JPWO2019009310A1 - アモルファス合金リボン及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボン（以下、合金リボン）を準備する工程と、前記合金リボンを引張応力２０ＭＰａ〜８０ＭＰａで張架した状態で、平均昇温速度を５０℃／秒以上８００℃／秒未満として４１０℃〜４８０℃の範囲の最高到達温度まで合金リボンを昇温させる工程と、前記合金リボンを引張応力２０ＭＰａ〜８０ＭＰａで張架した状態で、昇温された前記合金リボンを、平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として前記最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温させる工程と、を含み、Ｆｅ１００−ａ−ｂＢａＳｉｂＣｃ（ａ，ｂ：組成中の原子比、ｃ：Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比、１３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％、２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％、０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％、７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％）で表される組成を有するアモルファス合金リボンを製造する。

Description

本開示は、アモルファス合金リボン及びその製造方法に関する。

トランス、リアクトル、チョークコイル、モーター、ノイズ対策部品、レーザ電源、加速器用パルスパワー磁性部品、発電機等に用いられる磁心（コア）の磁性材料として、珪素鋼、フェライト、Ｆｅ基アモルファス合金、Ｆｅ基ナノ結晶合金、等が知られている。
コアとしては、例えばＦｅ基アモルファス合金又はＦｅ基ナノ結晶合金を用いて作製されたトロイダル磁心（巻コア）が知られている（例えば、特許文献１〜２参照）。

アモルファス合金は、生産性に優れる単ロール法で作製されることが一般的である。単ロール法では、外周面が熱伝導性に優れる銅合金で構成される冷却ロールを高速に回転させ、冷却ロール外周面表面に、合金溶湯を吐出、急速凝固させることで鋳造合金リボンを得ることができる。

前記単ロール法では、アモルファス合金リボンの鋳造開始後、合金溶湯からの熱の影響により冷却ロールの熱変形が発生し、アモルファス合金リボンの幅方向における中央部と端部とで吐出ノズル及び冷却ロール外周面の距離が異なることがある。そのため、アモルファス合金リボンの幅方向において、厚さを均一に維持することは難しい。更には、アモルファス合金リボンの幅方向における中央部と端部とにおいて、鋳造方向（長手方向）の長さが異なる現象、具体的にはリボン幅方向における端部が中央部より長手方向の長さが若干長くなる現象が発生する。この場合、合金リボンの端部には、波形状（側波もしくは耳波とも称される。）の非平坦形状が現れる。

このような状況に関連して、非晶質合金薄帯の平坦度に応じて鉄心巻枠の幅方向の周長を変えて巻き加工を行う技術が開示されている（例えば、特許文献３参照）。

特許文献１：特開２００６−３１０７８７号公報
特許文献２：国際公開第２０１５／０４６１４０号
特許文献３：特開昭６１−２２６９０９号公報

上記のように、Ｆｅ基アモルファス合金リボンを製造する工程では、アモルファス合金リボンの幅方向端部に、波形状（側波もしくは耳波）等の非平坦形状が現れやすい。
しかしながら、アモルファス合金リボンに用いられる材料は、ビッカース硬度が高いため、機械的な矯正が困難である。つまり、アモルファス合金リボンの平坦度の改善は困難である。特許文献３では、非晶質合金薄帯の平坦度を考慮した技術の開示はされているものの、薄帯自体の平坦度の改善についての開示はない。

上記のように、アモルファス合金リボンの幅方向端部における、波形状（側波もしくは耳波ともいう。）等の非平坦形状の平坦化（平坦度の改善）は困難とされてきた。
アモルファス合金リボンを巻回して巻磁心を作製する場合、巻数が増えるにしたがってアモルファス合金リボンの幅方向端部に波形状が次第に蓄積され、皺が発生しやすい。そのため、再現性良く磁心形状を作製することは困難であった。

本開示は、上記の事情に鑑みてなされたものである。
本開示の実施形態は、平坦性に優れたアモルファス合金リボン及びその製造方法を提供することを課題とする。

上記の課題を解決するために、アモルファス合金を特定の引張応力で張架した状態で特定の熱処理が施されることで、アモルファス合金リボンの形状が改善されて平坦性に優れたものとなるとの知見を得た。また、特定の昇温条件及び降温条件で熱処理することで、熱処理に伴う脆化が抑制されるとの知見を得た。
本開示は、上記知見に基づくものであり、具体的手段には以下の態様が含まれる。

