JPWO2019059066A1 - 半導体光集積素子 - Google Patents
半導体光集積素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019059066A1 JPWO2019059066A1 JP2019543584A JP2019543584A JPWO2019059066A1 JP WO2019059066 A1 JPWO2019059066 A1 JP WO2019059066A1 JP 2019543584 A JP2019543584 A JP 2019543584A JP 2019543584 A JP2019543584 A JP 2019543584A JP WO2019059066 A1 JPWO2019059066 A1 JP WO2019059066A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soa
- dfb laser
- current
- integrated device
- light receiver
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/026—Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
- H01S5/0262—Photo-diodes, e.g. transceiver devices, bidirectional devices
- H01S5/0264—Photo-diodes, e.g. transceiver devices, bidirectional devices for monitoring the laser-output
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/026—Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
- H01S5/0265—Intensity modulators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/062—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes
- H01S5/0625—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes in multi-section lasers
- H01S5/06255—Controlling the frequency of the radiation
- H01S5/06258—Controlling the frequency of the radiation with DFB-structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/06821—Stabilising other output parameters than intensity or frequency, e.g. phase, polarisation or far-fields
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
- H01S5/06832—Stabilising during amplitude modulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/062—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes
- H01S5/0625—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes in multi-section lasers
- H01S5/06251—Amplitude modulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
- H01S5/124—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers incorporating phase shifts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
DFBレーザとEA変調部とSOAとをモノリシック集積した半導体光集積素子の出力光強度を一定に保つ。半導体光集積素子は、DFBレーザと、DFBレーザに接続されたEA変調器と、DFBレーザおよびEA変調器と同一基板上にモノリシック集積され、EA変調器の出射端に接続されたSOAと、SOAの出射端側に配置され、SOAと同一の組成を有する受光器とを備え、受光器には、順バイアス電圧または順バイアス電流が与えられ、受光器は、DFBレーザおよびSOAへの駆動電流がフィードバック制御されるよう、当該受光器への入力光強度に応じた検出値の変化をモニタするように構成される。
Description
本発明は、分布帰還型(DFB:Distributed FeedBack)の半導体光集積素子に関し、特に、光強度をモニタする半導体光集積素子に関する。
分布帰還型(DFB:Distributed FeedBack)レーザは、単一波長性に優れており、単一の基板上に電界吸収型(EA: Electroabsorption)変調器とモノリシックに一体化して構成される形態が知られている。この形態の半導体光集積素子(EA−DFBレーザ)は、伝送距離40km以上の長距離伝送用光送信器として用いられている。EA−DFBレーザの信号光波長としては、主として、光ファイバの伝播損失が小さい1.55μm帯、または、光ファイバに生じる波長分散の影響を受けにくい1.3μm帯が用いられている。
