JPWO2019187048A1 - 質量分析装置及び試料搬送装置 - Google Patents
質量分析装置及び試料搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019187048A1 JPWO2019187048A1 JP2020508823A JP2020508823A JPWO2019187048A1 JP WO2019187048 A1 JPWO2019187048 A1 JP WO2019187048A1 JP 2020508823 A JP2020508823 A JP 2020508823A JP 2020508823 A JP2020508823 A JP 2020508823A JP WO2019187048 A1 JPWO2019187048 A1 JP WO2019187048A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- mass spectrometer
- measurement position
- sample holding
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/16—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
Description
このような質量分析装置では、試料観察部及び質量分析部を、互いの動作の妨げとならないように、適切な位置に配置する必要がある。
そのため、質量分析部の構成が多くなる場合には、装置が水平方向に拡がる。
その結果、装置が上下方向に大型化することを抑制できる。
そのため、試料中の成分を質量分析部に導入するための経路が短くなるように、第1測定位置を設定することができる。
その結果、質量分析部に対して試料中の成分を効率よく導入でき、分析精度を向上させることができる。
このように、本発明に係る質量分析装置によれば、装置が上下方向に大型化することを抑制でき、かつ、分析精度を向上させることができる。
そのため、試料保持部が、回転移動のみによって第1測定位置と第2測定位置との間を移動する構成に比べて、第1測定位置と第2測定位置との間を移動する試料保持部の移動量を小さくできる。
その結果、装置内に生じるデッドスペースを小さくできる。
そのため、試料保持部に対して試料を容易に着脱できる。
その結果、試料に対して励起光を正確に照射できる。また、試料を正確に観察できる。
図1は、本発明の一実施形態に係る質量分析装置1の構成例を示した概略図である。図1では、質量分析装置1を水平方向に見た状態を示している。
質量分析装置1は、励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析するためのものである。質量分析装置1は、質量分析部2と、試料搬送装置30とを備えている。
イオンガイド22、イオントラップ23及び検出器24は、真空チャンバ21内に配置されている。イオンガイド22は、イオンの導入方向において上流部に配置されている。イオントラップ23は、イオンの導入方向においてイオンガイド22の下流側に配置されている。検出器24は、イオンの導入方向において下流部に配置されている。
真空チャンバ21には、排気管25が接続されている。また、排気管25には、真空ポンプ26が介在している。
試料搬送装置30は、筐体3と、試料導入管4と、光源5と、レール6と、試料保持部7と、試料観察部8と、照明部9と、位置調整部10とを備えている。
筐体3は、真空チャンバ21に隣接している。筐体3は、長尺な中空状に形成されており、水平方向(x方向)に延びている。
光源5は、筐体3内において、試料導入管4の一端部の近傍(周囲)に設けられている。光源5は、励起光としてのレーザ光を照射するように構成されている。
レール6は、筐体3内において、水平方向(x方向)に延びるように設けられている。
照明部9は、筐体3内において、試料観察部8の下方に設けられている。照明部9は、上方に向かって光を照射するように構成されている。
試料Sは、試料保持部7が第2測定位置に配置された状態で、試料保持部7に装着される。
ユーザは、試料Sの画像を観察し、その画像に基づいて、図示しない操作部を操作することにより、試料Sの分析箇所を指定する。
その後、試料保持部7は、第1測定位置に移動される。
試料保持部7が第1測定位置に位置する状態では、上記したように、試料Sの表面が、試料導入管4の一端部に対向している。
また、質量分析部2では、真空ポンプ26が動作されて、真空チャンバ21内の気体が排気管25を介してが排出される。
以下では、試料保持部7の構成及び移動動作の詳細について説明する。図2〜図4は、試料保持部7の移動動作を説明するための図であって、水平方向に見た状態を示している。具体的には、図2は、試料保持部7が第2測定位置に位置する状態を示している。図3は、図2に示す状態から、試料保持部7が回転移動した後の状態を示している。図4は、試料保持部7が第2測定位置に位置する状態を示している。
試料保持部7は、台座部11及びモータを介してレール6に取り付けられている。
台座部11は、レール6に沿ってスライド移動可能な部材である。台座部11は、ベース台111、第1ストッパ112及び第2ストッパ113を備えている。
第1ストッパ112は、ベース台111の下端部から、レール6の延びる方向と直交する水平方向(y方向)に突出している。
試料保持部7は、基台部71と、保持プレート72とを備えている。
(1)本実施形態によれば、図1に示すように、質量分析装置1において、質量分析部2は、水平方向に延びるように設置される。
そのため、質量分析部2の構成が多くなる場合には、質量分析装置1の装置全体が水平方向に拡がる。
その結果、質量分析装置1の装置全体が上下方向に大型化することを抑制できる。
