁体は、開口部を有し、開口部の底面には、第１の酸化物が露出し、開口部の側面には、第１の導電体の側面、および第２の導電体の側面が露出し、開口部内に、第２の酸化物は、第１の酸化物、第１の導電体の側面、および第２の導電体に接して設けられ、開口部内に、第２の絶縁体は、第２の酸化物を介して設けられ、開口部内に、第３の導電体は、第２の絶縁体を介して設けられ、第１の導電体の側面、および第２の導電体の側面の下端部は、第１の酸化物よりも上方に中心を有する楕円または円に接する。
本発明の一態様は、第１の酸化物、第２の酸化物、第１の導電体、第２の導電体、第３の導電体、第１の絶縁体、第２の絶縁体、を有する半導体装置において、第１の導電体、および第２の導電体は第１の酸化物上に接して設けられ、第１の絶縁体は、第１の酸化物、第１の導電体、および第２の導電体を覆って設けられ、第１の絶縁体は、開口部を有し、開口部の底面には、第１の酸化物が露出し、開口部の側面には、第１の導電体の側面、および第２の導電体の側面が露出し、開口部内に、第２の酸化物は、第１の酸化物、第１の導電体の側面、および第２の導電体に接して設けられ、開口部内に、第２の絶縁体は、第２の酸化物を介して設けられ、開口部内に、第３の導電体は、第２の絶縁体を介して設けられ、第１の導電体の側面、および第２の導電体の側面の下端部は、第１の酸化物よりも上方に曲率中心を有する円弧状の側面を有し、曲率中心から第１の酸化物に対する垂線の長さは、円弧の曲率半径と概略等しい。
上記において、円弧状の側面の終端部を接点とした接平面と、第１の酸化物の上面と、がなす２面角は、０°＜θ≦９０°である。
上記において、第１の導電体の側面の上端部、および第２の導電体の側面の上端部は、円弧状の側面の終端部を接点とした接平面と、概略一致する。
上記において、曲率半径は、第２の酸化物の膜厚と、第第２の絶縁体の膜厚との合計膜厚以上である。
上記において、第３の導電体の底面と第３の導電体の側面とがなす辺と、曲率中心との水平距離Ｌが０以下である。
上記において、第２の酸化物は、第２の絶縁体よりも、酸素に対するバリア性が高い。
上記において、第１の酸化物は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物である。
上記において、第２の酸化物は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物である。
本発明の一態様により、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、オン電流が大きい半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、低消費電力の半導体装置を提供することができる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
図１Ａ、図１Ｂは本発明の一態様に係る半導体装置の断面図である。
図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃは本発明の一態様に係る半導体装置の断面図である。
図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃは本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図である。
図４Ａ、図４Ｂ、図４Ｃは本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図である。
図５は本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図である。
図６は本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図である。
図７は本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図である。
図８Ａ、図８Ｂは本発明の一態様に係る記憶装置の構成例を示すブロック図および斜視図である。
図９Ａ、図９Ｂ、図９Ｃ、図９Ｄ、図９Ｅ、図９Ｆ、図９Ｇ、図９Ｈは本発明の一態様に係る記憶装置の構成例を示す回路図である。
図１０Ａ、図１０Ｂは本発明の一態様に係る半導体装置の模式図である。
図１１Ａ、図１１Ｂ、図１１Ｃ、図１１Ｄ、図１１Ｅは本発明の一態様に係る記憶装置の模式図である。
図１２Ａ、図１２Ｂ、図１２Ｃ、図１２Ｄ、図１２Ｅ、図１２Ｆ、図１２Ｇ、図１２Ｈは本発明の一態様に係る電子機器を示す図である。
図１３は実施例に係る導電体の側端部の酸化膜厚を説明する図である。
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
また、図面において、大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお、図面は、理想的な例を模式的に示したものであり、図面に示す形状または値などに限定されない。例えば、実際の製造工程において、エッチングなどの処理により層やレジストマスクなどが意図せずに目減りすることがあるが、理解を容易とするため、図に反映しないことがある。また、図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
また、特に上面図（「平面図」ともいう。）や斜視図などにおいて、発明の理解を容易とするため、一部の構成要素の記載を省略する場合がある。また、一部の隠れ線などの記載を省略する場合がある。
また、本明細書等において、第１、第２等として付される序数詞は便宜上用いるものであり、工程順または積層順を示すものではない。そのため、例えば、「第１の」を「第２の」または「第３の」などと適宜置き換えて説明することができる。また、本明細書等に記載されている序数詞と、本発明の一態様を特定するために用いられる序数詞は一致しない場合がある。
また、本明細書等において、「上に」、「下に」などの配置を示す語句は、構成同士の位置関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている。また、構成同士の位置関係は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。したがって、明細書で説明した語句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
例えば、本明細書等において、ＸとＹとが接続されている、と明示的に記載されている場合は、ＸとＹとが電気的に接続されている場合と、ＸとＹとが機能的に接続されている場合と、ＸとＹとが直接的に接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする。したがって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず、図または文章に示された接続関係以外のものも、図または文章に開示されているものとする。ここで、Ｘ、Ｙは、対象物（例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など）であるとする。
また、本明細書等において、トランジスタとは、ゲートと、ドレインと、ソースとを含む少なくとも三つの端子を有する素子である。そして、ドレイン（ドレイン端子、ドレイン領域またはドレイン電極）とソース（ソース端子、ソース領域またはソース電極）の間にチャネルが形成される領域（以下、チャネル形成領域ともいう。）を有しており、チャネル形成領域を介して、ソースとドレインとの間に電流を流すことができるものである。なお、本明細書等において、チャネル形成領域とは、電流が主として流れる領域をいう。
また、ソースやドレインの機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書等においては、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができる場合がある。
なお、チャネル長とは、例えば、トランジスタの上面図において、半導体（またはトランジスタがオン状態のときに半導体の中で電流の流れる部分）とゲート電極とが互いに重なる領域、またはチャネル形成領域における、ソース（ソース領域またはソース電極）とドレイン（ドレイン領域またはドレイン電極）との間の距離をいう。なお、一つのトランジスタにおいて、チャネル長が全ての領域で同じ値をとるとは限らない。すなわち、一つのトランジスタのチャネル長は、一つの値に定まらない場合がある。そのため、本明細書では、チャネル長は、チャネル形成領域における、いずれか一の値、最大値、最小値または平均値とする。
チャネル幅とは、例えば、トランジスタの上面図において、半導体（またはトランジスタがオン状態のときに半導体の中で電流の流れる部分）とゲート電極とが互いに重なる領域、またはチャネル形成領域における、チャネル長方向を基準として垂直方向のチャネル形成領域の長さをいう。なお、一つのトランジスタにおいて、チャネル幅がすべての領域で同じ値をとるとは限らない。すなわち、一つのトランジスタのチャネル幅は、一つの値に定まらない場合がある。そのため、本明細書では、チャネル幅は、チャネル形成領域における、いずれか一の値、最大値、最小値または平均値とする。
なお、本明細書等において、トランジスタの構造によっては、実際にチャネルの形成される領域におけるチャネル幅（以下、「実効的なチャネル幅」ともいう。）と、トランジスタの上面図において示されるチャネル幅（以下、「見かけ上のチャネル幅」ともいう。）と、が異なる場合がある。例えば、ゲート電極が半導体の側面を覆う場合、実効的なチャネル幅が、見かけ上のチャネル幅よりも大きくなり、その影響が無視できなくなる場合がある。例えば、微細かつゲート電極が半導体の側面を覆うトランジスタでは、半導体の側面に形成されるチャネル形成領域の割合が大きくなる場合がある。その場合は、見かけ上のチャネル幅よりも、実効的なチャネル幅の方が大きくなる。
このような場合、実効的なチャネル幅の、実測による見積もりが困難となる場合がある。例えば、設計値から実効的なチャネル幅を見積もるためには、半導体の形状が既知という仮定が必要である。したがって、半導体の形状が正確にわからない場合には、実効的なチャネル幅を正確に測定することは困難である。
本明細書では、単にチャネル幅と記載した場合には、見かけ上のチャネル幅を指す場合がある。または、本明細書では、単にチャネル幅と記載した場合には、実効的なチャネル幅を指す場合がある。なお、チャネル長、チャネル幅、実効的なチャネル幅、見かけ上のチャネル幅などは、断面ＴＥＭ像などを解析することなどによって、値を決定することができる。
なお、半導体の不純物とは、例えば、半導体を構成する主成分以外をいう。例えば、濃度が０．１原子％未満の元素は不純物と言える。不純物が含まれることにより、例えば、半導体の欠陥準位密度が高くなることや、結晶性が低下することなどが起こる場合がある。半導体が酸化物半導体である場合、半導体の特性を変化させる不純物としては、例えば、第１族元素、第２族元素、第１３族元素、第１４族元素、第１５族元素、酸化物半導体の主成分以外の遷移金属などがあり、例えば、水素、リチウム、ナトリウム、シリコン、ホウ素、リン、炭素、窒素などがある。なお、水も不純物として機能する場合がある。また、例えば不純物の混入によって、酸化物半導体に酸素欠損が形成される場合がある。
なお、本明細書等において、酸化窒化シリコンとは、その組成として、窒素よりも酸素の含有量が多いものである。また、窒化酸化シリコンとは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多いものである。
また、本明細書等において、「絶縁体」という用語を、絶縁膜または絶縁層と言い換えることができる。また、「導電体」という用語を、導電膜または導電層と言い換えることができる。また、「半導体」という用語を、半導体膜または半導体層と言い換えることができる。
また、本明細書等において、「平行」とは、二つの直線が−１０°以上１０°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、−５°以上５°以下の場合も含まれる。また、「略平行」とは、二つの直線が−３０°以上３０°以下の角度で配置されている状態をいう。また、「垂直」とは、二つの直線が８０°以上１００°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、８５°以上９５°以下の場合も含まれる。また、「略垂直」とは、二つの直線が６０°以上１２０°以下の角度で配置されている状態をいう。
本明細書等において、金属酸化物（ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅ）とは、広い意味での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体（透明酸化物導電体を含む。）、酸化物半導体（Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒまたは単にＯＳともいう。）などに分類される。例えば、トランジスタの半導体層に金属酸化物を用いた場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、ＯＳトランジスタと記載する場合においては、金属酸化物または酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。
また、本明細書等において、ノーマリーオフとは、ゲートに電位を印加しない、またはゲートに接地電位を与えたときに、トランジスタに流れるチャネル幅１μｍあたりのドレイン電流が、室温において１×１０−２０Ａ以下、８５℃において１×１０−１８Ａ以下、または１２５℃において１×１０−１６Ａ以下であることをいう。
（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様に係るトランジスタを有する半導体装置の一例について説明する。本発明の一態様に係るトランジスタを有する半導体装置は、チャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタである。
＜半導体装置の構成例＞
図３は、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の上面図および断面図である。図３Ａは、当該半導体装置の上面図である。また、図３Ｂ、および図３Ｃは、当該半導体装置の断面図である。ここで、図３Ｂは、図３ＡにＡ１−Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図である。また、図３Ｃは、図３ＡにＡ３−Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図である。なお、図３Ａの上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いている。
また、図３Ｂに示す、一点鎖線で囲む領域２３９の拡大図を、図２に示す。
本発明の一態様の半導体装置は、トランジスタ２００と、層間膜として機能する絶縁体２１４、絶縁体２１６、絶縁体２８０、絶縁体２８２、および絶縁体２８４と、を有する。なお、絶縁体２８０は、少なくとも、酸化物２３０と接して設けられる。
［トランジスタ２００］
図３に示すように、トランジスタ２００は、基板（図示せず）の上に配置され、絶縁体２１６に埋め込まれるように配置された導電体２０５と、絶縁体２１６の上および導電体２０５の上に配置された絶縁体２２２と、絶縁体２２２の上に配置された絶縁体２２４と、絶縁体２２４の上に配置された酸化物２３０（酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃ）と、酸化物２３０の上に配置された絶縁体２５０と、絶縁体２５０上に配置された導電体２６０（導電体２６０ａ、および導電体２６０ｂ）と、酸化物２３０ｂの上面の一部と接する導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂと、導電体２４０ａ上の絶縁体２４５ａと、導電体２４０ｂ上の絶縁体２４５ｂと、を有する。
なお、導電体２６０、および導電体２０５はゲート電極として機能する。導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂは、ソース電極またはドレイン電極として機能する。酸化物２３０ｂは、酸化物半導体であり、チャネルが形成される領域を有する。また、絶縁体２２２、絶縁体２２４、および絶縁体２５０はゲート絶縁体として機能する。
従って、チャネル形成領域を含む酸化物２３０ｂに、酸化物半導体として機能する金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう。）を用いることが好ましい。
チャネル形成領域に酸化物半導体を用いたトランジスタ２００は、非導通状態において極めてリーク電流が小さいため、低消費電力の半導体装置を提供できる。また、酸化物半導体は、スパッタリング法などを用いて成膜できる。従って、トランジスタ２００を、他の構造体上に、積層して形成することが可能となり、高集積型の半導体装置を構成することができる。
なお、チャネル形成領域として機能する酸化物半導体は、バンドギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以上のものを用いることが好ましい。このように、バンドギャップの大きい酸化物半導体を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
酸化物２３０ｃは、酸化物２３０ｂと同様に、酸化物半導体を用いることができる。従って、酸化物２３０ｃにもチャネル形成領域が形成される場合がある。一方、酸化物２３０ｃに、酸化物２３０ｂよりも、バンドギャップが大きい金属酸化物を用いてもよい。従って、酸化物２３０ｃは、ゲート絶縁体として機能する場合がある。
また、酸化物２３０ｃは、図２に示すように、２層以上の積層構造を有していてもよい。例えば、図２では、酸化物２３０ｃの第１の酸化物（酸化物２３０ｃ＿１）と、酸化物２３０ｃの第１の酸化物の上に配置された酸化物２３０ｃの第２の酸化物（酸化物２３０ｃ＿２）と、を有する。
図３に示すトランジスタ２００において、少なくとも、酸化物２３０ｃ、絶縁体２５０、および導電体２６０は、絶縁体２８０が有する開口部内に設ける。従って、当該開口部の底面には、少なくとも酸化物２３０ａ、および酸化物２３０ｂが露出する。また、当該開口部の側面には、少なくとも導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂの側面が露出する。
つまり、絶縁体２８０が有する開口部の幅が、トランジスタ２００のチャネル長の決定に寄与する距離となるため、当該開口部の幅（図３では、導電体２４０ａと導電体２４０ｂとの最短距離となる）を、最小加工寸法とすることが好ましい。
また、本発明において、酸化物２３０ｃに、絶縁体２５０よりも、酸素の拡散を抑制する機能（以下、バリア性ともいう）を用いることが好ましい。酸化物２３０ｃに酸素に対するバリア性を有することで、酸化物２３０ｃよりも上方の構造体から拡散する酸素による導電体２４０の端部の酸化を抑制できる。または、後工程の処理に伴う導電体２４０の端部の酸化を抑制できる。
一方、微細なトランジスタにおいて、導電体２４０の端部が酸化した場合、チャネル形成領域と、ソース電極またはドレイン電極との間に、高抵抗領域が形成される。従って、トランジスタ２００のオン電流、および周波数特性が低下してしまう可能性がある。また、当該高抵抗領域により、トランジスタ２００のチャネル長にばらつきが生じる蓋然性が高い。
また、絶縁体２８０に設ける開口部の微細化が進むに伴い、当該開口部の内部に設ける構造体の成膜および加工の難易度が高くなる。例えば、開口部内に、底面と側面とが形成する角部には、ボイドなどの欠陥が生じる場合がある。特に、薄膜の積層構造を設ける場合、上層の被覆性が悪くなり、開口部の内部に形成される膜に欠陥が生じる蓋然性が高くなる。
なお、本明細書において、不純物、または酸素の拡散を抑制する機能とは、当該不純物、または当該酸素のいずれか一またはすべての拡散を抑制する機能とする。また、水素または酸素の拡散を抑制する機能を有する膜を、水素または酸素が透過しにくい膜、水素または酸素の透過性が低い膜、水素または酸素に対してバリア性を有する膜、水素または酸素に対するバリア膜などと呼ぶ場合がある。また、バリア膜に導電性を有する場合、当該バリア膜を導電性バリア膜と呼ぶことがある。
さらに、絶縁体２８０が有する開口部の底面に露出した酸化物２３０ｂは、チャネル形成領域となる。従って、酸化物２３０ｃ、および絶縁体２５０に、欠陥が生じると、チャネル形成領域上のゲート絶縁膜として機能する絶縁体２５０が不均一となり、トランジスタ間の電気特性のバラつき、信頼性の低下が生じる可能性がある。さらには、ゲート電極として機能する導電体２６０と半導体として機能する酸化物２３０ｂとが導通し、絶縁状態が保てなくなる可能性がある。
