JPWO2019111778A1 - ペースト状接着剤組成物、および半導体装置 - Google Patents
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 245
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims abstract description 235
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims abstract description 235
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 65
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 198
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 198
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 196
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 194
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 66
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 65
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 64
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 62
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 61
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 61
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 46
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 46
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 45
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 10
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 8
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 78
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M acrylate group Chemical group C(C=C)(=O)[O-] NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 47
- 239000000047 product Substances 0.000 description 41
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 34
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 34
- -1 allyl ester Chemical class 0.000 description 33
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 description 26
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 21
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 17
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 17
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 14
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical class C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 13
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 10
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 10
- PEEHTFAAVSWFBL-UHFFFAOYSA-N Maleimide Chemical compound O=C1NC(=O)C=C1 PEEHTFAAVSWFBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 9
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 8
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 7
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 7
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 6
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 description 6
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 5
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 5
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 4
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 4
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 4
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 125000005439 maleimidyl group Chemical group C1(C=CC(N1*)=O)=O 0.000 description 3
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 3
- HSLFISVKRDQEBY-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(tert-butylperoxy)cyclohexane Chemical compound CC(C)(C)OOC1(OOC(C)(C)C)CCCCC1 HSLFISVKRDQEBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQUXRXBRYDZZDL-UHFFFAOYSA-N 1-(2-prop-2-enoyloxyethyl)cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1(CCOC(=O)C=C)C(O)=O NQUXRXBRYDZZDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylpropan-2-ylperoxy)propan-2-ylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IEQWWMKDFZUMMU-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethyl)butanedioic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)CCOC(=O)C=C IEQWWMKDFZUMMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CUFXMPWHOWYNSO-UHFFFAOYSA-N 2-[(4-methylphenoxy)methyl]oxirane Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1OCC1OC1 CUFXMPWHOWYNSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 2
- GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N Piperazine Chemical compound C1CNCCN1 GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 2
- UUQQGGWZVKUCBD-UHFFFAOYSA-N [4-(hydroxymethyl)-2-phenyl-1h-imidazol-5-yl]methanol Chemical compound N1C(CO)=C(CO)N=C1C1=CC=CC=C1 UUQQGGWZVKUCBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- URLYGBGJPQYXBN-UHFFFAOYSA-N [4-(hydroxymethyl)cyclohexyl]methyl prop-2-enoate Chemical compound OCC1CCC(COC(=O)C=C)CC1 URLYGBGJPQYXBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- XXROGKLTLUQVRX-UHFFFAOYSA-N allyl alcohol Chemical compound OCC=C XXROGKLTLUQVRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001409 amidines Chemical class 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 2
- XUCHXOAWJMEFLF-UHFFFAOYSA-N bisphenol F diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COC(C=C1)=CC=C1CC(C=C1)=CC=C1OCC1CO1 XUCHXOAWJMEFLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PVAONLSZTBKFKM-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanediol Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)(O)C1=CC=CC=C1 PVAONLSZTBKFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 2
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M methacrylate group Chemical group C(C(=C)C)(=O)[O-] CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N nonanedioic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCC(O)=O BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 2
- 150000003003 phosphines Chemical class 0.000 description 2
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N pimelic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCC(O)=O WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N sebacic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCCC(O)=O CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 2
- TYFQFVWCELRYAO-UHFFFAOYSA-N suberic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCC(O)=O TYFQFVWCELRYAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 2
- CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N tert‐butyl hydroperoxide Chemical compound CC(C)(C)OO CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002411 thermogravimetry Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLBJAOHLJABDAU-UHFFFAOYSA-N (3-methylbenzoyl) 3-methylbenzenecarboperoxoate Chemical compound CC1=CC=CC(C(=O)OOC(=O)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 NLBJAOHLJABDAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LTQBNYCMVZQRSD-UHFFFAOYSA-N (4-ethenylphenyl)-trimethoxysilane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=C(C=C)C=C1 LTQBNYCMVZQRSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AGKBXKFWMQLFGZ-UHFFFAOYSA-N (4-methylbenzoyl) 4-methylbenzenecarboperoxoate Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1C(=O)OOC(=O)C1=CC=C(C)C=C1 AGKBXKFWMQLFGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RIPYNJLMMFGZSX-UHFFFAOYSA-N (5-benzoylperoxy-2,5-dimethylhexan-2-yl) benzenecarboperoxoate Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(C)(C)CCC(C)(C)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 RIPYNJLMMFGZSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUEBPOOTFCZRBC-UHFFFAOYSA-N (5-methyl-2-phenyl-1h-imidazol-4-yl)methanol Chemical compound OCC1=C(C)NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 RUEBPOOTFCZRBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLKRGXCGFRXRNQ-SNAWJCMRSA-N (z)-3-carbonoperoxoyl-4,4-dimethylpent-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)/C=C(C(C)(C)C)\C(=O)OO BLKRGXCGFRXRNQ-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 1
- VBQCFYPTKHCPGI-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(2-methylpentan-2-ylperoxy)cyclohexane Chemical compound CCCC(C)(C)OOC1(OOC(C)(C)CCC)CCCCC1 VBQCFYPTKHCPGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTEYUPDBOLSXCD-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(tert-butylperoxy)-2-methylcyclohexane Chemical compound CC1CCCCC1(OOC(C)(C)C)OOC(C)(C)C VTEYUPDBOLSXCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VIWAMEOJXWVBRU-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(tert-butylperoxy)cyclohexane propane Chemical compound CCC.CC(C)(C)OOC1(OOC(C)(C)C)CCCCC1 VIWAMEOJXWVBRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGYZMNBUZFHYRX-UHFFFAOYSA-N 1-(1-methoxypropan-2-yloxy)propan-2-ol Chemical compound COCC(C)OCC(C)O WGYZMNBUZFHYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LGJCFVYMIJLQJO-UHFFFAOYSA-N 1-dodecylperoxydodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCOOCCCCCCCCCCCC LGJCFVYMIJLQJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDXHBDVTZNMBEW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-hydroxyethoxy)ethanol Chemical compound CCOC(O)COCCO SDXHBDVTZNMBEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 1-methylsulfonylpiperidin-4-one Chemical compound CS(=O)(=O)N1CCC(=O)CC1 RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVGXBYVKFQJQGN-UHFFFAOYSA-N 1-tert-butylperoxy-2-propan-2-ylbenzene Chemical compound CC(C)C1=CC=CC=C1OOC(C)(C)C WVGXBYVKFQJQGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XRDOCCGDIHPQPF-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4-tetramethylheptaneperoxoic acid Chemical compound CCCC(C)(C)CC(C)(C)C(=O)OO XRDOCCGDIHPQPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQOVXPHOJANJBR-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(tert-butylperoxy)butane Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(CC)OOC(C)(C)C HQOVXPHOJANJBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,6,7,8,9,10-octahydropyrimido[1,2-a]azepine Chemical compound C1CCCCN2CCCN=C21 GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(tert-butylperoxy)-2,5-dimethylhexane Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)CCC(C)(C)OOC(C)(C)C DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKTNISGZEGZHIS-UHFFFAOYSA-N 2-$l^{1}-oxidanyloxy-2-methylpropane Chemical group CC(C)(C)O[O] YKTNISGZEGZHIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLIQLHSBZXDKLV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyethoxy)-1-phenoxyethanol Chemical compound OCCOCC(O)OC1=CC=CC=C1 HLIQLHSBZXDKLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYAFQPYCJBLWAS-UHFFFAOYSA-N 2-[(3-methylphenoxy)methyl]oxirane Chemical compound CC1=CC=CC(OCC2OC2)=C1 WYAFQPYCJBLWAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HHRACYLRBOUBKM-UHFFFAOYSA-N 2-[(4-tert-butylphenoxy)methyl]oxirane Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1OCC1OC1 HHRACYLRBOUBKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 2-aminophenol Chemical group NC1=CC=CC=C1O CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRDXTHSSNCTAGY-UHFFFAOYSA-N 2-cyclohexylpyrrolidine Chemical compound C1CCNC1C1CCCCC1 KRDXTHSSNCTAGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJGNCDHMLZWTAR-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-(2,4,4-trimethylpentan-2-ylperoxy)hexanoic acid Chemical compound CCCCC(CC)(C(O)=O)OOC(C)(C)CC(C)(C)C FJGNCDHMLZWTAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZACVGCNKGYYQHA-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexoxycarbonyloxy 2-ethylhexyl carbonate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)OOC(=O)OCC(CC)CCCC ZACVGCNKGYYQHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRQMAAFGEXNUOL-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl (2-methylpropan-2-yl)oxy carbonate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)OOC(C)(C)C BRQMAAFGEXNUOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 2-heptadecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MIRQGKQPLPBZQM-UHFFFAOYSA-N 2-hydroperoxy-2,4,4-trimethylpentane Chemical group CC(C)(C)CC(C)(C)OO MIRQGKQPLPBZQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFUGQJXVXHBTEM-UHFFFAOYSA-N 2-hydroperoxy-2-(2-hydroperoxybutan-2-ylperoxy)butane Chemical compound CCC(C)(OO)OOC(C)(CC)OO WFUGQJXVXHBTEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- TVWBTVJBDFTVOW-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(2-methylpropylperoxy)propane