そのため、試料由来のイオンを質量分析部2に導入するための試料導入管4が短くなるように、第1測定位置を設定することができる。具体的には、試料保持部7が第1測定位置に配置された状態においては、試料保持部7の保持プレート72が上下方向に沿っており、試料Sは上下方向に延びている。そして、試料導入管4は、その端部が試料Sと対向するように直線状に形成されており、L字状に形成される場合に比べて、その長さが短くなっている。
その結果、質量分析部2に対して試料由来のイオンを効率よく導入でき、分析精度を向上させることができる。
このように、本実施形態によれば、質量分析装置1の装置全体が上下方向に大型化することを抑制でき、かつ、分析精度を向上させることができる。
その結果、質量分析装置1内に生じるデッドスペースを小さくできる。
そのため、試料保持部7に対して試料を容易に着脱できる。
その結果、試料Sに対して励起光を正確に照射できる。また、試料Sを正確に観察できる。
以上の実施形態では、試料保持部7が第2測定位置に配置される状態において、試料観察部8は、試料Sを上方から観察するとして説明した。しかし、試料観察部8は、この構成に限らず、質量分析部2が延びる方向(x方向)に対して交差する方向から試料Sを観察する構成であればよい。例えば、試料観察部8は、試料Sを水平方向に対して傾斜する方向から観察する構成であってもよい。
2 質量分析部
6 レール
7 試料保持部
8 試料観察部
10 位置調整部
11 台座部
16 モータ軸
30 試料搬送装置
112 第1ストッパ
113 第2ストッパ
Claims (7)
- 励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する質量分析装置であって、
試料を保持する試料保持部と、
前記試料保持部を回転動作させる回転機構と、
水平方向に延びるように設置され、前記回転機構により前記試料保持部が第1測定位置に位置決めされた状態で、励起光により励起される試料中の成分が導入される質量分析部と、
前記回転機構により前記試料保持部が第2測定位置に位置決めされた状態で、前記質量分析部が延びる方向に対して交差する方向から、試料を観察する試料観察部とを備えることを特徴とする質量分析装置。 - 前記試料保持部を水平方向に沿ってスライドさせるスライド機構をさらに備え、
前記回転機構及び前記スライド機構により、前記試料保持部が前記第1測定位置及び前記第2測定位置のそれぞれに位置決めされることを特徴とする請求項1に記載の質量分析装置。 - 前記試料保持部が前記第2測定位置に位置決めされた状態では、前記試料保持部により保持された試料が水平方向に延びることを特徴とする請求項1に記載の質量分析装置。
- 前記試料保持部を第1測定位置及び前記第2測定位置のそれぞれに位置決めするためのストッパをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の質量分析装置。
- 前記試料保持部が前記第1測定位置に位置決めされた状態における試料に対する励起光の照射位置と、前記試料保持部が前記第2測定位置に位置決めされた状態における前記試料観察部による試料の観察位置との位置合わせを行うための位置合わせ機構をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の質量分析装置。
- 励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する質量分析装置に用いられる試料搬送装置であって、
試料を保持する試料保持部と、
前記試料保持部を回転動作させることにより、励起光により励起される試料中の成分を質量分析部に導入させる第1測定位置、及び、試料観察部により試料を観察する第2測定位置のそれぞれに前記試料保持部を位置決めする回転機構とを備えることを特徴とする試料搬送装置。 - 前記試料保持部をスライドさせるスライド機構をさらに備え、
前記回転機構及び前記スライド機構により、前記試料保持部が前記第1測定位置及び前記第2測定位置のそれぞれに位置決めされることを特徴とする請求項6に記載の試料搬送装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/013765 WO2019187048A1 (ja) | 2018-03-30 | 2018-03-30 | 質量分析装置及び試料搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019187048A1 true JPWO2019187048A1 (ja) | 2020-12-03 |
JP6969669B2 JP6969669B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=68058659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020508823A Active JP6969669B2 (ja) | 2018-03-30 | 2018-03-30 | 質量分析装置及び試料搬送装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6969669B2 (ja) |
WO (1) | WO2019187048A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6184522B1 (en) * | 1997-08-22 | 2001-02-06 | Mds Inc. | Ion source |
JP2004340646A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 大気圧レーザイオン化質量分析装置 |