そこで、絶縁体２８０が有する開口部内に露出する導電体２４０の側面の形状を最適化することで、酸化物２３０ｃとなる膜、または絶縁体２５０となる膜を成膜する場合に、被成膜面の傾きがなだらかに変化し、酸化物２３０ｃとなる膜、または絶縁体２５０となる膜に欠陥が生じることを抑制する。つまり、開口部内に設ける膜の被覆性が良好となるように、導電体２４０ｂの側面の形状を最適化する。
酸化物２３０ｃが、導電体２４０の側面に均一に形成されることで、導電体２４０の側面の酸化を防止することができる。また、チャネル形成領域上のゲート絶縁体を均一に成膜することができる。従って、複数のトランジスタ２００を設ける場合、トランジスタ間のバラつきが少ない半導体装置を提供することができる。また、信頼性が高い半導体装置を提供することができる。
具体的には、絶縁体２８０が有する開口部内に露出する導電体２４０の側面において、下端部は曲面形状を有する。例えば、導電体２４０の下端部の側面は、酸化物２３０ｂの上方に中心を有する円、または楕円に接することが好ましい。
なお、楕円の中心とは、楕円の短軸と長軸の交点とする。また、円の中心とは、円の接線に対する垂線を、円における位置を変えて少なくとも三本以上設けたときの交点をいう。
例えば、導電体２４０ｂの側面の下端部が、酸化物２３０ｂの上方に中心を有する円と接する場合について、図１Ａ、および図２Ａ乃至図２Ｃを用いて、説明する。なお、図１Ａ、および図２Ａ乃至図２Ｃは、図３Ｂに、一点鎖線で囲む領域２３９の拡大図である。
図１Ａに示すように、絶縁体２８０が有する開口部内に露出する導電体２４０ｂの側面において、導電体２４０ｂの下端部は、酸化物２３０ｂよりも上方に中心Ｃを有し、半径がＲである円と接する。つまり、導電体２４０ｂの下端部は、曲率半径Ｒの円弧状の曲線を有する。
また、上記構成において、上記円の中心Ｃから、酸化物２３０ｂの上面に対する垂線の長さＨは、半径Ｒ以下であることが好ましい。つまり、円の半径Ｒ≧垂線の長さＨが成り立つことが好ましい。なお、円の半径Ｒ＜垂線の長さＨとなる場合、導電体２４０ｂの下端部に変曲点が形成され、導電体２４０ｂよりも上方に形成する膜の被膜性が低下する蓋然性が高くなる。
ここで、円の半径Ｒが、円の中心Ｃから酸化物２３０ｂに対する垂線の長さＨと近似した値（円の半径Ｒ≒垂線の長さＨ）となる場合を、図２Ａ乃至図２Ｃを用いて説明する。
例えば、図２Ａ乃至図２Ｃにおいて、導電体２４０ｂの下端部は、酸化物２３０ｂよりも上方に曲率中心Ｃを有し、曲率半径Ｒである円弧状の曲線を有することが好ましい。また、円の半径Ｒは、曲率中心Ｃから酸化物２３０ｂに対する垂線の長さＨとほぼ等しい。
また、図２Ａ乃至図２Ｃにおいて、上記円弧状の曲線の終端部を接点とした接平面と、酸化物２３０ｂの上面と、がなす２面角の角度θ（テーパー角の角度θともいう）は、０°＜θ≦９０°とする。つまり、導電体２４０ｂの側面が、アンダーカット形状とならない範囲とする。
絶縁体２８０が有する開口部内に露出する導電体２４０ｂの側面において、下端部が曲面形状を有することで、酸化物２３０ｂが有するチャネル形成領域上に形成する膜の被膜性を向上することができる。
また、図２Ａ、および図２Ｂに示すように、絶縁体２８０が有する開口部内に露出する導電体２４０ｂの側面において、上端部は平面でもよい。なお、当該平面の延長した面と、酸化物２３０ｂの上面と、がなす２面角の角度は、０°以上、テーパー角の角度θ以下であればよい。つまり、導電体２４０ｂの側面が、アンダーカット形状とならない範囲とする。
なお、図２に示すように、導電体２４０ｂの側面における上端部の平面を延長した面と、酸化物２３０ｂの上面と、がなす２面角の角度が、テーパー角の角度θと等しい場合、チャネル長方向の断面図において、上記円弧状の曲線の終端部を接点とした接線と重なる。つまり、曲線の終端部に接する、導電体２４０ｂの側面における上端部の平面を含む接平面と、酸化物２３０ｂの上面とがなす２面角の角度がθとである場合、特に、酸化物２３０ｃ、および絶縁体２５０を、チャネル形成領域上だけでなく、均一に成膜することができるため、好ましい。
また、図２Ｂに示すように、曲率半径Ｒが、酸化物２３０ｃと絶縁体２５０との合計膜厚以上の場合（酸化物２３０ｃの膜厚をｔ２３０ｃ、絶縁体２５０の膜厚をｔ２５０とすると、Ｒ≧ｔ２３０ｃ＋ｔ２５０が成り立つ場合）、導電体２６０の底面と導電体２６０の側面とがなす辺と、導電体２４０ｂの下端部との水平距離Ｌは０以下となる。なお、水平距離Ｌが０よりも小さい、つまりマイナスとなる場合、導電体２６０の底面と導電体２４０ｂの終端部とが重畳する領域を有する。
なお、膜の厚さ（ｔ）とは、絶縁膜の上面から絶縁膜の下面まで下ろした垂線の長さをいう。
従って、Ｒ≧ｔ２３０ｃ＋ｔ２５０が成り立つ場合、酸化物２３０ｂに生じるチャネル形成領域と、ソース領域またはドレイン領域との間に、高抵抗領域が形成されないため、トランジスタ２００のオン電流を増大させ、周波数特性を向上させることができる。
なお、図２Ｃに示すように、導電体２６０の底面と導電体２６０の側面との接合面が曲面の場合は、導電体２６０の底面の延長面と、導電体２６０の側面の延長面が交わる辺と、導電体２４０ｂの下端部との水平距離Ｌが０以下となることが好ましい。
以上、曲率半径Ｒが、曲率中心Ｃから酸化物２３０ｂに対する垂線の長さＨと近似した値（円の半径Ｒ≒垂線の長さＨ）となる場合を説明した。続いて、導電体２４０ｂの側面の下端部が、酸化物２３０ｂよりも上方に中心を有する楕円と接する場合について、図１Ｂを用いて、説明する。
図１Ｂに示すように、絶縁体２８０が有する開口部内に露出する導電体２４０ｂの側面において、導電体２４０ｂの下端部は、酸化物２３０ｂよりも上方に中心Ｃを有し、長半径がＲ１である楕円と接する。つまり、導電体２４０ｂの下端部は、楕円弧状の曲線を有する。
また、上記構成において、導電体２４０ｂの下端部に、変曲点が形成されないことが好ましい。また、導電体２４０ｂの側面において、いわゆるアンダーカット形状が形成されないことが好ましい。従って、上記楕円の中心Ｃから、酸化物２３０ｂの上面に対する垂線の長さＨは、少なくとも長半径Ｒ１以下であることが好ましい。つまり、楕円の長半径Ｒ１≧垂線の長さＨが成り立つことが好ましい。
以上、導電体２４０ｂの側面の下端部が、酸化物２３０ｂよりも上方に中心を有する楕円と接する場合について説明した。
以上より、絶縁体２８０が有する開口部内に露出する導電体２４０の側面の形状を最適化することで、酸化物２３０ｃとなる膜、または絶縁体２５０となる膜を成膜する場合に、被成膜面の傾きがなだらかに変化し、酸化物２３０ｃとなる膜、または絶縁体２５０となる膜に欠陥が生じることを抑制する。
以下では、図３、および図４を用いて、トランジスタ２００の詳細な構造について説明する。
トランジスタ２００は、チャネルが形成される領域を含む酸化物２３０（主に酸化物２３０ｂ）に、酸化物半導体として機能する金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう。）を用いることが好ましい。
チャネル形成領域に酸化物半導体を用いたトランジスタ２００は、非導通状態において極めてリーク電流が小さいため、低消費電力の半導体装置を提供できる。また、酸化物半導体は、スパッタリング法などを用いて成膜できる。従って、トランジスタ２００を、他の構造体上に、積層して形成することが可能となり、高集積型の半導体装置を構成することができる。
なお、チャネル形成領域として機能する酸化物半導体は、バンドギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以上のものを用いることが好ましい。このように、バンドギャップの大きい酸化物半導体を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
具体的には、酸化物半導体として、例えば、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物（元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種）等の金属酸化物を用いるとよい。また、酸化物半導体として、Ｉｎ−Ｇａ酸化物、Ｉｎ−Ｚｎ酸化物を用いてもよい。
なお、酸化物半導体を用いたトランジスタは、酸化物半導体中の不純物及び酸素欠損によって、その電気特性が変動し、ノーマリーオン特性（ゲート電極に電圧を印加しなくてもチャネルが存在し、トランジスタに電流が流れる特性）となる場合がある。また、酸化物半導体中に、適量値を超えた過剰な酸素を有した状態で、該トランジスタを駆動した場合、過剰な酸素原子の価数が変化し、該トランジスタの電気特性が変動することで、信頼性が悪くなる場合がある。
従って、トランジスタに用いる酸化物半導体は、不純物、酸素欠損、および、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素（以下、過剰酸素ともいう）がない、高純度真性な酸化物半導体を用いることが好ましい。
また、酸化物２３０は、化学組成が異なる複数の酸化物層の積層構造を有することが好ましい。具体的には、酸化物２３０ａに用いる金属酸化物において、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比が、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物における、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比より大きいことが好ましい。
また、酸化物２３０ｃは、酸化物２３０ａまたは酸化物２３０ｂに用いることができる金属酸化物を、用いることができる。
例えば、酸化物２３０ｂがＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物の場合、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｃとして、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物、Ｇａ−Ｚｎ酸化物、酸化ガリウムなどを用いてもよい。
また、酸化物２３０ｂおよび酸化物２３０ｃは、結晶性を有することが好ましい。例えば、後述するＣＡＡＣ−ＯＳ（ｃ−ａｘｉｓ ａｌｉｇｎｅｄ ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）を用いることが好ましい。ＣＡＡＣ−ＯＳなどの結晶性を有する酸化物は、不純物や欠陥（酸素欠損など）が少なく、結晶性の高い、緻密な構造を有している。従って、ソース電極またはドレイン電極による、酸化物２３０ｂからの酸素の引き抜きを抑制することができる。また、熱処理を行っても、酸化物２３０ｂから酸素が引き抜かれることを低減できるため、トランジスタ２００は、製造工程における高い温度（所謂サーマルバジェット）に対して安定する。
なお、トランジスタ２００では、酸化物２３０が、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃの３層を積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、酸化物２３０ｂの単層、酸化物２３０ａと酸化物２３０ｂの２層構造、酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃの２層構造、または４層以上の積層構造を設ける構成にしてもよいし、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、酸化物２３０ｃのそれぞれが積層構造を有していてもよい。
例えば、図１では、酸化物２３０ｃの第１の酸化物（酸化物２３０ｃ＿１）と、酸化物２３０ｃの第１の酸化物の上に配置された酸化物２３０ｃの第２の酸化物（酸化物２３０ｃ＿２）と、を有する。
例えば、酸化物２３０ｃ＿１は、酸化物２３０ｂに用いられる金属酸化物を構成する金属元素の少なくとも一つを含むことが好ましく、当該金属元素を全て含むことがより好ましい。例えば、酸化物２３０ｃ＿１として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物を用い、酸化物２３０ｃ＿２として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物、Ｇａ−Ｚｎ酸化物、または酸化ガリウムを用いるとよい。当該構造により、酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃ＿１との界面における欠陥準位密度を低くすることができる。
また、酸化物２３０ｃ＿２は、酸化物２３０ｃ＿１より、酸素の拡散または透過を抑制する金属酸化物であることが好ましい。絶縁体２５０と酸化物２３０ｃ＿１との間に酸化物２３０ｃ＿２を設けることで、絶縁体２８０に含まれる酸素が、絶縁体２５０に拡散するのを抑制することができる。したがって、当該酸素は、酸化物２３０ｃ＿１を介して、酸化物２３０ｂに供給されやすくなる。
また、酸化物２３０ｃ＿２に用いる金属酸化物において、主成分である金属元素に対するＩｎの原子数比が、酸化物２３０ｃ＿１に用いる金属酸化物における、主成分である金属元素に対するＩｎの原子数比より小さくすることで、Ｉｎが絶縁体２５０側に拡散するのを抑制することができる。絶縁体２５０は、ゲート絶縁体として機能するため、Ｉｎが絶縁体２５０などに混入した場合、トランジスタの特性不良となる。したがって、酸化物２３０ｃを積層構造とすることで、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
導電体２６０は、第１のゲート（トップゲートともいう。）電極として機能する。
ここで、トランジスタ２００は、導電体２６０を、絶縁体２８０などに形成されている開口に埋めることで設ける。また、当該開口を設ける工程において、絶縁体２８０に設ける開口の底部に、導電体２４０となる導電層の一部が露出する。導電体２４０となる導電層において、絶縁体２８０に設けた開口の底部と重畳する領域を除去することで、導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂが形成される。
従って、導電体２４０ａの端部と、導電体２４０ｂの端部は、開口部の側面と同一面上となる。導電体２６０を、絶縁体２８０に設けた開口に、絶縁体２５０などを介して埋め込むことで、導電体２４０ａと導電体２４０ｂとの間の領域に、導電体２６０を位置合わせすることなく自己整合的に配置することができる。
また、図３Ｂ、または図３Ｃに示すように、導電体２６０の上面は、絶縁体２５０の上面および酸化物２３０ｃの上面と略一致している。
また、図３Ｃに示すように、導電体２６０と酸化物２３０とが重畳しない領域において、導電体２６０と絶縁体２５０とが接する面と絶縁体２２２の上面に対する最短距離は、酸化物２３０ｂと酸化物２３０ａとが接する面と絶縁体２２２の上面に対する最短距離よりも、短いことが好ましい。つまり、トランジスタ２００のチャネル幅方向において、酸化物２３０ｂの側面が、少なくとも絶縁体２５０を介して、導電体２６０により、覆われている構造を有する。
ゲート電極として機能する導電体２６０が、絶縁体２５０などを介して、酸化物２３０ｂのチャネル形成領域の側面および上面を覆う構成とすることで、導電体２６０の電界が酸化物２３０ｂのチャネル形成領域全体に作用する。従って、トランジスタ２００のオン電流を増大させ、周波数特性を向上させることができる。
なお、導電体２６０は、導電体２６０ａと、導電体２６０ａの上に配置された導電体２６０ｂと、を有することが好ましい。例えば、導電体２６０ａは、導電体２６０ｂの底面および側面を包むように配置されることが好ましい。
導電体２６０ａは、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。
また、導電体２６０ａが酸素の拡散を抑制する機能を持つことにより、絶縁体２５０に含まれる酸素により、導電体２６０ｂが酸化して導電率が低下することを抑制することができる。酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料としては、例えば、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。
また、導電体２６０は、配線としても機能するため、導電性が高い導電体を用いることが好ましい。例えば、導電体２６０ｂは、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることができる。また、導電体２６０ｂは積層構造としてもよく、例えば、チタン又は窒化チタンと上記導電性材料との積層構造としてもよい。
図３では、導電体２６０は、導電体２６０ａと導電体２６０ｂの２層構造として示しているが、単層構造でもよいし、３層以上の積層構造であってもよい。
導電体２０５は、第２のゲート（ボトムゲートともいう。）電極として機能する。
また、導電体２０５がゲート電極として機能する場合、導電体２０５に印加する電位を、導電体２６０に印加する電位と、連動させず、独立して変化させることで、トランジスタ２００のしきい値電圧（Ｖｔｈ）を制御することができる。特に、導電体２０５に負の電位を印加することにより、トランジスタ２００のＶｔｈをより大きくし、オフ電流を低減することが可能となる。したがって、導電体２０５に負の電位を印加したほうが、印加しない場合よりも、導電体２６０に印加する電位が０Ｖのときのドレイン電流を小さくすることができる。
導電体２０５は、酸化物２３０、および導電体２６０と、重なるように配置する。また、導電体２０５は、絶縁体２１４または絶縁体２１６に埋め込まれて設けることが好ましい。
なお、チャネル幅方向において、導電体２０５は、酸化物２３０におけるチャネル形成領域よりも、大きく設けるとよい。特に、図３Ｃに示すように、導電体２０５は、酸化物２３０のチャネル幅方向と交差して、延伸していることが好ましい。
ここで、酸化物２３０のチャネル幅方向における側面の外側において、導電体２０５と、導電体２６０とは、絶縁体を介して重畳していることが好ましい。当該構成を有することで、第１のゲート電極として機能する導電体２６０の電界と、第２のゲート電極として機能する導電体２０５の電界によって、酸化物２３０のチャネル形成領域を電気的に取り囲むことができる。
また、図３では、導電体２０５を第１の導電体と第２の導電体とを積層する構成として示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体２０５は、単層、または３層以上の積層構造として設ける構成にしてもよい。構造体が積層構造を有する場合、形成順に序数を付与し、区別する場合がある。
ここで、導電体２０５の第１の導電体は、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子（Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ２など）、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。
導電体２０５の第１の導電体に、酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることにより、導電体２０５の第２の導電体が酸化して導電率が低下することを抑制することができる。酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料としては、例えば、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。したがって、導電体２０５の第１の導電体としては、上記導電性材料を単層または積層とすればよい。例えば、導電体２０５の第１の導電体は、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、または酸化ルテニウムと、チタンまたは窒化チタンとの積層としてもよい。
また、導電体２０５の第２の導電体は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。なお、導電体２０５の第２の導電体を単層で図示したが、積層構造としてもよく、例えば、チタンまたは窒化チタンと、当該導電性材料との積層としてもよい。
また、図３Ｃに示すように、導電体２０５は延伸させて、配線としても機能させている。ただし、これに限られることなく、導電体２０５の下に、配線として機能する導電体を設ける構成にしてもよい。また、導電体２０５は、必ずしも各トランジスタに一個ずつ設ける必要はない。例えば、導電体２０５を複数のトランジスタで共有する構成にしてもよい。
導電体２４０（導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂ）は、ソース電極またはドレイン電極として機能する。
導電体２４０としては、例えば、ＴａＮｘＯｙを用いることが好ましい。なお、ＴａＮｘＯｙはアルミニウムを含んでもよい。また、例えば、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いてもよい。これらの材料は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。