Chemical compound CC(C)COOCC(C)C TVWBTVJBDFTVOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXSNXUCNBZLVFM-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole;1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound CC1=NC=CN1.O=C1NC(=O)NC(=O)N1 QXSNXUCNBZLVFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BSBOJNQEAJDFNP-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentan-2-yl 7,7-dimethyloctanoate Chemical compound CCCC(C)(C)OC(=O)CCCCCC(C)(C)C BSBOJNQEAJDFNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXDJDZIIPSOZAH-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentan-2-yl benzenecarboperoxoate Chemical compound CCCC(C)(C)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 WXDJDZIIPSOZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYBIGIADVHIODH-UHFFFAOYSA-N 2-nonylphenol;oxirane Chemical compound C1CO1.CCCCCCCCCC1=CC=CC=C1O DYBIGIADVHIODH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CEXQWAAGPPNOQF-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOC1=CC=CC=C1 CEXQWAAGPPNOQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJIQELZAIWFNTQ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole;1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1NC(=O)NC(=O)N1.C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 RJIQELZAIWFNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHWAAQOJHMFNIV-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylperoxy-2-ethylhexanoic acid Chemical compound CCCCC(CC)(C(O)=O)OOC(C)(C)C AHWAAQOJHMFNIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NXAFRGRYHSKXJB-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylperoxy-3,5,5-trimethylhexanoic acid Chemical compound CC(C)(C)CC(C)C(C(O)=O)OOC(C)(C)C NXAFRGRYHSKXJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KFGFVPMRLOQXNB-UHFFFAOYSA-N 3,5,5-trimethylhexanoyl 3,5,5-trimethylhexaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)CC(C)CC(=O)OOC(=O)CC(C)CC(C)(C)C KFGFVPMRLOQXNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 3-(2,3-dimethoxyphenyl)prop-2-enal Chemical compound COC1=CC=CC(C=CC=O)=C1OC FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QISZCVLALJOROC-UHFFFAOYSA-N 3-(2-hydroxyethyl)-4-(2-prop-2-enoyloxyethyl)phthalic acid Chemical compound OCCC1=C(CCOC(=O)C=C)C=CC(C(O)=O)=C1C(O)=O QISZCVLALJOROC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UXTGJIIBLZIQPK-UHFFFAOYSA-N 3-(2-prop-2-enoyloxyethyl)phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(CCOC(=O)C=C)=C1C(O)=O UXTGJIIBLZIQPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOYKFSOCSXVQAN-UHFFFAOYSA-N 3-[diethoxy(methyl)silyl]propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCOC(=O)C(C)=C DOYKFSOCSXVQAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKYAJDOSWUATPI-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propane-1-thiol Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCS IKYAJDOSWUATPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZMNXXQIQIHFGC-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C LZMNXXQIQIHFGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C=C KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHMGQFGGUBDJI-UHFFFAOYSA-N 4-ethyl-1-(2-hydroxyethoxy)octan-2-ol Chemical compound CCCCC(CC)CC(O)COCCO KRHMGQFGGUBDJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PRKPGWQEKNEVEU-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-(3-triethoxysilylpropyl)pentan-2-imine Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN=C(C)CC(C)C PRKPGWQEKNEVEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YFEKCGCUBYDMAS-UHFFFAOYSA-N 7,7-dimethyl-2-(2,4,4-trimethylpentan-2-yl)octaneperoxoic acid Chemical compound CC(C)(C)CCCCC(C(=O)OO)C(C)(C)CC(C)(C)C YFEKCGCUBYDMAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001342 Bakelite® Polymers 0.000 description 1
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N Benzyl alcohol Chemical group OCC1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- FQYUMYWMJTYZTK-UHFFFAOYSA-N Phenyl glycidyl ether Chemical compound C1OC1COC1=CC=CC=C1 FQYUMYWMJTYZTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 1
- KJNXOZIQBSBFAY-UHFFFAOYSA-N SCCC[Si](S)(S)S Chemical compound SCCC[Si](S)(S)S KJNXOZIQBSBFAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910008045 Si-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006411 Si—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ORLQHILJRHBSAY-UHFFFAOYSA-N [1-(hydroxymethyl)cyclohexyl]methanol Chemical compound OCC1(CO)CCCCC1 ORLQHILJRHBSAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIMQCDZDWXUDCA-UHFFFAOYSA-N [4-(hydroxymethyl)cyclohexyl]methanol Chemical compound OCC1CCC(CO)CC1 YIMQCDZDWXUDCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MZVQCMJNVPIDEA-UHFFFAOYSA-N [CH2]CN(CC)CC Chemical group [CH2]CN(CC)CC MZVQCMJNVPIDEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NOKSMMGULAYSTD-UHFFFAOYSA-N [SiH4].N=C=O Chemical compound [SiH4].N=C=O NOKSMMGULAYSTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001343 alkyl silanes Chemical class 0.000 description 1
- JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N anhydrous glutaric acid Natural products OC(=O)CCCC(O)=O JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJNQAWYDOFQOFG-UHFFFAOYSA-N benzoyl 3-methylbenzenecarboperoxoate Chemical compound CC1=CC=CC(C(=O)OOC(=O)C=2C=CC=CC=2)=C1 RJNQAWYDOFQOFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- VCCBEIPGXKNHFW-UHFFFAOYSA-N biphenyl-4,4'-diol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1=CC=C(O)C=C1 VCCBEIPGXKNHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;prop-2-enenitrile Chemical compound C=CC=C.C=CC#N NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSGQRLUGQNBHLD-UHFFFAOYSA-N butan-2-yl butan-2-yloxycarbonyloxy carbonate Chemical compound CCC(C)OC(=O)OOC(=O)OC(C)CC NSGQRLUGQNBHLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001273 butane Substances 0.000 description 1
- CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N butane-1,1-diol Chemical compound CCCC(O)O CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000012986 chain transfer agent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Chemical class 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M cyanate Chemical compound [O-]C#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N cyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCC=CC1C(O)=O IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PDXRQENMIVHKPI-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,1-diol Chemical compound OC1(O)CCCCC1 PDXRQENMIVHKPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1C(O)=O QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- INSRQEMEVAMETL-UHFFFAOYSA-N decane-1,1-diol Chemical compound CCCCCCCCCC(O)O INSRQEMEVAMETL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N di-tert-butyl peroxide Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTARVPUIYXHRRB-UHFFFAOYSA-N diethoxy-methyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCOCC1CO1 OTARVPUIYXHRRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004455 differential thermal analysis Methods 0.000 description 1
- WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N dimethoxy-methyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOCC1CO1 WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- KGGOIDKBHYYNIC-UHFFFAOYSA-N ditert-butyl 4-[3,4-bis(tert-butylperoxycarbonyl)benzoyl]benzene-1,2-dicarboperoxoate Chemical compound C1=C(C(=O)OOC(C)(C)C)C(C(=O)OOC(C)(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(C(=O)OOC(C)(C)C)C(C(=O)OOC(C)(C)C)=C1 KGGOIDKBHYYNIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000010528 free radical solution polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N hexane-1,1-diol Chemical compound CCCCCC(O)O ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001972 isopentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical class O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 1
- ARYZCSRUUPFYMY-UHFFFAOYSA-N methoxysilane Chemical compound CO[SiH3] ARYZCSRUUPFYMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N n'-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCN PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQWFLKHKWJMCEN-UHFFFAOYSA-N n'-[3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl]ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCNCCN MQWFLKHKWJMCEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXJGFDIZSMWOGY-UHFFFAOYSA-N n-(2-azaniumylethyl)prop-2-enimidate Chemical compound NCCNC(=O)C=C HXJGFDIZSMWOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical compound CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N n-pentane Natural products CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVXBCDWMKCEPCL-UHFFFAOYSA-N nonane-1,1-diol Chemical compound CCCCCCCCC(O)O FVXBCDWMKCEPCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEIJHBUUFURJLI-UHFFFAOYSA-N octane-1,8-diol Chemical compound OCCCCCCCCO OEIJHBUUFURJLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- BTTPFGPVCJCQAZ-UHFFFAOYSA-N oxirane;2-phenylphenol Chemical compound C1CO1.OC1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 BTTPFGPVCJCQAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011837 pasties Nutrition 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- BWJUFXUULUEGMA-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl propan-2-yloxycarbonyloxy carbonate Chemical compound CC(C)OC(=O)OOC(=O)OC(C)C BWJUFXUULUEGMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPVDWEHVCUBACK-UHFFFAOYSA-N propoxycarbonyloxy propyl carbonate Chemical compound CCCOC(=O)OOC(=O)OCCC YPVDWEHVCUBACK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 150000004053 quinones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical class [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- IYMSIPPWHNIMGE-UHFFFAOYSA-N silylurea Chemical class NC(=O)N[SiH3] IYMSIPPWHNIMGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 125000005504 styryl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 description 1
- VNJISVYSDHJQFR-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 4,4-dimethylpentaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)CCC(=O)OOC(C)(C)C VNJISVYSDHJQFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJBRNHKUVLOCEB-UHFFFAOYSA-N tert-butyl benzenecarboperoxoate Chemical compound CC(C)(C)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 GJBRNHKUVLOCEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N tetrahydrophthalic acid Natural products OC(=O)C1=C(C(O)=O)CCCC1 UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRGPKMWIYVTFIQ-UHFFFAOYSA-N triethoxy(3-isocyanatopropyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN=C=O FRGPKMWIYVTFIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOCC1CO1 JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLGLQAWTXXGVEM-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol monomethyl ether Chemical compound COCCOCCOCCO JLGLQAWTXXGVEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC)(OC)OC)CCC2OC21 DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N triphenylmethane Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UKRDPEFKFJNXQM-UHFFFAOYSA-N vinylsilane Chemical class [SiH3]C=C UKRDPEFKFJNXQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- C09J11/02—Non-macromolecular additives
- C09J11/06—Non-macromolecular additives organic
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
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Abstract
Description
バインダータイプのペースト状接着剤組成物においては、液状の熱硬化性樹脂が硬化されることにより、被着体への接着性および密着性が発現する。さらに、ペースト状接着剤組成物は硬化によって収縮するため、硬化前と比べて、金属粒子同士が接触する頻度が高まり、金属粒子同士の接触点が増加する。これにより、ペースト状接着剤組成物の硬化物は、導電性および熱伝導性を発現する。
バインダータイプのペースト状接着剤組成物では、硬化後の熱硬化性樹脂が被着体に接着する。そのため、このようなバインダータイプのペースト状接着剤組成物は、銅、銀、金、ニッケル、パラジウムなどの金属だけでなく、ベアシリコンなどの金属以外の被着体に対しても接着性を有する。一方、バインダータイプのペースト状接着剤組成物では、金属粒子同士が熱硬化性樹脂の硬化物を介して接触する。そのため、バインダータイプのペースト状接着剤組成物は、シンタリングタイプのものと比べて、銀粒子同士の接触面積が小さく、熱伝導性に劣る場合があった。