JP4775821B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2011-09-21 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
JP2014517481A (ja) * | 2011-06-03 | 2014-07-17 | パーキンエルマー ヘルス サイエンス インコーポレイテッド | 直接試料分析用イオン源 |
-
2018
- 2018-03-30 JP JP2020508823A patent/JP6969669B2/ja active Active
- 2018-03-30 WO PCT/JP2018/013765 patent/WO2019187048A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6184522B1 (en) * | 1997-08-22 | 2001-02-06 | Mds Inc. | Ion source |
JP2004340646A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 大気圧レーザイオン化質量分析装置 |
JP4775821B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2011-09-21 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
JP2014517481A (ja) * | 2011-06-03 | 2014-07-17 | パーキンエルマー ヘルス サイエンス インコーポレイテッド | 直接試料分析用イオン源 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019187048A1 (ja) | 2019-10-03 |
JP6969669B2 (ja) | 2021-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7180058B1 (en) | LDI/MALDI source for enhanced spatial resolution | |
JP5674259B2 (ja) | 粒子ビーム装置および粒子ビーム装置で使用するための方法 | |
JP4775821B2 (ja) | 質量分析装置 | |
JP4866098B2 (ja) | 質量分析装置 | |
US20190252169A1 (en) | Sample handling systems, mass spectrometers and related methods | |
JP4650330B2 (ja) | 光学顕微鏡とx線分析装置の複合装置 | |
JP2013080642A5 (ja) | ||
JP2005106815A (ja) | X線マイクロアナライザーの光学的心合せ | |
JP4717481B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡システム | |
JP5009126B2 (ja) | アトムプローブ用針状試料の加工方法及び集束イオンビーム装置 | |
US20140278188A1 (en) | Scanning Inspection System With Angular Correction | |
JP4785402B2 (ja) | X線用レンズ光軸調整機構、x線用レンズ光軸調整方法、およびx線分析装置 | |
JP6969669B2 (ja) | 質量分析装置及び試料搬送装置 | |
JP6180974B2 (ja) | スパッタ中性粒子質量分析装置 | |
CN110231358B (zh) | 扫描电镜与光谱设备联用装置 | |
JP2007172886A (ja) | 光電子顕微鏡装置 | |
JP2010190595A (ja) | レーザー分光分析装置およびそれを用いたレーザー分光分析方法 | |
JP2005201762A (ja) | リチウム漏洩検出装置およびリチウム漏洩検出方法 | |
CN210401265U (zh) | 扫描电镜与光谱设备联用装置 | |
JP2009053168A (ja) | 試料の簡易水平確認方法 | |
JP6547197B2 (ja) | 基板汚染分析システム | |
US20200098553A1 (en) | Analyzing device, analytical device, analyzing method, and computer program product | |
TWI292477B (en) | Sample analyzer | |
US8502142B2 (en) | Charged particle beam analysis while part of a sample to be analyzed remains in a generated opening of the sample | |
JP4656009B2 (ja) | X線分析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200430 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210427 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210928 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211011 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6969669 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |