JPWO2020021989A1 - 凹面回折格子の製造方法、製造装置及び凹面回折格子 - Google Patents
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Abstract
Description
て、押し当て面に回折格子の溝パターンを有する平面金型の前記押し当て面を、球面またはトロイド面である凹面に樹脂を塗布した凹面基板の前記凹面に対向させて、前記平面金型及び前記凹面基板を配置する工程と、前記平面金型を流体によって加圧して変形させ、前記押し当て面を前記凹面に塗布された前記樹脂に押し当てる工程と、前記押し当て面が押し当てられたことで前記溝パターンが転写された前記樹脂を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする。
発明の効果
[0014]
本発明によれば、荷重不均一性を改善することができ、高い面精度を有する凹面回折格子を製造することができる凹面回折格子の製造方法及び製造装置を提供することができる。
[0015]
上記した以外の本発明の課題、構成、作用及び効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。
図面の簡単な説明
[0016]
[図1A]本発明の実施例1に係る凹面回折格子の製造方法を示す図である。
[図1B]本発明の実施例1に係る凹面回折格子の製造方法を示す図である。
[図1C]本発明の実施例1に係る凹面回折格子の製造方法を示す図である。
[図1D]本発明の実施例1に係る凹面回折格子の製造方法を示す図である。
[図1E]本発明の実施例1に係る凹面回折格子の製造方法を示す図である。
[図2]本発明の実施例1に係る凹面回折格子の製造方法を示すフローチャートである。
[図3A]本発明の実施例1に係る平面金型の製造方法を示す図である。
[図3B]本発明の実施例1に係る平面金型の製造方法を示す図である。
[図3C]本発明の実施例1に係る平面金型の製造方法を示す図である。
[図3D]本発明の実施例1に係る平面金型の製造方法を示す図である。
[図4A]本発明の実施例1に係る平面金型と冶具の固定方法を示す図である。
[図4B]本発明の実施例1に係る平面金型と冶具の固定方法を示す図である。
[図5]平面金型に設けた固定用開口部の位置を示す図である。
[図6]球面回折格子を示す図である。
Claims (9)
- 凹面回折格子の製造方法であって、
押し当て面に回折格子の溝パターンを有する平面金型の前記押し当て面を、凹面に樹脂を塗布した凹面基板の前記凹面に対向させて、前記平面金型及び前記凹面基板を配置する工程と、
前記平面金型を流体によって加圧して、前記押し当て面を前記凹面に塗布された前記樹脂に押し当てる工程と、
前記押し当て面が押し当てられたことで前記溝パターンが転写された前記樹脂を硬化させる工程と、
を含むことを特徴とする凹面回折格子の製造方法。 - 請求項1に記載の凹面回折格子の製造方法において、
前記押し当てる工程は、前記平面金型の前記押し当て面の側と、前記押し当て面の裏面の側との圧力差によって、前記押し当て面を前記樹脂に押し当てる、
ことを特徴とする凹面回折格子の製造方法。 - 請求項2に記載の凹面回折格子の製造方法において、
前記押し当てる工程は、前記押し当て面の側で排気し前記裏面の側の大気圧によって、前記押し当て面を前記樹脂に押し当てる、
ことを特徴とする凹面回折格子の製造方法。 - 請求項1に記載の凹面回折格子の製造方法において、
前記樹脂は紫外線硬化樹脂であり、
前記硬化させる工程は、前記樹脂に紫外線を照射することで該樹脂を硬化させる、
ことを特徴とする凹面回折格子の製造方法。 - 請求項1に記載の凹面回折格子の製造方法において、
前記樹脂は熱硬化樹脂であり、
前記硬化させる工程は、前記樹脂を加熱することで該樹脂を硬化させる、
ことを特徴とする凹面回折格子の製造方法。 - 請求項1に記載の凹面回折格子の製造方法において、
前記凹面は、球面またはトロイド面である、
ことを特徴とする凹面回折格子の製造方法。 - 請求項1に記載の凹面回折格子の製造方法において、
前記平面金型は、前記押し当て面を有する金属膜と、前記金属膜を支持するベース部材と、を備えて成る、
ことを特徴とする凹面回折格子の製造方法。 - 凹面回折格子の製造装置であって、
押し当て面に回折格子の溝パターンを有する平面金型の前記押し当て面を、凹面に樹脂を塗布した凹面基板の前記凹面に対向させて、前記平面金型及び前記凹面基板を配置する配置部と、
前記平面金型を流体によって加圧して、前記押し当て面を前記凹面に塗布された前記樹脂に押し当てる押し当て部と、
前記押し当て面が押し当てられたことで前記溝パターンが転写された前記樹脂を硬化させる硬化部と、
を含むことを特徴とする凹面回折格子の製造装置。 - 請求項1に記載の凹面回折格子の製造方法により製造したことを特徴とする凹面回折格子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018137685 | 2018-07-23 | ||
JP2018137685 | 2018-07-23 | ||
PCT/JP2019/026231 WO2020021989A1 (ja) | 2018-07-23 | 2019-07-02 | 凹面回折格子の製造方法、製造装置及び凹面回折格子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020021989A1 true JPWO2020021989A1 (ja) | 2021-08-12 |
JP7348182B2 JP7348182B2 (ja) | 2023-09-20 |
Family
ID=69181455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020532248A Active JP7348182B2 (ja) | 2018-07-23 | 2019-07-02 | 凹面回折格子の製造方法、製造装置及び凹面回折格子 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210318473A1 (ja) |
EP (1) | EP3828603A4 (ja) |
JP (1) | JP7348182B2 (ja) |