シンタリングタイプのペースト状接着剤組成物において、加熱による分散媒の揮発により、これに分散されていた金属粒子が凝集する。さらに熱の作用により、凝集物における金属粒子間の界面が消失し、換言すると、金属粒子がシンタリングして、金属粒子連結構造が形成される。シンタリングタイプのペースト状接着剤組成物において、分散媒は、その全てが揮発するのではなく、分散媒に含まれる単量体が揮発せずに微量に残存し、この残存した単量体が、金属粒子連結構造を被着体に接着させるように作用する。また、分散体の揮発により、金属粒子の連結構造体と被着体との間に引力が生じ、これらが接合する。被着体が、銀、金といった金属の場合、金属粒子と、被着体との界面が消失して、強固に密着する。
シンタリングタイプのペースト状接着剤組成物は、金属粒子連結構造を形成することで、バインダータイプの接着剤と比べて、高い熱伝導率を発現できる。一方、シンタリングタイプのペースト状接着剤組成物を接着剤として用いた場合、加熱により生じた金属粒子連結構造と被着体の間には、単量体が残存するが、この単量体は微量であるため、金属粒子連結構造体と被着体との間の密着性が十分に得られない場合がある。また、被着体と金属粒子連結構造と接着性は、被着体を構成する金属材料と、金属粒子の種類や組み合わせに影響されるため、被着体の材料と金属粒子の相性が悪い場合、被着体と金属粒子連結構造と接着性が弱く、これらの間に剥離が生じる場合があった。
そこで、本発明は、信頼性および放熱性の両方がバランスよく向上された半導体装置を製造するために好適に用いることができるペースト状接着剤組成物をを提供することを目的とするものである。
また、ハイブリッドタイプのペースト状接着剤組成物は、銀粒子連結構造を形成することで、シンタリングタイプのペースト状接着剤組成物のように、放熱性を向上できる。
以上より、本発明者が、ベアシリコンと、銅回路とのせん断強度が特定の数値範囲内となる場合に、信頼性及び放熱性を向上できることを見出し、ハイブリッドタイプのペースト状接着剤組成物である本発明が完成した。
エポキシ樹脂と、
銀粒子と、を含み、
熱処理によって、前記銀粒子が銀粒子連結構造を形成する、ペースト状接着剤組成物であって、
当該ペースト状接着剤組成物を、塗布厚みが25±10μmとなるように銅リードフレーム上に塗布し、次いで、長さ2mm×幅2mmのベアシリコンウエハを当該ペースト状接着剤組成物上に配置して積層体を得て、次いで、当該積層体を、大気下で、温度25℃から175℃まで30分間かけて昇温し、さらに、175℃で30分間かけて保温することで硬化体を得たとき、温度260℃で測定される、前記硬化体を介した前記ベアシリコンと、前記銅リードフレームとのせん断強度が、5.0MPa以上15.0MPa以下である、ペースト状接着剤組成物が提供される。
基材と、
前記基材上に接着層を介して搭載された半導体素子と、を備え、
前記接着層は、上記ペースト状接着剤組成物を硬化してなる、半導体装置が提供される。
以上より、本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、当該ペースト状接着剤組成物を用いた半導体装置の信頼性と、放熱性とをバランスよく向上できる。
詳細なメカニズムは定かではないが、上記因子を適切に制御することにより、銀粒子の界面に、エポキシ樹脂が残存すると推測される。これにより、銀粒子連結構造と、被着体との間にエポキシ樹脂の硬化物が介在することで、せん断強度を特定の範囲内とすることができる。また、ペースト状接着剤組成物の銀粒子の界面にエポキシ樹脂が過剰に存在する場合、銀粒子連結構造が形成できないという不都合がある。しかしながら、本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、銀粒子の界面に、エポキシ樹脂が均一に分散することで、銀粒子連結構造を形成できる。
さらに、上記因子を適切に制御することにより、銀粒子同士が適切に引き寄せあうと推測される。これにより、銀粒子連結構造を適切に形成することができる。また、ペースト状接着剤組成物中のエポキシ樹脂の含有量が、バインダータイプのペースト状接着剤組成物のように多い場合、過剰に銀粒子同士が引き寄せあうと、ペースト状接着剤組成物の硬化物が過剰に収縮してしまう。これにより、ペースト状接着剤組成物の硬化物、及び、被着体の界面が収縮によって破壊されてしまい、せん断強度が所望の数値範囲内とならない。しかしながら、本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、銀粒子同士が適切に引き寄せあうため、収縮によるペースト状接着剤組成物の破壊を生じない。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、銀粒子を含む。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、後述する主剤としてのエポキシ樹脂が硬化することで、銀粒子同士に引力が生じ、銀粒子同士が衝突する。これにより、銀粒子同士の界面が消失し、熱伝導性の高い銀粒子連結構造を形成することで放熱性を向上できる。
すなわち、本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、例えば、バインダータイプのペースト状接着剤組成物について、銀粒子の性状といった因子を適切に制御することで、銀粒子連結構造を形成するハイブリッドタイプのペースト状接着剤組成物である。
なお、本実施形態において、銀粒子連結構造とは、銀粒子同士が衝突し、界面が消失した構造を示す。
また、金メッキシリコンチップを用いて測定されるChip−Chip熱拡散率の上限値としては限定されないが、例えば、1.0cm2/sec以下としてもよい。
なお、金メッキシリコンチップを用いたChip−Chip熱拡散率の測定方法としては、例えば、長さ10mm×幅10mm×厚さ350μmのシリコンチップに対して、Ti、Ni、Auをこの順でめっきした金メッキシリコンチップを2枚準備し、次いで、一方のシリコンチップに対して、ペースト状接着剤組成物を25±10μmとなるように塗布し、その上に他方のシリコンチップを積層し、次いで、温度を25℃から175℃まで30分間かけて上昇させた後、温度175℃で60分間熱処理することでペースト状接着剤組成物を硬化させて硬化物とし、次いで、金メッキシリコンチップ、ペースト状接着剤組成物の硬化物、金メッキシリコンチップがこの順で積層してなる試験片に対して、レーザーフラッシュ法を用いて、熱拡散係数を測定する方法を用いることができる。
フレーク状銀粒子の平均粒径の上限値としては、例えば、6.0μm以下とすることが好ましく、5.0μm以下とすることがより好ましく、4.0μm以下とすることが更に好ましく、3.0μm以下とすることが一層好ましく2.5μm以下とすることが殊更好ましい。これにより、銀粒子同士が引き寄せあいやすくなり、銀粒子連結構造を適切に形成することができる。また、銀粒子が、ペースト状接着剤組成物と、被着体との界面に存在せず、該界面に内部応力を生じさせることによって、ペースト状接着剤組成物の硬化物を破壊することを抑制できる観点でも都合がよい。
また、フレーク状銀粒子の平均粒径の下限値としては、例えば、0.5μm以上であることが好ましく、0.7μm以上であることがより好ましく、1.0μm以上であることが更に好ましく、1.5μm以上であることが一層好ましい。これにより、過剰に銀粒子同士が引き寄せあうことを抑制できる点で都合がよい。
また、フレーク状銀粒子の比表面積の上限値としては、例えば、2.00m2/g以下でもよく、1.50m2/g以下でもよい。
また、銀粒子としてフレーク状銀粒子及び球状銀粒子を共に含む場合、フレーク状銀粒子の比表面積は、例えば、球状銀粒子の比表面積より大きいことが好ましい。これにより、銀粒子同士が適切に引き寄せあうことができる。
また、フレーク状銀粒子のタップ密度の下限値としては、例えば、1.0g/cm3以上でもよく、2.0g/cm3以上でもよく、3.0g/cm3以上でもよい。
上述したフレーク状銀粒子に加えて、本実施形態に係る銀粒子は、例えば、球状銀粒子を含むことが好ましい。これにより、フレーク状銀粒子の間隙に、主剤、単量体が存在したまま球状銀粒子が浸入できる。したがって、銀粒子の界面に、エポキシ樹脂が均一に分散しつつ、銀粒子同士が適切に引き寄せあうことができる。
また、球状銀粒子の平均粒径の上限値としては、例えば、5.0μm以下であることが好ましく、4.0μm以下であることがより好ましく、3.0μm以下であることが更に好ましく、2.0μm以下であることが一層好ましく、1.5μm以下であることが殊更好ましい。これにより、フレーク状銀粒子及び球状銀粒子を共に含む場合、球状銀粒子が好適にフレーク状銀粒子同士の間に浸入できる。したがって、銀粒子同士が適切に引き寄せあう事ができる。
また、球状銀粒子の比表面積の上限値としては、例えば、2.10m2/g以下でもよく、1.60m2/g以下でもよい。
また、銀粒子として、フレーク状銀粒子及び球状銀粒子を共に含む場合、銀粒子中のフレーク状銀粒子の含有量の下限値としては、フレーク状銀粒子及び球状銀粒子の合計100質量部に対して、例えば、5質量部以上であることが好ましく、10質量部以上であることがより好ましく、15質量部以上であることが更に好ましく、20質量部以上であることが一層好ましい。これにより、銀粒子の界面に、エポキシ樹脂が、好適に侵入できる。
また、ペースト状接着剤組成物中の銀粒子の含有量の上限値としては、ペースト状接着剤組成物100質量部に対して、例えば、90質量部以下であることが好ましく、87質量部以下であることが好ましい。これにより、銀粒子の界面に、エポキシ樹脂が、好適に残存、分散する。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、主剤として少なくともエポキシオリゴマー、エポキシポリマーといったエポキシ樹脂を含む。
また、本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、例えば、エポキシ樹脂以外の樹脂をさらに含んでもよい。エポキシ樹脂以外の樹脂としては、具体的には、アクリルオリゴマー、アクリルポリマーといったアクリル樹脂;アリルオリゴマー、アリルポリマーといったアリル樹脂などを挙げることができる。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、主剤の硬化によって硬化収縮する。この硬化収縮によって、銀粒子間に引力を生じさせて、銀粒子連結構造を形成できる。したがって、放熱性を向上できる。
エポキシ樹脂は、後述する硬化剤と反応し、硬化収縮することができる。なお、エポキシ樹脂の硬化反応は、例えば、単量体としてエポキシモノマーを含む場合、エポキシモノマーを巻き込んで起こる。
また、アクリル樹脂は、後述するラジカル重合開始剤により重合し、硬化収縮することができる。なお、アクリル樹脂の重合は、例えば、単量体としてアクリルモノマーを含む場合、アクリルモノマーを巻き込んで起こる。
アリル樹脂は、アクリル樹脂と同様に、後述するラジカル重合開始剤により重合し、硬化収縮することができる。なお、アリル樹脂の重合は、アクリル樹脂、アクリルモノマー、アリルモノマーを巻き込んで起こる。
なお、本実施形態において、多量体のうち、重量平均分子量が1万未満のものをオリゴマー、重量平均分子量が1万以上のものをポリマーとして示す。また、樹脂とはオリゴマー及びポリマーを含むことを示す。
エポキシ樹脂としては、1分子内にエポキシ基を2個以上有する液状エポキシ樹脂を用いることができる。
エポキシ樹脂としては、具体的には、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂;水添ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂;ビスフェノール−F−ジグリシジルエーテルといったビスフェノールF型液状エポキシ樹脂;オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、などが挙げられる。エポキシ樹脂としては、上記具体例のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。エポキシ樹脂としては、上記具体例のうち、水添ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂またはビスフェノールF型液状エポキシ樹脂を含むことが好ましく、ビスフェノールF型液状エポキシ樹脂を含むことがより好ましい。これにより、ペースト状接着剤組成物のハンドリング性を向上し、均一にペースト状接着剤組成物を塗布できることから、信頼性を向上できる。また、ペースト状接着剤組成物を好適に硬化収縮できることから、適切な銀粒子連結構造を形成し、放熱性を向上できる観点でも好ましい。さらに、銀粒子の界面に、エポキシ樹脂が好適に残存、分散する観点でも好ましい。
アクリル樹脂としては、1分子内にアクリル基を2個以上有する液状のものを用いることができる。
アクリル樹脂としては、具体的には、後述する単量体の項に記載するアクリルモノマーを重合または共重合したものを用いることができる。ここで、重合または共重合の方法としては限定されず、溶液重合など、一般的な重合開始剤および連鎖移動剤を用いる公知の方法を用いることができる。なお、アクリル樹脂としては、1種を単独で用いてもよいし、構造の異なる2種以上を用いてもよい。
アリル樹脂としては、1分子内にアリル基を2個以上有する液状のものを用いることができる。
アリル樹脂としては、具体的には、ジカルボン酸と、アリルアルコールと、アリル基を備える化合物とを反応することで得られるアリルエステル樹脂が挙げられる。