また、導電体２４０上に、バリア層として機能する絶縁体２４５を設けるとよい。
絶縁体２４５は、図３Ｂに示すように、導電体２４０の上面に接することが好ましい。当該構成にすることで、導電体２４０による、絶縁体２８０が有する過剰酸素の吸収を抑制することができる。また、導電体２４０の酸化を抑制することで、トランジスタ２００と配線とのコンタクト抵抗の増加を抑制することができる。よって、トランジスタ２００に良好な電気特性および信頼性を与えることができる。
従って、絶縁体２４５は、酸素の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２４５は、絶縁体２８０よりも酸素の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。
絶縁体２４５としては、例えば、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を成膜するとよい。また、絶縁体２４５としては、例えば、窒化アルミニウムを含む絶縁体を用いればよい。
絶縁体２５０は、第１のゲート絶縁体として機能する。
絶縁体２５０は、酸化物２３０ｃに接して配置することが好ましい。絶縁体２５０は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどを用いることができる。特に、酸化シリコン、および酸化窒化シリコンは熱に対し安定であるため好ましい。
なお、絶縁体２５０を成膜した後に、酸素を含む雰囲気下にて、マイクロ波励起プラズマ処理を行ってもよい。マイクロ波励起プラズマ処理を行うことにより、絶縁体２５０中の、水素、水、または不純物を除去することができる。さらに、マイクロ波励起プラズマ処理を行うことにより、絶縁体２５０の膜質を改質することで、水素、水、または不純物等の拡散を抑制することができる。従って、導電体２６０となる導電膜の成膜などの後工程、または熱処理などの後処理により、絶縁体２５０を介して、水素、水、または不純物が、酸化物２３０へ拡散することを抑制することができる。
例えば、固体の酸化シリコンにおける水素原子とシリコン原子の結合エネルギーは３．３ｅＶ、炭素原子とシリコン原子の結合エネルギーは３．４ｅＶ、窒素原子とシリコン原子の結合エネルギーは３．５ｅＶ、である。従って、シリコン原子と結合した水素原子を取り除くには、少なくとも、３．３ｅＶ以上のエネルギーを持つラジカル、またはイオンを、水素原子とシリコン原子との結合部に衝突させることで、水素原子と、シリコン原子との結合を切断することができる。
なお、窒素、および炭素などの他の不純物についても、同様に、少なくとも、結合エネルギー以上のエネルギーを持つラジカル、またはイオンを、不純物原子とシリコン原子との結合部に衝突させることで、不純物原子とシリコン原子との結合を切断することができる。
ここで、マイクロ波で励起したプラズマにより発生するラジカル、およびイオンとして、酸素原子ラジカルの基底状態Ｏ（３Ｐ）、酸素原子ラジカルの第一励起状態Ｏ（１Ｄ）、および酸素分子の一価のカチオンＯ２＋等がある。Ｏ（３Ｐ）のエネルギーは、２．４２ｅＶ、Ｏ（１Ｄ）のエネルギーは、４．６ｅＶ、である。また、Ｏ２ ＋は電荷をもつために、プラズマ中の電位分布、およびバイアスにより加速されるため、エネルギーは一意に定まらないが、少なくとも、内部エネルギーのみでも、Ｏ（１Ｄ）より高いエネルギーを持つ。
つまり、Ｏ（１Ｄ）、およびＯ２ ＋等のラジカル、およびイオンは、絶縁体２５０中の水素、窒素、および炭素原子と、シリコン原子との結合を切断し、シリコン原子と結合した水素、窒素、および炭素を除去することができる。また、マイクロ波励起プラズマ処理を行う際に、基板に加わる熱エネルギー等によっても、水素、窒素、および炭素などの不純物を低減することができる。
一方、Ｏ（３Ｐ）は、反応性が低いため、絶縁体２５０では反応せず、膜中深くまで拡散する。または、Ｏ（３Ｐ）は絶縁体２５０を介して、酸化物２３０へと到達し、酸化物２３０中に拡散する。酸化物２３０中に拡散したＯ（３Ｐ）が、水素が入った酸素欠損に近接すると、酸素欠損中の水素は酸素欠損から放出され、代わりにＯ（３Ｐ）が酸素欠損に入ることで、酸素欠損は補償される。従って、酸化物２３０中で、キャリアである電子の生成を抑制することができる。
なお、全体のラジカル、およびイオン種に対するＯ（３Ｐ）の割合は、マイクロ波励起プラズマ処理を、圧力が高い条件で行うことにより、増加する。酸化物２３０中の酸素欠損を補償するためには、Ｏ（３Ｐ）の割合が多い方が好ましい。従って、マイクロ波励起プラズマ処理は、圧力を１３３Ｐａ以上、好ましくは２００Ｐａ、さらに好ましくは４００Ｐａ以上とすればよい。また、酸素流量比（Ｏ２／Ｏ２＋Ａｒ）が５０％以下、好ましくは１０％以上３０％以下で行うとよい。
また、絶縁体２５０は、加熱により一部の酸素が脱離する酸化物材料を用いることが好ましい。加熱により酸素を脱離する酸化物とは、ＴＤＳ（Ｔｈｅｒｍａｌ Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）分析にて、酸素分子の脱離量が１．０×１０１８ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、好ましくは１．０×１０１９ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、さらに好ましくは２．０×１０１９ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、または３．０×１０２０ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上である酸化膜である。なお、上記ＴＤＳ分析時における膜の表面温度としては１００℃以上７００℃以下、または１００℃以上４００℃以下の範囲が好ましい。
加熱により酸素が放出される絶縁体を、絶縁体２５０として、酸化物２３０ｃの上面に接して設けることにより、酸化物２３０ｂのチャネル形成領域に効果的に酸素を供給し、酸化物２３０ｂのチャネル形成領域の酸素欠損を低減することができる。したがって、電気特性の変動を抑制し、安定した電気特性を有するとともに、信頼性を向上させたトランジスタを提供することができる。また、絶縁体２５０中の水、水素などの不純物濃度は、低減されていることが好ましい。
また、絶縁体２５０と導電体２６０との間に金属酸化物を設けてもよい。当該金属酸化物は、絶縁体２５０から導電体２６０への酸素の拡散を抑制することが好ましい。酸素の拡散を抑制する金属酸化物を設けることで、絶縁体２５０から導電体２６０への酸素の拡散が抑制される。つまり、酸化物２３０へ供給する酸素量の減少を抑制することができる。また、絶縁体２５０の酸素による導電体２６０の酸化を抑制することができる。
なお、上記金属酸化物は、ゲート絶縁体の一部としての機能を有する場合がある。したがって、絶縁体２５０に酸化シリコンや酸化窒化シリコンなどを用いる場合、上記金属酸化物は、比誘電率が高いｈｉｇｈ−ｋ材料である金属酸化物を用いることが好ましい。ゲート絶縁体を、絶縁体２５０と上記金属酸化物との積層構造とすることで、熱に対して安定、かつ比誘電率の高い積層構造とすることができる。したがって、ゲート絶縁体の物理膜厚を保持したまま、トランジスタ動作時に印加するゲート電位の低減化が可能となる。また、ゲート絶縁体として機能する絶縁体の等価酸化膜厚（ＥＯＴ）の薄膜化が可能となる。
具体的には、ハフニウム、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、ジルコニウム、タングステン、チタン、タンタル、ニッケル、ゲルマニウム、マグネシウムなどから選ばれた一種、または二種以上が含まれた金属酸化物を用いることができる。特に、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を用いることが好ましい。
また、上記金属酸化物は、第１のゲート電極の一部としての機能を有してもよい。例えば、酸化物２３０として用いることができる酸化物半導体を、上記金属酸化物として用いることができる。その場合、導電体２６０をスパッタリング法で成膜することで、上記金属酸化物の電気抵抗値を低下させて導電体とすることができる。
上記金属酸化物を有することで、導電体２６０からの電界の影響を弱めることなく、トランジスタ２００のオン電流の向上を図ることができる。また、絶縁体２５０と、上記金属酸化物との物理的な厚みにより、導電体２６０と、酸化物２３０との間の距離を保つことで、導電体２６０と酸化物２３０との間のリーク電流を抑制することができる。また、絶縁体２５０、および上記金属酸化物との積層構造を設けることで、導電体２６０と酸化物２３０との間の物理的な距離、および導電体２６０から酸化物２３０へかかる電界強度を、容易に適宜調整することができる。
絶縁体２２２、および絶縁体２２４は、第２のゲート絶縁体として機能する。
絶縁体２２２は、水素（例えば、水素原子、水素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。また、絶縁体２２２は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２２２は、絶縁体２２４よりも水素および酸素の一方または双方の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。
絶縁体２２２は、絶縁性材料であるアルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を用いるとよい。当該絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。このような材料を用いて絶縁体２２２を形成した場合、絶縁体２２２は、酸化物２３０から基板側への酸素の放出や、トランジスタ２００の周辺部から酸化物２３０への水素等の不純物の拡散を抑制する層として機能する。よって、絶縁体２２２を設けることで、水素等の不純物が、トランジスタ２００の内側へ拡散することを抑制し、酸化物２３０中の酸素欠損の生成を抑制することができる。また、導電体２０５が、絶縁体２２４や、酸化物２３０が有する酸素と反応することを抑制することができる。
または、上記絶縁体に、例えば、酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ゲルマニウム、酸化ニオブ、酸化シリコン、酸化チタン、酸化タングステン、酸化イットリウム、酸化ジルコニウムを添加してもよい。または、これらの絶縁体を窒化処理してもよい。また、絶縁体２２２は、これらの絶縁体に酸化シリコン、酸化窒化シリコンまたは窒化シリコンを積層して用いてもよい。
また、絶縁体２２２は、例えば、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ３）、（Ｂａ，Ｓｒ）ＴｉＯ３（ＢＳＴ）などのいわゆるｈｉｇｈ−ｋ材料を含む絶縁体を単層または積層で用いてもよい。トランジスタの微細化、および高集積化が進むと、ゲート絶縁体の薄膜化により、リーク電流などの問題が生じる場合がある。ゲート絶縁体として機能する絶縁体にｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることで、物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時のゲート電位の低減が可能となる。
酸化物２３０と接する絶縁体２２４は、絶縁体２５０と同様に、加熱により酸素を脱離することが好ましい。例えば、絶縁体２２４は、酸化シリコン、酸化窒化シリコンなどを適宜用いればよい。酸素を含む絶縁体を酸化物２３０に接して設けることにより、酸化物２３０中の酸素欠損を低減し、トランジスタ２００の信頼性を向上させることができる。
なお、絶縁体２２２、および絶縁体２２４が、２層以上の積層構造を有していてもよい。その場合、同じ材料からなる積層構造に限定されず、異なる材料からなる積層構造でもよい。
絶縁体２１４、絶縁体２１６、絶縁体２８０、絶縁体２８２、絶縁体２８４は層間膜として機能する。
絶縁体２１４は、水、水素などの不純物が、基板側からトランジスタ２００に拡散するのを抑制する絶縁性バリア膜として機能することが好ましい。したがって、絶縁体２１４は、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子（Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ２など）、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する絶縁性材料を用いることが好ましい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する絶縁性材料を用いることが好ましい。
例えば、絶縁体２１４として、酸化アルミニウム、窒化シリコンなどを用いることが好ましい。これにより、水、水素などの不純物が、絶縁体２１４よりも基板側からトランジスタ２００側に拡散するのを抑制することができる。または、絶縁体２２４などに含まれる酸素が、絶縁体２１４よりも基板側に、拡散するのを抑制することができる。なお、絶縁体２１４は、２層以上の積層構造を有していてもよい。その場合、同じ材料からなる積層構造に限定されず、異なる材料からなる積層構造でもよい。例えば、酸化アルミニウムと窒化シリコンとの積層としてもよい。
また、例えば、絶縁体２１４として、スパッタリング法を用いて成膜した、窒化シリコンを用いることが好ましい。これにより、絶縁体２１４中の水素濃度を低くことができ、水、水素などの不純物が、絶縁体２１４よりも基板側からトランジスタ２００側に拡散するのをより抑制することができる。
層間膜として機能する絶縁体２１６は、絶縁体２１４よりも誘電率が低いことが好ましい。誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。例えば、絶縁体２１６として、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどを適宜用いればよい。
また、絶縁体２１６は、水素濃度が低く、化学量論的組成よりも酸素が過剰に存在する領域（以下、過剰酸素領域ともいう。）または加熱により離脱する酸素（以下、過剰酸素ともいう。）を有することが好ましい。
過剰酸素領域を有する絶縁体として、具体的には、加熱により一部の酸素が脱離する酸化物材料を用いることが好ましい。加熱により酸素を脱離する酸化物（以下、過剰酸素領域を有する絶縁体材料ともいう）とは、ＴＤＳ（Ｔｈｅｒｍａｌ Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）分析にて、酸素分子の脱離量が１．０×１０１８ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、好ましくは１．０×１０１９ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、さらに好ましくは２．０×１０１９ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、または３．０×１０２０ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上である酸化膜である。なお、上記ＴＤＳ分析時における膜の表面温度としては１００℃以上７００℃以下、または１００℃以上４００℃以下の範囲が好ましい。
具体的には、過剰酸素を有する酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンを用いることができる。特に、酸化シリコン、および酸化窒化シリコンは熱に対し安定であるため好ましい。
例えば、絶縁体２１６として、スパッタリング法を用いて成膜した酸化シリコンを用いることが好ましい。これにより、酸化物２３０への水素の混入を抑制することができる、または、酸化物２３０に酸素を供給し、酸化物２３０中の酸素欠損を低減することができる。したがって、電気特性の変動を抑制し、安定した電気特性を有するとともに、信頼性を向上させたトランジスタを提供することができる。
なお、絶縁体２１６を積層構造にしてもよい。例えば、絶縁体２１６において、少なくとも導電体２０５の側面と接する部分に、絶縁体２１４と同様の絶縁体を設ける構成にしてもよい。このような構成にすることで、絶縁体２１６に含まれる酸素によって、導電体２０５が酸化するのを抑制することができる。または、導電体２０５により、絶縁体２１６に含まれる酸素量が減少するのを抑制することができる。
絶縁体２８０は、絶縁体２２４、酸化物２３０、および導電体２４０上に設けられる。また、絶縁体２８０の上面は、平坦化されていてもよい。
なお、酸化物半導体を用いたトランジスタにおいて、トランジスタを構成する導電体、またはトランジスタと接続するプラグや配線に用いられる導電体に、酸化物半導体の酸素が徐々に吸収され、継時的変化の一つとして、酸素欠損を生じる場合がある。
そこで、該トランジスタの酸化物半導体の近傍に、過剰酸素領域を有する構造体を設けることが好ましい。酸化物半導体に生じた酸素欠損に、該過剰酸素領域を有する構造体の過剰酸素を拡散することで、該酸素欠損を補償することができる。
具体的には、トランジスタ２００の近傍に設けられる層間膜として機能する絶縁体２８０に、酸素を含む絶縁体を用いる。特に、絶縁体２８０には、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化物を用いることが好ましい。つまり、絶縁体２８０には、過剰酸素領域が形成されていることが好ましい。
絶縁体２８０に過剰酸素領域を設けるには、絶縁体２８０に、酸素（少なくとも酸素ラジカル、酸素原子、酸素イオンのいずれかを含む）を導入し、酸素を過剰に含有する領域を形成する。
具体的に、酸素導入処理の一例として、絶縁体２８０上に、スパッタリング装置を用いて、金属酸化物を積層する方法がある。例えば、絶縁体２８２を成膜する手段として、スパッタリング装置を用いて、酸素ガス雰囲気下で成膜を行うことで、絶縁体２８２を成膜しながら、絶縁体２８０に酸素を導入することができる。
層間膜として機能する絶縁体２８０は、誘電率が低いことが好ましい。誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。絶縁体２８０は、例えば、絶縁体２１６と同様の材料を用いて設けることが好ましい。特に、酸化シリコンおよび酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため好ましい。特に、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどの材料は、加熱により脱離する酸素を含む領域を容易に形成することができるため好ましい。
絶縁体２８０中の水、水素などの不純物濃度は低減されていることが好ましい。また、絶縁体２８０は、水素濃度が低く、過剰酸素領域または過剰酸素を有することが好ましく、例えば、絶縁体２１６と同様の材料を用いて設けてもよい。なお、絶縁体２８０は、２層以上の積層構造を有していてもよい。
絶縁体２８２は、絶縁体２１４などと同様に、水、水素などの不純物が、上方から絶縁体２８０に拡散するのを抑制する絶縁性バリア膜として機能することが好ましい。また、絶縁体２８２は、絶縁体２１４などと同様に、水素濃度が低く、水素の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。
特に、絶縁体２８０として、酸化窒化シリコンを用いた場合、絶縁体２８２として、酸化アルミニウムを用いることが好ましい。酸化窒化シリコン膜上に、スパッタリング法により酸化アルミニウム膜を成膜することで、被成膜物である酸化シリコンに過剰酸素領域を形成することができる。
また、酸化アルミニウムは、酸素の拡散を抑制する機能を有する場合がある。特に、酸化窒化シリコンと比較した場合、酸化アルミニウムは、酸素、または、水、水素などの不純物の拡散を抑制する機能を有する。
従って、絶縁体２８２に、酸化アルミニウムを用いることで、水、水素などの不純物が、絶縁体２８２よりも上方からトランジスタ２００側に拡散するのを抑制することができる。
また、図３Ｂに示すように、絶縁体２８２は、導電体２６０、絶縁体２５０、および酸化物２３０ｃのそれぞれの上面と接することが好ましい。これにより、絶縁体２８４などに含まれる水素などの不純物が、絶縁体２５０へ混入することを抑えることができる。したがって、トランジスタの電気特性およびトランジスタの信頼性への悪影響を抑制することができる。
絶縁体２８２の上に、層間膜として機能する絶縁体２８４を設けることが好ましい。絶縁体２８４は、絶縁体２１６などと同様に、誘電率が低いことが好ましい。また、絶縁体２８４は、絶縁体２２４などと同様に、膜中の水、水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。
＜＜金属酸化物＞＞
酸化物２３０として、酸化物半導体として機能する金属酸化物を用いることが好ましい。以下では、本発明に係る酸化物２３０に適用可能な金属酸化物について説明する。