一般に、光ファイバ伝送用のEA−DFBレーザは、光信号の光強度を一定に保つことが望ましい。そこで、EA−DFBレーザの出力光の光強度をモニタし、モニタされる光強度が一定になるようにDFBレーザに注入する電流を制御することが行われてきた。これをAPC(オートパワーコントロール)と称す。
従来、DFBレーザとEA変調器とを備える多重光送信器モジュールを前提として、APCのためにDFBレーザの光強度をモニタする構成として、DFBレーザの出射端と対向する面に受光器を備えるものが開示されている(例えば、特許文献1の図6参照)。
従来、DFBレーザの出射端と対向する面に設けられた受光器が光強度をモニタする構成になっている。しかし、光送信器には、EA−DFBレーザ(DFBレーザとEA変調器)に加えて、さらにSOA(Semiconductor Optical Amplifier)を同一基板上にモノリシック集積することによって、長距離伝送を実現するものがある(例えば、特許文献2参照)。このような構成では、以下に説明するように、従来の構成が前提としている受光器の位置、すなわち、DFBレーザの出射端と対向する面で光強度をモニタしたとしても、光強度を一定に保つようなフィードバック制御を行えない。
従来の構成が前提としている受光器は、DFBレーザの出射端と対向する面に設けられており、DFBレーザの光強度しかモニタしていない。このため、SOAの劣化によってSOAの増幅率が下がったとしても、光強度の変化を検出することができない。SOAの増幅率が下がったとしても検出することができないために、フィードバック制御が実施されず、結果としてDFBレーザの光強度は低下する。
本発明の目的は、DFBレーザとEA変調部とSOAとをモノリシック集積した光送信器において、DFBレーザの光強度を一定に保つようなフィードバック制御を行うことができる半導体光集積素子を提供することである。
上記の目的を達成するため、本発明は、DFBレーザと、前記DFBレーザに接続されたEA変調器と、前記DFBレーザおよび前記EA変調器と同一基板上にモノリシック集積され、前記EA変調器の出射端に接続されたSOAと、前記SOAの出射端側に配置され、前記SOAと同一の組成を有する受光器とを備え、前記受光器には、順バイアス電圧または順バイアス電流が与えられ、前記受光器は、前記DFBレーザおよび前記SOAへの駆動電流がフィードバック制御されるよう、当該受光器への入力光強度に応じた検出値の変化をモニタするように構成される。
ここで、前記DFBレーザおよび前記SOAの各々は、同一の制御端子に接続され、前記同一の制御端子は、前記駆動電流を前記DFBレーザおよび前記SOAの各々に注入するように構成されるようにしてもよい。
以下、本発明の実施形態である半導体光集積素子(以下、単に「光集積素子」という。)について説明する。この実施形態の光集積素子は、EA−DFBレーザとSOAとが集積されている。
[光集積素子100の制御の概略]
図1は、本実施形態に係る光集積素子100の制御の概略を説明するための図である。光集積素子100は、光導波方向に対して順に、DFBレーザ11、EA変調器12、およびSOA13を備えている。これらの構成要素11〜13は、単一の半導体基板上に、一体的にモノリシック積層されている。光集積素子100はさらに、SOA13の出射端側に配置されたモニタ用受光器14を含む。
図1は、本実施形態に係る光集積素子100の制御の概略を説明するための図である。光集積素子100は、光導波方向に対して順に、DFBレーザ11、EA変調器12、およびSOA13を備えている。これらの構成要素11〜13は、単一の半導体基板上に、一体的にモノリシック積層されている。光集積素子100はさらに、SOA13の出射端側に配置されたモニタ用受光器14を含む。
図1において、DFBレーザ11とSOA13とは、同一の制御端子15から注入される電流値Iopによって制御される。このとき、DFBレーザ11への注入電流をIDFBとし、SOA13への注入電流をISOAとすると、電流値Iopは、Iop=IDFB+ISOAで与えられる。一般に、EA−DFBレーザを搭載した光送信モジュールで許容されるIopの値は60〜80mAである。この観点から、本実施形態の光集積素子100でも、Iopの上限値は、例えば80mAに設定されるのが好ましい。
上述したIopとIDFBとISOAとの関係を、図2を参照して説明する。横軸がIop、縦軸がIDFBとISOAの電流値である。図2では、光導波方向の長さが450μmのDFBレーザ11が使用される。図2に示すように、例えば、SOA13の長さが50μmの場合、SOA長はDFBレーザ11の長さ(450μm)に対して1/9となるため、電流値Iopの大部分はDFBレーザ11に注入される。一方、SOA長が150μmの場合、SOA長はDFBレーザの長さに対して1/3となるため、Iop=80mAのときは60mA程度のIDFBがDFBレーザに注入され、20mA程度のISOAがSOAに注入される。
このように、DFBレーザ11およびSOA13の各々の長さを調整することにより、それらに注入される電流IDFB,ISOAを調整することができる。例えば、DFBレーザ11の長さが450μmの場合、DFBレーザ11の駆動で閾値電流およびSMSR(Sub-Mode Suppression Ratio)を得るためのIopは、最低でも60mAが必要となる。このため、光導波方向におけるSOA長は、150μm以下とすることが好ましい。また、DBRレーザ11の長さを300μmに設定する場合は、必要なSMSRを得るためのIopは、40mA程度まで小さくすることができる。このため、SOA13を長くしてSOA13への電流ISOAを増やすことも可能となる。DFBレーザ11とSOA13の長さのバランス(比率)に応じて、所定の長さのDFBレーザ11に最低限必要な電流を投入できるようにSOA13の長さを変更することにより、安定的な単一モード動作と光出力の増幅の両立が実現できる。