＜１＞ Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボンを準備する工程と、前記アモルファス合金リボンを引張応力２０ＭＰａ〜８０ＭＰａで張架した状態で、平均昇温速度を５０℃／秒以上８００℃／秒未満として４１０℃〜４８０℃の範囲の最高到達温度までアモルファス合金リボンを昇温させる工程と、前記アモルファス合金リボンを引張応力２０ＭＰａ〜８０ＭＰａで張架した状態で、昇温された前記アモルファス合金リボンを、平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として前記最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温させる工程と、を含み、
下記組成式（Ａ）で表される組成を有するアモルファス合金リボンを製造する、アモルファス合金リボンの製造方法である。

Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ … 組成式（Ａ）
組成式（Ａ）中、ａ及びｂは、組成中の原子比を表し、それぞれ下記範囲を満たす。ｃは、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比を表し、下記範囲を満たす。
１３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％
０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％
７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％

＜２＞ 前記平均昇温速度が、６０℃／秒〜７６０℃／秒であり、前記平均降温速度が、１９０℃／秒〜５００℃／秒である＜１＞に記載のアモルファス合金リボンの製造方法である。
＜３＞ 前記引張応力が、４０ＭＰａ〜７０ＭＰａである＜１＞又は＜２＞に記載のアモルファス合金リボンの製造方法である。
＜４＞ 前記１００−ａ−ｂが、下記範囲を満たす＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンの製造方法である。
８０．５原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％
＜５＞ 前記昇温させる工程での昇温及び前記降温させる工程での降温は、前記アモルファス合金リボンを張架した状態で走行させ、走行する前記アモルファス合金リボンを伝熱媒体に接触させることにより行われる＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンの製造方法である。

＜６＞ 走行する前記アモルファス合金リボンを昇温させる伝熱媒体の接触面、及び走行する前記アモルファス合金リボンを降温させる伝熱媒体の接触面は、平面内（好ましくは、同一平面内）に配置されている＜５＞に記載のアモルファス合金リボンの製造方法である。

＜７＞ 幅方向の一端側に存在する起伏部の、幅方向の一端から面内方向に１０ｍｍの位置における起伏頂部の高さ、及び幅方向の他端側に存在する起伏部の、幅方向の他端から面内方向に１０ｍｍの位置における起伏頂部の高さを含む複数の高さの平均値である高さｈと、前記起伏部の幅長の平均値である幅ｗと、が下記式１を満たす、アモルファス合金リボンである。
０．１≦１００×ｈ／ｗ≦１．５ 式１

本開示の実施形態の発明によれば、平坦性に優れたアモルファス合金リボン及びその製造方法が提供される。

図１は、最高到達温度４６０℃で熱処理した後の本開示に係るアモルファス合金リボン１、及び幅方向端部近傍において長手方向に厚さ方向（リボン主面鉛直方向）に起伏する複数の波形状が形成されて非平坦形状を有する熱処理前のアモルファス合金リボン２を、それぞれリボン主面鉛直方向から撮影した外観写真である。 図２は、アモルファス合金リボンの幅方向両端近傍に形成された波形状を説明するための概略斜視図である。 図３は、図２のアモルファス合金リボンの起伏部１２２を矢印Ｚの方向からみた概略説明図である。 図４は、アモルファス合金リボンの製造に用いられるインラインアニール装置の一例を示す概略断面図である。 図５は、図４に示すインラインアニール装置の伝熱媒体を示す概略平面図である。 図６は、図５のIII−III線断面図である。 図７は、伝熱媒体の変形例を示す概略平面図である。

以下、本開示のアモルファス合金リボン及びその製造方法について、詳細に説明する。

本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。本明細書に段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
また、本明細書において、「工程」との用語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、「アモルファス合金リボン」とは、長尺の合金リボンを意味する。

本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボン（以下、単に「合金リボン」ともいう。）を準備する工程（以下、「合金リボン準備工程」ともいう。）と、アモルファス合金リボンを２０ＭＰａ〜８０ＭＰａの引張応力で張架し、平均昇温速度を５０℃／秒以上８００℃／秒未満として４１０℃〜４８０℃の範囲の最高到達温度までアモルファス合金リボンを昇温させる工程（以下、「昇温工程」ともいう。）と、前記アモルファス合金リボンを２０ＭＰａ〜８０ＭＰａの引張応力で張架した状態で、昇温されたアモルファス合金リボンを、平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として前記最高到達温度から降温伝熱媒体の温度まで降温させる工程（以下、「降温工程」ともいう。）と、を有し、下記組成式（Ａ）で表される組成を有するアモルファス合金リボンを製造するものである。

Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ … 組成式（Ａ）
組成式（Ａ）において、ａ及びｂは、組成中の原子比を表し、それぞれ下記範囲を満たす。ｃは、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比を表し、下記範囲を満たす。
１３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％
０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％
７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％
組成式（Ａ）で表される組成を有するアモルファス合金リボンの詳細については、以下において詳述する。

＜合金リボン準備工程＞
本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボンを準備する工程を有する。
アモルファス合金リボンは、軸回転する冷却ロールに合金溶湯を噴出する液体急冷法等の公知の方法によって製造することができる。但し、アモルファス合金リボンを準備する工程は、必ずしもアモルファス合金リボンを製造する工程である必要はなく、予め製造されたアモルファス合金リボンを単に準備する工程であってもよい。

アモルファス合金リボンを準備する工程は、アモルファス合金リボンの巻回体を準備することを含んでいてもよい。

アモルファス合金リボンの製造は、例えば、液体急冷法（単ロール法、双ロール法、遠心法等）等の公知の方法により行うことができる。中でも、単ロール法は、製造設備が比較的単純で、かつ安定製造が可能な製造法であって、優れた工業生産性を有する。

＜昇温工程＞
本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、アモルファス合金リボンを２０ＭＰａ〜８０ＭＰａの引張応力で張架した状態で、平均昇温速度を５０℃／秒以上８００℃／秒未満として４１０℃〜４８０℃の範囲の最高到達温度まで昇温させる工程を有する。

本工程では、一定の金属組成を選択した上で、最高到達温度を４１０℃〜４８０℃としつつ、アモルファス合金リボンの平均昇温速度を８００℃／秒未満に抑え、かつ、張架した状態で加熱することで、平坦度を向上できる。

本工程では、アモルファス合金リボンを上記の平均昇温速度に調節し、上記最高到達温度まで昇温できる方法であれば、いずれの方法で熱処理してもよい。熱処理する場合、アモルファス合金リボンを張架した状態で走行させながら伝熱媒体（本工程では昇温伝熱媒体）に接触させることにより、アモルファス合金リボンを昇温してもよい。
「張架した状態で走行」とは、アモルファス合金リボンが、引張応力が加えられた状態で連続走行することをいう。降温工程においても同様である。

アモルファス合金リボンに加えられる引張応力は、２０ＭＰａ〜８０ＭＰａの範囲とされる。引張応力が上記範囲内であると、合金リボンが伝熱媒体に接して昇温される際、合金リボンの平坦度が改善される。
引張応力が２０ＭＰａ未満であると、アモルファス合金リボンの平坦度の改善効果が顕在化しにくい。また、引張応力が８０ＭＰａより大きくなると、熱処理時にアモルファス合金リボンが破断するおそれが生じ、安定生産が困難となりやすい。
引張応力としては、アモルファス合金リボンの平坦度の改善効果をより高める観点から、４０ＭＰａ以上が好ましく、４５ＭＰａ以上がより好ましい。また、引張応力は、熱処理時のアモルファス合金リボンの破断のおそれをより低減する観点から、７０ＭＰａ以下が好ましく、６０ＭＰａ以下がより好ましい。

張架されたアモルファス合金リボンの引張応力は、合金リボンを連続走行させる装置（例えば、後述のインラインアニール装置）での走行制御機構で制御され、走行制御機構で制御される張力を合金リボンの断面積（幅×厚さ）で除した数値として求められる。

本工程では、アモルファス合金リボンの平坦性の改善効果と熱処理時における合金リボンの破断回避との観点から、最高到達温度が４２０℃〜４７０℃の範囲であり、かつ、引張応力が４０ＭＰａ〜７０ＭＰａである場合が好ましく、更には、最高到達温度が４３０℃〜４７０℃であり、かつ、引張応力が４５ＭＰａ〜６０ＭＰａである場合がより好ましい。

平均昇温速度は、５０℃／秒以上８００℃／秒未満に調整され、中でも、６０℃／秒〜７６０℃／秒が好ましく、３００℃／秒〜５００℃／秒がより好ましい。

平均昇温速度とは、昇温前（例えば、後述のように伝熱媒体に接触させる前）のアモルファス合金リボンの温度と、アモルファス合金リボンの最高到達温度（＝昇温伝熱媒体の温度）と、の温度差を、アモルファス合金リボンが伝熱媒体に接触している時間（秒）で除した値を意味する。
具体的には、例えば図４に示すインラインアニール装置の場合、アモルファス合金リボンの走行方向における、加熱室２０の進入口より１０ｍｍ上流の地点で放射温度計により測定されたリボン温度（加熱前のアモルファス合金リボンの温度、一般に室温（２０℃〜３０℃）である。）と、昇温伝熱媒体の温度（＝最高到達温度、例えば４６０℃）と、の温度差を、昇温伝熱媒体に接触している時間（秒）で除して求められる。なお、前記加熱室入口より１０ｍｍ上流の地点で放射温度計での測定が困難である場合、又は室温が不明の場合は、２５℃と設定できる。

インラインアニール装置とは、例えば、図４〜図７に示すように、巻出しロールから巻取りロールに亘って、長尺のアモルファス合金リボンに対して昇温工程〜降温（冷却）工程を含む連続した熱処理工程を施すインラインアニール工程を行う装置を指す。

昇温伝熱媒体の温度は、４１０℃〜４８０℃に調整されることが好ましい。
昇温工程では、アモルファス合金リボンを４１０℃〜４８０℃の最高到達温度まで昇温させる。張架により、アモルファス合金リボンの平坦度の改善に寄与する。
ここで、最高到達温度は、昇温工程での昇温伝熱媒体の温度と同一温度である。
「昇温伝熱媒体の温度」及び「最高到達温度」は、合金リボンが接触する昇温伝熱媒体の表面に熱電対を設置して測定される温度である。

伝熱媒体の温度が４１０℃以上であると、引張応力を印加することによる平坦度の改善効果が得られやすい。伝熱媒体の温度が４８０℃以下であると、アモルファス合金リボンの脆化促進を抑えることができる。
伝熱媒体の温度としては、平坦度の改善効果を高める観点から、４２０℃以上がより好ましく、４３０℃以上が更に好ましく、４４０℃以上が特に好ましい。また、伝熱媒体の温度の上限値は、アモルファス合金リボンの脆化抑制の観点から、４７０℃以下がより好ましい。

昇温工程において、アモルファス合金リボンを伝熱媒体側から吸引して、アモルファス合金リボンと伝熱媒体との接触面積の低下を抑制する態様が好ましい。具体的には、伝熱媒体のアモルファス合金リボンの接触面に吸引孔を有し、吸引孔でアモルファス合金リボンを減圧吸引することで、アモルファス合金リボンを伝熱媒体の表面に密着させることができる。これにより、アモルファス合金リボンがより平坦な形状に矯正され、アモルファス合金リボンの平坦性の向上効果が顕著となる。

また、本工程では、昇温後、伝熱媒体上にて、アモルファス合金リボンの温度を一定時間保持してもよい。

なお、伝熱媒体、伝熱媒体への接触及びその条件、加熱時の引張応力等の詳細については後述する。

＜降温工程＞
次に、本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、上記の昇温工程で昇温されたアモルファス合金リボンを、平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として上記の最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温させる工程を有する。

本工程では、アモルファス合金リボンを上記の平均降温速度に調節し、上記降温伝熱媒体温度まで降温できる方法であれば、いずれの方法で行われてもよい。
降温処理は、アモルファス合金リボンを張架した状態で走行させながら伝熱媒体（本工程では降温伝熱媒体）に接触させることにより、アモルファス合金リボンを降温してもよい。

アモルファス合金リボンに加えられる引張応力は、昇温工程と同様に、２０ＭＰａ〜８０ＭＰａの範囲とされる。引張応力が上記範囲内であると、合金リボンが降温される際、昇温時に改善された合金リボンの平坦度を著しく損なわず、合金リボンの平坦度を良好に維持することができる。
引張応力が２０ＭＰａ未満であると、アモルファス合金リボンの平坦度の改善効果が顕在化しにくい。また、引張応力が８０ＭＰａより大きくなると、アモルファス合金リボンが破断するおそれが生じ、安定生産が困難となりやすい。
引張応力としては、アモルファス合金リボンの平坦度の改善効果をより高める観点から、４０ＭＰａ以上が好ましく、４５ＭＰａ以上がより好ましい。また、引張応力は、熱処理時のアモルファス合金リボンの破断のおそれをより低減する観点から、７０ＭＰａ以下が好ましく、６０ＭＰａ以下がより好ましい。
張架されたアモルファス合金リボンの引張応力は、上記の通り、合金リボンを連続走行させる装置（例えば、後述のインラインアニール装置）での走行制御機構で制御され、走行制御機構で制御される張力を合金リボンの断面積（幅×厚さ）で除した数値として求められる。

降温伝熱媒体の温度は、２００℃以下の温度域が好ましい。
ここで、降温伝熱媒体温度とは、本工程で降温させた際の到達温度を指し、２００℃、１５０℃、１００℃、又は室温（例えば２０℃）等の温度であってもよく、適宜設定することができる。
「降温伝熱媒体温度」は、合金リボンが接触する昇温伝熱媒体の表面に熱電対を設置して測定される温度である。

本開示のアモルファス合金リボンの製造方法では、既述のように一定の組成を選択し、昇温工程を経た後、更に、平均降温速度を６００℃未満に抑えてアモルファス合金リボンを降温させる。これにより、昇温工程で改善された合金リボンの平坦性を維持することができる。

平均降温速度は、最高到達温度から降温熱媒体温度まで降温される平均速度である。平均降温速度としては、上記と同様の理由から、６００℃／秒未満であり、より好ましい上限値は５００℃／秒であり、さらに好ましい上限値は４００℃／秒であり、さらに好ましい上限値は３００℃／秒である。一方、下限側の平均降温速度は好ましくは１９０℃／秒以上であり、より好ましい下限値は２００℃／秒である。
中でも、平均降温速度は、１９０℃／秒〜５００℃／秒であることが好ましい。

平均降温速度とは、例えば最高到達温度から降温伝熱媒体の温度まで降温した場合、アモルファス合金リボンの最高到達温度（＝昇温伝熱媒体の温度）と降温伝熱媒体の温度との温度差を、アモルファス合金リボンが昇温伝熱媒体を離れた時点から降温伝熱媒体を離れた時点までの時間（秒）で除した値を意味する。具体的には、例えば図４に示すインラインアニール装置の場合、アモルファス合金リボンの走行方向における昇温伝熱媒体（図４中の加熱プレート２２）の温度（＝最高到達温度）と、降温伝熱媒体（図４中の冷却プレート３２）の温度と、の温度差を、昇温伝熱媒体を離れた時点から降温伝熱媒体を離れた時点までの時間（秒）で除して求められる。
ここでは、冷却室が１つであるが、複数の冷却室を連結して備えている場合（最上流の冷却室を第１の冷却室、第１の冷却室より下流の冷却室を第２の冷却室、等ということがある。）には、アモルファス合金リボンの走行方向最上流の（第１の）冷却室での平均降温速度（最高到達温度と第１の降温伝熱媒体温度との温度差を、アモルファス合金リボンが昇温伝熱媒体を離れた時点から第１の降温伝熱媒体を離れた時点までの時間（秒）で除した値）とする。

上記の昇温工程及び降温工程で用いられる伝熱媒体としては、プレート、ツインロール、等が挙げられる。
伝熱媒体の材質としては、銅、銅合金（青銅、真鍮、等）、アルミニウム、鉄、鉄合金（ステンレス等）、などが挙げられる。このうち、銅、銅合金、又はアルミニウムは熱電率（熱伝達率）が高く好ましい。
伝熱媒体は、Ｎｉめっき、Ａｇめっき等のめっき処理が施されていてもよい。

冷却方法としては、昇温用の伝熱媒体から合金リボンを離した後に大気に曝して冷却する方法でもよいが、冷却速度を制御するため、冷却器を使用して合金リボンを強制冷却することが好ましい。冷却器としては、リボンに冷風を送って冷却する非接触型の冷却器でもよく、上記の伝熱媒体の温度を例えば２００℃以下として合金リボンを接触させて冷却する接触型の冷却器でもよい。伝熱媒体が合金リボンとの接触面に吸引孔を有し、吸引孔において減圧吸引することにより、合金リボンを伝熱媒体の吸引孔を有する面に吸引吸着させてもよい。
これにより、昇温工程において平坦度を改善したアモルファス合金リボンの平坦度を、降温工程において維持するのに効果的である。

降温に際して伝熱媒体を用いる場合、昇温工程で加熱された合金リボンを昇温工程の伝熱媒体から離し、合金リボンを降温することが好ましい。この場合、冷却器としてリボンに冷風を送って降温する非接触型の冷却器でもよい。合金リボンの降温速度の観点からは、降温伝熱媒体の温度を１００℃以下として合金リボンを接触させて降温する接触型の冷却器を用いた態様が好ましい。伝熱媒体としては、昇温工程で使用可能なものと同様の伝熱媒体を使用することができる。