金属酸化物は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特に、インジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、ガリウム、イットリウム、錫などが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
ここでは、金属酸化物が、インジウム、元素Ｍおよび亜鉛を有するＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物である場合を考える。なお、元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、または錫とする。そのほかの元素Ｍに適用可能な元素としては、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウムなどがある。ただし、元素Ｍとして、前述の元素を複数組み合わせても構わない場合がある。
なお、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物（ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅ）と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物（ｍｅｔａｌ ｏｘｙｎｉｔｒｉｄｅ）と呼称してもよい。
［金属酸化物の構造］
酸化物半導体（金属酸化物）は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ、多結晶酸化物半導体、ｎｃ−ＯＳ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、擬似非晶質酸化物半導体（ａ−ｌｉｋｅ ＯＳ：ａｍｏｒｐｈｏｕｓ−ｌｉｋｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、および非晶質酸化物半導体などがある。
ＣＡＡＣ−ＯＳは、ｃ軸配向性を有し、かつａ−ｂ面方向において複数のナノ結晶が連結し、歪みを有した結晶構造となっている。なお、歪みとは、複数のナノ結晶が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。
ナノ結晶は、六角形を基本とするが、正六角形状とは限らず、非正六角形状である場合がある。また、歪みにおいて、五角形、および七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、ＣＡＡＣ−ＯＳにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界（グレインバウンダリーともいう。）を確認することは難しい。すなわち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、ＣＡＡＣ−ＯＳが、ａ−ｂ面方向において酸素原子の配列が稠密でないことや、金属元素が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためである。
また、ＣＡＡＣ−ＯＳは、インジウム、および酸素を有する層（以下、Ｉｎ層）と、元素Ｍ、亜鉛、および酸素を有する層（以下、（Ｍ，Ｚｎ）層）とが積層した、層状の結晶構造（層状構造ともいう）を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Ｍは、互いに置換可能であり、（Ｍ，Ｚｎ）層の元素Ｍがインジウムと置換した場合、（Ｉｎ，Ｍ，Ｚｎ）層と表すこともできる。また、Ｉｎ層のインジウムが元素Ｍと置換した場合、（Ｉｎ，Ｍ）層と表すこともできる。
ＣＡＡＣ−ＯＳは結晶性の高い金属酸化物である。一方、ＣＡＡＣ−ＯＳは、明確な結晶粒界を確認することが難しいため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、金属酸化物の結晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、ＣＡＡＣ−ＯＳは不純物や欠陥（酸素欠損など）の少ない金属酸化物ともいえる。したがって、ＣＡＡＣ−ＯＳを有する金属酸化物は、物理的性質が安定する。そのため、ＣＡＡＣ−ＯＳを有する金属酸化物は熱に強く、信頼性が高い。
ｎｃ−ＯＳは、微小な領域（例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の領域、特に１ｎｍ以上３ｎｍ以下の領域）において原子配列に周期性を有する。また、ｎｃ−ＯＳは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。したがって、ｎｃ−ＯＳは、分析方法によっては、ａ−ｌｉｋｅ ＯＳや非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。
なお、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、を有する金属酸化物の一種である、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物（以下、ＩＧＺＯ）は、上述のナノ結晶とすることで安定な構造をとる場合がある。特に、ＩＧＺＯは、大気中では結晶成長がし難い傾向があるため、大きな結晶（ここでは、数ｍｍの結晶、または数ｃｍの結晶）よりも小さな結晶（例えば、上述のナノ結晶）とする方が、構造的に安定となる場合がある。
ａ−ｌｉｋｅ ＯＳは、ｎｃ−ＯＳと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する金属酸化物である。ａ−ｌｉｋｅ ＯＳは、鬆または低密度領域を有する。すなわち、ａ−ｌｉｋｅ ＯＳは、ｎｃ−ＯＳおよびＣＡＡＣ−ＯＳと比べて、結晶性が低い。
酸化物半導体（金属酸化物）は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、ａ−ｌｉｋｅ ＯＳ、ｎｃ−ＯＳ、ＣＡＡＣ−ＯＳのうち、二種以上を有していてもよい。
［不純物］
ここで、金属酸化物中における各不純物の影響について説明する。
酸化物半導体に不純物が混入すると、欠陥準位または酸素欠損が形成される場合がある。よって、酸化物半導体のチャネル形成領域に不純物が混入することで、酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性が変動しやすく、信頼性が悪くなる場合がある。また、チャネル形成領域に酸素欠損が含まれていると、トランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。
また、上記欠陥準位には、トラップ準位が含まれる場合がある。金属酸化物のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラップ準位密度の高い金属酸化物をチャネル形成領域に有するトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
また、酸化物半導体のチャネル形成領域に不純物が存在すると、チャネル形成領域の結晶性が低くなる場合がある、また、チャネル形成領域に接して設けられる酸化物の結晶性が低くなる場合がある。チャネル形成領域の結晶性が低いと、トランジスタの安定性または信頼性が悪化する傾向がある。また、チャネル形成領域に接して設けられる酸化物の結晶性が低いと、界面準位が形成され、トランジスタの安定性または信頼性が悪化する場合がある。
したがって、トランジスタの安定性または信頼性を向上させるには、酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍の不純物濃度を低減することが有効である。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
具体的には、当該酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍において、ＳＩＭＳにより得られる上記不純物の濃度を、１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは２×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下にする。または、当該酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍において、ＥＤＸを用いた元素分析により得られる上記不純物の濃度を、１．０ａｔｏｍｉｃ％以下にする。なお、当該酸化物半導体として元素Ｍを含む酸化物を用いる場合、当該酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍において、元素Ｍに対する上記不純物の濃度比を、０．１０未満、好ましくは０．０５未満にする。ここで、上記濃度比を算出する際に用いる元素Ｍの濃度は、上記不純物の濃度を算出した領域と同じ領域の濃度でもよいし、当該酸化物半導体中の濃度でもよい。
また、不純物濃度を低減した金属酸化物は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。
また、金属酸化物中の酸素欠損に水素が入った場合、酸素欠損と水素とが結合しＶＯＨを形成する場合がある。ＶＯＨはドナーとして機能し、キャリアである電子が生成されることがある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成する場合がある。
従って、水素が多く含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタは、ノーマリーオン特性となりやすい。また、酸化物半導体中の水素は、熱、電界などのストレスによって動きやすいため、酸化物半導体に多くの水素が含まれると、トランジスタの信頼性が悪化する恐れもある。
つまり、金属酸化物中のＶＯＨをできる限り低減し、高純度真性または実質的に高純度真性にすることが好ましい。このように、ＶＯＨが十分低減された酸化物半導体を得るには、酸化物半導体中の水分、水素などの不純物を除去すること（脱水、脱水素化処理と記載する場合がある。）と、酸化物半導体に酸素を供給して酸素欠損を補填すること（加酸素化処理と記載する場合がある。）が重要である。ＶＯＨなどの不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
また、トランジスタには、キャリア濃度の低い酸化物半導体を用いることが好ましい。酸化物半導体のキャリア濃度を低くする場合においては、酸化物半導体中の不純物濃度を低くし、欠陥準位密度を低くすればよい。本明細書等において、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低いことを高純度真性または実質的に高純度真性という。なお、酸化物半導体中の不純物としては、例えば、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
特に、酸化物半導体に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸化物半導体中に酸素欠損を形成する場合がある。酸化物半導体中のチャネル形成領域に酸素欠損が含まれていると、トランジスタはノーマリーオン特性となる場合がある。さらに、酸素欠損に水素が入った欠陥はドナーとして機能し、キャリアである電子が生成されることがある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成する場合がある。従って、水素が多く含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタは、ノーマリーオン特性となりやすい。
酸素欠損に水素が入った欠陥（ＶＯＨ）は、酸化物半導体のドナーとして機能しうる。しかしながら、当該欠陥を定量的に評価することは困難である。そこで、酸化物半導体においては、ドナー濃度ではなく、キャリア濃度で評価される場合がある。よって、本明細書等では、酸化物半導体のパラメータとして、ドナー濃度ではなく、電界が印加されない状態を想定したキャリア濃度を用いる場合がある。つまり、本明細書等に記載の「キャリア濃度」は、「ドナー濃度」と言い換えることができる場合がある。
よって、酸化物半導体中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、酸化物半導体において、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）により得られる水素濃度を、１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、より好ましくは５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、さらに好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満とする。水素などの不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
また、チャネル形成領域の酸化物半導体のキャリア濃度は、１×１０１８ｃｍ−３以下であることが好ましく、１×１０１７ｃｍ−３未満であることがより好ましく、１×１０１６ｃｍ−３未満であることがさらに好ましく、１×１０１３ｃｍ−３未満であることがさらに好ましく、１×１０１２ｃｍ−３未満であることがさらに好ましい。なお、チャネル形成領域の酸化物半導体のキャリア濃度の下限値については、特に限定は無いが、例えば、１×１０−９ｃｍ−３とすることができる。
本発明の一態様により、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、オン電流の大きい半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様は、低消費電力の半導体装置を提供することを課題の一つとする。
＜半導体装置の変形例＞
以下では、図４を用いて、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の一例について説明する。
ここで、図４の（Ａ）は上面図を示す。また、図４Ｂは図４Ａに示すＡ１−Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図である。また、図４Ｃは、図４ＡにＡ３−Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図である。図４Ａの上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
図４に示す半導体装置は、図３に示した半導体装置とは、酸化物２３０ｂが積層構造であることが異なる。また、酸化物２３０ｃが単層構造であることが異なる。また、絶縁体２７３、および絶縁体２７４を有することが異なる。
酸化物２３０ｂは、２層以上の積層構造を有していてもよい。例えば、図４では、酸化物２３０ｂの第１の酸化物と、酸化物２３０ｂの第１の酸化物の上に配置された酸化物２３０ｂの第２の酸化物と、を有する。
具体的には、酸化物２３０ｂの第２の酸化物は、酸化物２３０ｂの第１の酸化物と、ソース電極またはドレイン電極として機能する導電体２４０（導電体２４０ａよび導電体２４０ｂ）と、の間に設けるとよい。当該構造において、酸化物２３０ｂの第２の酸化物は、酸素の透過を抑制する機能を有することが好ましい。
従って、ソース電極やドレイン電極として機能する導電体２４０と酸化物２３０ｂの第１の酸化物との間に酸素の透過を抑制する機能を有する酸化物２３０ｂの第２の酸化物を配置することで、導電体２４０と、酸化物２３０ｂの第１の酸化物との間の電気抵抗が低減されるので好ましい。このような構成とすることで、トランジスタ２００の電気特性およびトランジスタ２００の信頼性を向上させることができる。
つまり、導電体２４０と、酸化物２３０ｂの第１の酸化物とが接しない構成となるので、導電体２４０が、酸化物２３０ｂの第１の酸化物の酸素を吸収することを抑制できる。導電体２４０の酸化を防止することで、導電体２４０の導電率の低下を抑制することができる。
酸化物２３０ｂの第２の酸化物として、元素Ｍを有する金属酸化物を用いてもよい。特に、元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、または錫を用いるとよい。酸化物２３０ｂの第２の酸化物は、酸化物２３０ｂの第１の酸化物よりも元素Ｍの濃度が高いことが好ましい。また、酸化物２３０ｂの第２の酸化物として、酸化ガリウムを用いてもよい。また、酸化物２３０ｂの第２の酸化物として、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物等の金属酸化物を用いてもよい。
具体的には、酸化物２３０ｂの第２の酸化物に用いる金属酸化物において、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比が、酸化物２３０ｂの第１の酸化物に用いる金属酸化物における、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物２３０ｂの第２の酸化物の膜厚は、０．５ｎｍ以上５ｎｍ以下が好ましく、より好ましくは、１ｎｍ以上３ｎｍ以下である。また、酸化物２３０ｂの第２の酸化物は、結晶性を有すると好ましい。酸化物２３０ｂの第２の酸化物が、結晶性を有する場合、酸化物２３０ｂの第１の酸化物中の酸素の放出を低減することが出来る。例えば、酸化物２３０ｂの第２の酸化物としては、六方晶などの結晶構造であれば、酸化物２３０ｂの第１の酸化物中の酸素の放出を抑制できる場合がある。
また、導電体２４０（導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂ）と酸化物２３０とが接することで、酸化物２３０中の酸素が導電体２４０へ拡散し、導電体２４０が酸化する場合がある。導電体２４０が酸化することで、導電体２４０の導電率が低下する蓋然性が高い。なお、酸化物２３０中の酸素が導電体２４０へ拡散することを、導電体２４０が酸化物２３０中の酸素を吸収する、と言い換えることができる。
また、酸化物２３０（代表的には酸化物２３０ｂ）中の酸素が導電体２４０へ拡散することで、導電体２４０と酸化物２３０との間に異層が形成される場合がある。当該異層は、導電体２４０よりも酸素を多く含むため、当該異層は絶縁性を有すると推定される。このとき、導電体２４０と、当該異層と、酸化物２３０との３層構造は、金属−絶縁体−半導体からなる３層構造とみなすことができ、ＭＩＳ（Ｍｅｔａｌ−Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）構造と呼ぶ、またはＭＩＳ構造を主としたダイオード接合構造と呼ぶ場合がある。
また、導電体２４０の上面と、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および導電体２４０の側面とを覆うように、バリア性を有する絶縁体２７３を設けてもよい。なお、絶縁体２７３を設ける場合、絶縁体２４５は必ずしも設けなくともよい。
例えば、酸化物２３０の導電体２４０と重畳する領域は、導電体２４０の金属元素が添加、または導電体２４０に酸素が吸収され酸素欠損が生じる。つまり、酸化物２３０の導電体２４０と接する面近傍は、局地的に低抵抗化する場合がある。酸化物２３０と導電体２４０とが重畳する領域が低抵抗化することで、トランジスタ２００のオン電流を向上させることができる。
一方、絶縁体２８０が有する過剰酸素は、導電体２４０と重畳する領域の酸化物２３０における側面から、酸化物２３０へと拡散するため、導電体２４０と重畳する領域の酸化物２３０に生じた局地的な低抵抗化領域が減少し、トランジスタ２００のオン電流が低下する場合がある。
そこで、絶縁体２７３を設けることで、導電体２４０と重畳する領域の酸化物２３０における側面から、絶縁体２８０が有する過剰酸素が供給されることを抑制することができる。一方で、絶縁体２８０が有する過剰酸素は、酸化物２３０ｃを介して、酸化物２３０ｂのチャネル形成領域へと供給することができる。従って、酸化物２３０の導電体２４０と接する面近傍に生じた低抵抗化領域が減少することなく、酸化物２３０のチャネル形成領域に生じた酸素欠損を、効率よく補償することができる。
また、絶縁体２２４が過剰酸素領域を有している場合、酸化物２３０において、酸化物２３０ａを介して、絶縁体２２４が有する過剰酸素が酸化物２３０ｂへと拡散する。つまり、酸化物２３０ａ側から、過剰酸素を供給することができる。従って、酸化物２３０の導電体２４０と接する面近傍に生じた低抵抗化領域の減少を抑制しながら、酸化物２３０のチャネル形成領域に生じた酸素欠損を、補償することができる。
なお、絶縁体２７３は、スパッタリング装置を用いて成膜した酸化アルミニウム膜を用いるとよい。絶縁体２７３として、酸化アルミニウム膜を、酸素ガス雰囲気下で成膜を行うことで、絶縁体２７３を成膜しながら、絶縁体２２４に過剰酸素を導入することができる。