[光集積素子100の構成]
次に、上述した光集積素子100の構成について、図3を参照して説明する。なお、この光集積素子100の構成の説明に関連して例示する材料は一例であり、自在に変更することができる。
次に、上述した光集積素子100の構成について、図3を参照して説明する。なお、この光集積素子100の構成の説明に関連して例示する材料は一例であり、自在に変更することができる。
図3は、光集積素子100の構成例を示す図である。光集積素子100は、n型InP基板102を備え、この基板102上には、光導波方向に対して順に、DFBレーザ11と、EA変調器12と、SOA13と、受光器14とが形成される。また、基板102の裏面には、n型電極101を備える。受光器14の入力側には、例えば、SOA13と接続される導波路15が形成され、出力側には、導波路16が形成される。なお、図3に示した構成とは別に、SOA13と受光器14との間は、導波路15を形成するのではなく、不図示のコンタクト層をエッチングするなどして電気的に分離するようにしてもよい。また、受光器14の出力側は、導波路16を形成しないようにすることもできる。
DFBレーザ11は、n−InPクラッド層103上に積層された活性層104とガイド層105とを有する。ガイド層105には、λ/4位相シフト105Aおよび回折格子105Bを含む。活性層104は、InGaAlAs系またはInGaAsP系の材料で形成される。ガイド層105上には、p−InPクラッド層106が形成され、このクラッド層106上にp型電極107が設けられる。この電極107には、図1に示した電流IDFBが注入される。
EA変調器12は、クラッド層103上に積層された吸収層108とクラッド層106とp型電極109とを有する。電極109には、EA変調器12を駆動させるためのバイアス電圧Vbiと高周波電圧RFとが、バイアスT200を介して印加される。これにより、EA変調器12では、DFBレーザ11からの光を変調することが可能になる。吸収層108は、InGaAlAs系またはInGaAsP系の材料で形成され、量子井戸構造を有する。
SOA13は、前述のクラッド層103上に積層された活性層131とガイド層132とクラッド層106とp型電極133とを有する。活性層131は、DFBレーザ11の活性層104と同一の組成を有し、ガイド層132は、DFBレーザ11のガイド層105と同一の組成を有する。この実施形態では、SOA13の電極133には、図1に示した電流ISOAが注入される。この実施形態では、例えば、25℃におけるDFBレーザ11およびSOA13での発光波長は約1.55μmとする。
受光器14は、前述のクラッド層103上に積層された受光層113とガイド層114と上部クラッド層115とp型電極116とを有する。電極116には、後述するビルトイン電圧Vb以上の電圧、またはSOA13の透明電流Itp以上の電流が与えられる。この実施形態の受光器14は、SOA13と同一組成の導波路を有する。すなわち、受光器14の受光層113は、SOA13の活性層131と同一の組成を有し、ガイド層114は、SOA13のガイド層132と同一の組成を有する。また、受光器14の上部クラッド層115は、SOA13のクラッド層106と同一の組成を有する。そして、SOA13および受光器14はともに、クラッド103を有する。
各導波路15,16は、コア層110とノンドープInP層111とを有する。各導波路15,16のコア層110は、受光器14の受光層113と同じ組成を有する。
[受光器14のモニタ方法]
以下、上述した光集積素子100の受光器14のモニタ方法について説明する。受光器14には、順方向のバイアス電圧またはバイアス電流が印加され、受光器14への入力光強度に応じた電圧値または電流値をモニタする。本実施形態の光集積素子100では、このモニタの結果、電圧値(電流値)の変化に応じて、電流値Iopにフィードバックされて受光器14の出力光(光集積素子100の出力光)の強度が一定になるように調整される。
以下、上述した光集積素子100の受光器14のモニタ方法について説明する。受光器14には、順方向のバイアス電圧またはバイアス電流が印加され、受光器14への入力光強度に応じた電圧値または電流値をモニタする。本実施形態の光集積素子100では、このモニタの結果、電圧値(電流値)の変化に応じて、電流値Iopにフィードバックされて受光器14の出力光(光集積素子100の出力光)の強度が一定になるように調整される。
一般に、SOAは、経時変化により劣化して増幅率の低下することが知られている。本実施形態の光集積素子100において、SOA13は、経時変化により劣化して増幅率が低下することになるが、受光器14は、SOA13と同一の組成で形成される。これは、受光器14において、SOA13と同様の経時変化により劣化して低下する増幅率の変化をモニタするためである。換言すると、DFBレーザ11の出力光のほかに、SOA13の経時変化もモニタされる。
受光器14に順バイアスを印加して駆動する場合、受光器14自体の経時変化に考慮する必要がある。受光器14がDFBレーザ11とSOA13の光強度をモニタする機能を維持するためには、DFBレーザ11とSOA13よりも劣化速度が緩やかで経時変化が小さい動作条件が必要である。一般的に、順バイアスを印加して駆動する光素子においては、動作時のキャリア密度によって劣化が加速される。このことから、受光器14のキャリア密度はSOA13およびDFBレーザ11よりも小さいことが望ましい。ただし、DFBレーザのキャリア密度は、しきい値キャリア密度でクランプされ駆動電流によらずほぼ一定の値である。これに対して、SOAでは駆動電流に応じてキャリア密度も上昇するため、一般的にSOAのキャリア密度のほうがDFBレーザのキャリア密度より高い。従って、ここではSOA13のキャリア密度のみを考慮して受光器14の動作条件を決定すればよい。
この観点から、印加電圧を一定にして電流変化をモニタする電圧駆動の場合、受光器14には、順バイアス電圧としてビルトイン電圧Vbより大きい電圧を印加することになる。これは、DFBレーザの出射端と対向する面に備えられる一般的なモニタ用受光器に印加される逆バイアス電圧(−3V)とは異なる。受光器14、すなわちSOA13の経時変化による劣化を検出するため、透明キャリア密度電流を与えるような電圧である必要があるからである。また、受光器14が電圧駆動の場合、SOA13の駆動電圧VSOAに対して、受光器14に印加する順バイアス電圧Vmonitorは、Vmonitor<VSOAとする必要がある。
印加電流を一定にして電圧変化をモニタする電流駆動の場合、受光器14に、順バイアス電流を注入するようにしてもよい。この場合でも、受光器14、すなわちSOA13の経時変化による劣化を検出するため、受光器14には、SOA13の透明電流Itp以上の電流を与える。また、受光器14が電流駆動の場合、かつSOA13と受光器14が同一の導波路幅Wである場合、それぞれのキャリア密度はSOA13の光軸方向の長さLSOAと、受光器14の光軸方向の長さLmonitorとに比例する。従って、受光器14に印加する順バイアス電流ImonitorはSOA13の駆動電流ISOAに対して、Imonitor/Lmonitor<ISOA/LSOAとする必要がある。
図4Aは、電圧駆動の受光器のモニタ方法を説明するための図である。受光器14への入射する光強度が変化した場合の制御方法について述べる。受光器14へ光が入射する場合、光吸収によって順方向の光起電力が生じる。一方、SOA13などの劣化によって入射する光強度が低下する場合、光起電力も小さくなる。このとき、受光器14を電圧駆動している場合、すなわちVmonitor一定のとき、受光器14の駆動電圧Vmonitorを維持するためには受光器14の印加電流が増加する(図4AのΔI)。従って、その電流増加に応じて電流値Iopをフィードバック制御し、光集積素子100の光出力強度が一定になるように調整する。
図4Bは、電流駆動の受光器のモニタ方法を説明するための図である。受光器14を電流駆動している場合、すなわちImonitor一定のとき、SOA13の経時変化で光強度が低下した場合、受光器14の駆動電流Imonitorを維持するために受光器14の印加電圧が低下する(図4BのΔV)。従って、その電圧低下に応じて電流値Iopをフィードバック制御し、光集積素子100の光出力強度が一定になるように調整する。
このように、受光器14では、順バイアス電圧または順バイアス電流が与えられ、受光器14への光強度に応じた電流値または電圧値をモニタする。これにより、そのモニタの結果に応じて、電流値Iopがフィードバックされて光集積素子100の出力光強度が一定になるように調整される。
以上説明したように、本実施形態の光集積素子100では、DFBレーザ11、EA変調器12およびSOA13は、同一基板上にモノリシック集積され、SOA13の出射端側には、SOA13と同一組成を有する受光器14が配置される。ここで、受光器14には、順バイアス(ビルトイン電圧Vb以上の電圧、または透明電流Itp以上の電流)が与えられ、入力光強度に応じた検出値(電圧値または電流値)の変化をモニタするように構成される。
これにより、仮にSOA13の増幅率が下がったとしても、受光器14でモニタされる検出値が変化することになり、その変化に応じて、同一端子15から供給される電流値Iopのフィードバック制御を行うことが可能となる。これにより、IDFBとISOAの値が調整され、光集積素子100の出力光強度を一定に保つことができる。
[変更例1]
次に、本実施形態の光集積素子100の変更例について説明する。上記実施形態では、光集積素子100を光送信モジュールに搭載する態様について言及しなかったが、そのような光送信モジュールを構成するようにしてもよい。
次に、本実施形態の光集積素子100の変更例について説明する。上記実施形態では、光集積素子100を光送信モジュールに搭載する態様について言及しなかったが、そのような光送信モジュールを構成するようにしてもよい。
[変更例2]
上記実施形態では、図1を参照して、同一の制御端子15からDFBレーザ11およびSOA13の各々に電流を注入する場合について説明したが、異なる制御端子から、DFBレーザ11およびSOA13の各々に電流を注入するようにしてもよい。この場合、DFBレーザおよびSOAの各p型電極107,133には、それぞれの制御端子から電流IDFB,ISOAが注入される。
上記実施形態では、図1を参照して、同一の制御端子15からDFBレーザ11およびSOA13の各々に電流を注入する場合について説明したが、異なる制御端子から、DFBレーザ11およびSOA13の各々に電流を注入するようにしてもよい。この場合、DFBレーザおよびSOAの各p型電極107,133には、それぞれの制御端子から電流IDFB,ISOAが注入される。
[変更例3]
上記実施形態では、1.55μm波長で発振する場合について説明したが、それ以外の波長を適用しても上記実施形態と同等の効果を得ることができる。例えば1.3μm帯で発振する場合についても、光通信用の光集積素子100の各構成要素11,12,13の結晶組成を変更して適用することもできる。
上記実施形態では、1.55μm波長で発振する場合について説明したが、それ以外の波長を適用しても上記実施形態と同等の効果を得ることができる。例えば1.3μm帯で発振する場合についても、光通信用の光集積素子100の各構成要素11,12,13の結晶組成を変更して適用することもできる。
Claims (4)
- DFBレーザと、
前記DFBレーザに接続されたEA変調器と、
前記DFBレーザおよび前記EA変調器と同一基板上にモノリシック集積され、前記EA変調器の出射端に接続されたSOAと、
前記SOAの出射端側に配置され、前記SOAと同一の組成を有する受光器とを備え、
前記受光器には、順バイアス電圧または順バイアス電流が与えられ、前記受光器は、前記DFBレーザおよび前記SOAへの駆動電流がフィードバック制御されるよう、当該受光器への入力光強度に応じた検出値の変化をモニタするように構成されることを特徴とする半導体光集積素子。 - 前記DFBレーザおよび前記SOAの各々は、同一の制御端子に接続され、前記同一の制御端子は、前記駆動電流を前記DFBレーザおよび前記SOAの各々に注入するように構成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体光集積素子。
- 前記順バイアス電圧Vmonitorは、前記受光器のビルトイン電圧Vb、前記SOAの駆動電圧VSOAとしたとき、
Vb<Vmonitor<VSOA
を満たすことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体光集積素子。 - 前記順バイアス電流Imonitorは、前記SOAの透明電流値以上の電流であり、前記SOAの駆動電流ISOA、前記受光器の光軸方向の長さLmonitor、前記SOAの光軸方向の長さLSOAとしたとき、
Imonitor/Lmonitor<ISOA/LSOA
を満たすことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体光集積素子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017179535 | 2017-09-19 | ||
JP2017179535 | 2017-09-19 | ||
PCT/JP2018/033845 WO2019059066A1 (ja) | 2017-09-19 | 2018-09-12 | 半導体光集積素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019059066A1 true JPWO2019059066A1 (ja) | 2020-01-16 |
Family
ID=65809790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019543584A Pending JPWO2019059066A1 (ja) | 2017-09-19 | 2018-09-12 | 半導体光集積素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200194971A1 (ja) |
JP (1) | JPWO2019059066A1 (ja) |
CN (1) | CN111033918B (ja) |
WO (1) | WO2019059066A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11949453B2 (en) * | 2021-06-25 | 2024-04-02 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Test device and test method for DFB-LD for RoF system |
WO2023166735A1 (ja) * | 2022-03-04 | 2023-09-07 | 三菱電機株式会社 | 光送信器、制御回路、記憶媒体および出力制御方法 |
WO2024024086A1 (ja) * | 2022-07-29 | 2024-02-01 | 日本電信電話株式会社 | 光送信器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003032021A2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-04-17 | Infinera Corporation | TRANSMITTER PHOTONIC INTEGRATED CIRCUITS (TxPIC) AND OPTICAL TRANSPORT NETWORKS EMPLOYING TxPICs |
JP2013258336A (ja) * | 2012-06-13 | 2013-12-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体光集積素子 |
WO2016136183A1 (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | 日本電信電話株式会社 | Soa集積ea-dfbレーザ及びその駆動方法 |
WO2017135381A1 (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 日本電信電話株式会社 | 光送信器及び光強度モニタ方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010073392A1 (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-01 | 富士通株式会社 | 光信号発生装置及びその調整方法 |
CN101702489B (zh) * | 2009-11-05 | 2011-12-28 | 中兴通讯股份有限公司 | 一种电吸收调制激光器的偏置电路及其调试方法 |
CN102496850B (zh) * | 2011-12-27 | 2013-10-16 | 南京吉隆光纤通信股份有限公司 | 一种稳定的激光光源 |
KR101329142B1 (ko) * | 2012-10-04 | 2013-11-14 | 한국표준과학연구원 | 펄스 레이저 출력 안정화 장치 및 그 방법 |
