JPWO2020066411A1 - Scribe head and scribe device - Google Patents

Scribe head and scribe device Download PDF

Info

Publication number
JPWO2020066411A1
JPWO2020066411A1 JP2020548198A JP2020548198A JPWO2020066411A1 JP WO2020066411 A1 JPWO2020066411 A1 JP WO2020066411A1 JP 2020548198 A JP2020548198 A JP 2020548198A JP 2020548198 A JP2020548198 A JP 2020548198A JP WO2020066411 A1 JPWO2020066411 A1 JP WO2020066411A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding material
holder holding
holder
shaft body
cylinder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020548198A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7095913B2 (en
Inventor
智貴 中垣
智貴 中垣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Original Assignee
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd filed Critical Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Publication of JPWO2020066411A1 publication Critical patent/JPWO2020066411A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7095913B2 publication Critical patent/JP7095913B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0005—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
    • B28D5/0011—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing with preliminary treatment, e.g. weakening by scoring
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
    • B28D7/04—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups for supporting or holding work or conveying or discharging work
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/027—Scoring tool holders; Driving mechanisms therefor

Abstract

スクライブ加工時にロッドに軸交差方向の力が加わらないようにする。本発明のスクライブヘッド（１）は、スクライビングツール（４）を保持するホルダ保持材（６）と、ホルダ保持材（６）を被加工物に対して近接離反させるエアシリンダー（３）と、ホルダ保持材（６）及びエアシリンダー（３）を支持する支持体（７）と、を備え、エアシリンダー（３）は、シリンダ本体（３ｂ）と、シリンダ本体（３ｂ）から出退自在とされた軸体を有し、軸体はシリンダ本体（３ｂ）に対してエアシールされる構成を有しており、軸体がシリンダ本体（３ｂ）から進出することで、ホルダ保持材（６）が被加工物に対して近づき、軸体がシリンダ本体（３ｂ）へ退行することで、ホルダ保持材（６）が被加工物から離反するようになっており、軸体の先端とホルダ保持材（６）が非連結とされており、軸体の長手方向に沿った力のみ、ホルダ保持材（６）へ伝達可能に構成されている。Make sure that no force is applied to the rod in the cross-axis direction during scribe machining. The scribing head (1) of the present invention includes a holder holding material (6) for holding the scribing tool (4), an air cylinder (3) for separating the holder holding material (6) from the workpiece, and a holder. A holding material (6) and a support (7) for supporting the air cylinder (3) are provided, and the air cylinder (3) is freely retractable from the cylinder body (3b) and the cylinder body (3b). It has a shaft body, and the shaft body has a configuration in which the cylinder body (3b) is air-sealed. When the shaft body advances from the cylinder body (3b), the holder holding material (6) is processed. The holder holding material (6) separates from the workpiece by approaching the object and the shaft body retracts to the cylinder body (3b), and the tip of the shaft body and the holder holding material (6) Is not connected, and only the force along the longitudinal direction of the shaft body can be transmitted to the holder holding material (6).

Description

本発明は、半導体やガラスなどの脆性材料基板をスクライブするスクライブヘッド及びこれを用いたスクライブ装置に関する技術であり、特にスクライビングツールを加圧するエアシリンダーのロッドに軸交差方向に負荷（モーメント）が作用することを抑制し、脆性材料基板上に正確にスクライブラインを形成可能とする技術に関する。 The present invention is a technique relating to a scribing head for scribing a brittle material substrate such as semiconductor or glass and a scribing device using the scribing head, and in particular, a load (moment) acts on the rod of an air cylinder that pressurizes a scribing tool in the axial crossing direction. The present invention relates to a technique capable of accurately forming a scribe line on a brittle material substrate.

従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさのパネルとなるように分断される。
このようなマザーガラス基板等の脆性材料基板を分断する際には、基板にスクライブライン（垂直クラック）を形成するスクライブ工程と、垂直クラックを完全に浸透させるブレイク工程と、が行われる。そして、スクライブ工程でスクライブラインを形成する際にはスクライブヘッドが用いられている。Conventionally, in a flat panel display such as a liquid crystal display panel or a liquid crystal projector substrate, the mother glass substrates are bonded together in the manufacturing process and then divided into panels having a predetermined size.
When dividing a brittle material substrate such as a mother glass substrate, a scribe step of forming a scribe line (vertical crack) on the substrate and a break step of completely infiltrating the vertical crack are performed. A scribe head is used when forming a scribe line in the scribe process.

具体的には、このスクライブヘッドは、スクライビングホイールやダイヤモンドポイントなどを用いたスクライビングツールを備えている。また、スクライビングツールはホルダにより下方に向かって刃先を向けるように保持されており、エアシリンダーにより基板に向けて加圧されている。つまり、スクライブヘッドでは、エアシリンダーを用いてスクライビングツールにより脆性材料基板に荷重を加えて脆性材料基板に垂直クラックを形成している。 Specifically, this scribe head is equipped with a scribing tool using a scribing wheel, a diamond point, or the like. Further, the scribing tool is held by a holder so that the cutting edge faces downward, and is pressurized toward the substrate by an air cylinder. That is, in the scribe head, a load is applied to the brittle material substrate by a scribing tool using an air cylinder to form vertical cracks in the brittle material substrate.

ところで、昨今はスクライブ対象である脆性材料基板の薄肉化が進んでおり、低い接触圧すなわち低加工圧でスクライブを行うケースが増えている。
このようなケースで問題となるのが、エアシリンダーの特性である。
一般的なエアシリンダーは、シリンダ本体と、このシリンダ本体から決められたストロークの範囲内で出退自在とされたロッド（軸体）との間には、金属やゴムなどで形成されたシール部材が配備されていて、エアシリンダー内部のエアーが吐出することを防ぐようにしている。このシール部材により、ロッドの出退時には当該ロッドに対してある程度の大きさの摺動抵抗が不可避的に発生する。そのため、ロッドを出退させる際には、制御できない摺動抵抗により、ロッドの推力にばらつきが生じ、ロッドを低い接触圧で進出させ、精密な制御が困難な状況となっていた。By the way, in recent years, the brittle material substrate, which is the target of scribe, is becoming thinner, and the number of cases where scribe is performed with a low contact pressure, that is, a low processing pressure is increasing.
The problem in such cases is the characteristics of the air cylinder.
In a general air cylinder, a sealing member made of metal, rubber, or the like is formed between a cylinder body and a rod (shaft body) that can move in and out within a stroke range determined from the cylinder body. Is deployed to prevent the air inside the air cylinder from being discharged. Due to this sealing member, a certain amount of sliding resistance is inevitably generated with respect to the rod when the rod moves in and out. Therefore, when the rod is moved in and out, the thrust of the rod varies due to the uncontrollable sliding resistance, and the rod is advanced with a low contact pressure, which makes precise control difficult.