また、絶縁体２７３上に絶縁体２７４を設けてもよい。なお、絶縁体２７４は、絶縁体２７３と同様に、酸素の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。
具体的には、スパッタリング法で成膜した絶縁体２７３は、被膜性が低い。従って、絶縁体２７４は、ＡＬＤ法を用いて、成膜することが好ましい。ＡＬＤ法は、段差被覆性と、厚さの均一性に優れた膜を成膜できるため、被処理物の形状の影響を受けにくく、良好な段差被覆性を有するためである。
なお、＜半導体装置の変形例＞において、＜半導体装置の構成例＞に示した半導体装置を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。なお、当該項目においても、半導体装置の構成材料については＜半導体装置の構成例＞で詳細に説明した材料を用いることができる。
以上より、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。また、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。また、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することができる。また、低消費電力の半導体装置を提供することができる。
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態や実施例に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
（実施の形態２）
本実施の形態では、半導体装置の一形態を、図５および図６を用いて説明する。
［記憶装置１］
本発明の一態様である容量素子を使用した、半導体装置（記憶装置）の一例を図５に示す。本発明の一態様の半導体装置は、トランジスタ２００はトランジスタ３００の上方に設けられ、容量素子１００はトランジスタ２００の上方に設けられている。容量素子１００、またはトランジスタ３００は、少なくとも一部がトランジスタ２００と重畳することが好ましい。これにより、容量素子１００、トランジスタ２００、およびトランジスタ３００の上面視における占有面積を低減することができるので、本実施の形態に係る半導体装置を微細化または高集積化させることができる。なお、本実施の形態に係る半導体装置は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）またはＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）に代表されるロジック回路、あるいはＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）またはＮＶＭ（Ｎｏｎ−Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｍｅｍｏｒｙ）に代表されるメモリ回路に適用することができる。
なお、トランジスタ２００として、先の実施の形態で説明したトランジスタ２００を用いることができる。よって、トランジスタ２００、およびトランジスタ２００を含む層については、先の実施の形態の記載を参酌することができる。
トランジスタ２００は、酸化物半導体を有する半導体層にチャネルが形成されるトランジスタである。トランジスタ２００は、オフ電流が小さいため、これを記憶装置に用いることにより長期にわたり記憶内容を保持することが可能である。つまり、リフレッシュ動作を必要としない、あるいは、リフレッシュ動作の頻度が極めて少ないため、記憶装置の消費電力を十分に低減することができる。また、半導体層にシリコンを用いるトランジスタと比較して、トランジスタ２００は、高温における電気特性が良好である。例えば、トランジスタ２００は、１２５℃乃至１５０℃の温度範囲においても良好な電気特性を示す。また、１２５℃乃至１５０℃の温度範囲において、トランジスタ２００は、トランジスタのオン／オフ比が１０桁以上を有する。別言すると、半導体層にシリコンを用いるトランジスタと比較して、トランジスタ２００は、トランジスタ特性の一例であるオン電流、周波数特性などが高温になるほど優れた特性を有する。
図５に示す半導体装置において、配線１００１はトランジスタ３００のソースと電気的に接続され、配線１００２はトランジスタ３００のドレインと電気的に接続され、配線１００７はトランジスタ３００のゲートと電気的に接続されている。また、配線１００３はトランジスタ２００のソースおよびドレインの一方と電気的に接続され、配線１００４はトランジスタ２００の第１のゲートと電気的に接続され、配線１００６はトランジスタ２００の第２のゲートと電気的に接続されている。そして、トランジスタ２００のソースおよびドレインの他方は、容量素子１００の電極の一方と電気的に接続され、配線１００５は容量素子１００の電極の他方と電気的に接続されている。
図５に示す半導体装置は、トランジスタ２００のスイッチングによって、容量素子１００の電極の一方に充電された電荷が保持可能という特性を有することで、情報の書き込み、保持、読み出しが可能である。また、トランジスタ２００は、ソース、ゲート（トップゲート）、ドレインに加え、バックゲートが設けられた素子である。すなわち、４端子素子であるため、ＭＴＪ（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｔｕｎｎｅｌ Ｊｕｎｃｔｉｏｎ）特性を利用したＭＲＡＭ（Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲｅＲＡＭ（Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、相変化メモリ（Ｐｈａｓｅ−ｃｈａｎｇｅ ｍｅｍｏｒｙ）などに代表される２端子素子と比較して、入出力の独立制御が簡便に行うことができるといった特徴を有する。また、ＭＲＡＭ、ＲｅＲＡＭ、相変化メモリは、情報の書き換えの際に、原子レベルで構造変化が生じる場合がある。一方で図５に示す半導体装置は、情報の書き換えの際にトランジスタ及び容量素子を利用した電子のチャージ、またはディスチャージにより動作するため、繰り返し書き換え耐性に優れ、構造変化も少ないといった特徴を有する。
また、図５に示す半導体装置は、マトリクス状に配置することで、メモリセルアレイを構成することができる。この場合、トランジスタ３００は、当該メモリセルアレイに接続される読み出し回路、または駆動回路などとして用いることができる。また、図５に示す半導体装置は、上述のようにメモリセルアレイを構成している。図５に示す半導体装置をメモリ素子として用いた場合、例えば、駆動電圧が２．５Ｖ、評価環境温度が−４０℃乃至８５℃の範囲において、２００ＭＨｚ以上の動作周波数を実現することができる。
＜トランジスタ３００＞
トランジスタ３００は、基板３１１上に設けられ、ゲート電極として機能する導電体３１６、ゲート絶縁体として機能する絶縁体３１５、基板３１１の一部からなる半導体領域３１３、ならびにソース領域またはドレイン領域として機能する低抵抗領域３１４ａ、および低抵抗領域３１４ｂを有する。
ここで、半導体領域３１３の上に絶縁体３１５が配置され、絶縁体３１５の上に導電体３１６が配置される。また、同じ層に形成されるトランジスタ３００は、素子分離絶縁層として機能する絶縁体３１２によって、電気的に分離されている。絶縁体３１２は、後述する絶縁体３２６などと同様の絶縁体を用いることができる。トランジスタ３００は、ｐチャネル型、あるいはｎチャネル型のいずれでもよい。
基板３１１は、半導体領域３１３のチャネルが形成される領域、その近傍の領域、ソース領域、またはドレイン領域となる低抵抗領域３１４ａ、および低抵抗領域３１４ｂなどにおいて、シリコン系半導体などの半導体を含むことが好ましく、単結晶シリコンを含むことが好ましい。または、Ｇｅ（ゲルマニウム）、ＳｉＧｅ（シリコンゲルマニウム）、ＧａＡｓ（ガリウムヒ素）、ＧａＡｌＡｓ（ガリウムアルミニウムヒ素）などを有する材料で形成してもよい。結晶格子に応力を与え、格子間隔を変化させることで有効質量を制御したシリコンを用いた構成としてもよい。またはＧａＡｓとＧａＡｌＡｓ等を用いることで、トランジスタ３００をＨＥＭＴ（Ｈｉｇｈ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｏｂｉｌｉｔｙ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）としてもよい。
低抵抗領域３１４ａ、および低抵抗領域３１４ｂは、半導体領域３１３に適用される半導体材料に加え、ヒ素、リンなどのｎ型の導電性を付与する元素、またはホウ素などのｐ型の導電性を付与する元素を含む。
ゲート電極として機能する導電体３１６は、ヒ素、リンなどのｎ型の導電性を付与する元素、もしくはホウ素などのｐ型の導電性を付与する元素を含むシリコンなどの半導体材料、金属材料、合金材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を用いることができる。
なお、導電体の材料により、仕事関数が定まるため、導電体の材料を変更することで、しきい値電圧を調整することができる。具体的には、導電体に窒化チタンや窒化タンタルなどの材料を用いることが好ましい。さらに導電性と埋め込み性を両立するために導電体にタングステンやアルミニウムなどの金属材料を積層として用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが耐熱性の点で好ましい。
ここで、図５に示すトランジスタ３００はチャネルが形成される半導体領域３１３（基板３１１の一部）が凸形状を有する。また、半導体領域３１３の側面および上面を、絶縁体３１５を介して、導電体３１６が覆うように設けられている。このようなトランジスタ３００は半導体基板の凸部を利用していることからＦＩＮ型トランジスタとも呼ばれる。なお、凸部の上部に接して、凸部を形成するためのマスクとして機能する絶縁体を有していてもよい。また、ここでは半導体基板の一部を加工して凸部を形成する場合を示したが、ＳＯＩ基板を加工して凸形状を有する半導体膜を形成してもよい。
なお、図５に示すトランジスタ３００は一例であり、その構造に限定されず、回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用いればよい。
また、図５に示すように半導体装置は、トランジスタ３００と、トランジスタ２００とを、積層して設けている。例えば、トランジスタ３００をシリコン系半導体材料で形成し、トランジスタ２００を酸化物半導体で形成することができる。このように、図５に示す半導体装置は、シリコン系半導体材料と、酸化物半導体とを、異なるレイヤーに混載して形成することが可能である。また、図５に示す半導体装置は、シリコン系半導体材料で用いる製造装置と同様のプロセスで作製することが可能であり、高集積化することも可能である。
＜容量素子＞
容量素子１００は、絶縁体１６０上の絶縁体１１４と、絶縁体１１４上の絶縁体１４０と、絶縁体１１４および絶縁体１４０に形成された開口の中に配置された導電体１１０と、導電体１１０および絶縁体１４０上の絶縁体１３０と、絶縁体１３０上の導電体１２０と、導電体１２０および絶縁体１３０上の絶縁体１５０と、を有する。ここで、絶縁体１１４および絶縁体１４０に形成された開口の中に導電体１１０、絶縁体１３０、および導電体１２０の少なくとも一部が配置される。
導電体１１０は容量素子１００の下部電極として機能し、導電体１２０は容量素子１００の上部電極として機能し、絶縁体１３０は、容量素子１００の誘電体として機能する。容量素子１００は、絶縁体１１４および絶縁体１４０の開口において、底面だけでなく、側面においても上部電極と下部電極とが誘電体を挟んで対向する構成となっており、単位面積当たりの静電容量を大きくすることができる。よって、当該開口の深さを深くするほど、容量素子１００の静電容量を大きくすることができる。このように容量素子１００の単位面積当たりの静電容量を大きくすることにより、半導体装置の微細化または高集積化を推し進めることができる。
絶縁体１１４、および絶縁体１５０は、絶縁体２８０に用いることができる絶縁体を用いればよい。また、絶縁体１４０は、絶縁体１１４の開口を形成するときのエッチングストッパとして機能することが好ましく、絶縁体２１４に用いることができる絶縁体を用いればよい。
絶縁体１１４および絶縁体１４０に形成された開口を上面から見た形状は、四角形としてもよいし、四角形以外の多角形状としてもよいし、多角形状において角部を湾曲させた形状としてもよいし、楕円を含む円形状としてもよい。ここで、上面視において、当該開口とトランジスタ２００の重なる面積が多い方が好ましい。このような構成にすることにより、容量素子１００とトランジスタ２００を有する半導体装置の占有面積を低減することができる。
導電体１１０は、絶縁体１４０、および絶縁体１１４に形成された開口に接して配置される。導電体１１０の上面は、絶縁体１４０の上面と略一致することが好ましい。また、導電体１１０の下面には、絶縁体１６０上に設けられた導電体１５２が接する。導電体１１０は、ＡＬＤ法またはＣＶＤ法などを用いて成膜することが好ましく、例えば、導電体２０５に用いることができる導電体を用いればよい。
絶縁体１３０は、導電体１１０および絶縁体１４０を覆うように配置される。例えば、ＡＬＤ法またはＣＶＤ法などを用いて絶縁体１３０を成膜することが好ましい。絶縁体１３０は、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウム、窒化酸化ハフニウム、窒化ハフニウムなどを用いればよく、積層または単層で設けることができる。例えば、絶縁体１３０として、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウムの順番で積層された絶縁膜を用いることができる。
また、絶縁体１３０には、酸化窒化シリコンなどの絶縁耐力が大きい材料、または高誘電率（ｈｉｇｈ−ｋ）材料を用いることが好ましい。または、絶縁耐力が大きい材料と高誘電率（ｈｉｇｈ−ｋ）材料の積層構造を用いてもよい。
なお、高誘電率（ｈｉｇｈ−ｋ）材料（高い比誘電率の材料）の絶縁体としては、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化物、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する窒化物などがある。このようなｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることで、絶縁体１３０を厚くしても容量素子１００の静電容量を十分確保することができる。絶縁体１３０を厚くすることにより、導電体１１０と導電体１２０の間に生じるリーク電流を抑制することができる。
一方、絶縁耐力が大きい材料としては、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコン、樹脂などがある。例えば、ＡＬＤ法を用いて成膜した窒化シリコン（ＳｉＮｘ）、ＰＥＡＬＤ法を用いて成膜した酸化シリコン（ＳｉＯｘ）、ＡＬＤ法を用いて成膜した窒化シリコン（ＳｉＮｘ）の順番で積層された絶縁膜を用いることができる。このような、絶縁耐力が大きい絶縁体を用いることで、絶縁耐力が向上し、容量素子１００の静電破壊を抑制することができる。
導電体１２０は、絶縁体１４０および絶縁体１１４に形成された開口を埋めるように配置される。また、導電体１２０は、導電体１１２、および導電体１５３を介して配線１００５と電気的に接続している。導電体１２０は、ＡＬＤ法またはＣＶＤ法などを用いて成膜することが好ましく、例えば、導電体２０５に用いることができる導電体を用いればよい。
また、トランジスタ２００は、酸化物半導体を用いる構成であるため、容量素子１００との相性が優れている。具体的には、酸化物半導体を用いるトランジスタ２００は、オフ電流が小さいため、容量素子１００と組み合わせて用いることで長期にわたり記憶内容を保持することが可能である。
＜配線層＞
各構造体の間には、層間膜、配線、およびプラグ等が設けられた配線層が設けられていてもよい。また、配線層は、設計に応じて複数層設けることができる。ここで、プラグまたは配線として機能する導電体は、複数の構造をまとめて同一の符号を付与する場合がある。また、本明細書等において、配線と、配線と電気的に接続するプラグとが一体物であってもよい。すなわち、導電体の一部が配線として機能する場合、および導電体の一部がプラグとして機能する場合もある。
例えば、トランジスタ３００上には、層間膜として、絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２４、および絶縁体３２６が順に積層して設けられている。また、絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２４、および絶縁体３２６には、端子として機能する導電体１５３と電気的に接続する導電体３２８、および導電体３３０等が埋め込まれている。なお、導電体３２８、および導電体３３０はプラグ、または配線として機能する。
また、層間膜として機能する絶縁体は、その下方の凹凸形状を被覆する平坦化膜として機能してもよい。例えば、絶縁体３２２の上面は、平坦性を高めるために化学機械研磨（ＣＭＰ）法等を用いた平坦化処理により平坦化されていてもよい。
絶縁体３２６、および導電体３３０上に、配線層を設けてもよい。例えば、図５において、絶縁体３５０、絶縁体３５２、および絶縁体３５４が順に積層して設けられている。また、絶縁体３５０、絶縁体３５２、および絶縁体３５４には、導電体３５６が形成されている。導電体３５６は、プラグ、または配線として機能する。
絶縁体３５４、および導電体３５６上には、絶縁体２１０、絶縁体２１２、絶縁体２１４、および絶縁体２１６が順に積層して設けられている。また、絶縁体２１０、絶縁体２１２、絶縁体２１４、および絶縁体２１６には、導電体２１８、及びトランジスタ２００を構成する導電体（導電体２０５）等が埋め込まれている。なお、導電体２１８は、トランジスタ３００と電気的に接続するプラグ、または配線として機能する。
また、絶縁体１１４、絶縁体１４０、絶縁体１３０、絶縁体１５０、および絶縁体１５４には、導電体１１２、および容量素子１００を構成する導電体（導電体１２０、導電体１１０）等が埋め込まれている。なお、導電体１１２は、容量素子１００、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００と、端子として機能する導電体１５３と、を電気的に接続するプラグ、または配線として機能する。
また、絶縁体１５４上に導電体１５３が設けられ、導電体１５３は、絶縁体１５６に覆われている。ここで、導電体１５３は導電体１１２の上面に接しており、容量素子１００、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００の端子として機能する。
なお、層間膜として用いることができる絶縁体としては、絶縁性を有する酸化物、窒化物、酸化窒化物、窒化酸化物、金属酸化物、金属酸化窒化物、金属窒化酸化物などがある。例えば、層間膜として機能する絶縁体は、比誘電率が低い材料を用いることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。したがって、絶縁体の機能に応じて、材料を選択するとよい。
例えば、絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２６、絶縁体３５２、絶縁体３５４、絶縁体２１２、絶縁体１１４、絶縁体１５０、絶縁体１５６等は、比誘電率の低い絶縁体を有することが好ましい。例えば、当該絶縁体は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコン、樹脂などを有することが好ましい。または、当該絶縁体は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコンまたは空孔を有する酸化シリコンと、樹脂と、の積層構造を有することが好ましい。酸化シリコンおよび酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため、樹脂と組み合わせることで、熱的に安定かつ比誘電率の低い積層構造とすることができる。樹脂としては、例えば、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド（ナイロン、アラミドなど）、ポリイミド、ポリカーボネート、アクリルなどがある。
また、導電体１５２または導電体１５３の上または下に設けられる絶縁体の抵抗率が１．０×１０１２Ωｃｍ以上１．０×１０１５Ωｃｍ以下、好ましくは５．０×１０１２Ωｃｍ以上１．０×１０１４Ωｃｍ以下、より好ましくは１．０×１０１３Ωｃｍ以上５．０×１０１３Ωｃｍ以下であることが好ましい。導電体１５２または導電体１５３の上または下に設けられる絶縁体の抵抗率を上記の範囲にすることで、当該絶縁体は、絶縁性を維持しつつ、トランジスタ２００、トランジスタ３００、容量素子１００、および導電体１５２等の配線間に蓄積される電荷を分散し、該電荷によるトランジスタ、該トランジスタを有する半導体装置の特性不良や静電破壊を抑制することができ、好ましい。このような絶縁体として、窒化シリコン、または窒化酸化シリコンを用いることができる。例えば、絶縁体１６０または絶縁体１５４の抵抗率を上記の範囲にすればよい。