-
2018
- 2018-09-12 WO PCT/JP2018/033845 patent/WO2019059066A1/ja active Application Filing
- 2018-09-12 CN CN201880050160.3A patent/CN111033918B/zh active Active
- 2018-09-12 US US16/628,317 patent/US20200194971A1/en not_active Abandoned
- 2018-09-12 JP JP2019543584A patent/JPWO2019059066A1/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003032021A2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-04-17 | Infinera Corporation | TRANSMITTER PHOTONIC INTEGRATED CIRCUITS (TxPIC) AND OPTICAL TRANSPORT NETWORKS EMPLOYING TxPICs |
JP2013258336A (ja) * | 2012-06-13 | 2013-12-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体光集積素子 |
WO2016136183A1 (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | 日本電信電話株式会社 | Soa集積ea-dfbレーザ及びその駆動方法 |
WO2017135381A1 (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 日本電信電話株式会社 | 光送信器及び光強度モニタ方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111033918A (zh) | 2020-04-17 |
CN111033918B (zh) | 2021-12-24 |
WO2019059066A1 (ja) | 2019-03-28 |
US20200194971A1 (en) | 2020-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10505343B2 (en) | Optical transmitter and light intensity monitoring method | |
US5590145A (en) | Light-emitting apparatus capable of selecting polarization direction, optical communication system, and polarization modulation control method | |
US5659560A (en) | Apparatus and method for driving oscillation polarization selective light source, and optical communication system using the same | |
JP5352042B2 (ja) | 波長可変光送信器 | |
JP2001144367A (ja) | 半導体レーザ装置及びその駆動方法 | |
CN111033918B (zh) | 半导体光学集成元件 | |
JP2002169131A (ja) | 光半導体素子及び光半導体素子の変調方法 | |
JP4421951B2 (ja) | 光送信モジュール | |
JP2010113084A (ja) | 光信号処理装置 | |
JP6454256B2 (ja) | 波長多重光送信器 | |
JP2018060974A (ja) | 半導体光集積素子 | |
JP2010072495A (ja) | 同軸型半導体光モジュール | |
JP2015167174A (ja) | 波長可変光源および波長可変光源モジュール | |
JP6761392B2 (ja) | 半導体光集積素子 | |
JP6761390B2 (ja) | 半導体光集積素子 | |
JP6810671B2 (ja) | 半導体光集積素子 | |
JP6761391B2 (ja) | 半導体光集積素子 | |
JP2002299751A (ja) | 半導体レーザ装置及びそれを用いた光送信装置。 | |
US9698566B1 (en) | Optical module | |
KR20180069717A (ko) | 반도체 레이저, 광원 유닛, 통신 시스템 및 파장 다중 광 통신 시스템 | |
JP7343807B2 (ja) | 光送信器 | |
US20220352692A1 (en) | Optical Transmitter | |
JP2018060973A (ja) | 半導体光集積素子およびこれを搭載した光送受信モジュール | |
JP5395235B2 (ja) | 波長可変光送信器および光送受信器 | |
JP2018060975A (ja) | 直接変調レーザ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190906 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200623 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200824 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210126 |