JPWO2019230632A1 - 液体膜の厚みの測定方法、測定装置、及びフィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)部材の表面上に存在する液体膜に光を照射して得られる反射光をセンサーで検知し、前記反射光を、カーブフィッティングを用いた分光干渉方式により分析することにより、前記液体膜の厚みを測定することを特徴とする、液体膜の厚みの測定方法。
(2)前記液体膜が金属成分を含んでいる、(1)に記載の液体膜の厚みの測定方法。
(3)前記液体膜の厚みが11μm以下である、(1)又は(2)に記載の液体膜の厚みの測定方法。
(4)前記部材の表面粗さが1.0μm以上2.5μm以下である、(1)〜(3)のいずれかに記載の液体膜の厚みの測定方法。
(5)前記部材が、ベアリングが走行するレールである、(1)〜(4)のいずれかに記載の液体膜の厚みの測定方法。
(6)前記レールが、テンター装置におけるクリップ装置が走行するクリップレールである、(5)に記載の液体膜の厚みの測定方法。
(7)前記センサーが携帯型センサーである、(1)〜(6)のいずれかに記載の液体膜の厚みの測定方法。
(8)(1)〜(7)のいずれかに記載の測定方法により液体膜の厚みを測定する装置であって、少なくとも、部材の表面上に存在する液体膜に向けて光を照射する光照射手段、前記部材の表面および前記液体膜の表面からの反射光を検知する反射光検知手段、検知された反射光から反射率スペクトラムを実測するとともに、該実測反射率スペクトラムと、予め設定された、理論液体膜厚みに対応する複数の理論反射率スペクトラムとをカーブフィッティングにより比較し、実測反射率スペクトラムに最も近似する理論反射率スペクトラムに対応する理論液体膜厚みを液体膜厚みの測定値と判定可能な分析手段とを有することを特徴とする、液体膜の厚みの測定装置。
(9)レールに沿ってベアリングが走行する機構を備えるテンター装置を用いてフィルムを延伸する工程を有するフィルムの製造方法であって、
(1)〜(7)のいずれかに記載の測定方法を用いて測定した液体膜の厚みをh(μm)、前記レールの表面粗さをh1(μm)、前記ベアリングの表面粗さをh2(μm)としたときに、前記レール上における前記ベアリングの走路に、下記式1を満たす液体膜を形成することを特徴とする、フィルムの製造方法。
(10)前記ベアリングの走路への液体供給量の調節により、前記式1を満たす範囲に液体膜の厚みh(μm)を制御することを特徴とする、(9)に記載のフィルムの製造方法。
本発明の液体膜の厚みの測定方法は、部材の表面上に存在する液体膜に光を照射して得られる反射光をセンサーで検知し、検知された反射光を、カーブフィッティングを用いた分光干渉方式により分析することにより、液体膜の厚みを測定することを特徴とする。
液体A:鉱油系潤滑油、“ダフニー”(登録商標)ハイテンプオイルC(出光興産社製)
液体B:アルキルジフェニルエーテル油、“モレスコハイルーブ”(登録商標)LZ−560(MORESCO社製)
液体C:エステル油、“プリミウムフルード”(登録商標)スペシャル(NOKクリューバー社製)。
部材A:2年間使用したステンレス鋼製クリップレール(表面粗さ:1.1μm)
部材B:未使用のステンレス鋼製クリップレール(表面粗さ:2.0μm以上2.4μm以下)
なお、各部材とも液体膜を形成させた部位の形状は平坦面である。
メタリングバーA:液体を引き伸ばした後に形成される液体膜の厚みの理論値が2.0μmとなるように設計されたもの。
メタリングバーB:液体を引き伸ばした後に形成される液体膜の厚みの理論値が4.0μmとなるように設計されたもの。
メタリングバーC:液体を引き伸ばした後に形成される液体膜の厚みの理論値が11.0μmとなるように設計されたもの。
各メタリングバーは、いずれも金属棒にワイヤーを巻き付けて作製した。液体を引き伸ばした後に形成される液体膜の厚みの調整は、ワイヤーの太さを調節することにより行った。なお、以下、液体を引き伸ばした後に形成される液体膜の厚みの理論値を、単に理論値ということがある。
実施例中における測定や評価は次に示すような条件、方法で行った。
各部材表面を清掃して金属粉等を除去した後、部材表面に液体を滴下した。その後、金属棒にワイヤーを巻き付けたメタリングバーをレール上に押し当てて液体を引き伸ばし、部材表面に液体膜を形成させた。
(2−A)カーブフィッティングを用いた分光干渉方式(実施例で用いた方法)
非接触分光膜厚測定システムF20(フィルメトリクス社製)を用いて、以下の手順により測定した。先ず、下記のとおり予想される膜厚のみが異なる8種の膜構造レシピを設定し、装置に組み込まれている計算機能により、それぞれ理論上の反射率スペクトラムを求めた(以下、このように求めた反射率スペクトラムを理論反射率スペクトラムということがある。)。次いで、液体膜に光を照射して得られる反射光を携帯型センサーで検知し、反射率スペクトラムを取得した(以下、このように実測した反射率スペクトラムを実測反射率スペクトラムということがある。)。その後、下記の分析ソフトを用いて、それぞれの理論反射率スペクトラムと実測反射率スペクトラムをコンピュータの画面に表示させ、実測反射率スペクトラムと理論反射率スペクトラムをカーブフィッティングにより比較して、実測反射率スペクトラムに最も近似する理論反射率スペクトラムを特定し、この特定した理論反射率スペクトラムにおける予想される膜厚(理論反射率スペクトラムに対応する理論液体膜厚み)を測定対象の液体膜の厚みとした。このとき、測定条件は以下のとおりとした。なお、各実施例及び比較例における測定は3度実施し、その平均値を液体膜の厚みの実測値とした(但し、3度の測定で一度も測定値が得られなかった場合は、測定不可とみなした。)。
測定環境(Layer, Medium):Air
液体膜と屈折率(n)(Layer, 1):Generic、n=1.5
液体膜を形成した基材(Layer, Substrate):Stainless Steel
予想される膜厚:2μm±50%、3μm±50%、4μm±50%、5μm±50%、6μm±50%、8μm±50%、10μm±50%、11μm±50%の各範囲内の任意の膜厚を設定可能であるが、実施例では予想される膜厚を2μm、3μm、4μm、5μm、6μm、8μm、10μm、11μmの8種の膜厚を膜構造レシピとして設定し、各膜厚に対応する理論反射率スペクトラムを求めて、予めそれらの理論反射率スペクトラムとそれらに対応する理論膜厚(予想される膜厚)を設定した。より高精度の膜厚を測定したい場合には、上記膜構造レシピから、実測反射率スペクトラムが最も近似する理論反射率スペクトラムを特定し、この特定した理論反射率スペクトラムにおける予想される膜厚を特定し、その特定した予想される膜厚近辺の膜厚のレシピをより細かく設定して同様のカーブフィッティングを介した分析を行えばよい(例えば、特定された予想される膜厚が4μmと判定された場合には、3.8、3.9、4.0、4.1、4.2μm等の膜厚とそれに対応する理論反射率スペクトラムの膜構造レシピを設定し、その中から実測反射率スペクトラムが最も近似する理論反射率スペクトラムを特定し、この特定した理論反射率スペクトラムにおける予想される膜厚を測定対象の液体膜の厚みとすればよい。)。
測定波長範囲:380nm〜1,050nm
センサーヘッドと部材表面の距離:200mm
部材表面と照射光の成す角の大きさ:90°
分析ソフト、モード:FILMeasure、膜厚測定モード。
液体膜に光を照射して得られる反射光を携帯型センサーで検知し、前記反射光を、FFTを用いた分光干渉方式により分析することにより測定した。測定装置及び測定条件は以下のとおりとした。なお、各比較例における測定は3度実施し、その平均値を液体膜の厚みの実測値とすることとした(但し、3度の測定で一度も測定値が得られなかった場合は、測定不可とみなした。)。
測定装置:分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器 SI−T80(キーエンス社製)
<測定条件>
センサーヘッドと部材表面の距離:80mm
部材表面と照射光の成す角の大きさ:90°。
液体膜に3種類の波長の光を照射し反射光の輝度値から複数の膜厚分布を推定することにより測定した。測定装置及び測定条件は以下のとおりとした。なお、各比較例における測定は3度実施し、その平均値を液体膜の厚みの実測値とした(但し、3度の測定で一度も測定値が得られなかった場合は、測定不可とみなした。)。
測定装置:表面形状測定装置 SP700−500(東レエンジニアリング社製)
カメラ:3波長マルチバンドパスフィルターカメラ(Basler社製 acA640−90uc(7.4μm/pix 640×480pix)。
対物レンズ:10倍
視野サイズ:0.47×0.36。
上記「(2)液体膜の厚み」の各方法で測定した実測値を、「(1)液体膜の形成」に記載の理論値で除して得られた値(以下、「実測値/理論値」ということがある。)より以下の基準で評価し、Aのみを合格とした。なお、「実測値/理論値」が1.0に近いほど測定精度が高いことを意味する。
A:「実測値/理論値」が0.70以上1.30以下。
B:「実測値/理論値」がAの条件に該当しない、若しくは測定不可。
小型表面粗さ測定機(品番:SJ−210 株式会社ミツトヨ製)を用いて、各部材のベアリング走行箇所の表面粗さを合計3回計測し、その平均値を各部材の表面粗さ(μm)とした。
走行フィルムの表面に接触するようにテンター装置の出口に不織布を取り付け、製造開始から8時間後に該不織布を目視にて観察した。以下の基準にて金属粉の飛散の有無を評価し、Aのみを合格とした。
A:不織布表面に金属粉の付着が観察されなかった。
B:不織布表面に金属粉の付着が観察された。
得られた最終製品ロールより100mのフィルムを巻き出して切り取り、これをサンプルとした。得られたサンプルを蛍光灯下で目視により観察し、以下の基準にて液体膜の飛散の有無を評価した。なお、評価は生産開始後2時間経過した後に得られた最終製品について行い、Aのみを合格とした。
A:液体膜成分の付着が観察されなかった。
B:液体膜成分の付着が観察された。
以下に液体膜の厚み測定の実施例及び比較例を示す。
各部材表面を清掃して予め金属粉等を除去した後、部材Aの表面に液体Aを滴下した。その後、メタリングバーAを押し当てて液体Aを引き伸ばし、部材表面に液体膜を形成させた。その後、「(2)液体膜の厚み」の「(2−A)カーブフィッティングを用いた分光干渉方式」に記載の方法により、その厚みを測定し、「(3)測定精度」に記載の方法により測定精度を評価した。評価結果を表1に示す。
部材、液体、メタリングバー、及び液体膜厚み理論値(μm)を表1のとおりとした以外は、実施例1と同様に測定を行った。測定結果を表1に示す。
実施例2と同様に液体膜を形成し、「(2)液体膜の厚み」の「(2−C)画像処理法」に記載の方法により、その厚みの測定を行ったが、測定値は得られなかった(表1)。
実施例10と同様に液体膜を形成し、「(2)液体膜の厚み」の「(2−C)画像処理法」に記載の方法により、その厚みの測定を行ったが、測定値は得られなかった(表1)。
以下にフィルムの製造方法の実施例及び比較例を示す。なお、フィルムの製造方法に関しては、テンター装置のクリップレール上の液体膜の厚みの測定に本発明の測定方法を用いなかったもの(比較例3)に加え、本発明の測定方法により測定した当該液体膜の厚みが下記式1の範囲外であったもの(比較例4、5)も比較例とした。
PETペレットを十分に真空乾燥した後、押出機に供給して270〜300℃で溶融し、T字型口金よりシート状に押出した。押出したシート状物を、静電印加キャスト法を用いて表面温度20〜25℃のキャスティングドラムに巻き付けて冷却固化し、未延伸フィルムとした。この未延伸フィルムをロール式延伸機により80〜100℃に加熱して長手方向に2倍延伸し、一軸延伸フィルムとした。その後、この一軸延伸フィルムの幅方向の両端部をクリップレールに沿って走行するクリップで把持してテンター装置の予熱ゾーン(雰囲気温度は120℃〜130℃)に導いた。予熱ゾーンでフィルムを予熱した後、140℃の延伸ゾーンで幅方向に3倍延伸し、続いて230℃の熱処理ゾーンで熱処理を施した後、40〜50℃の冷却を行い、厚み188μmの二軸延伸フィルムを得た。得られた二軸延伸フィルムを一旦中間ロールとして巻き取り、中間ロールよりフィルムを巻き出してスリッターにより裁断し、再度フィルムを巻き取ることにより、幅100cmのフィルムロールを得た。
液体の供給量を調節することにより、液体膜の厚みを表3のとおりとした以外は「実施例11、比較例3」の項に記載の方法でフィルムを製造し、金属粉の飛散の有無、及び液体膜成分の飛散の有無を評価した。評価結果を表3に示す。なお、液体の供給量の調節は、フィルムのテンター装置のベアリングが走行するレールの液体膜の厚みを「(2−A)カーブフィッティングを用いた分光干渉方式」に記載の方法で計測しながら、給油用ギアポンプの回転数を段階的に調整することで行った。
2:クリップ装置
3:フィルム
4:クリップレール
5:クリップ
6:連結部材
7:ベアリング
8:液体膜
11:部材
12:液体膜
13:分析装置本体
14:センサー
15、20:光ファイバー
16:照射光
17:光照射手段
18、19:反射光
21:反射光検知手段
22:コンピュータ
23:分析手段
Claims (10)
- 部材の表面上に存在する液体膜に光を照射して得られる反射光をセンサーで検知し、前記反射光を、カーブフィッティングを用いた分光干渉方式により分析することにより、前記液体膜の厚みを測定することを特徴とする、液体膜の厚みの測定方法。
- 前記液体膜が金属成分を含んでいる、請求項1に記載の液体膜の厚みの測定方法。
- 前記液体膜の厚みが11μm以下である、請求項1又は2に記載の液体膜の厚みの測定方法。
- 前記部材の表面粗さが1.0μm以上2.5μm以下である、請求項1〜3のいずれかに記載の液体膜の厚みの測定方法。
- 前記部材が、ベアリングが走行するレールである、請求項1〜4のいずれかに記載の液体膜の厚みの測定方法。
- 前記レールが、テンター装置におけるクリップ装置が走行するクリップレールである、請求項5に記載の液体膜の厚みの測定方法。
- 前記センサーが携帯型センサーである、請求項1〜6のいずれかに記載の液体膜の厚みの測定方法。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の測定方法により液体膜の厚みを測定する装置であって、少なくとも、部材の表面上に存在する液体膜に向けて光を照射する光照射手段、前記部材の表面および前記液体膜の表面からの反射光を検知する反射光検知手段、検知された反射光から反射率スペクトラムを実測するとともに、該実測反射率スペクトラムと、予め設定された、理論液体膜厚みに対応する複数の理論反射率スペクトラムとをカーブフィッティングにより比較し、実測反射率スペクトラムに最も近似する理論反射率スペクトラムに対応する理論液体膜厚みを液体膜厚みの測定値と判定可能な分析手段とを有することを特徴とする、液体膜の厚みの測定装置。
- 前記ベアリングの走路への液体供給量の調節により、前記式1を満たす範囲に液体膜の厚みh(μm)を制御することを特徴とする、請求項9に記載のフィルムの製造方法。
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