また、酸化物半導体を用いたトランジスタは、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体で囲うことによって、トランジスタの電気特性を安定にすることができる。従って、絶縁体３２４、絶縁体３５０、絶縁体２１０等には、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体を用いればよい。
水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体としては、例えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニウム、シリコン、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、ネオジム、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単層で、または積層で用いればよい。具体的には、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウムまたは酸化タンタルなどの金属酸化物、窒化酸化シリコンまたは窒化シリコンなどを用いることができる。
配線、プラグに用いることができる導電体としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウムなどから選ばれた金属元素を１種以上含む材料を用いることができる。また、リン等の不純物元素を含有させた多結晶シリコンに代表される、電気伝導度が高い半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。
例えば、導電体３２８、導電体３３０、導電体３５６、導電体２１８、導電体１１２、導電体１５２、導電体１５３等としては、上記の材料で形成される金属材料、合金材料、金属窒化物材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を、単層または積層して用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましく、タングステンを用いることが好ましい。または、アルミニウムや銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。低抵抗導電性材料を用いることで配線抵抗を低くすることができる。
＜酸化物半導体が設けられた層の配線、またはプラグ＞
なお、トランジスタ２００に、酸化物半導体を用いる場合、酸化物半導体の近傍に過剰酸素領域を有する絶縁体が設けることがある。その場合、該過剰酸素領域を有する絶縁体と、該過剰酸素領域を有する絶縁体に設ける導電体との間に、バリア性を有する絶縁体を設けることが好ましい。
例えば、図５では、過剰酸素を有する絶縁体２８０と、導電体２４８との間に、絶縁体２４７を設けるとよい。絶縁体２４７と、絶縁体２８２とが接して設けられることで、導電体２４８、およびトランジスタ２００が、バリア性を有する絶縁体によって、封止される構造とすることができる。
つまり、絶縁体２４７を設けることで、絶縁体２８０が有する過剰酸素が、導電体２４８に吸収されることを抑制することができる。また、絶縁体２４７を有することで、不純物である水素が、導電体２４８を介して、トランジスタ２００へ拡散することを抑制することができる。
ここで、導電体２４８は、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００と電気的に接続するプラグ、または配線としての機能を有する。
具体的には、絶縁体２８４、絶縁体２８２、および絶縁体２８０の開口の側壁に接して、絶縁体２４７が設けられ、その側面に接して導電体２４８が形成されている。当該開口の底部の少なくとも一部には導電体２４０が位置しており、導電体２４８が導電体２４０と接する。
導電体２４８は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、導電体２４８は積層構造としてもよい。なお、トランジスタ２００では、導電体２４８を、２層の積層構造として設ける構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体２４８を単層、または３層以上の積層構造として設ける構成にしてもよい。
また、導電体２４８を積層構造とする場合、導電体２４０と接し、かつ、絶縁体２８０、絶縁体２８２、および絶縁体２８４と、絶縁体２４７を介して接する導電体には、水、水素などの不純物の透過を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。例えば、タンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン、ルテニウム、酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。また、水、水素などの不純物の透過を抑制する機能を有する導電性材料は、単層または積層で用いてもよい。当該導電性材料を用いることで、絶縁体２８０に添加された酸素が導電体２４８に吸収されるのを防ぐことができる。また、絶縁体２８４より上層に含まれる、水、水素などの不純物が、導電体２４８を通じて酸化物２３０に拡散するのを抑制することができる。
絶縁体２４７としては、例えば、絶縁体２１４等に用いることができる絶縁体を用いればよい。絶縁体２４７は、絶縁体２８０などに含まれる水、水素などの不純物が、導電体２４８を通じて酸化物２３０に拡散するのを抑制することができる。また、絶縁体２８０に含まれる酸素が導電体２４８に吸収されるのを防ぐことができる。
また、図示しないが、導電体２４８の上面に接して配線として機能する導電体１５２を配置してもよい。配線として機能する導電体は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、当該導電体は、積層構造としてもよく、例えば、チタン又は窒化チタンと上記導電性材料との積層としてもよい。なお、当該導電体は、絶縁体に設けられた開口に埋め込むように形成してもよい。
以上が構成例についての説明である。本構成を用いることで、酸化物半導体を有するトランジスタを用いた半導体装置を微細化または高集積化させることができる。また、酸化物半導体を有するトランジスタを用いた半導体装置において、電気特性の変動を抑制すると共に、信頼性を向上させることができる。また、オン電流が大きい酸化物半導体を有するトランジスタを提供することができる。また、オフ電流が小さい酸化物半導体を有するトランジスタを提供することができる。また、消費電力が低減された半導体装置を提供することができる。
［記憶装置２］
本発明の一態様である半導体装置を使用した、半導体装置（記憶装置）の一例を図６に示す。図６に示す半導体装置は、図５で示した半導体装置と同様に、トランジスタ２００、トランジスタ３００、および容量素子１００を有する。ただし、図６に示す半導体装置は、容量素子１００がプレーナ型である点、およびトランジスタ２００とトランジスタ３００が電気的に接続されている点において、図５に示す半導体装置と異なる。
本発明の一態様の半導体装置は、トランジスタ２００はトランジスタ３００の上方に設けられ、容量素子１００はトランジスタ３００、およびトランジスタ２００の上方に設けられている。容量素子１００、またはトランジスタ３００は、少なくとも一部がトランジスタ２００と重畳することが好ましい。これにより、容量素子１００、トランジスタ２００、およびトランジスタ３００の上面視における占有面積を低減することができるので、本実施の形態に係る半導体装置を微細化または高集積化させることができる。
なお、トランジスタ２００およびトランジスタ３００として、上記のトランジスタ２００およびトランジスタ３００を用いることができる。よって、トランジスタ２００、トランジスタ３００、およびこれらを含む層については、上記の記載を参酌することができる。
図６に示す半導体装置において、配線２００１はトランジスタ３００のソースと電気的に接続され、配線２００２はトランジスタ３００のドレインと電気的に接続されている。また、配線２００３はトランジスタ２００のソースおよびドレインの一方と電気的に接続され、配線２００４はトランジスタ２００の第１のゲートと電気的に接続され、配線２００６はトランジスタ２００の第２のゲートと電気的に接続されている。そして、トランジスタ３００のゲート、およびトランジスタ２００のソースおよびドレインの他方は、容量素子１００の電極の一方と電気的に接続され、配線２００５は容量素子１００の電極の他方と電気的に接続されている。なお、以下において、トランジスタ３００のゲートと、トランジスタ２００のソースおよびドレインの他方と、容量素子１００の電極の一方と、が接続されたノードをノードＦＧと呼ぶ場合がある。
図６に示す半導体装置は、トランジスタ２００のスイッチングによって、トランジスタ３００のゲート（ノードＦＧ）の電位が保持可能という特性を有することで、情報の書き込み、保持、読み出しが可能である。
また、図６に示す半導体装置は、マトリクス状に配置することで、メモリセルアレイを構成することができる。
トランジスタ３００を含む層は、図５に示す半導体装置と同様の構造を有するので、絶縁体３５４より下の構造は、上記の記載を参酌することができる。
絶縁体３５４の上に、絶縁体２１０、絶縁体２１２、絶縁体２１４、および絶縁体２１６が配置される。ここで、絶縁体２１０は、絶縁体３５０などと同様に、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体を用いればよい。
絶縁体２１０、絶縁体２１２、絶縁体２１４、および絶縁体２１６には、導電体２１８が埋め込まれている。導電体２１８は、容量素子１００、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００と電気的に接続するプラグ、または配線として機能する。例えば、導電体２１８は、トランジスタ３００のゲート電極として機能する導電体３１６と電気的に接続されている。
また、導電体２４８は、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００と電気的に接続するプラグ、または配線として機能する。例えば、導電体２４８は、トランジスタ２００のソースおよびドレインの他方として機能する導電体２４０ｂと、容量素子１００の電極の一方として機能する導電体１１０を、導電体２４８を介して電気的に接続している。
また、プレーナ型の容量素子１００は、トランジスタ２００の上方に設けられる。容量素子１００は、第１の電極として機能する導電体１１０、第２の電極として機能する導電体１２０、および誘電体として機能する絶縁体１３０を有する。なお、導電体１１０、導電体１２０、および絶縁体１３０は、上述の記憶装置１で記載したものを用いることができる。
導電体２４８の上面に接して導電体１５３および導電体１１０が設けられる。導電体１５３は、導電体２４８の上面に接しており、トランジスタ２００またはトランジスタ３００の端子として機能する。
導電体１５３および導電体１１０は絶縁体１３０に覆われており、絶縁体１３０を介して導電体１１０と重なるように導電体１２０が配置される。さらに、導電体１２０、および絶縁体１３０上には、絶縁体１１４が配置されている。
また、図６において、容量素子１００として、プレーナ型の容量素子を用いる例について示したが、本実施の形態に示す半導体装置はこれに限られるものではない。例えば、容量素子１００として、図５に示すようなシリンダ型の容量素子１００を用いてもよい。
［記憶装置３］
本発明の一態様である半導体装置を使用した、記憶装置の一例を図７に示す。図７に示す記憶装置は、図６で示したトランジスタ２００、トランジスタ３００、および容量素子１００を有する半導体装置に加え、トランジスタ４００を有している。
トランジスタ４００は、トランジスタ２００の第２のゲート電圧を制御することができる。例えば、トランジスタ４００の第１のゲート及び第２のゲートをソースとダイオード接続し、トランジスタ４００のソースと、トランジスタ２００の第２のゲートを接続する構成とする。当該構成でトランジスタ２００の第２のゲートの負電位を保持するとき、トランジスタ４００の第１のゲートーソース間の電圧および、第２のゲートーソース間の電圧は、０Ｖになる。トランジスタ４００において、第２のゲート電圧及び第１のゲート電圧が０Ｖのときのドレイン電流が非常に小さいため、トランジスタ２００およびトランジスタ４００に電源供給をしなくても、トランジスタ２００の第２のゲートの負電位を長時間維持することができる。これにより、トランジスタ２００、およびトランジスタ４００を有する記憶装置は、長期にわたり記憶内容を保持することが可能である。
従って、図７において、配線１００１はトランジスタ３００のソースと電気的に接続され、配線１００２はトランジスタ３００のドレインと電気的に接続されている。また、配線１００３はトランジスタ２００のソースおよびドレインの一方と電気的に接続され、配線１００４はトランジスタ２００のゲートと電気的に接続され、配線１００６はトランジスタ２００の第２のゲート（バックゲート）と電気的に接続されている。そして、トランジスタ３００のゲート、およびトランジスタ２００のソースおよびドレインの他方は、容量素子１００の電極の一方と電気的に接続され、配線１００５は容量素子１００の電極の他方と電気的に接続されている。配線１００７はトランジスタ４００のソースと電気的に接続され、配線１００８はトランジスタ４００のゲートと電気的に接続され、配線１００９はトランジスタ４００の第２のゲート（バックゲート）と電気的に接続され、配線１０１０はトランジスタ４００のドレインと電気的に接続されている。ここで、配線１００６、配線１００７、配線１００８、及び配線１００９が電気的に接続されている。
また、図７に示す記憶装置は、図５及び図６に示す記憶装置と同様に、マトリクス状に配置することで、メモリセルアレイを構成することができる。なお、１個のトランジスタ４００は、複数のトランジスタ２００の第２のゲート電圧を制御することができる。そのため、トランジスタ４００は、トランジスタ２００よりも、少ない個数を設けるとよい。
＜トランジスタ４００＞
トランジスタ４００は、トランジスタ２００と、同じ層に形成されており、並行して作製することができるトランジスタである。トランジスタ４００は、第１のゲート電極として機能する導電体４６０（導電体４６０ａ、および導電体４６０ｂ）と、第２のゲート電極として機能する導電体４０５と、ゲート絶縁層として機能する絶縁体２２２、絶縁体２２４、および絶縁体４５０と、チャネルが形成される領域を有する酸化物４３０ｃと、ソースまたはドレインの一方として機能する導電体４４０ａ、酸化物４３１ａ、および酸化物４３１ｂと、ソースまたはドレインの他方として機能する導電体４４０ｂ、酸化物４３２ａ、および酸化物４３２ｂと、バリア層として機能する絶縁体４４５ａ、および４４５ｂと、を有する。
トランジスタ４００において、導電体４０５は、導電体２０５と、同じ層である。酸化物４３１ａ、および酸化物４３２ａと、酸化物２３０ａと、同じ層であり、酸化物４３１ｂ、および酸化物４３２ｂと、酸化物２３０ｂと、同じ層である。導電体４４０（導電体４４０ａ、および導電体４４０ｂ）は、導電体２４０と、同じ層である。絶縁体４４５（絶縁体４４５ａ、および絶縁体４４５ｂ）は、絶縁体２４５と、同じ層である。酸化物４３０ｃは、酸化物２３０ｃと、同じ層である。絶縁体４５０は、絶縁体２５０と、同じ層である。導電体４６０は、導電体２６０と、同じ層である。
なお、同じ層に形成された構造体は、同時に形成することができる。例えば、酸化物４３０ｃは、酸化物２３０ｃとなる酸化膜を加工することで、形成することができる。
トランジスタ４００の活性層として機能する酸化物４３０ｃは、酸化物２３０などと同様に、酸素欠損が低減され、水素または水などの不純物が低減されている。これにより、トランジスタ４００のしきい値電圧を０Ｖより大きくし、オフ電流を低減し、第２のゲート電圧及び第１のゲート電圧が０Ｖのときのドレイン電流を非常に小さくすることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態および実施例などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
（実施の形態３）
本実施の形態では、図８および図９を用いて、本発明の一態様に係る、酸化物を半導体に用いたトランジスタ（以下、ＯＳトランジスタと呼ぶ場合がある。）、および容量素子が適用されている記憶装置（以下、ＯＳメモリ装置と呼ぶ場合がある。）について説明する。ＯＳメモリ装置は、少なくとも容量素子と、容量素子の充放電を制御するＯＳトランジスタを有する記憶装置である。ＯＳトランジスタのオフ電流は極めて小さいので、ＯＳメモリ装置は優れた保持特性をもち、不揮発性メモリとして機能させることができる。
＜記憶装置の構成例＞
図８ＡにＯＳメモリ装置の構成の一例を示す。記憶装置１４００は、周辺回路１４１１、およびメモリセルアレイ１４７０を有する。周辺回路１４１１は、行回路１４２０、列回路１４３０、出力回路１４４０、およびコントロールロジック回路１４６０を有する。
列回路１４３０は、例えば、列デコーダ、プリチャージ回路、センスアンプ、書き込み回路等を有する。プリチャージ回路は、配線をプリチャージする機能を有する。センスアンプは、メモリセルから読み出されたデータ信号を増幅する機能を有する。なお、上記配線は、メモリセルアレイ１４７０が有するメモリセルに接続されている配線であり、詳しくは後述する。増幅されたデータ信号は、出力回路１４４０を介して、データ信号ＲＤＡＴＡとして記憶装置１４００の外部に出力される。また、行回路１４２０は、例えば、行デコーダ、ワード線ドライバ回路等を有し、アクセスする行を選択することができる。
記憶装置１４００には、外部から電源電圧として低電源電圧（ＶＳＳ）、周辺回路１４１１用の高電源電圧（ＶＤＤ）、メモリセルアレイ１４７０用の高電源電圧（ＶＩＬ）が供給される。また、記憶装置１４００には、制御信号（ＣＥ、ＷＥ、ＲＥ）、アドレス信号ＡＤＤＲ、データ信号ＷＤＡＴＡが外部から入力される。アドレス信号ＡＤＤＲは、行デコーダおよび列デコーダに入力され、データ信号ＷＤＡＴＡは書き込み回路に入力される。
コントロールロジック回路１４６０は、外部からの入力信号（ＣＥ、ＷＥ、ＲＥ）を処理して、行デコーダ、列デコーダの制御信号を生成する。ＣＥは、チップイネーブル信号であり、ＷＥは、書き込みイネーブル信号であり、ＲＥは、読み出しイネーブル信号である。コントロールロジック回路１４６０が処理する信号は、これに限定されるものではなく、必要に応じて、他の制御信号を入力すればよい。
メモリセルアレイ１４７０は、行列状に配置された、複数個のメモリセルＭＣと、複数の配線を有する。なお、メモリセルアレイ１４７０と行回路１４２０とを接続している配線の数は、メモリセルＭＣの構成、一列に有するメモリセルＭＣの数などによって決まる。また、メモリセルアレイ１４７０と列回路１４３０とを接続している配線の数は、メモリセルＭＣの構成、一行に有するメモリセルＭＣの数などによって決まる。
なお、図８Ａにおいて、周辺回路１４１１とメモリセルアレイ１４７０を同一平面上に形成する例について示したが、本実施の形態はこれに限られるものではない。例えば、図８Ｂに示すように、周辺回路１４１１の一部の上に、メモリセルアレイ１４７０が重なるように設けられてもよい。例えば、メモリセルアレイ１４７０の下に重なるように、センスアンプを設ける構成にしてもよい。
図９に上述のメモリセルＭＣに適用できるメモリセルの構成例について説明する。
［ＤＯＳＲＡＭ］
図９Ａ乃至図９Ｃに、ＤＲＡＭのメモリセルの回路構成例を示す。本明細書等において、１ＯＳトランジスタ１容量素子型のメモリセルを用いたＤＲＡＭを、ＤＯＳＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）と呼ぶ場合がある。図９Ａに示す、メモリセル１４７１は、トランジスタＭ１と、容量素子ＣＡと、を有する。なお、トランジスタＭ１は、ゲート（トップゲートと呼ぶ場合がある。）、及びバックゲートを有する。
トランジスタＭ１の第１端子は、容量素子ＣＡの第１端子と接続され、トランジスタＭ１の第２端子は、配線ＢＩＬと接続され、トランジスタＭ１のゲートは、配線ＷＯＬと接続され、トランジスタＭ１のバックゲートは、配線ＢＧＬと接続されている。容量素子ＣＡの第２端子は、配線ＣＡＬと接続されている。
配線ＢＩＬは、ビット線として機能し、配線ＷＯＬは、ワード線として機能する。配線ＣＡＬは、容量素子ＣＡの第２端子に所定の電位を印加するための配線として機能する。データの書き込み時、及び読み出し時において、配線ＣＡＬには、低レベル電位を印加するのが好ましい。配線ＢＧＬは、トランジスタＭ１のバックゲートに電位を印加するための配線として機能する。配線ＢＧＬに任意の電位を印加することによって、トランジスタＭ１のしきい値電圧を増減することができる。