このような従来型の短所をカバーするため、エアシール方式（エアベアリング機構と呼ばれることもある）を有するエアシリンダーを用いることが提案されている。
エアシール方式を有するエアシリンダーでは、シリンダ本体とロッドとの間には、ゴムなどで形成されたシール部材が存在せず、空気によりシリンダ本体からロッドを浮かせた状態としている。それ故、ロッドの出退時にはシリンダ本体に対する摺動抵抗はゼロとなり、微細な力でロッドを押動したり精密に制御したりすることが可能となる。In order to cover such disadvantages of the conventional type, it has been proposed to use an air cylinder having an air sealing method (sometimes called an air bearing mechanism).
In an air cylinder having an air seal system, there is no seal member formed of rubber or the like between the cylinder body and the rod, and the rod is floated from the cylinder body by air. Therefore, when the rod moves in and out, the sliding resistance with respect to the cylinder body becomes zero, and the rod can be pushed or precisely controlled with a minute force.

エアシール方式（エアベアリング機構）のエアシリンダーを用いたスクライブヘッドとしては、特許文献１に示すものがある。
すなわち、特許文献１には、切断すべきガラス基板の面上を相対的に移動するカッター（スクライビングツール）を備えたガラス切断装置が開示されている。このカッターは、エアシリンダーのロッド先端に直接設けられており、エアシリンダーの力によりガラス基板面に所定の圧力で当接される構成となっている。As a scribe head using an air cylinder of an air seal type (air bearing mechanism), there is one shown in Patent Document 1.
That is, Patent Document 1 discloses a glass cutting device including a cutter (scribing tool) that moves relatively on the surface of the glass substrate to be cut. This cutter is provided directly at the tip of the rod of the air cylinder, and is configured to come into contact with the glass substrate surface at a predetermined pressure by the force of the air cylinder.

特開平９−２９５８２２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-295822

ところで、特許文献１のガラス切断装置では、ガラス基板の面に沿ってカッターを移動させた場合に、カッターの支持軸であるエアシリンダーのロッドに対しても、ロッドの長手方向に対し垂直な力（モーメント）が加わる。
しかしながら、特許文献１のエアシリンダーは、ロッドをエアシール方式で支持しており、シリンダ本体に対してロッドが浮いた状態となっている。浮遊状態のロッドに対して上述したモーメントを作用させることは、最も避けなければならない操作であり、軸交差方向の力、すなわちロッドに対するモーメントにより、当該ロッドがスムーズに動作しなくなったり、ひどい場合にはエアシリンダー自体が破損されてしまったりする可能性もある。By the way, in the glass cutting device of Patent Document 1, when the cutter is moved along the surface of the glass substrate, a force perpendicular to the longitudinal direction of the rod is also applied to the rod of the air cylinder which is the support shaft of the cutter. (Moment) is added.
However, the air cylinder of Patent Document 1 supports the rod by an air seal method, and the rod is in a floating state with respect to the cylinder body. Applying the above-mentioned moment to a floating rod is the most unavoidable operation, and when the force in the axial crossing direction, that is, the moment to the rod causes the rod to not operate smoothly or is severe. There is also the possibility that the air cylinder itself will be damaged.

本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、脆性材料基板の面に沿ってスクライビングツールを移動させても、エアシール方式のエアシリンダーのロッドにモーメントが加わることがなく、低荷重における応答性が高く、モーメントに強いスクライブヘッド及びスクライブ装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and even if the scribe tool is moved along the surface of the brittle material substrate, no moment is applied to the rod of the air-sealing air cylinder, and the load is low. An object of the present invention is to provide a scribing head and a scribing device having high responsiveness and resistance to moments.

上記課題を解決するため、本発明のスクライブヘッドは以下の技術的手段を講じている。
即ち、本発明のスクライブヘッドは、被加工物に対してスクライブを行うスクライビングツールを保持するホルダと、前記ホルダが先端に設けられたホルダ保持材と、前記スクライビングツールに荷重を加えるエアシリンダーと、前記スクライブヘッド及び前記エアシリンダーを支持する支持体と、を備えたスクライブヘッドであって、前記エアシリンダーは、シリンダ本体と、前記シリンダ本体内に導入されるエアーにより当該シリンダ本体から出退自在とされた軸体を有し、前記軸体はシリンダ本体に対してエアシールされる構成を有しており、前記軸体がシリンダ本体から進出することで、前記スクライブヘッドから被加工物に対して荷重が加わり、前記軸体がシリンダ本体へ退行することで、前記スクライブヘッドから被加工物に加わる荷重が除去されるようになっており、前記軸体の先端とホルダ保持材が非連結とされており、前記軸体の長手方向に沿った力のみ、前記スクライビングツールへ伝達可能に構成されていることを特徴とする。In order to solve the above problems, the scribe head of the present invention takes the following technical measures.
That is, the scribing head of the present invention includes a holder for holding a scribing tool for scribing the workpiece, a holder holding material for which the holder is provided at the tip, and an air cylinder for applying a load to the scribing tool. A scribing head including the scribing head and a support supporting the air cylinder, and the air cylinder can be moved back and forth from the cylinder body by the cylinder body and air introduced into the cylinder body. The shaft body has a structure in which the shaft body is air-sealed with respect to the cylinder body, and the shaft body advances from the cylinder body to load the workpiece from the scribing head. Is added, and the shaft body retracts to the cylinder body, so that the load applied to the workpiece from the screen head is removed, and the tip of the shaft body and the holder holding material are not connected. The cylinder is characterized in that only the force along the longitudinal direction of the shaft body can be transmitted to the scribing tool.

なお、好ましくは、前記ホルダ保持材は前記軸体に対面する側に平坦な接触面を有しており、前記軸体の先端は球状接触子に形成されており、前記球状接触子が前記接触面に点接触する構成とされているとよい。
また、本発明のスクライブ装置は、被加工物に対してスクライブを行うスクライブ装置であって、スクライビングツールを保持するホルダと、前記ホルダが先端に設けられたホルダ保持材と、前記ホルダ保持材を被加工物に対して近接離反させるエアシリンダーと、前記ホルダ保持材及び前記エアシリンダーを支持する支持体と、を備えるスクライブヘッドと、被加工物を戴置するテーブルと、前記スクライブヘッドと前記テーブルとを相対的に移動させる駆動機構と、を備え、前記スクライブヘッドにおいて、前記エアシリンダーは、シリンダ本体と、前記シリンダ本体内に導入されるエアーにより当該シリンダ本体から出退自在とされた軸体を有し、前記軸体はシリンダ本体に対してエアシールされる構成を有しており、前記軸体がシリンダ本体から進出することで、前記ホルダ保持材が被加工物に対して近づき、前記軸体がシリンダ本体へ退行することで、前記ホルダ保持材が被加工物から離反するようになっており、前記軸体の先端とホルダ保持材が非連結とされており、前記軸体の長手方向に沿った力のみ、前記ホルダ保持材へ伝達可能に構成されたことを特徴とする。It should be noted that preferably, the holder holding material has a flat contact surface on the side facing the shaft body, the tip of the shaft body is formed as a spherical contactor, and the spherical contactor is the contact. It is preferable that the configuration is such that point contact is made with the surface.
Further, the scribing device of the present invention is a scribing device that scribs a workpiece, and holds a holder for holding a scribing tool, a holder holding material having the holder at the tip, and the holder holding material. A scribing head including an air cylinder that is brought close to and separated from the work piece, a holder holding material, and a support that supports the air cylinder, a table on which the work piece is placed, and the scribing head and the table. In the scribing head, the air cylinder is a shaft body that can move back and forth from the cylinder body by the cylinder body and the air introduced into the cylinder body. The shaft body has a structure in which the shaft body is air-sealed with respect to the cylinder body, and when the shaft body advances from the cylinder body, the holder holding material approaches the workpiece, and the shaft When the body retracts to the cylinder body, the holder holding material is separated from the work piece, the tip of the shaft body and the holder holding material are not connected, and the longitudinal direction of the shaft body. It is characterized in that only the force along the line can be transmitted to the holder holding material.

本発明のスクライブヘッド及びスクライブ装置によれば、脆性材料基板の面に沿ってスクライビングツールを移動させても、加圧機構であるエアシリンダーのロッドに対して、モーメントが加わることがなく、微細な力で脆性材料基板を精密にスクライブすることができる。 According to the scribing head and the scribing device of the present invention, even if the scribing tool is moved along the surface of the brittle material substrate, no moment is applied to the rod of the air cylinder which is the pressurizing mechanism, and it is minute. The brittle material substrate can be precisely scribed by force.

スクライブヘッドを用いた脆性材料基板のスクライブ手順を示した図である。It is a figure which showed the scribe procedure of a brittle material substrate using a scribe head. 第１実施形態のスクライブヘッドの正面図である。It is a front view of the scribe head of 1st Embodiment. 第１実施形態のエアシリンダーの退行状態と進出状態とを、図２のＡ−Ａ線断面で比較した図である。It is a figure which compared the retracted state and the advanced state of the air cylinder of 1st Embodiment by the cross section AA of FIG. 第２実施形態のスクライブヘッドの構造の一部を拡大して示した図である。It is a figure which enlarged and showed a part of the structure of the scribe head of 2nd Embodiment.

［第１実施形態］
以下、本発明のスクライブヘッド１の実施形態を、図面に基づき詳しく説明する。
図１は、本発明のスクライブヘッド１を用いた基板Ｂ（被加工物である脆性材料基板）の分断工程を模式的に示したものである。
上述したスクライブヘッド１は、スクライブ装置（図示せず）に設けられており、このスクライブ装置には、基板Ｂを載置するテーブル２が備えられている。このテーブル２の上には水平方向に沿ってビームが架設されており（図示せず）、上述したスクライブヘッド１は、スクライブヘッド１と基板Ｂとを相対的に移動させる駆動機構（図示せず）により、ビームに沿って水平方向に移動可能とされている。また、スクライブヘッド１は、サーボモーターなどの機構により、上下方向にも移動可能とされている。さらに、スクライブヘッド１は、後述するエアシリンダー３を用いて下方に力を発生させ、スクライビングツール４を基板Ｂ側に押し付けることで基板Ｂにスクライブラインを形成可能な構成となっている。[First Embodiment]
Hereinafter, embodiments of the scribe head 1 of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 schematically shows a process of dividing a substrate B (a brittle material substrate which is a work piece) using the scribe head 1 of the present invention.
The scribe head 1 described above is provided in a scribe device (not shown), and the scribe device is provided with a table 2 on which a substrate B is placed. A beam is erected on the table 2 along the horizontal direction (not shown), and the scribe head 1 described above is a drive mechanism (not shown) for relatively moving the scribe head 1 and the substrate B. ) Allows it to move horizontally along the beam. Further, the scribe head 1 can be moved in the vertical direction by a mechanism such as a servo motor. Further, the scribe head 1 has a configuration in which a scribing line can be formed on the substrate B by generating a downward force using an air cylinder 3 described later and pressing the scribing tool 4 against the substrate B side.

図２は、スクライブヘッド１のみを拡大して示したものである。
図２に示すように、第１実施形態のスクライブヘッド１は、基板Ｂに対してスクライブを行うスクライビングツール４を保持するホルダ５と、ホルダ５が先端に設けられたホルダ保持材６と、ホルダ保持材６に対して加圧するエアシリンダー３と、ホルダ保持材６及びエアシリンダー３を支持する支持体７と、を備えている。FIG. 2 is an enlarged view of only the scribe head 1.
As shown in FIG. 2, the scribing head 1 of the first embodiment includes a holder 5 for holding a scribing tool 4 for scribing with respect to a substrate B, a holder holding material 6 for which the holder 5 is provided at a tip, and a holder. An air cylinder 3 that pressurizes the holding material 6 and a support 7 that supports the holder holding material 6 and the air cylinder 3 are provided.

これら支持体７、ホルダ保持材６、ホルダ５、スクライビングツール４、及びエアシリンダー３について詳細を説明する。
なお、図２における左右方向を、スクライブヘッド１を説明する際の右左方向とする。また、図２における上下方向を、スクライブヘッド１を説明する際の上下方向とする。さらに、図３における左右方向を、スクライブヘッド１を説明する際の前後方向とする。これらの方向は、適宜図面に記載している。The support 7, the holder holding material 6, the holder 5, the scribing tool 4, and the air cylinder 3 will be described in detail.
The left-right direction in FIG. 2 is the right-left direction when the scribe head 1 is described. Further, the vertical direction in FIG. 2 is defined as the vertical direction when the scribe head 1 is described. Further, the left-right direction in FIG. 3 is the front-back direction when the scribe head 1 is described. These directions are appropriately described in the drawings.

図２に示すように、支持体７は正面視で矩形とされた板状の部材であり、スクライブヘッド１を構成するホルダ保持材６とエアシリンダー３とが取り付けられる部材となっている。この支持体７の前面上側にエアシリンダー３が配備され、前面下側にホルダ保持材６が配備されている。
具体的には、図３に示す如く、側面視で支持体７の上下方向の中央のやや上側には、前方に向かって突出した張り出し部８が形成されている。この張り出し部８の中央側には、張り出し部８を上下方向に貫通する貫通孔９が形成されている。そして、この張り出し部８の上側には、エアシリンダー３がロッド３ａの先端を下方に向けるような姿勢（下向きの起立した姿勢）で取り付けられている。つまり、エアシリンダー３のロッド３ａ（軸体）を伸長させれば、ロッド３ａの先端が貫通孔９を通って張り出し部８の下方に伸び、ホルダ保持材６を下方に押し下げることが可能となる。As shown in FIG. 2, the support 7 is a plate-shaped member having a rectangular shape when viewed from the front, and is a member to which the holder holding member 6 and the air cylinder 3 constituting the scribe head 1 are attached. An air cylinder 3 is arranged on the upper side of the front surface of the support 7, and a holder holding material 6 is arranged on the lower side of the front surface.
Specifically, as shown in FIG. 3, a projecting portion 8 projecting forward is formed slightly above the center of the support 7 in the vertical direction in a side view. A through hole 9 that penetrates the overhanging portion 8 in the vertical direction is formed on the central side of the overhanging portion 8. An air cylinder 3 is attached to the upper side of the overhanging portion 8 in a posture in which the tip of the rod 3a faces downward (upright posture downward). That is, if the rod 3a (shaft body) of the air cylinder 3 is extended, the tip of the rod 3a extends below the overhanging portion 8 through the through hole 9, and the holder holding material 6 can be pushed down downward. ..

ホルダ保持材６は、アルミなどの金属で略角状に形成された部材であり、上述した支持体７に対して上下方向に移動可能に配備されている。
具体的には、図３に示す如く、ホルダ保持材６の上部には、エアシリンダー３のロッド３ａの先端と接触するロッド接触部材１０が設けられている。また、ホルダ保持材６の後面（支持体７の前面に向き合う面）には、支持体７に対してホルダ保持材６を上下方向に案内するガイド体１１が設けられている。ホルダ保持材６およびガイド体１１は、エアシリンダー３からの推力をスクライビングツール４へと伝達する推力伝達機構を構成する。The holder holding material 6 is a member formed of a metal such as aluminum in a substantially angular shape, and is arranged so as to be movable in the vertical direction with respect to the support 7 described above.
Specifically, as shown in FIG. 3, a rod contact member 10 that comes into contact with the tip of the rod 3a of the air cylinder 3 is provided above the holder holding material 6. Further, on the rear surface of the holder holding material 6 (the surface facing the front surface of the support 7), a guide body 11 for guiding the holder holding material 6 in the vertical direction with respect to the support 7 is provided. The holder holding material 6 and the guide body 11 constitute a thrust transmission mechanism that transmits the thrust from the air cylinder 3 to the scribing tool 4.

ホルダ保持材６の下部には、ホルダ５を保持するホルダジョイントを取付可能とする取り付け穴１２が形成されており、ホルダジョイントがネジなどの締結具を用いて着脱自在に固定されている。このホルダジョイントは、上部にベアリングを備え、下方にホルダ５をネジなどで保持する部材である。またホルダジョイントに保持されるホルダ５は、金属などを用いて角状に形成された部材であり、下面には、スクライビングツール４を挿入した上で固定可能とされた溝が形成されている。 A mounting hole 12 is formed in the lower portion of the holder holding material 6 so that a holder joint for holding the holder 5 can be mounted, and the holder joint is detachably fixed by using a fastener such as a screw. This holder joint is a member having a bearing at the upper part and holding the holder 5 at the lower part with screws or the like. The holder 5 held by the holder joint is a member formed in a square shape using metal or the like, and a groove that can be fixed after inserting the scribing tool 4 is formed on the lower surface thereof.

スクライビングツール４は、基板Ｂに対してスクライブラインを形成する部材である。このスクライビングツール４には、スクライビングホイールやダイヤモンドポイントなどの様々なツールを用いることができる。
さて、上記したホルダ保持材６は、ガイド体１１を介して、支持体７に対して上下方向に摺動自在に移動可能となっている。The scribing tool 4 is a member that forms a scribe line with respect to the substrate B. Various tools such as a scribing wheel and a diamond point can be used for the scribing tool 4.
By the way, the holder holding material 6 described above can be slidably moved in the vertical direction with respect to the support 7 via the guide body 11.

ガイド体１１は、支持体７に対してホルダ保持材６を上下方向に案内する部材であり、支持体７の前面下部とホルダ保持材６の後面との間に設けられている。
具体的には、図３に示すように、このガイド体１１は、支持体７の前面に上下方向に沿って形成された案内レール１３と、案内レール１３の敷設方向に沿って上下方向に移動可能であって且つホルダ保持材６の後面に取り付けられたスライダ１４と、を有している。さらに、スライダ１４の上方移動を規制するように案内レール１３の上端に設けられた上側の位置決め部材１５も備えている。The guide body 11 is a member that guides the holder holding member 6 in the vertical direction with respect to the support 7, and is provided between the lower front surface of the support 7 and the rear surface of the holder holding member 6.
Specifically, as shown in FIG. 3, the guide body 11 moves in the vertical direction along the laying direction of the guide rail 13 formed on the front surface of the support 7 in the vertical direction. It has a slider 14 that is possible and is attached to the rear surface of the holder holding material 6. Further, an upper positioning member 15 provided at the upper end of the guide rail 13 so as to restrict the upward movement of the slider 14 is also provided.

案内レール１３は支持体７に対してネジ止めされており、スライダ１４はホルダ保持材６に対してネジ止めされている。案内レール１３に対してスライダ１４が上下方向に移動すると、支持体７に対してホルダ保持材６が上下方向に移動する。
さて、本発明の大きな特徴は、エアシリンダー３から出退するロッド３ａの先端とホルダ保持材６が非連結とされており、ロッド３ａの長手方向に沿った力のみ、ホルダ保持材６へ伝達可能に構成されている点にある。The guide rail 13 is screwed to the support 7, and the slider 14 is screwed to the holder holding member 6. When the slider 14 moves in the vertical direction with respect to the guide rail 13, the holder holding member 6 moves in the vertical direction with respect to the support 7.
A major feature of the present invention is that the tip of the rod 3a that moves in and out of the air cylinder 3 and the holder holding material 6 are not connected, and only the force along the longitudinal direction of the rod 3a is transmitted to the holder holding material 6. The point is that it is configured to be possible.

この構成を実現するために、ロッド３ａの先端が球状接触子とされると共に、ホルダ保持材６の上部にロッド接触部材１０が設けられている。ロッド接触部材１０は、ボルト形状をしたものであり、ホルダ保持材６の上面に螺合取付可能とされている。ロッド接触部材１０の頭部はその上面が研磨により平坦に形成され、エアシリンダー３のロッド３ａの先端が接触可能となっている。なお、ロッド３ａの先端は半球状に形成されているため、ロッド３ａの先端部はロッド接触部材１０の頭部に対して、点接触するようになっている。また、ロッド接触部材１０の頭部は研磨加工されていることから、ロッド３ａの先端部とロッド接触部材１０の頭部との摩擦抵抗を軽減することができる。さらに、ロッド接触部材１０の頭部の上面が平坦にされていることから、ロッド３ａからの力を確実に長手方向に沿ってホルダ保持材に伝達することができる。なお、ロッド３ａの先端部とロッド接触部材１０との接触面における摩擦抵抗が小さく、長手方向への力を安定させられるような形状であればよい。 In order to realize this configuration, the tip of the rod 3a is a spherical contactor, and the rod contact member 10 is provided on the upper part of the holder holding material 6. The rod contact member 10 has a bolt shape and can be screwed and attached to the upper surface of the holder holding member 6. The upper surface of the head of the rod contact member 10 is formed flat by polishing, and the tip of the rod 3a of the air cylinder 3 can be contacted. Since the tip of the rod 3a is formed in a hemispherical shape, the tip of the rod 3a is in point contact with the head of the rod contact member 10. Further, since the head of the rod contact member 10 is polished, the frictional resistance between the tip of the rod 3a and the head of the rod contact member 10 can be reduced. Further, since the upper surface of the head of the rod contact member 10 is flat, the force from the rod 3a can be reliably transmitted to the holder holding material along the longitudinal direction. The shape may be such that the frictional resistance at the contact surface between the tip of the rod 3a and the rod contact member 10 is small and the force in the longitudinal direction can be stabilized.

一方、図２に示す如く、正面視において、ホルダ保持材６の左側には上下方向に長いバネ部材１６が設けられている。このバネ部材１６の下端は、ホルダ保持材６の左上面に取り付けられ、バネ部材１６の上端は、取付部材１７を介して支持体７に連結されるものとなっている。
このバネ部材１６は、ホルダ保持材６の上方側に付勢する付勢力を発現する構成となっている。このような構成であれば、低荷重でのスクライブにおいて、エアシリンダー３から加えられる荷重に、ホルダ保持材６の自重がさらに加わることを防止する（自重をキャンセルする）ことが可能となる。On the other hand, as shown in FIG. 2, when viewed from the front, a spring member 16 long in the vertical direction is provided on the left side of the holder holding member 6. The lower end of the spring member 16 is attached to the upper left surface of the holder holding member 6, and the upper end of the spring member 16 is connected to the support 7 via the attachment member 17.
The spring member 16 has a structure that exerts an urging force that urges the holder holding member 6 on the upper side. With such a configuration, it is possible to prevent the holder holding member 6 from further adding its own weight (cancelling its own weight) to the load applied from the air cylinder 3 in scribe with a low load.

ところで、第１実施形態のスクライブヘッド１においては、ホルダ保持材６の直上に、ロッド３ａが上下方向に出退するように下方向きでエアシリンダー３が配備されている。
エアシリンダー３は、シリンダ本体３ｂと、シリンダ本体３ｂ内に導入されるエアーによりシリンダ本体３ｂから出退自在とされたロッド３ａ（軸体）を有し、ロッド３ａがシリンダ本体３ｂに対してエアシールされる構成（エアベアリング機構）を有するものとなっている。By the way, in the scribe head 1 of the first embodiment, the air cylinder 3 is arranged downward so that the rod 3a moves up and down in the vertical direction directly above the holder holding member 6.
The air cylinder 3 has a cylinder body 3b and a rod 3a (shaft body) that can move in and out of the cylinder body 3b by air introduced into the cylinder body 3b, and the rod 3a seals the cylinder body 3b with an air seal. It has a configuration (air bearing mechanism).

エアシール方式とされているため、ロッド３ａとシリンダ本体３ｂとの間隙に高圧のエアが存在し、ロッド３ａが浮き上がった状態となっている。そのため、ロッド３ａをシリンダ本体３ｂから出退させたとしても、ロッド３ａに対して摺動抵抗が発生することはなく、ロッド３ａをシリンダ本体３ｂから微細な力をもって精密な制御により出退させることが可能となる。 Since the air seal method is used, high-pressure air exists in the gap between the rod 3a and the cylinder body 3b, and the rod 3a is in a floating state. Therefore, even if the rod 3a is moved back and forth from the cylinder body 3b, no sliding resistance is generated with respect to the rod 3a, and the rod 3a is moved back and forth from the cylinder body 3b with a minute force by precise control. Is possible.

なお、ロッド３ａの先端は半球状（球状接触子）とされており、前述したロッド接触部材１０の頭部（平面とされた頭部）に対して点接触状態とされ、エアシリンダー３とホルダ保持材６とが非連結状態とされている。
以上述べた第１実施形態のスクライブヘッド１では、ロッド３ａの先端（下端）は下方に向かって球面状に形成されている。一方、ホルダ保持材６の上面は、平坦面に形成されていて、上述したロッド３ａの曲面状の先端が点で接触できるようになっている。このようにロッド３ａとホルダ保持材６とが点接触し合う構成を採用すれば、ロッド３ａからホルダ保持材６に向かって上下方向に力を伝達することが可能であるにもかかわらず、ロッド３ａに対してホルダ保持材６は水平方向に移動自在となり、ホルダ保持材６のロッド３ａにモーメント（例えば、スクライブ時における軸交差方向の力）が作用しても、そのモーメントは、ロッド３ａ及びホルダ保持材６側に伝達することがない。The tip of the rod 3a is hemispherical (spherical contactor), and is in a point contact state with the head (flat head) of the rod contact member 10 described above, and the air cylinder 3 and the holder are in a point contact state. The holding material 6 is in a non-connected state.
In the scribe head 1 of the first embodiment described above, the tip (lower end) of the rod 3a is formed in a spherical shape downward. On the other hand, the upper surface of the holder holding material 6 is formed on a flat surface so that the curved tip of the rod 3a described above can come into contact with a point. If the rod 3a and the holder holding material 6 are in point contact with each other in this way, the rod can transmit the force in the vertical direction from the rod 3a toward the holder holding material 6. The holder holding material 6 is movable in the horizontal direction with respect to 3a, and even if a moment (for example, a force in the axial crossing direction at the time of scribe) acts on the rod 3a of the holder holding material 6, the moment is still the rod 3a and the rod 3a. It does not transmit to the holder holding material 6 side.