CN (1) | CN113167944A (ja) |
WO (1) | WO2020021989A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021196536A (ja) * | 2020-06-16 | 2021-12-27 | 株式会社日立ハイテク | 凹面回折格子の製造方法及び光学装置 |
CN117501156A (zh) * | 2021-07-05 | 2024-02-02 | 株式会社日立高新技术 | 衍射光栅的制造方法和复制衍射光栅的制造方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08211214A (ja) * | 1995-02-07 | 1996-08-20 | Olympus Optical Co Ltd | 曲面グレーティングの製造方法 |
JP2003011140A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-15 | Canon Inc | 回折光学素子の離型方法及び離型装置 |
JP4232380B2 (ja) * | 2002-04-25 | 2009-03-04 | 株式会社ニコン | 複合型光学素子の製造方法 |
JP2004361635A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Alps Electric Co Ltd | 曲面微細構造の形成方法 |
JP2006039450A (ja) | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Seiko Epson Corp | 反射防止膜の形成方法、反射防止膜の形成装置、反射防止膜および光学部品 |
JP2006162863A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Canon Inc | 回折光学素子の成形型及び成形型の製造方法 |
EP1669196B1 (en) * | 2004-12-10 | 2008-05-21 | ESSILOR INTERNATIONAL (Compagnie Générale d'Optique) | Stamp for patterning, method for manufacturing such stamp and method for manufacturing an object using the stamp. |
TWI342862B (en) * | 2008-01-31 | 2011-06-01 | Univ Nat Taiwan | Method of micro/nano imprinting |
WO2012165310A1 (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-06 | Scivax株式会社 | 流体圧インプリント装置およびインプリント方法 |
JP2013064836A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Olympus Corp | 微細構造形成用型および光学素子の製造方法 |
JP6029502B2 (ja) * | 2013-03-19 | 2016-11-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 曲面回折格子の製造方法 |
EP3056929B1 (en) * | 2013-10-07 | 2019-09-18 | Shimadzu Corporation | Blazed diffraction grating and method for manufacturing blazed diffraction grating |
WO2016059928A1 (ja) * | 2014-10-16 | 2016-04-21 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 曲面回折格子の型の製造方法、曲面回折格子の製造方法、曲面回折格子、および光学装置 |
JP6823381B2 (ja) | 2016-05-25 | 2021-02-03 | キヤノン株式会社 | 回折光学素子、回折格子を備えた光学機器及び回折格子を備えたカメラ |
-
2019
- 2019-07-02 CN CN201980046336.2A patent/CN113167944A/zh not_active Withdrawn
- 2019-07-02 WO PCT/JP2019/026231 patent/WO2020021989A1/ja active Search and Examination
- 2019-07-02 JP JP2020532248A patent/JP7348182B2/ja active Active
- 2019-07-02 US US17/259,658 patent/US20210318473A1/en active Pending
- 2019-07-02 EP EP19841505.1A patent/EP3828603A4/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113167944A (zh) | 2021-07-23 |
EP3828603A4 (en) | 2022-04-20 |
EP3828603A1 (en) | 2021-06-02 |
JP7348182B2 (ja) | 2023-09-20 |
WO2020021989A1 (ja) | 2020-01-30 |
US20210318473A1 (en) | 2021-10-14 |
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Legal Events
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A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
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