ここで、上記ジカルボン酸としては、具体的には、しゅう酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸などが挙げられる。ジカルボン酸としては、上記具体例のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、上記アリル基を備える化合物としては、具体的には、アリル基を備えるポリエーテル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリブタジエン、ブタジエンアクリロニトリル共重合体などが挙げられる。アリル基を備える化合物としては、上記具体例のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、ペースト状接着剤組成物中の主剤の含有量の上限値としては、ペースト状接着剤組成物100質量部に対して、例えば、20質量部以下であることが好ましく、15質量部以下であることがより好ましく、14質量部以下であることが更に好ましい。これにより、銀粒子の間に過剰の主剤が入り込み、銀粒子連結構造の形成を妨げることを抑制できる。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、上述した原料成分の他に、例えば、単量体、ラジカル重合開始剤、硬化剤、硬化促進剤、低応力剤、シランカップリング剤などを含むことができる。
以下、代表成分について説明する。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、例えば、単量体を更に含んでもよい。本実施形態に係る単量体は、熱処理によって硬化収縮するものである。
このような単量体としては、具体的には、アクリルモノマー、エポキシモノマー、マレイミドモノマーなどを挙げることができる。単量体としては、上記具体例のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
アクリルモノマー、マレイミドモノマーは、後述するラジカル重合開始剤により重合する。
エポキシモノマーは、後述する硬化剤と反応し、硬化収縮することができる。
本実施形態では、熱処理によって重合せず、揮発のみする単量体を含有しないことが、銀粒子連結構造を形成しつつ、せん断強度を特定の数値範囲内に制御するために重要である。これにより、ペースト状接着剤組成物中の硬化後の樹脂残存量を増加させ、せん断強度を向上できる。したがって、単量体としてアクリルモノマーまたはマレイミドモノマーを含む場合、ペースト状接着剤組成物は、ラジカル重合開始剤を更に含む。また、単量体としてエポキシモノマーを含む場合、ペースト状接着剤組成物は、硬化剤を含む。
なお、上述した主剤と、単量体とは併用することが好ましい。これにより、主剤、単量体といった樹脂成分の分子量を低下させ、分散性を向上し、かつ、単量体の一部は硬化反応し、さらに一部は揮発することで銀粒子同士を強力に引き寄せあうことができる。
本実施形態に係るアクリルモノマーは、その構造中に(メタ)アクリル基を備えるモノマーである。ここで、(メタ)アクリル基とは、アクリル基及びメタアクリル基(メタクリレート基)を示す。
本実施形態に係るアクリルモノマーは、その構造中に(メタ)アクリル基を1つのみ備える単官能アクリルモノマーであってもよいし、その構造中に(メタ)アクリル基を2つ以上備える多官能アクリルモノマーであってもよい。
なお、本実施形態において、アクリル基は、アクリレート基を含む。
なお、本実施形態において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート及びメタクリレートを示す。また、メタアクリル酸とは、アクリル酸及びメタクリル酸を示す。また、(メタ)アクリロイルとは、アクリロイル及びメタクリロイルを示す。
本実施形態に係るエポキシモノマーは、その構造中にエポキシ基を備えるものである。
本実施形態に係るエポキシモノマーは、その構造中にエポキシ基を1つのみ備える単官能エポキシモノマーであってもよいし、その構造中にエポキシ基を2つ以上備える多官能エポキシモノマーであってもよい。
本実施形態に係るマレイミドモノマーは、その構造中にマレイミド環を備えるものである。
本実施形態に係るマレイミドモノマーは、その構造中に、マレイミド環を1つのみ備える単官能マレイミドモノマーであってもよいし、その構造中にマレイミド環を2つ以上備える多官能マレイミドモノマーであってもよい。
マレイミドモノマーとしては、具体的には、ポリテトラメチレンエーテルグリコール−ジ(2−マレイミドアセテート)などが挙げられる。
ラジカル重合開始剤としては、具体的には、アゾ化合物、過酸化物などを用いることができる。ラジカル重合開始剤としては、上記具体例のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。ラジカル重合開始剤としては、上記具体例のうち、例えば、過酸化物を用いることが好ましい。
本実施形態のペースト状接着剤組成物は、例えば、硬化剤を含むことが好ましい。これにより、エポキシ樹脂、エポキシモノマーを硬化収縮させ、銀粒子を凝集できる。
硬化剤としては、フェノール硬化剤、イミダゾール硬化剤を用いることができる。以下、詳細を説明する。
フェノール樹脂系硬化剤としては、具体的には、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールノボラック樹脂、フェノール−ビフェニルノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂;ポリビニルフェノール;トリフェニルメタン型フェノール樹脂等の多官能型フェノール樹脂;テルペン変性フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂等の変性フェノール樹脂;フェニレン骨格及び/又はビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂、フェニレン及び/又はビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル樹脂等のフェノールアラルキル型フェノール樹脂;ビスフェノールA、ビスフェノールF(ジヒドロキシジフェニルメタン)等のビスフェノール化合物;4,4’−ビフェノールなどのビフェニレン骨格を有する化合物などが挙げられる。フェノール樹脂系硬化剤としては、上記具体例の中から選択される1種類または2種類以上を含むことができる。
フェノール系樹脂としては、上記具体例のうち、例えば、ビスフェノール化合物を用いるのが好ましい。また、ビスフェノール化合物としては、例えば、ビスフェノールFを用いるのが好ましい。これにより、エポキシ樹脂を硬化収縮させ、適切な銀粒子連結構造を形成できる。
イミダゾール系硬化剤としては、具体的には、2−フェニル−1H−イミダゾール−4,5−ジメタノール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−[2−メチルイミダゾリル−(1)]−エチル−s−トリアジン、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−[2−メチルイミダゾリル−(1)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイトなどが挙げられる。イミダゾール系硬化剤としては、上記具体例のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、ペースト状接着剤組成物中の硬化剤の含有量の上限値としては、ペースト状接着剤組成物のエポキシモノマー及びエポキシ樹脂の合計量100質量部に対して、例えば、10質量部以下であることが好ましく、5質量部以下であることがより好ましい。これにより、高分子成分が銀粒子連結構造の形成を阻害しない観点から好ましい。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、例えば、エポキシモノマーまたはエポキシ樹脂と、硬化剤との反応を促進させる硬化促進剤を含んでもよい。
硬化促進剤としては、具体的には、有機ホスフィン、テトラ置換ホスホニウム化合物、ホスホベタイン化合物、ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物、ホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物等のリン原子含有化合物;ジシアンジアミド、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7、ベンジルジメチルアミン等のアミジンや3級アミン;上記アミジンまたは上記3級アミンの4級アンモニウム塩等の窒素原子含有化合物などが挙げられる。硬化促進剤としては、上記具体例のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、例えば、低応力剤を含んでもよい。
低応力剤としては、具体的には、シリコーンオイル、シリコーンゴム等のシリコーン化合物;ポリブタジエン無水マレイン酸付加体などのポリブタジエン化合物;アクリロニトリルブタジエン共重合化合物などを挙げることができる。低応力剤としては、上記具体例のうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、例えば、ペースト状接着剤組成物と、基材との密着性を向上させるためにシランカップリング剤を含んでもよい。
シランカップリング剤としては、具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシランなどのビニルシラン;2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシランなどのエポキシシラン;p−スチリルトリメトキシシランなどのスチリルシラン;3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシランなどのメタクリルシラン;メタクリル酸3−(トリメトキシシリル)プロピル、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシランなどのアクリルシラン;N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシランなどのアミノシラン;イソシアヌレートシラン;アルキルシラン;3−ウレイドプロピルトリアルコキシシランなどのウレイドシラン;3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどのメルカプトシラン;3−イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどのイソシアネートシランなどを用いることができる。シランカップリング剤としては、上記具体例のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物の製造方法について説明する。
ペースト状接着剤組成物の製造方法としては、上述した原料成分を混合して混合物を作製する混合工程と、混合物が含んだ空気を取り除く脱泡工程とを含む。
混合工程では、上述した原料成分を混合して混合物を作製する。
混合する方法としては限定されず、例えば、3本ロール、ミキサーなどを用いることができる。これにより、原料成分を混合して混合物を得る。
脱泡工程では、混合物が含んだ空気を取り除く。
混合物が含んだ空気を取り除く方法としては限定されず、例えば、混合物を真空下に静置することで行うことができる。これにより、ペースト状接着剤組成物を得る。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物の硬化条件としては、例えば、室温付近(20℃以上30℃以下)から100℃以上300℃以下まで、昇温速度0.5℃/min以上30℃/min以下で昇温し、さらに、昇温後の温度で10分間以上2時間以下熱処理とできる。これにより、ペースト状接着剤組成物を十分に硬化できる。
また、上記せん断強度の上限値は、例えば、15.0MPa以下でもよく、14.0MPa以下でもよい。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物の用途について説明する。
本実施形態に係るペースト状接着剤組成物は、多様な被着体に密着でき、さらに、放熱性に優れる。被着体としては、具体的には、IC、LSIなどの半導体素子;リードフレーム、BGA基板、実装基板、半導体ウエハなどの基材;ヒートスプレッダー、ヒートシンクなどの放熱部材などが挙げられる。
ここで、上記半導体素子は、例えば、パワーデバイスであってもよい。本実施形態において、パワーデバイスとは、例えば、消費電力が1.7W以上のものを示す。
ここで、半導体パッケージの種類としては、具体的には、MAP(Mold Array Package)、QFP(Quad Flat Package)、SOP(Small Outline Package)、CSP(Chip Size Package)、QFN(Quad Flat Non−leaded Package)、SON(Small Outline Non−leaded Package)、BGA(Ball Grid Array)、LF−BGA(Lead Flame BGA)、FCBGA(Flip Chip BGA)、MAPBGA(Molded Array Process BGA)、eWLB(Embedded Wafer−Level BGA)、Fan−In型eWLB、Fan−Out型eWLBなどの種類が挙げられる。