エアシール式のエアシリンダー３のロッド３ａは、シリンダ本体３ｂに対して浮き上がった状態となっているため、ロッド３ａにモーメントが作用すると、ロッド３ａが拗れてシリンダ本体３ｂに悪影響を及ぼし、ひどい場合はエアシリンダー３自体が破損したりする可能性がある。しかしながら、第１実施形態のホルダ保持材６の場合は、ロッド３ａの先端とホルダ保持材６が非連結とされており、ロッド３ａの長手方向に沿った力のみがホルダ保持材６へ伝達可能であり、モーメントの影響を排除することが可能なものとなっている。そのため、基板Ｂの面に沿ってスクライビングツール４を移動させても、ロッド３ａに軸交差方向の力が加わることがなく、微細な力で基板Ｂを精密にスクライブすることができる。 Since the rod 3a of the air-sealed air cylinder 3 is in a floating state with respect to the cylinder body 3b, when a moment acts on the rod 3a, the rod 3a is crushed and adversely affects the cylinder body 3b, which is a terrible case. There is a possibility that the air cylinder 3 itself will be damaged. However, in the case of the holder holding material 6 of the first embodiment, the tip of the rod 3a and the holder holding material 6 are not connected, and only the force along the longitudinal direction of the rod 3a can be transmitted to the holder holding material 6. Therefore, it is possible to eliminate the influence of the moment. Therefore, even if the scribing tool 4 is moved along the surface of the substrate B, the force in the axial crossing direction is not applied to the rod 3a, and the substrate B can be precisely scribed with a minute force.

なお、エアシリンダー３のロッド３ａとホルダ保持材６とを非連結状態とするやり方には、第２実施形態に示されるような手法も考えられる。
［第２実施形態］
図４は第２実施形態のスクライブヘッドの構造の一部を拡大して示した図である。第２実施形態のホルダ保持材６は、片持ち式の揺動タイプとされており、揺動することにより、スクライビングツール４に加わったモーメントが、エアシリンダー３のロッド３ａへ伝達することを防ぐ構成とされている。As a method of disconnecting the rod 3a of the air cylinder 3 and the holder holding material 6 from each other, a method as shown in the second embodiment can be considered.
[Second Embodiment]
FIG. 4 is an enlarged view showing a part of the structure of the scribe head of the second embodiment. The holder holding material 6 of the second embodiment is a cantilever swing type, and by swinging, the moment applied to the scribing tool 4 is prevented from being transmitted to the rod 3a of the air cylinder 3. It is configured.

図４に示すように、第２実施形態のホルダ保持材６は鈎型の形状を呈していて長手方向が水平とされるように配備されている。ホルダ保持材６の左端部が前後方向を向く揺動軸１８回りに揺動可能に支持体７に支持されており、右端が上下方向に若干ながら揺動自在となっている。ホルダ保持材６の下面には、ホルダジョイントを取付可能とする取り付け穴１２が形成されており、ホルダ保持材６の上面には、エアシリンダー３のロッド３ａの先端が接するようになっている。 As shown in FIG. 4, the holder holding material 6 of the second embodiment has a hook shape and is arranged so that the longitudinal direction is horizontal. The left end of the holder holding member 6 is supported by the support 7 so as to be swingable around a swing shaft 18 facing the front-rear direction, and the right end is slightly swingable in the vertical direction. A mounting hole 12 for mounting the holder joint is formed on the lower surface of the holder holding material 6, and the tip of the rod 3a of the air cylinder 3 is in contact with the upper surface of the holder holding material 6.

このように、揺動軸１８回りにスクライブヘッド１が上下動することにより、スクライビングツール４に加わったモーメントを吸収することができ、モーメントがエアシリンダー３のロッド３ａへ伝達することを防ぐものとなっている。
モーメントがロッド３ａに伝達することをより効果的に防止するため、ロッド３ａの先端には、転動体１９が設けられるとよい。この転動体１９を介して、ロッド３ａとスクライブヘッド１の上面とが接触することで、ホルダ保持材６が大きく揺動したとしても、ホルダ保持材６に対するロッド３ａの接触点が左右方向に位置を変え、ロッド３ａへのモーメント伝達を可及的に防止することが可能となる。By moving the scribe head 1 up and down around the swing shaft 18 in this way, the moment applied to the scribing tool 4 can be absorbed, and the moment is prevented from being transmitted to the rod 3a of the air cylinder 3. It has become.
In order to more effectively prevent the moment from being transmitted to the rod 3a, it is preferable that the rolling element 19 is provided at the tip of the rod 3a. Even if the holder holding material 6 swings significantly due to the contact between the rod 3a and the upper surface of the scribe head 1 via the rolling element 19, the contact point of the rod 3a with respect to the holder holding material 6 is positioned in the left-right direction. It is possible to prevent the moment transmission to the rod 3a as much as possible.

これらのことにより、第２実施形態のスクライブヘッド１であっても、基板Ｂの面に沿ってスクライビングツール４を移動させても、ロッド３ａに軸交差方向の力が加わることがなく、微細な力で基板Ｂを精密にスクライブすることができる。
なお、その他の構造に関しては、第２実施形態のスクライブヘッド１は、第１実施形態のスクライブヘッド１と略同じであるため、詳細な説明は省略する。As a result, even in the scribe head 1 of the second embodiment, even if the scribing tool 4 is moved along the surface of the substrate B, no force is applied to the rod 3a in the axial crossing direction, and the rod 3a is fine. The substrate B can be scribed precisely by force.
Regarding other structures, since the scribe head 1 of the second embodiment is substantially the same as the scribe head 1 of the first embodiment, detailed description thereof will be omitted.

以上まとめれば、本発明のスクライブヘッドは、被加工物に対してスクライブを行うスクライビングツールを保持するホルダと、ホルダが先端に設けられたホルダ保持材と、ホルダ保持材を被加工物に対して近接させるエアシリンダーと、ホルダ保持材及びエアシリンダーを支持する支持体と、を備えたものである。前述したエアシリンダーは、シリンダ本体と、シリンダ本体内に導入されるエアーにより当該シリンダ本体から出退自在とされた軸体を有し、軸体はシリンダ本体に対してエアシールされる構成を有している。また、軸体がシリンダ本体から進出することで、ホルダ保持材が被加工物に対して近づくようになっており、軸体の先端とホルダ保持材が非連結とされており、軸体の長手方向に沿った力のみ、ホルダ保持材へ伝達可能に構成されているといった特徴を有する。 Summarizing the above, the scribing head of the present invention has a holder for holding a scribing tool for scribing a workpiece, a holder holding material having a holder at the tip, and a holder holding material for the workpiece. It is provided with an air cylinder to be brought close to each other, a holder holding material, and a support for supporting the air cylinder. The above-mentioned air cylinder has a cylinder body and a shaft body that can be moved back and forth from the cylinder body by air introduced into the cylinder body, and the shaft body has a configuration in which the cylinder body is air-sealed. ing. Further, when the shaft body advances from the cylinder body, the holder holding material comes closer to the workpiece, the tip of the shaft body and the holder holding material are not connected, and the length of the shaft body is long. It has the feature that only the force along the direction can be transmitted to the holder holding material.

前述したスクライブヘッドは、軸体に対面する側に平坦な接触面を有しており、軸体の先端は球状接触子に形成されており、球状接触子が接触面に点接触する構成とされていることを特徴としている。
本発明のスクライブ装置は、前述したスクライブヘッドを備えることを特徴としており、スクライビングツールを保持するホルダと、ホルダが先端に設けられたホルダ保持材と、ホルダ保持材を被加工物に対して近接離反させるエアシリンダーと、ホルダ保持材及びエアシリンダーを支持する支持体と、を備えるスクライブヘッドと、被加工物を戴置するテーブルと、スクライブヘッドとテーブルとを相対的に移動させる駆動機構と、を備え、スクライブヘッドにおいて、エアシリンダーは、シリンダ本体と、シリンダ本体内に導入されるエアーにより当該シリンダ本体から出退自在とされた軸体を有し、軸体はシリンダ本体に対してエアシールされる構成を有しており、軸体がシリンダ本体から進出することで、ホルダ保持材が被加工物に対して近づくようになっており、軸体の先端とホルダ保持材が非連結とされており、軸体の長手方向に沿った力のみ、ホルダ保持材へ伝達可能に構成されていることを特徴とする。The scribe head described above has a flat contact surface on the side facing the shaft body, the tip of the shaft body is formed as a spherical contactor, and the spherical contactor is in point contact with the contact surface. It is characterized by being.
The scribing device of the present invention is characterized by including the scribing head described above, and the holder for holding the scribing tool, the holder holding material having the holder at the tip, and the holder holding material are close to the workpiece. A scribing head including an air cylinder to be separated, a holder holding material and a support for supporting the air cylinder, a table on which a work piece is placed, and a drive mechanism for relatively moving the scribing head and the table. In the scribing head, the air cylinder has a cylinder body and a shaft body that can move in and out of the cylinder body by air introduced into the cylinder body, and the shaft body is air-sealed with respect to the cylinder body. The holder holding material comes closer to the work piece by advancing the shaft body from the cylinder body, and the tip of the shaft body and the holder holding material are not connected. The cylinder is characterized in that only the force along the longitudinal direction of the shaft body can be transmitted to the holder holding material.

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。特に、今回開示された実施形態において、明示的に開示されていない事項、例えば、運転条件、各種パラメータ、構成物の寸法、重量、体積などは、当業者が通常実施する範囲を逸脱するものではなく、通常の当業者であれば、容易に想定することが可能な値を採用している。 The embodiments disclosed this time should be considered to be exemplary in all respects and not restrictive. In particular, in the embodiments disclosed this time, matters not explicitly disclosed, such as operating conditions, various parameters, dimensions, weights, volumes of components, etc., do not deviate from the range normally implemented by those skilled in the art. However, a value that can be easily assumed by a person skilled in the art is adopted.

１ スクライブヘッド
２ テーブル
３ エアシリンダー
３ａ ロッド（軸体）
３ｂ シリンダ本体
４ スクライビングツール
５ ホルダ
６ ホルダ保持材
７ 支持体
８ 張り出し部
９ 貫通孔
１０ ロッド接触部材
１１ ガイド体
１２ 取り付け穴
１３ 案内レール
１４ スライダ
１５ 上側の位置決め部材
１６ バネ部材
１７ 取付部材
１８ 揺動軸
１９ 転動体
Ｂ 基板1 scribe head 2 table 3 air cylinder 3a rod (shaft)
3b Cylinder body 4 Scribing tool 5 Holder 6 Holder holding material 7 Support 8 Overhanging part 9 Through hole 10 Rod contact member 11 Guide body 12 Mounting hole 13 Guide rail 14 Slider 15 Upper positioning member 16 Spring member 17 Mounting member 18 Swing Shaft 19 Roller B Substrate

Claims (3)

被加工物に対してスクライブを行うスクライビングツールを保持するホルダと、前記ホルダが先端に設けられたホルダ保持材と、前記ホルダ保持材を被加工物に対して近接させるエアシリンダーと、前記ホルダ保持材及び前記エアシリンダーを支持する支持体と、を備えたスクライブヘッドであって、
前記エアシリンダーは、シリンダ本体と、前記シリンダ本体内に導入されるエアーにより当該シリンダ本体から出退自在とされた軸体を有し、前記軸体は前記シリンダ本体に対してエアシールされる構成を有しており、
前記軸体が前記シリンダ本体から進出することで、前記ホルダ保持材が被加工物に対して近づくようになっており、
前記軸体の先端と前記ホルダ保持材が非連結とされており、前記軸体の長手方向に沿った力のみ、前記ホルダ保持材へ伝達可能に構成されている
ことを特徴とするスクライブヘッド。A holder that holds a scribing tool that scribbles the work piece, a holder holding material that has the holder at the tip, an air cylinder that brings the holder holding material close to the work piece, and the holder holding material. A scribe head comprising a material and a support for supporting the air cylinder.
The air cylinder has a cylinder body and a shaft body that can be moved back and forth from the cylinder body by air introduced into the cylinder body, and the shaft body is air-sealed with respect to the cylinder body. Have and
When the shaft body advances from the cylinder body, the holder holding material approaches the workpiece.
A scribe head characterized in that the tip of the shaft body and the holder holding material are not connected, and only a force along the longitudinal direction of the shaft body can be transmitted to the holder holding material. 前記スクライブヘッドは、前記軸体に対面する側に平坦な接触面を有しており、前記軸体の先端は球状接触子に形成されており、前記球状接触子が前記接触面に点接触する構成とされていることを特徴とする請求項１に記載のスクライブヘッド。 The scribe head has a flat contact surface on the side facing the shaft body, the tip of the shaft body is formed as a spherical contactor, and the spherical contactor makes point contact with the contact surface. The scribe head according to claim 1, wherein the scribe head is configured. 被加工物に対してスクライブを行うスクライブ装置であって、
スクライビングツールを保持するホルダと、前記ホルダが先端に設けられたホルダ保持材と、前記ホルダ保持材を被加工物に対して近接させるエアシリンダーと、前記ホルダ保持材及び前記エアシリンダーを支持する支持体と、を備えるスクライブヘッドと、
被加工物を戴置するテーブルと、
前記スクライブヘッドと前記テーブルとを相対的に移動させる駆動機構と、
を備え、
前記スクライブヘッドにおいて、前記エアシリンダーは、シリンダ本体と、前記シリンダ本体内に導入されるエアーにより当該シリンダ本体から出退自在とされた軸体を有し、前記軸体は前記シリンダ本体に対してエアシールされる構成を有しており、
前記軸体が前記シリンダ本体から進出することで、前記ホルダ保持材が被加工物に対して近づくようになっており、
前記軸体の先端と前記ホルダ保持材が非連結とされており、前記軸体の長手方向に沿った力のみ、前記ホルダ保持材へ伝達可能に構成されたことを特徴とするスクライブ装置。A scribe device that scribes a work piece.
A holder that holds the scribing tool, a holder holding material that is provided at the tip of the holder, an air cylinder that brings the holder holding material close to the workpiece, and a support that supports the holder holding material and the air cylinder. A scribe head with a body,
A table on which the work piece is placed and
A drive mechanism that relatively moves the scribe head and the table,
With
In the scribe head, the air cylinder has a cylinder body and a shaft body that can move in and out of the cylinder body by air introduced into the cylinder body, and the shaft body is relative to the cylinder body. It has an air-sealed configuration and is air-sealed.
When the shaft body advances from the cylinder body, the holder holding material approaches the workpiece.
A scribe device characterized in that the tip of the shaft body and the holder holding material are not connected, and only a force along the longitudinal direction of the shaft body can be transmitted to the holder holding material.
JP2020548198A 2018-09-28 2019-08-26 Scribe head and scribe device Active JP7095913B2 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018184653 2018-09-28
JP2018184653 2018-09-28
PCT/JP2019/033258 WO2020066411A1 (en) 2018-09-28 2019-08-26 Scribe head and scribe device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2020066411A1 true JPWO2020066411A1 (en) 2021-09-16
JP7095913B2 JP7095913B2 (en) 2022-07-05

Family

ID=69949355

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020548198A Active JP7095913B2 (en) 2018-09-28 2019-08-26 Scribe head and scribe device

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP7095913B2 (en)
KR (1) KR20210039434A (en)
CN (1) CN112638608A (en)
TW (1) TW202012327A (en)
WO (1) WO2020066411A1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5452113A (en) * 1977-08-10 1979-04-24 Pilkington Brothers Ltd Method of forming scale indication
JPH09295822A (en) * 1996-05-07 1997-11-18 Hitachi Ltd Glass cutter
JP2002321933A (en) * 2001-04-27 2002-11-08 Kawasaki Heavy Ind Ltd Cutting line carving device for glass plate
JP2014088295A (en) * 2012-10-31 2014-05-15 Amagasaki Kosakusho:Kk Cleaving device for rigid brittle plate

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2515905B2 (en) * 1990-03-14 1996-07-10 オリンパス光学工業株式会社 Mold driving device for glass lens molding machine
JP2001139337A (en) * 1999-11-11 2001-05-22 Toshiba Corp Working device, glass scribing device and glass cutting method
JP2011155151A (en) * 2010-01-27 2011-08-11 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd Scribing apparatus for thin-film solar cell

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5452113A (en) * 1977-08-10 1979-04-24 Pilkington Brothers Ltd Method of forming scale indication
JPH09295822A (en) * 1996-05-07 1997-11-18 Hitachi Ltd Glass cutter
JP2002321933A (en) * 2001-04-27 2002-11-08 Kawasaki Heavy Ind Ltd Cutting line carving device for glass plate
JP2014088295A (en) * 2012-10-31 2014-05-15 Amagasaki Kosakusho:Kk Cleaving device for rigid brittle plate

Also Published As

Publication number Publication date
TW202012327A (en) 2020-04-01
JP7095913B2 (en) 2022-07-05
WO2020066411A1 (en) 2020-04-02
KR20210039434A (en) 2021-04-09
CN112638608A (en) 2021-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8592716B2 (en) Methods and apparatus for initiating scoring
JP5660032B2 (en) Glass plate scribing method and scribing apparatus
TWI395285B (en) Sheet attachment and attachment method
JP2002137930A (en) Apparatus and method for plate separation from transferring brittle material sheet
US20160214276A1 (en) Method and apparatus for scribing silicon carbide plate
EP1036773A2 (en) Scribing method and apparatus
US10173296B2 (en) Grinding machine
KR101089174B1 (en) A scribing apparatus including chip pre-processing unit, and the scribing method
JP7095913B2 (en) Scribe head and scribe device
JP2007268650A (en) Die cut roll
CN1668431B (en) Method of scribing on brittle material, scribe head, and scribing apparatus with the scribe head
JP2004119901A (en) Cleaving apparatus and method
CN101912998B (en) Cutting off machine
JP2004224592A (en) Method and apparatus for vibration scribing hard brittle plate
KR20190128990A (en) Apparatus for dividing substrate
JP2005046986A (en) Tool table for supporting work
JP5779465B2 (en) Substrate groove processing equipment
CN201728431U (en) Cut-off machine
KR101133598B1 (en) The glass processing apparatus for touch screen panel
JP5884852B2 (en) Silicon carbide plate scribing method and scribing apparatus
CN112895183B (en) Lobe of a leaf device
CN220480619U (en) Numerical control cutting positioning guide device
JP2002121041A (en) Method and device for breaking rigid brittle plate
JP2019018330A (en) Apparatus and method for positioning glass substrate as well as processing machine of glass substrate
JP2013159506A (en) Method for cutting glass

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210204

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220127

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220531

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220616

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7095913

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150