ここで、図９Ａに示すメモリセル１４７１は、図５に示す記憶装置に対応している。つまり、トランジスタＭ１はトランジスタ２００に、容量素子ＣＡは容量素子１００に、配線ＢＩＬは配線１００３に、配線ＷＯＬは配線１００４に、配線ＢＧＬは配線１００６に、配線ＣＡＬは配線１００５に対応している。なお、図５に記載のトランジスタ３００は、図８Ａ、および図８Ｂに示す記憶装置１４００の周辺回路１４１１に設けられるトランジスタに対応する。
また、メモリセルＭＣは、メモリセル１４７１に限定されず、回路構成の変更を行うことができる。例えば、メモリセルＭＣは、図９Ｂに示すメモリセル１４７２のように、トランジスタＭ１のバックゲートが、配線ＢＧＬでなく、配線ＷＯＬと接続される構成にしてもよい。また、例えば、メモリセルＭＣは、図９Ｃに示すメモリセル１４７３のように、シングルゲート構造のトランジスタ、つまりバックゲートを有さないトランジスタＭ１で構成されたメモリセルとしてもよい。
上記実施の形態に示す半導体装置をメモリセル１４７１等に用いる場合、トランジスタＭ１としてトランジスタ２００を用い、容量素子ＣＡとして容量素子１００を用いることができる。トランジスタＭ１としてＯＳトランジスタを用いることによって、トランジスタＭ１のリーク電流を非常に低くすることができる。つまり、書き込んだデータをトランジスタＭ１によって長時間保持することができるため、メモリセルのリフレッシュの頻度を少なくすることができる。または、メモリセルのリフレッシュ動作を不要にすることができる。また、リーク電流が非常に低いため、メモリセル１４７１、メモリセル１４７２、メモリセル１４７３に対して多値データ、又はアナログデータを保持することができる。
また、ＤＯＳＲＡＭにおいて、上記のように、メモリセルアレイ１４７０の下に重なるように、センスアンプを設ける構成にすると、ビット線を短くすることができる。これにより、ビット線容量が小さくなり、メモリセルの保持容量を低減することができる。
［ＮＯＳＲＡＭ］
図９Ｄ乃至図９Ｇに、２トランジスタ１容量素子のゲインセル型のメモリセルの回路構成例を示す。図９Ｄに示す、メモリセル１４７４は、トランジスタＭ２と、トランジスタＭ３と、容量素子ＣＢと、を有する。なお、トランジスタＭ２は、トップゲート（単にゲートと呼ぶ場合がある。）、及びバックゲートを有する。本明細書等において、トランジスタＭ２にＯＳトランジスタを用いたゲインセル型のメモリセルを有する記憶装置を、ＮＯＳＲＡＭ（Ｎｏｎｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ＲＡＭ）と呼ぶ場合がある。
トランジスタＭ２の第１端子は、容量素子ＣＢの第１端子と接続され、トランジスタＭ２の第２端子は、配線ＷＢＬと接続され、トランジスタＭ２のゲートは、配線ＷＯＬと接続され、トランジスタＭ２のバックゲートは、配線ＢＧＬと接続されている。容量素子ＣＢの第２端子は、配線ＣＡＬと接続されている。トランジスタＭ３の第１端子は、配線ＲＢＬと接続され、トランジスタＭ３の第２端子は、配線ＳＬと接続され、トランジスタＭ３のゲートは、容量素子ＣＢの第１端子と接続されている。
配線ＷＢＬは、書き込みビット線として機能し、配線ＲＢＬは、読み出しビット線として機能し、配線ＷＯＬは、ワード線として機能する。配線ＣＡＬは、容量素子ＣＢの第２端子に所定の電位を印加するための配線として機能する。データの書き込み時、データ保持の最中、データの読み出し時において、配線ＣＡＬには、低レベル電位を印加するのが好ましい。配線ＢＧＬは、トランジスタＭ２のバックゲートに電位を印加するための配線として機能する。配線ＢＧＬに任意の電位を印加することによって、トランジスタＭ２のしきい値電圧を増減することができる。
ここで、図９Ｄに示すメモリセル１４７４は、図６に示す記憶装置に対応している。つまり、トランジスタＭ２はトランジスタ２００に、容量素子ＣＢは容量素子１００に、トランジスタＭ３はトランジスタ３００に、配線ＷＢＬは配線２００３に、配線ＷＯＬは配線２００４に、配線ＢＧＬは配線２００６に、配線ＣＡＬは配線２００５に、配線ＲＢＬは配線２００２に、配線ＳＬは配線２００１に対応している。
また、メモリセルＭＣは、メモリセル１４７４に限定されず、回路の構成を適宜変更することができる。例えば、メモリセルＭＣは、図９Ｅに示すメモリセル１４７５のように、トランジスタＭ２のバックゲートが、配線ＢＧＬでなく、配線ＷＯＬと接続される構成にしてもよい。また、例えば、メモリセルＭＣは、図９Ｆに示すメモリセル１４７６のように、シングルゲート構造のトランジスタ、つまりバックゲートを有さないトランジスタＭ２で構成されたメモリセルとしてもよい。また、例えば、メモリセルＭＣは、図９Ｇに示すメモリセル１４７７のように、配線ＷＢＬと配線ＲＢＬを一本の配線ＢＩＬとしてまとめた構成であってもよい。
上記実施の形態に示す半導体装置をメモリセル１４７４等に用いる場合、トランジスタＭ２としてトランジスタ２００を用い、トランジスタＭ３としてトランジスタ３００を用い、容量素子ＣＢとして容量素子１００を用いることができる。トランジスタＭ２としてＯＳトランジスタを用いることによって、トランジスタＭ２のリーク電流を非常に低くすることができる。これにより、書き込んだデータをトランジスタＭ２によって長時間保持することができるため、メモリセルのリフレッシュの頻度を少なくすることができる。または、メモリセルのリフレッシュ動作を不要にすることができる。また、リーク電流が非常に低いため、メモリセル１４７４に多値データ、又はアナログデータを保持することができる。メモリセル１４７５乃至メモリセル１４７７も同様である。
なお、トランジスタＭ３は、チャネル形成領域にシリコンを有するトランジスタ（以下、Ｓｉトランジスタと呼ぶ場合がある）であってもよい。Ｓｉトランジスタの導電型は、ｎチャネル型としてもよいし、ｐチャネル型としてもよい。Ｓｉトランジスタは、ＯＳトランジスタよりも電界効果移動度が高くなる場合がある。よって、読み出しトランジスタとして機能するトランジスタＭ３として、Ｓｉトランジスタを用いてもよい。また、トランジスタＭ３にＳｉトランジスタを用いることで、トランジスタＭ３の上に積層してトランジスタＭ２を設けることができるので、メモリセルの占有面積を低減し、記憶装置の高集積化を図ることができる。
また、トランジスタＭ３はＯＳトランジスタであってもよい。トランジスタＭ２およびトランジスタＭ３にＯＳトランジスタを用いた場合、メモリセルアレイ１４７０をｎ型トランジスタのみを用いて回路を構成することができる。
また、図９Ｈに３トランジスタ１容量素子のゲインセル型のメモリセルの一例を示す。図９Ｈに示すメモリセル１４７８は、トランジスタＭ４乃至トランジスタＭ６、および容量素子ＣＣを有する。容量素子ＣＣは適宜設けられる。メモリセル１４７８は、配線ＢＩＬ、配線ＲＷＬ、配線ＷＷＬ、配線ＢＧＬ、および配線ＧＮＤＬに電気的に接続されている。配線ＧＮＤＬは低レベル電位を与える配線である。なお、メモリセル１４７８を、配線ＢＩＬに代えて、配線ＲＢＬ、配線ＷＢＬに電気的に接続してもよい。
トランジスタＭ４は、バックゲートを有するＯＳトランジスタであり、バックゲートは配線ＢＧＬに電気的に接続されている。なお、トランジスタＭ４のバックゲートとゲートとを互いに電気的に接続してもよい。あるいは、トランジスタＭ４はバックゲートを有さなくてもよい。
なお、トランジスタＭ５、トランジスタＭ６はそれぞれ、ｎチャネル型Ｓｉトランジスタまたはｐチャネル型Ｓｉトランジスタでもよい。或いは、トランジスタＭ４乃至トランジスタＭ６がＯＳトランジスタでもよい。この場合、メモリセルアレイ１４７０をｎ型トランジスタのみを用いて回路を構成することができる。
上記実施の形態に示す半導体装置をメモリセル１４７８に用いる場合、トランジスタＭ４としてトランジスタ２００を用い、トランジスタＭ５、トランジスタＭ６としてトランジスタ３００を用い、容量素子ＣＣとして容量素子１００を用いることができる。トランジスタＭ４としてＯＳトランジスタを用いることによって、トランジスタＭ４のリーク電流を非常に低くすることができる。
なお、本実施の形態に示す、周辺回路１４１１、メモリセルアレイ１４７０等の構成は、上記に限定されるものではない。これらの回路、および当該回路に接続される配線、回路素子等の、配置または機能は、必要に応じて、変更、削除、または追加してもよい。
本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態、実施例などに示す構成と適宜組み合わせて用いることができる。
（実施の形態４）
本実施の形態では、図１０を用いて、本発明の半導体装置が実装されたチップ１２００の一例を示す。チップ１２００には、複数の回路（システム）が実装されている。このように、複数の回路（システム）を一つのチップに集積する技術を、システムオンチップ（Ｓｙｓｔｅｍ ｏｎ Ｃｈｉｐ：ＳｏＣ）と呼ぶ場合がある。
図１０Ａに示すように、チップ１２００は、ＣＰＵ１２１１、ＧＰＵ１２１２、一または複数のアナログ演算部１２１３、一または複数のメモリコントローラ１２１４、一または複数のインターフェース１２１５、一または複数のネットワーク回路１２１６等を有する。
チップ１２００には、バンプ（図示しない）が設けられ、図１０Ｂに示すように、プリント基板（Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ：ＰＣＢ）１２０１の第１の面と接続する。また、ＰＣＢ１２０１の第１の面の裏面には、複数のバンプ１２０２が設けられており、マザーボード１２０３と接続する。
マザーボード１２０３には、ＤＲＡＭ１２２１、フラッシュメモリ１２２２等の記憶装置が設けられていてもよい。例えば、ＤＲＡＭ１２２１に先の実施の形態に示すＤＯＳＲＡＭを用いることができる。また、例えば、フラッシュメモリ１２２２に先の実施の形態に示すＮＯＳＲＡＭを用いることができる。
ＣＰＵ１２１１は、複数のＣＰＵコアを有することが好ましい。また、ＧＰＵ１２１２は、複数のＧＰＵコアを有することが好ましい。また、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２は、それぞれ一時的にデータを格納するメモリを有していてもよい。または、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２に共通のメモリが、チップ１２００に設けられていてもよい。該メモリには、前述したＮＯＳＲＡＭや、ＤＯＳＲＡＭを用いることができる。また、ＧＰＵ１２１２は、多数のデータの並列計算に適しており、画像処理や積和演算に用いることができる。ＧＰＵ１２１２に、本発明の酸化物半導体を用いた画像処理回路や、積和演算回路を設けることで、画像処理、および積和演算を低消費電力で実行することが可能になる。
また、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２が同一チップに設けられていることで、ＣＰＵ１２１１およびＧＰＵ１２１２間の配線を短くすることができ、ＣＰＵ１２１１からＧＰＵ１２１２へのデータ転送、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２が有するメモリ間のデータ転送、およびＧＰＵ１２１２での演算後に、ＧＰＵ１２１２からＣＰＵ１２１１への演算結果の転送を高速に行うことができる。
アナログ演算部１２１３はＡ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換回路、およびＤ／Ａ（デジタル／アナログ）変換回路の一、または両方を有する。また、アナログ演算部１２１３に上記積和演算回路を設けてもよい。
メモリコントローラ１２１４は、ＤＲＡＭ１２２１のコントローラとして機能する回路、およびフラッシュメモリ１２２２のインターフェースとして機能する回路を有する。
インターフェース１２１５は、表示装置、スピーカー、マイクロフォン、カメラ、コントローラなどの外部接続機器とのインターフェース回路を有する。コントローラとは、マウス、キーボード、ゲーム用コントローラなどを含む。このようなインターフェースとして、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ）、ＨＤＭＩ（登録商標）（Ｈｉｇｈ−Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ Ｍｕｌｔｉｍｅｄｉａ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）などを用いることができる。
ネットワーク回路１２１６は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）などのネットワーク用の回路を有する。また、ネットワークセキュリティー用の回路を有してもよい。
チップ１２００には、上記回路（システム）を同一の製造プロセスで形成することが可能である。そのため、チップ１２００に必要な回路の数が増えても、製造プロセスを増やす必要が無く、チップ１２００を低コストで作製することができる。
ＧＰＵ１２１２を有するチップ１２００が設けられたＰＣＢ１２０１、ＤＲＡＭ１２２１、およびフラッシュメモリ１２２２が設けられたマザーボード１２０３は、ＧＰＵモジュール１２０４と呼ぶことができる。
ＧＰＵモジュール１２０４は、ＳｏＣ技術を用いたチップ１２００を有しているため、そのサイズを小さくすることができる。また、画像処理に優れていることから、スマートフォン、タブレット端末、ラップトップＰＣ、携帯型（持ち出し可能な）ゲーム機などの携帯型電子機器に用いることが好適である。また、ＧＰＵ１２１２を用いた積和演算回路により、ディープニューラルネットワーク（ＤＮＮ）、畳み込みニューラルネットワーク（ＣＮＮ）、再帰型ニューラルネットワーク（ＲＮＮ）、自己符号化器、深層ボルツマンマシン（ＤＢＭ）、深層信念ネットワーク（ＤＢＮ）などの手法を実行することができるため、チップ１２００をＡＩチップ、またはＧＰＵモジュール１２０４をＡＩシステムモジュールとして用いることができる。
本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態、実施例などに示す構成と適宜組み合わせて用いることができる。
（実施の形態５）
本実施の形態では、先の実施の形態に示す半導体装置を用いた記憶装置の応用例について説明する。先の実施の形態に示す半導体装置は、例えば、各種電子機器（例えば、情報端末、コンピュータ、スマートフォン、電子書籍端末、デジタルカメラ（ビデオカメラも含む）、録画再生装置、ナビゲーションシステムなど）の記憶装置に適用できる。なお、ここで、コンピュータとは、タブレット型のコンピュータ、ノート型のコンピュータ、デスクトップ型のコンピュータの他、サーバシステムのような大型のコンピュータを含むものである。または、先の実施の形態に示す半導体装置は、メモリカード（例えば、ＳＤカード）、ＵＳＢメモリ、ＳＳＤ（ソリッド・ステート・ドライブ）等の各種のリムーバブル記憶装置に適用される。図１１にリムーバブル記憶装置の幾つかの構成例を模式的に示す。例えば、先の実施の形態に示す半導体装置は、パッケージングされたメモリチップに加工され、様々なストレージ装置、リムーバブルメモリに用いられる。
図１１ＡはＵＳＢメモリの模式図である。ＵＳＢメモリ１１００は、筐体１１０１、キャップ１１０２、ＵＳＢコネクタ１１０３および基板１１０４を有する。基板１１０４は、筐体１１０１に収納されている。例えば、基板１１０４には、メモリチップ１１０５、コントローラチップ１１０６が取り付けられている。基板１１０４のメモリチップ１１０５などに先の実施の形態に示す半導体装置を組み込むことができる。
図１１ＢはＳＤカードの外観の模式図であり、図１１Ｃは、ＳＤカードの内部構造の模式図である。ＳＤカード１１１０は、筐体１１１１、コネクタ１１１２および基板１１１３を有する。基板１１１３は筐体１１１１に収納されている。例えば、基板１１１３には、メモリチップ１１１４、コントローラチップ１１１５が取り付けられている。基板１１１３の裏面側にもメモリチップ１１１４を設けることで、ＳＤカード１１１０の容量を増やすことができる。また、無線通信機能を備えた無線チップを基板１１１３に設けてもよい。これによって、ホスト装置とＳＤカード１１１０間の無線通信によって、メモリチップ１１１４のデータの読み出し、書き込みが可能となる。基板１１１３のメモリチップ１１１４などに先の実施の形態に示す半導体装置を組み込むことができる。
図１１ＤはＳＳＤの外観の模式図であり、図１１Ｅは、ＳＳＤの内部構造の模式図である。ＳＳＤ１１５０は、筐体１１５１、コネクタ１１５２および基板１１５３を有する。基板１１５３は筐体１１５１に収納されている。例えば、基板１１５３には、メモリチップ１１５４、メモリチップ１１５５、コントローラチップ１１５６が取り付けられている。メモリチップ１１５５はコントローラチップ１１５６のワークメモリであり、例えばＤＯＳＲＡＭチップを用いればよい。基板１１５３の裏面側にもメモリチップ１１５４を設けることで、ＳＳＤ１１５０の容量を増やすことができる。基板１１５３のメモリチップ１１５４などに先の実施の形態に示す半導体装置を組み込むことができる。
本実施の形態は、他の実施の形態、実施例などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
（実施の形態６）
本発明の一態様に係る半導体装置は、ＣＰＵやＧＰＵなどのプロセッサ、またはチップに用いることができる。図１２に、本発明の一態様に係るＣＰＵやＧＰＵなどのプロセッサ、またはチップを備えた電子機器の具体例を示す。
＜電子機器・システム＞
本発明の一態様に係るＧＰＵまたはチップは、様々な電子機器に搭載することができる。電子機器の例としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型またはノート型の情報端末用などのモニタ、デジタルサイネージ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｇｅ：電子看板）、パチンコ機などの大型ゲーム機、などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、電子ブックリーダー、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。また、本発明の一態様に係るＧＰＵまたはチップを電子機器に設けることにより、電子機器に人工知能を搭載することができる。
本発明の一態様の電子機器は、アンテナを有していてもよい。アンテナで信号を受信することで、表示部で映像や情報等の表示を行うことができる。また、電子機器がアンテナ及び二次電池を有する場合、アンテナを、非接触電力伝送に用いてもよい。
本発明の一態様の電子機器は、センサ（力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの）を有していてもよい。
本発明の一態様の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア（プログラム）を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出す機能等を有することができる。図１２に、電子機器の例を示す。
［情報端末］
図１２Ａには、情報端末の一種である携帯電話（スマートフォン）が図示されている。情報端末５１００は、筐体５１０１と、表示部５１０２と、を有しており、入力用インターフェースとして、タッチパネルが表示部５１０２に備えられ、ボタンが筐体５１０１に備えられている。
情報端末５１００は、本発明の一態様のチップを適用することで、人工知能を利用したアプリケーションを実行することができる。人工知能を利用したアプリケーションとしては、例えば、会話を認識してその会話内容を表示部５１０２に表示するアプリケーション、表示部５１０２に備えるタッチパネルに対してユーザが入力した文字、図形などを認識して、表示部５１０２に表示するアプリケーション、指紋や声紋などの生体認証を行うアプリケーションなどが挙げられる。
図１２Ｂには、ノート型情報端末５２００が図示されている。ノート型情報端末５２００は、情報端末の本体５２０１と、表示部５２０２と、キーボード５２０３と、を有する。
ノート型情報端末５２００は、先述した情報端末５１００と同様に、本発明の一態様のチップを適用することで、人工知能を利用したアプリケーションを実行することができる。人工知能を利用したアプリケーションとしては、例えば、設計支援ソフトウェア、文章添削ソフトウェア、献立自動生成ソフトウェアなどが挙げられる。また、ノート型情報端末５２００を用いることで、新規の人工知能の開発を行うことができる。
なお、上述では、電子機器としてスマートフォン、およびノート型情報端末を例として、それぞれ図１２Ａ、図１２Ｂに図示したが、スマートフォン、およびノート型情報端末以外の情報端末を適用することができる。スマートフォン、およびノート型情報端末以外の情報端末としては、例えば、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）、デスクトップ型情報端末、ワークステーションなどが挙げられる。
［ゲーム機］
図１２Ｃは、ゲーム機の一例である携帯ゲーム機５３００を示している。携帯ゲーム機５３００は、筐体５３０１、筐体５３０２、筐体５３０３、表示部５３０４、接続部５３０５、操作キー５３０６等を有する。筐体５３０２、および筐体５３０３は、筐体５３０１から取り外すことが可能である。筐体５３０１に設けられている接続部５３０５を別の筐体（図示せず）に取り付けることで、表示部５３０４に出力される映像を、別の映像機器（図示せず）に出力することができる。このとき、筐体５３０２、および筐体５３０３は、それぞれ操作部として機能することができる。これにより、複数のプレイヤーが同時にゲームを行うことができる。筐体５３０１、筐体５３０２、および筐体５３０３の基板に設けられているチップなどに先の実施の形態に示すチップを組み込むことができる。
また、図１２Ｄは、ゲーム機の一例である据え置き型ゲーム機５４００を示している。据え置き型ゲーム機５４００には、無線または有線でコントローラ５４０２が接続されている。
携帯ゲーム機５３００、据え置き型ゲーム機５４００などのゲーム機に本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用することによって、低消費電力のゲーム機を実現することができる。また、低消費電力により、回路からの発熱を低減することができるため、発熱によるその回路自体、周辺回路、およびモジュールへの影響を少なくすることができる。
更に、携帯ゲーム機５３００に本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用することによって、人工知能を有する携帯ゲーム機５３００を実現することができる。
本来、ゲームの進行、ゲーム上に登場する生物の言動、ゲーム上で発生する現象などの表現は、そのゲームが有するプログラムによって定められているが、携帯ゲーム機５３００に人工知能を適用することにより、ゲームのプログラムに限定されない表現が可能になる。例えば、プレイヤーが問いかける内容、ゲームの進行状況、時刻、ゲーム上に登場する人物の言動が変化するといった表現が可能となる。
また、携帯ゲーム機５３００で複数のプレイヤーが必要なゲームを行う場合、人工知能によって擬人的にゲームプレイヤーを構成することができるため、対戦相手を人工知能によるゲームプレイヤーとすることによって、１人でもゲームを行うことができる。
図１２Ｃ、図１２Ｄでは、ゲーム機の一例として携帯ゲーム機、および据え置き型ゲーム機を図示しているが、本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用するゲーム機はこれに限定されない。本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用するゲーム機としては、例えば、娯楽施設（ゲームセンター、遊園地など）に設置されるアーケードゲーム機、スポーツ施設に設置されるバッティング練習用の投球マシンなどが挙げられる。
［大型コンピュータ］
本発明の一態様のＧＰＵまたはチップは、大型コンピュータに適用することができる。
図１２Ｅは、大型コンピュータの一例である、スーパーコンピュータ５５００を示す図である。図１２Ｆは、スーパーコンピュータ５５００が有するラックマウント型の計算機５５０２を示す図である。
スーパーコンピュータ５５００は、ラック５５０１と、複数のラックマウント型の計算機５５０２と、を有する。なお、複数の計算機５５０２は、ラック５５０１に格納されている。また、計算機５５０２には、複数の基板５５０４が設けられ、当該基板上に上記実施の形態で説明したＧＰＵまたはチップを搭載することができる。
スーパーコンピュータ５５００は、主に科学技術計算に利用される大型コンピュータである。科学技術計算では、膨大な演算を高速に処理する必要があるため、消費電力が高く、チップの発熱が大きい。スーパーコンピュータ５５００に本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用することによって、低消費電力のスーパーコンピュータを実現することができる。また、低消費電力により、回路からの発熱を低減することができるため、発熱によるその回路自体、周辺回路、およびモジュールへの影響を少なくすることができる。
図１２Ｅ、図１２Ｆでは、大型コンピュータの一例としてスーパーコンピュータを図示しているが、本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用する大型コンピュータはこれに限定されない。本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用する大型コンピュータとしては、例えば、サービスを提供するコンピュータ（サーバー）、大型汎用コンピュータ（メインフレーム）などが挙げられる。
［移動体］
本発明の一態様のＧＰＵまたはチップは、移動体である自動車、および自動車の運転席周辺に適用することができる。
図１２Ｇは、移動体の一例である自動車の室内におけるフロントガラス周辺を示す図である。図１２Ｇでは、ダッシュボードに取り付けられた表示パネル５７０１、表示パネル５７０２、表示パネル５７０３の他、ピラーに取り付けられた表示パネル５７０４を図示している。
表示パネル５７０１乃至表示パネル５７０３は、スピードメーターやタコメーター、走行距離、燃料計、ギア状態、エアコンの設定などを表示することで、その他様々な情報を提供することができる。また、表示パネルに表示される表示項目やレイアウトなどは、ユーザの好みに合わせて適宜変更することができ、デザイン性を高めることが可能である。表示パネル５７０１乃至表示パネル５７０３は、照明装置として用いることも可能である。
表示パネル５７０４には、自動車に設けられた撮像装置（図示しない。）からの映像を映し出すことによって、ピラーで遮られた視界（死角）を補完することができる。すなわち、自動車の外側に設けられた撮像装置からの画像を表示することによって、死角を補い、安全性を高めることができる。また、見えない部分を補完する映像を映すことによって、より自然に違和感なく安全確認を行うことができる。表示パネル５７０４は、照明装置として用いることもできる。
本発明の一態様のＧＰＵまたはチップは人工知能の構成要素として適用できるため、例えば、当該チップを自動車の自動運転システムに用いることができる。また、当該チップを道路案内、危険予測などを行うシステムに用いることができる。表示パネル５７０１乃至表示パネル５７０４には、道路案内、危険予測などの情報を表示する構成としてもよい。
なお、上述では、移動体の一例として自動車について説明しているが、移動体は自動車に限定されない。例えば、移動体としては、電車、モノレール、船、飛行体（ヘリコプター、無人航空機（ドローン）、飛行機、ロケット）なども挙げることができ、これらの移動体に本発明の一態様のチップを適用して、人工知能を利用したシステムを付与することができる。
［電化製品］
図１２Ｈは、電化製品の一例である電気冷凍冷蔵庫５８００を示している。電気冷凍冷蔵庫５８００は、筐体５８０１、冷蔵室用扉５８０２、冷凍室用扉５８０３等を有する。
電気冷凍冷蔵庫５８００に本発明の一態様のチップを適用することによって、人工知能を有する電気冷凍冷蔵庫５８００を実現することができる。人工知能を利用することによって電気冷凍冷蔵庫５８００は、電気冷凍冷蔵庫５８００に保存されている食材、その食材の消費期限などを基に献立を自動生成する機能や、電気冷凍冷蔵庫５８００に保存されている食材に合わせた温度に自動的に調節する機能などを有することができる。
電化製品の一例として電気冷凍冷蔵庫について説明したが、その他の電化製品としては、例えば、掃除機、電子レンジ、電子オーブン、炊飯器、湯沸かし器、ＩＨ調理器、ウォーターサーバ、エアーコンディショナーを含む冷暖房器具、洗濯機、乾燥機、オーディオビジュアル機器などが挙げられる。
本実施の形態で説明した電子機器、その電子機器の機能、人工知能の応用例、その効果などは、他の電子機器の記載と適宜組み合わせることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態、実施例などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
本実施例では、酸化物半導体を含むトランジスタ２００を有する半導体装置を作製し、酸化物２３０ｃに相当する酸化物膜の膜厚、および導電体２４０に相当する導電体の酸化膜厚を測定した。
また、上記半導体装置は、導電体２４０に相当する導電体において、チャネル形成領域側の側端部の形状が異なる３種を作製した。
＜試料の作製方法＞
以下に、トランジスタ２００を有する半導体装置の作製方法を説明する。
まず、酸化物２３０ａに相当する第１の酸化物として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物をスパッタリング法により、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用いて成膜した。続いて、第１の酸化物上に、酸化物２３０ｂに相当する第２の酸化物として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物をスパッタリング法により、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用いて成膜した後、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物をスパッタリング法により、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用いて成膜することで、２層の積層構造として形成した。なお、第１の酸化物と第２の酸化物とは、連続成膜した。
続いて、第２の酸化物上に、導電体２４０に相当する導電体となる膜として、窒化タンタル膜を成膜した。
その後、窒化タンタル膜、第２の酸化物、および第１の酸化物を加工し、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および窒化タンタル層を形成した。
次に、絶縁体２８０に相当する絶縁体を成膜し、ＣＭＰ処理を行ない、当該絶縁体を研磨し、当該絶縁体の表面を平坦化した。
ここで、絶縁体２８０に相当する絶縁体に開口部を形成した。続いて、当該開口部の底面に露出した導電層の一部を除去し、導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂに相当する導電体を形成した。
次に、酸化物２３０ｃに相当する第３の酸化物となる膜は、２層の積層構造として成膜した。当該第３の酸化物となる膜の第１膜として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物をスパッタリング法により、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用いて成膜した後、当該第３の酸化物となる膜の第２膜として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物をスパッタリング法により、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用いて成膜した。
なお、当該第３の酸化物となる膜の第１膜の膜厚は、平面に対し、８ｎｍ狙いとした。また、当該第３の酸化物となる膜の第２膜の膜厚も、平面に対し、８ｎｍ狙いとした。従って、第３の酸化物となる膜の膜厚が、１６ｎｍとなるように設定した。
次に、絶縁体２５０に相当する絶縁体となる膜として、酸化窒化シリコン膜を成膜した。
次に、絶縁体２５０となる酸化窒化シリコン膜上に、導電体２６０ａに相当する導電体となる膜、および導電体２６０ｂに相当する導電体となる膜を成膜した。
続いて、導電体２６０ａに相当する導電体となる膜、および導電体２６０ｂに相当する導電体となる膜、絶縁体２５０に相当する絶縁体となる膜、および酸化物２３０ｃに相当する第３の酸化物となる膜を除去し、導電体２６０に相当する導電体、絶縁体２５０に相当する絶縁体、および酸化物２３０ｃに相当する酸化物を形成した。
以上の工程より、酸化物半導体を含むトランジスタ２００を有する半導体装置を作製した。
＜導電体２４０の側端部の酸化膜厚＞
作製した半導体装置に対し、酸化物２３０ｃに相当する酸化物が、導電体２４０ｂに相当する導電体の側面と接する領域の膜厚、および、同領域において導電体２４０ｂが酸化した膜厚と、を測定した。
なお、測定は、走査型透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）により行った。観察用の装置は日立ハイテクノロジーズ社製ＨＤ−２７００を用いた。
図１３に、実際に酸化物２３０ｃに相当する酸化物が成膜された厚み（酸化物２３０ｃに相当する酸化物の成膜膜厚）と、導電体２４０ｂに相当する導電体の側端部が酸化した厚み（導電体２４０ｂに相当する導電体の側端部の酸化膜厚）との関係を示した。
図１３に示すように、同じ条件により、酸化物２３０ｃに相当する膜を成膜した場合でも、被成膜物の形状により、被膜性が異なることがわかった。また、酸化物２３０ｃの被膜性が悪いほど、導電体２４０ｂに相当する膜の酸化量が増加することがわかった。
本実施例は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
１００：容量素子、１１０：導電体、１１２：導電体、１１４：絶縁体、１２０：導電体、１３０：絶縁体、１４０：絶縁体、１５０：絶縁体、１５２：導電体、１５３：導電体、１５４：絶縁体、１５６：絶縁体、１６０：絶縁体、２００：トランジスタ、２０５：導電体、２１０：絶縁体、２１２：絶縁体、２１４：絶縁体、２１６：絶縁体、２１８：導電体、２２２：絶縁体、２２４：絶縁体、２３０：酸化物、２３０ａ：酸化物、２３０ｂ：酸化物、２３０ｃ：酸化物、２３０ｃ＿１：酸化物、２３０ｃ＿２：酸化物、２３９：領域、２４０：導電体、２４０ａ：導電体、２４０ｂ：導電体、２４５：絶縁体、２４５ａ：絶縁体、２４５ｂ：絶縁体、２４７：絶縁体、２４８：導電体、２５０：絶縁体、２６０：導電体、２６０ａ：導電体、２６０ｂ：導電体、２７３：絶縁体、２７４：絶縁体、２８０：絶縁体、２８２：絶縁体、２８４：絶縁体、３００：トランジスタ、３１１：基板、３１２：絶縁体、３１３：半導体領域、３１４ａ：低抵抗領域、３１４ｂ：低抵抗領域、３１５：絶縁体、３１６：導電体、３２０：絶縁体、３２２：絶縁体、３２４：絶縁体、３２６：絶縁体、３２８：導電体、３３０：導電体、３５０：絶縁体、３５２：絶縁体、３５４：絶縁体、３５６：導電体、４００：トランジスタ、４０５：導電体、４０５ａ：導電体、４０５ｂ：導電体、４３０ｃ：酸化物、４３１ａ：酸化物、４３１ｂ：酸化物、４３２ａ：酸化物、４３２ｂ：酸化物、４４０：導電体、４４０ａ：導電体、４４０ｂ：導電体、４４５：絶縁体、４４５ａ：絶縁体、４４５ｂ：絶縁体、４５０：絶縁体、４６０：導電体、４６０ａ：導電体、４６０ｂ：導電体、１００１：配線、１００２：配線、１００３：配線、１００４：配線、１００５：配線、１００６：配線、１００７：配線、１００８：配線、１００９：配線、１０１０：配線、１１００：ＵＳＢメモリ、１１０１：筐体、１１０２：キャップ、１１０３：ＵＳＢコネクタ、１１０４：基板、１１０５：メモリチップ、１１０６：コントローラチップ、１１１０：ＳＤカード、１１１１：筐体、１１１２：コネクタ、１１１３：基板、１１１４：メモリチップ、１１１５：コントローラチップ、１１５０：ＳＳＤ、１１５１：筐体、１１５２：コネクタ、１１５３：基板、１１５４：メモリチップ、１１５５：メモリチップ、１１５６：コントローラチップ、１２００：チップ、１２０１：ＰＣＢ、１２０２：バンプ、１２０３：マザーボード、１２０４：ＧＰＵモジュール、１２１１：ＣＰＵ、１２１２：ＧＰＵ、１２１３：アナログ演算部、１２１４：メモリコントローラ、１２１５：インターフェース、１２１６：ネットワーク回路、１２２１：ＤＲＡＭ、１２２２：フラッシュメモリ、１４００：記憶装置、１４１１：周辺回路、１４２０：行回路、１４３０：列回路、１４４０：出力回路、１４６０：コントロールロジック回路、１４７０：メモリセルアレイ、１４７１：メモリセル、１４７２：メモリセル、１４７３：メモリセル、１４７４：メモリセル、１４７５：メモリセル、１４７６：メモリセル、１４７７：メモリセル、１４７８：メモリセル、２００１：配線、２００２：配線、２００３：配線、２００４：配線、２００５：配線、２００６：配線、５１００：情報端末、５１０１：筐体、５１０２：表示部、５２００：ノート型情報端末、５２０１：本体、５２０２：表示部、５２０３：キーボード、５３００：携帯ゲーム機、５３０１：筐体、５３０２：筐体、５３０３：筐体、５３０４：表示部、５３０５：接続部、５３０６：操作キー、５４００：型ゲーム機、５４０２：コントローラ、５５００：スーパーコンピュータ、５５０１：ラック、５５０２：計算機、５５０４：基板、５７０１：表示パネル、５７０２：表示パネル、５７０３：表示パネル、５７０４：表示パネル、５８００：電気冷凍冷蔵庫、５８０１：筐体、５８０２：冷蔵室用扉、５８０３：冷凍室用扉

Claims (9)

  1. 第１の酸化物、第２の酸化物、第１の導電体、第２の導電体、第３の導電体、第１の絶縁体、第２の絶縁体、を有する半導体装置において、
    前記第１の導電体、および前記第２の導電体は前記第１の酸化物上に接して設けられ、
    前記第１の絶縁体は、前記第１の酸化物、前記第１の導電体、および前記第２の導電体を覆って設けられ、
    前記第１の絶縁体は、開口部を有し、
    前記開口部の底面には、前記第１の酸化物が露出し、
    前記開口部の側面には、前記第１の導電体の側面、および前記第２の導電体の側面が露出し、
    前記開口部内に、前記第２の酸化物は、前記第１の酸化物、前記第１の導電体の側面、および前記第２の導電体に接して設けられ、
    前記開口部内に、前記第２の絶縁体は、前記第２の酸化物を介して設けられ、
    前記開口部内に、前記第３の導電体は、前記第２の絶縁体を介して設けられ、
    前記第１の導電体の側面、および前記第２の導電体の側面の下端部は、前記第１の酸化物よりも上方に中心を有する楕円または円に接する半導体装置。
  2. 第１の酸化物、第２の酸化物、第１の導電体、第２の導電体、第３の導電体、第１の絶縁体、第２の絶縁体、を有する半導体装置において、
    前記第１の導電体、および前記第２の導電体は前記第１の酸化物上に接して設けられ、
    前記第１の絶縁体は、前記第１の酸化物、前記第１の導電体、および前記第２の導電体を覆って設けられ、
    前記第１の絶縁体は、開口部を有し、
    前記開口部の底面には、前記第１の酸化物が露出し、
    前記開口部の側面には、前記第１の導電体の側面、および前記第２の導電体の側面が露出し、
    前記開口部内に、前記第２の酸化物は、前記第１の酸化物、前記第１の導電体の側面、および前記第２の導電体に接して設けられ、
    前記開口部内に、前記第２の絶縁体は、前記第２の酸化物を介して設けられ、
    前記開口部内に、前記第３の導電体は、前記第２の絶縁体を介して設けられ、
    前記第１の導電体の側面、および前記第２の導電体の側面の下端部は、前記第１の酸化物よりも上方に曲率中心を有する円弧状の側面を有し、
    前記曲率中心から前記第１の酸化物に対する垂線の長さは、前記円弧の曲率半径と概略等しい半導体装置。
  3. 請求項２において、
    前記円弧状の側面の終端部を接点とした接平面と、第１の酸化物の上面と、がなす２面角は、０°＜θ≦９０°である半導体装置。
  4. 請求項２または請求項３において、
    前記第１の導電体の側面の上端部、および前記第２の導電体の側面の上端部は、前記円弧状の側面の終端部を接点とした接平面と、概略一致する半導体装置。
  5. 請求項２乃至請求項４のいずれか一において、
    前記曲率半径は、前記第２の酸化物の膜厚と、前記第第２の絶縁体の膜厚との合計膜厚以上である半導体装置。
  6. 請求項２乃至請求項５のいずれか一において、
    前記第３の導電体の底面と前記第３の導電体の側面とがなす辺と、前記曲率中心との水平距離Ｌが０以下である半導体装置。
  7. 請求項１乃至請求項６のいずれか一において、
    前記第２の酸化物は、前記第２の絶縁体よりも、酸素に対するバリア性が高い半導体装置。
  8. 請求項１乃至請求項７のいずれか一において、
    前記第１の酸化物は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物である半導体装置。
  9. 請求項１乃至請求項８のいずれか一において、
    前記第２の酸化物は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物である半導体装置。
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