図1は、本実施形態に係る半導体装置の一例を示す断面図である。
本実施形態にかかる半導体装置100は、基材30と、ペースト状接着剤組成物の硬化物である接着剤層10を介して基材30上に搭載された半導体素子20と、を備える。すなわち、接着剤層10は、ペースト状接着剤組成物を硬化してなるものである。
半導体素子20と基材30は、たとえばボンディングワイヤ40等を介して電気的に接続される。また、半導体素子20は、たとえば封止樹脂50により封止される。
また、接着剤層10の厚さの上限値は、例えば、100μm以下としてもよく、50μm以下としてもよい。
なお、基材30の表面は、例えば、銀、金などの金属により被膜されていてもよい。これにより、接着剤層10と、基材30との接着性を向上できる。
本変形例に係る半導体装置100において、基材30は、たとえばインターポーザである。インターポーザである基材30のうち、半導体素子20が搭載される一面と反対側の他面には、たとえば複数の半田ボール52が形成される。この場合、半導体装置100は、半田ボール52を介して他の配線基板へ接続されることとなる。
本実施形態に係る半導体装置の製造方法の一例について説明する。
まず、基材30の上に、ペースト状接着剤組成物を塗工し、次いで、その上に半導体素子20を配置する。すなわち、基材30、ペースト状接着剤組成物、半導体素子20がこの順で積層される。ペースト状接着剤組成物を塗工する方法としては限定されないが、具体的には、ディスペンシング、印刷法、インクジェット法などを用いることができる。
次いで、ペースト状接着剤組成物を前硬化及び後硬化することで、ペースト状接着剤組成物を硬化物とする。前硬化及び後硬化といった熱処理により、ペースト状接着剤組成物中の銀粒子が凝集し、複数の銀粒子同士の界面が消失してなる熱伝導層が接着剤層10中に形成される。これにより、接着剤層10を介して、基材30と、半導体素子20とが接着される。次いで、半導体素子20と基材30を、ボンディングワイヤ40を用いて電気的に接続する。次いで、半導体素子20を封止樹脂50により封止する。これにより半導体装置を製造することができる。
まず、実施例及び比較例に用いた原料成分について詳細を説明する。
主剤としては以下のものを用いた。
・エポキシオリゴマー1:ビスフェノール−F−ジグリシジルエーテル(日本化薬社製、RE−403S、Mw=236、エポキシ当量165g/eq)
・エポキシオリゴマー2:m−グリシジルエーテル及びp−グリシジルエーテルの混合物(阪本薬品工業社製、m,p−CGE、Mw=165、エポキシ当量165g/eq)
硬化剤としては以下のものを用いた。
・フェノール硬化剤1:ジヒドロキシジフェニルメタン(DIC社製、DIC−BPF)
・イミダゾール硬化剤1:2−フェニル−1H−イミダゾール−4,5−ジメタノール(四国化成工業社製、2PHZ−PW)
硬化促進剤としては以下の物を用いた。
・硬化促進剤1:ジシアンアミド(ADEKA社製、EH−3636AS)
単量体としては以下のものを用いた。
・単官能アクリルモノマー1:1,4−シクロヘキサンジメタノールモノアクリレート(日本化成工業社製、CHDMMA)
・単官能アクリルモノマー2:2−フェノキシエチルメタクリレート(共栄社化学社製、PO)
銀粒子としては、以下の表1に示すものを用いた。
各実施例、各比較例のペースト状接着剤組成物を作製した。作製方法としては、下記表2に記載した配合量の各原料成分を、常温で、3本ロールミルで混練することによって作成した。
各実施例及び各比較例のペースト状接着剤組成物について、以下の方法にて評価を行った。
各実施例及び各比較例のペースト状接着剤組成物について、以下の方法でせん断強度を評価した。詳細を説明する。
まず、銅リードフレーム(以下、銅LFとも示す。)と、シリコンチップ(長さ2mm×幅2mm)とを準備した。次いで、シリコンチップに、各実施例、各比較例のペースト状接着剤組成物を塗布厚み25±10μmとなるように塗布し、その上に銅リードフレームを配置した。すなわち、シリコンチップ、ペースト状接着剤組成物、銅リードフレームがこの順で積層してなる積層体を作製した。なお、銅リードフレームのペースト状接着剤組成物と接する面は銅によってなる。
次いで、大気下で、温度25℃から175℃まで30分間かけて上昇させた後、温度175℃で30分間熱処理することで、積層体のペースト状接着剤組成物を硬化させて硬化物とした。
次いで、硬化物を介して接着されたシリコンチップと、銅リードフレームとのせん断強度を測定した。測定条件としては、温度260℃で20秒間かけて測定を行った。評価結果をSi−銅LFのせん断強度の結果として下記表2に示す。なお、単位はMPaである。
また、上記銅リードフレームの代わりに、銅リードフレームの表面を銀メッキした銀メッキリードフレームを用いたせん断強度の評価結果をSi−銀メッキLFのせん断強度の結果として下記表2に示す。なお、銀メッキリードフレームのペースト状接着剤組成物と接する面は銀によってなる。
また、上記銅リードフレームの代わりに、Pre Plated Leadframe(以下、PPFとも示す。)を用いたせん断強度の評価結果をSi−PPFのせん断強度の結果として下記表2に示す。PPFは、銅リードフレームの上に、Ni、Pd、Auがこの順でめっきされている。なお、PPFのペースト状接着剤組成物と接する面は金Auによってなる。
各実施例及び各比較例のペースト状接着剤組成物について、以下の方法で樹脂残存率を評価した。 各実施例及び各比較例のペースト状接着剤組成物について、熱重量測定(Thermogravimetry−Differetial Thermal Analysis:TG−DTA)を行った。熱重量測定の条件としては、大気下で、温度30℃から200℃まで10℃/分の昇温速度で昇温し、次いで、温度200℃で60分間熱処理し、次いで温度200℃から450℃まで10℃/分の昇温時間で昇温し、次いで、温度450℃で10分間熱処理する条件とした。なお、測定は大気下で行った。
昇温前の各実施例及び各比較例のペースト状接着剤組成物に対する、200℃で60分間熱処理した後のペースト状接着剤組成物の重量減少率の100分率をW1[%]とした。
また、昇温前の各実施例及び各比較例のペースト状接着剤組成物に対する、450℃で10分間熱処理した後のペースト状接着剤組成物の重量減少率の100分率をW2[%]とした。
次いで、測定したW1、W2より、(W2−W1)/W2を算出した。評価結果を下記表2に示す。
なお、W1、W2は正の値または0の値である。例えば、200℃で60分間熱処理した後のペースト状接着剤組成物の重量が、昇温前のペースト状接着剤組成物に対して90%となった場合、重量減少率は10%である。
ここで、温度30℃から200℃まで10℃/分の昇温速度で昇温し、次いで温度200℃で60分間熱処理し、次いで、温度200℃から450℃まで10℃/分の昇温時間で昇温し、次いで温度450℃で10分間熱処理する際の、単量体及び主剤の挙動について説明する。
まず、温度30℃から温度200℃まで10℃/分の昇温速度で昇温し、次いで温度200℃で60分間熱処理した時点で、単量体及び主剤のうち、硬化反応を起こさない成分が揮発する。また、硬化反応を起こす成分は十分に硬化する。
次いで温度200℃から450℃まで10℃/分の昇温時間で昇温し、次いで温度450℃で10分間熱処理することで、単量体及び主剤のうち、硬化反応を起こす成分が完全に分解する。
以上より、分子の(W2−W1)は、硬化する単量体、主剤の質量分率を示す。また、分母のW2は、硬化する単量体、主剤の質量分率と、揮発する単量体の質量分率との和を示す。したがって、(W2−W1)/W2は、単量体、主剤のうち、硬化する単量体、主剤の割合を示す。
各実施例及び各比較例のペースト状接着剤組成物の硬化物について、ヒートサイクル試験を行い、密着信頼性を評価した。詳細な方法を以下に示す。
まず、銅リードフレーム(以下、銅LFとも示す。)と、シリコンチップ(長さ2mm×幅2mm、厚み0.35mm)とを準備した。次いで、シリコンチップに各実施例、各比較例のペースト状接着剤組成物を塗布厚み25±10μmとなるように塗布し、その上に銅リードフレームを配置した。すなわち、シリコンチップ、ペースト状接着剤組成物、銅リードフレームがこの順で積層してなる積層体を作製した。なお、銅リードフレームのペースト状接着剤組成物と接する面は、銅によってなる。
次いで、大気下で、温度を25℃から175℃まで30分間かけて上昇させた後、温度175℃で60分間熱処理することで積層体のペースト状接着剤組成物を硬化させて硬化物を作製した。
次いで、硬化物を、温度160℃で30分間熱処理し、さらに、温度25℃で30分間熱処理する工程を1サイクルとしたとき、熱処理を10サイクル行うヒートサイクル試験を行った。ヒートサイクル試験の後、シリコンチップ及びペースト状接着剤組成物の硬化物の間と、銅リードフレーム及びペースト状接着剤組成物の硬化物の間とについて、剥離が生じているか目視で確認し、以下の基準で評価した。評価結果をSi−銅LFのヒートサイクル試験の結果として下記表2に示す。
○:シリコンチップ及び硬化物の間に剥離がなく、かつ、銅リードフレーム及び硬化物の間に剥離が無い。
×:シリコンチップ及び硬化物の間に剥離が生じている、または、銅リードフレーム及び硬化物の間に剥離が生じている。
また、上記銅リードフレームの代わりに、銅リードフレームの表面を銀メッキした銀メッキリードフレーム、PPFをそれぞれ用いて、被着体との密着性を銅リードフレームと同様に評価した。評価結果を、それぞれ、Si−銀メッキLF、Si−PPFのヒートサイクル試験の結果として下記表2に示す。
各実施例及び各比較例のペースト状接着剤組成物について、以下の方法でChip−Chip熱拡散率を評価した。詳細を以下に説明する。
まず、長さ10mm×幅10mm×厚さ350μmのシリコンチップを2枚準備した。一方のシリコンチップに対して、ペースト状接着剤組成物を25±10μmとなるように塗布し、その上に他方のシリコンチップを積層した。すなわち、シリコンチップ、ペースト状接着剤組成物、シリコンチップがこの順で積層した積層体を作製した。
次いで、温度を25℃から175℃まで30分間かけて上昇させた後、温度175℃で60分間熱処理することで積層体のペースト状接着剤組成物を硬化させて硬化物とした。これにより、ペースト状接着剤組成物の硬化物を介して2枚のシリコンチップが接着された試験片を作製した。
次いで、該試験片に対して、レーザーフラッシュ法を用いて、該試験片の厚み方向の熱拡散係数を測定し、これをChip−Chip熱拡散率の評価結果とした。なお、熱拡散係数の測定温度は25℃とした。評価結果をSi−SiのChip−Chip熱拡散率の結果として下記表2に示す。なお、単位はcm2/secである。ここで、Chip−Chip熱拡散率は、その値が高いほど評価結果が良好である。
また、シリコンチップの代わりに、長さ10mm×幅10mm×厚さ350μmのシリコンチップに対して、Ti、Ni、Auをこの順でめっきした金メッキシリコンチップを用いて、Chip−Chip熱拡散率の測定を行った。ここで、積層体を作成する際に、ペースト状接着剤組成物と、Auからなる面とが接するように積層した。評価結果をAu−AuのChip−Chip熱拡散率の結果として下記表2に示す。
金メッキシリコンチップは、シンタリングタイプのペースト状接着剤組成物を用いる場合、金メッキと、ペースト状接着剤組成物との界面を消失できる点でシンタリングタイプのペースト状接着剤組成物に有利な評価方法である。
各実施例及び各比較例のペースト状接着剤組成物を用いた半導体装置について、走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope:SEM)を用いて断面を観察し、銀粒子連結構造ができているかを確認した。詳細な方法を以下に示す。
まず、銅リードフレーム(以下、銅LFとも示す。)と、シリコンチップ(長さ2mm×幅2mm、厚み0.35mm)とを準備した。次いで、シリコンチップに各実施例、各比較例のペースト状接着剤組成物を塗布厚み25±10μmとなるように塗布し、その上に銅リードフレームを配置した。すなわち、シリコンチップ、ペースト状接着剤組成物、銅リードフレームがこの順で積層してなる積層体を作製した。なお、銅リードフレームのペースト状接着剤組成物と接する面は、銅によってなる。
次いで、大気下で、温度を25℃から175℃まで30分間かけて上昇させた後、温度175℃で60分間熱処理することで積層体のペースト状接着剤組成物を硬化させて硬化物を作製した。
次いで、SEMを用いて、硬化物の断面を観察した。銀粒子連結構造が形成されていたものを「○」、形成されていなかったものを「×」として、評価結果を下記表2に示す。また、実施例1、比較例3のSEM観察の結果を、それぞれ、図3、図4に示す。
各実施例及び各比較例のペースト状接着剤組成物を用いた半導体装置について、実装信頼性を評価した。実装信頼性の評価としては、MSL(Moisture Sensitivity Level)パフォーマンスを測定した。MSLパフォーマンスは、JEDEC STANDARD 22−A113Dに準じて、MSL Lv2aとすることで行った。詳細な方法を以下に示す。
まず、銅リードフレーム(以下、銅LFとも示す。)と、シリコンチップ(長さ2mm×幅2mm、厚み0.35mm)とを準備した。次いで、シリコンチップに各実施例、各比較例のペースト状接着剤組成物を塗布厚み25±10μmとなるように塗布し、その上に銅リードフレームを配置した。すなわち、シリコンチップ、ペースト状接着剤組成物、銅リードフレームがこの順で積層してなる積層体を作製した。なお、銅リードフレームのペースト状接着剤組成物と接する面は、銅によってなる。
次いで、大気下で、温度を25℃から175℃まで30分間かけて上昇させた後、温度175℃で60分間熱処理することで積層体のペースト状接着剤組成物を硬化させて硬化物とした。
次いで、硬化物を、半導体封止用エポキシ樹脂組成物(住友ベークライト株式会社製、EME−G700LS)によってパッケージサイズが長さ17.9mm×幅7.2×厚さ2.5mmとなるように封止し、温度175℃で4時間の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を硬化することで、半導体装置を得た。
この半導体装置について、60℃、相対湿度60%の条件で120時間の吸湿処理を実施した後、IRリフロー処理(260℃、10秒の条件で3回リフロー)を行った。次に、IRリフロー処理後の半導体装置について、リードフレームとシリコンチップとの界面における剥離の有無を、透過型超音波探傷装置を用いて評価した。評価は、半導体装置8個について行い、その平均値について以下の基準で評価した。評価結果をSi−銅LFの実装信頼性の結果として以下の表2に示す。
○:銅リードフレーム及びペースト状接着剤組成物の硬化物の界面、ペースト状接着剤組成物の硬化物及びシリコンチップの界面、ならびに、シリコンチップ及び半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物の界面について、剥離している界面の面積が、2mm×2mmの領域に対して、20%未満であった。
×:銅リードフレーム及びペースト状接着剤組成物の硬化物の界面、ペースト状接着剤組成物の硬化物及びシリコンチップの界面、ならびに、シリコンチップ及び半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物の界面について、剥離している界面の面積が、2mm×2mmの領域に対して、20%以上であった。
また、上記銅リードフレームの代わりに、銅リードフレームの表面を銀メッキした銀メッキリードフレーム、PPFをそれぞれ用いて、実装信頼性を銅リードフレームと同様に評価した。評価結果を、それぞれ、Si−銀メッキLF、Si−PPFの実装信頼性の結果として下記表2に示す。
また、比較例2は、バインダータイプと、シンタリングタイプとのハイブリッドタイプのペースト状接着剤組成物である。しかしながら、比較例2は、銀粒子の形状が球状のみであり、銀粒子同士が過剰に引き寄せあってしまうものである。これにより、比較例2のペースト状接着剤組成物の硬化物と、被着体との界面は、銀粒子の収縮によって破壊されてしまうと考えられる。したがって、比較例2のペースト状接着剤組成物は、半導体装置の信頼性に劣るものと考えられる。
また、比較例3は、バインダータイプのペースト状接着剤組成物である。従来のバインダータイプの接着剤は、被着体との密着性に優れ、半導体装置の信頼性に優れる。しかしながら、比較例3のペースト状接着剤組成物は、実施例のペースト状接着剤組成物と比べて、半導体装置の信頼性に劣るものであった。この理由について確認するため、上述したヒートサイクル試験で作製した比較例3に係る積層体の硬化物の断面を、走査型顕微鏡を用いて観察した。その結果、比較例3に係る積層体の硬化物は、被着体との界面付近に銀粒子がほとんど存在せず、ペースト状接着剤組成物の硬化物の厚み方向の中央付近に銀粒子が集まっていることが確認された。これは、銀粒子の形状、及び、銀粒子の粒径プロファイルに起因すると推測される。なお、従来のペースト状接着剤組成物は、均一に銀粒子が分散するものである。これにより、比較例3のペースト状接着剤組成物の硬化物は、被着体との界面に、銀粒子の収縮に起因する内部応力を受け、該界面が破壊されたと考察される。
エポキシ樹脂と、
銀粒子と、を含み、
熱処理によって、前記銀粒子が銀粒子連結構造を形成する、ペースト状接着剤組成物であって、
前記エポキシ樹脂は、重量平均分子量が10000未満のエポキシオリゴマーを含み、
当該ペースト状接着剤組成物を、塗布厚みが25±10μmとなるように銅リードフレーム上に塗布し、次いで、長さ2mm×幅2mmのベアシリコンウエハを当該ペースト状接着剤組成物上に配置して積層体を得て、次いで、当該積層体を、大気下で、温度25℃から175℃まで30分間かけて昇温し、さらに、175℃で30分間かけて保温することで硬化体を得たとき、温度260℃で測定される、前記硬化体を介した前記ベアシリコンと、前記銅リードフレームとのせん断強度が、5.0MPa以上15.0MPa以下である、ペースト状接着剤組成物が提供される。
以下、実施形態の例を付記する。
1. エポキシ樹脂と、
銀粒子と、を含み、
熱処理によって、複数の前記銀粒子同士の界面が消失してなる銀粒子連結構造が形成される、ペースト状接着剤組成物であって、
当該ペースト状接着剤組成物を、塗布厚みが25±10μmとなるように銅リードフレーム上に塗布し、次いで、長さ2mm×幅2mmのベアシリコンウエハを当該ペースト状接着剤組成物上に配置して積層体を得て、次いで、当該積層体を、大気下で、温度25℃から175℃まで30分間かけて昇温し、さらに、175℃で30分間かけて保温することで硬化体を得たとき、温度260℃で測定される、前記硬化体を介した前記ベアシリコンと、前記銅リードフレームとのせん断強度が、5.0MPa以上15.0MPa以下である、ペースト状接着剤組成物。
2. 1.に記載のペースト状接着剤組成物であって、前記銀粒子は、フレーク状銀粒子を含む、ペースト状接着剤組成物。
3. 2.に記載のペースト状接着剤組成物であって、前記銀粒子は、球状銀粒子を更に含む、ペースト状接着剤組成物。
4. 3.に記載のペースト状接着剤組成物であって、前記銀粒子中の前記フレーク状銀粒子の含有量は、前記フレーク状銀粒子及び前記球状銀粒子の合計量に対して、5質量部以上60質量部以下である、ペースト状接着剤組成物。
5. 1.から4.のいずれかに記載のペースト状接着剤組成物であって、前記銀粒子の含有量が、当該ペースト状接着剤組成物全体に対して、50質量部以上90質量部以下である、ペースト状接着剤組成物。
6. 1.から5.のいずれかに記載のペースト状接着剤組成物であって、前記エポキシ樹脂は、エポキシオリゴマーまたはエポキシポリマーを含む、ペースト状接着剤組成物。
7. 1.から6.のいずれかに記載のペースト状接着剤組成物であって、硬化剤をさらに含む、ペースト状接着剤組成物。
8. 基材と、
前記基材上に接着層を介して搭載された半導体素子と、を備え、
前記接着層は、1.から7.のいずれかに記載のペースト状接着剤組成物の硬化物からなる、半導体装置。
9. 8.に記載の半導体装置であって、前記基材が、リードフレーム、BGA基板、実装基板、半導体ウエハ、ヒートスプレッダー及びヒートシンクからなる群より選択される1種である、半導体装置。
エポキシ樹脂と、
フェノール硬化剤と、
銀粒子と、を含み、
熱処理によって、複数の前記銀粒子同士の界面が消失してなる銀粒子連結構造が形成される、ペースト状接着剤組成物であって、
前記エポキシ樹脂は、多官能エポキシモノマーと、単官能エポキシモノマーとを含み、
当該ペースト状接着剤組成物を、塗布厚みが25±10μmとなるように銅リードフレーム上に塗布し、次いで、長さ2mm×幅2mmのベアシリコンウエハを当該ペースト状接着剤組成物上に配置して積層体を得て、次いで、当該積層体を、大気下で、温度25℃から175℃まで30分間かけて昇温し、さらに、175℃で30分間かけて保温することで硬化体を得たとき、温度260℃で測定される、前記硬化体を介した前記ベアシリコンと、前記銅リードフレームとのせん断強度が、5.0MPa以上15.0MPa以下である、ペースト状接着剤組成物が提供される。
Claims (9)
- エポキシ樹脂と、
銀粒子と、を含み、
熱処理によって、複数の前記銀粒子同士の界面が消失してなる銀粒子連結構造が形成される、ペースト状接着剤組成物であって、
当該ペースト状接着剤組成物を、塗布厚みが25±10μmとなるように銅リードフレーム上に塗布し、次いで、長さ2mm×幅2mmのベアシリコンウエハを当該ペースト状接着剤組成物上に配置して積層体を得て、次いで、当該積層体を、大気下で、温度25℃から175℃まで30分間かけて昇温し、さらに、175℃で30分間かけて保温することで硬化体を得たとき、温度260℃で測定される、前記硬化体を介した前記ベアシリコンと、前記銅リードフレームとのせん断強度が、5.0MPa以上15.0MPa以下である、ペースト状接着剤組成物。 - 請求項1に記載のペースト状接着剤組成物であって、
前記銀粒子は、フレーク状銀粒子を含む、ペースト状接着剤組成物。 - 請求項2に記載のペースト状接着剤組成物であって、
前記銀粒子は、球状銀粒子を更に含む、ペースト状接着剤組成物。 - 請求項3に記載のペースト状接着剤組成物であって
前記銀粒子中の前記フレーク状銀粒子の含有量は、前記フレーク状銀粒子及び前記球状銀粒子の合計量に対して、5質量部以上60質量部以下である、ペースト状接着剤組成物。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のペースト状接着剤組成物であって、
前記銀粒子の含有量が、当該ペースト状接着剤組成物全体に対して、50質量部以上90質量部以下である、ペースト状接着剤組成物。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のペースト状接着剤組成物であって、
前記エポキシ樹脂は、エポキシオリゴマーまたはエポキシポリマーを含む、ペースト状接着剤組成物。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載のペースト状接着剤組成物であって、
硬化剤をさらに含む、ペースト状接着剤組成物。 - 基材と、
前記基材上に接着層を介して搭載された半導体素子と、を備え、
前記接着層は、請求項1から7のいずれか1項に記載のペースト状接着剤組成物の硬化物からなる、半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置であって、
前記基材が、リードフレーム、BGA基板、実装基板、半導体ウエハ、ヒートスプレッダー及びヒートシンクからなる群より選択される1種である、半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017232247 | 2017-12-04 | ||
JP2017232247 | 2017-12-04 | ||
PCT/JP2018/043731 WO2019111778A1 (ja) | 2017-12-04 | 2018-11-28 | ペースト状接着剤組成物、および半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019111778A1 true JPWO2019111778A1 (ja) | 2019-12-12 |
Family
ID=66750269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019517462A Pending JPWO2019111778A1 (ja) | 2017-12-04 | 2018-11-28 | ペースト状接着剤組成物、および半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2019111778A1 (ja) |
TW (1) | TW201930527A (ja) |
WO (1) | WO2019111778A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113631675A (zh) * | 2019-03-20 | 2021-11-09 | 住友电木株式会社 | 半导体封装件、半导体封装件的制造方法和用于其的导热性组合物 |
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JP7528763B2 (ja) | 2020-12-11 | 2024-08-06 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品および樹脂電極用導電性ペースト |
JP7537650B1 (ja) | 2022-12-28 | 2024-08-21 | 住友ベークライト株式会社 | 導電性ペースト、硬化物及び半導体装置 |
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-
2018
- 2018-11-28 JP JP2019517462A patent/JPWO2019111778A1/ja active Pending
- 2018-11-28 WO PCT/JP2018/043731 patent/WO2019111778A1/ja active Application Filing
- 2018-12-03 TW TW107143200A patent/TW201930527A/zh unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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WO2019111778A1 (ja) | 2019-06-13 |
TW201930527A (zh) | 2019-08-01 |
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