降温に伝熱媒体を用い、降温伝熱媒体温度まで合金リボンを接触させて降温する態様は、昇温工程からの降温が連続的に行いやすい。合金リボンの伝熱媒体への接触は、昇温工程での最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温した際の平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として行われる。

また、合金リボンと昇温伝熱媒体（例えば加熱プレート）の接触面は、平面であることが好ましい。また、合金リボンと降温伝熱媒体（例えば冷却プレート）の接触面は、平面であることが好ましい。
より好ましくは、合金リボンと昇温伝熱媒体（例えば加熱プレート）及び降温伝熱媒体（例えば冷却プレート）の接触面は、同一平面内に配置される。これにより、昇温工程からの降温がより一層連続的に行いやすくなるため、効果的に合金リボンの平坦度向上及びその維持が可能となる。

本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、図４〜図７に示す、加熱室及び冷却室を備えたインラインアニール装置を用いて実施されることが好ましい。

図４に示されるように、インラインアニール装置１００は、合金リボンの巻回体１１から合金リボン１０を巻き出す巻き出しローラー１２（巻き出し装置）と、巻き出しローラー１２から巻き出された合金リボン１０を加熱する加熱プレート（伝熱媒体）２２と、加熱プレート２２によって加熱された合金リボン１０を冷却する冷却プレート（伝熱媒体）３２と、冷却プレート３２によって冷却された合金リボン１０を巻き取る巻き取りローラー１４（巻き取り装置）と、を備える。図４では、合金リボン１０の走行方向を、矢印Ｒで示している。

巻き出しローラー１２には、合金リボンの巻回体１１がセットされている。
巻き出しローラー１２が矢印Ｕの方向に軸回転することにより、合金リボンの巻回体１１から合金リボン１０が巻き出される。
この一例では、巻き出しローラー１２自体が回転機構（例えばモーター）を備えていてもよいし、巻き出しローラー１２自体は回転機構を備えていなくてもよい。
巻き出しローラー１２自体は回転機構を備えていない場合でも、後述の巻き取りローラー１４による合金リボン１０の巻き取り動作に連動し、巻き出しローラー１２にセットされた合金リボンの巻回体１１から合金リボン１０が巻き出される。

図４中、丸で囲った拡大部分に示すように、加熱プレート２２は、巻き出しローラー１２から巻き出された合金リボン１０が接触しながら走行する第１平面２２Ｓを含む。この加熱プレート２２は、第１平面２２Ｓに接触しながら第１平面２２Ｓ上を走行している合金リボン１０を、第１平面２２Ｓを介して加熱する。これにより、走行中の合金リボン１０が、安定的に急速加熱される。

加熱プレート２２は、不図示の熱源に接続されており、この熱源から供給された熱によって所望とする温度に加熱されている。加熱プレート２２は、熱源に接続されることに代えて、又は、熱源に接続されることに加えて、加熱プレート２２自身の内部に熱源を備えていてもよい。
加熱プレート２２の材質としては、ステンレス、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｌ合金、等が挙げられる。

加熱プレート２２は、加熱室２０に収容されている。
加熱室２０は、加熱プレート２２に対する熱源とは別に、加熱室の温度を制御するための熱源を備えていてもよい。
加熱室２０は、合金リボン１０の走行方向（矢印Ｒ）の上流側及び下流側のそれぞれに、合金リボンが進入又は退出する開口部（不図示）を有している。合金リボン１０は、上流側の開口部である進入口を通って加熱室２０内に進入し、下流側の開口部である退出口を通って加熱室２０内から退出する。

また、図４中、丸で囲った拡大部分に示すように、冷却プレート３２は、合金リボン１０が接触しながら走行する第２平面３２Ｓを含む。この冷却プレート３２は、第２平面３２Ｓに接触しながら第２平面３２Ｓ上を走行している合金リボン１０を、第２平面３２Ｓを介して降温する。

冷却プレート３２は、冷却機構（例えば水冷機構）を有していてもよいし、特段の冷却機構を有していなくてもよい。
冷却プレート３２の材質としては、ステンレス、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｌ合金、等が挙げられる。

冷却プレート３２は、冷却室３０に収容されている。
冷却室３０は、冷却機構（例えば水冷機構）を有していてもよいが、特段の冷却機構を有していなくてもよい。即ち、冷却室３０による冷却の態様は、水冷であってもよいし、空冷であってもよい。
冷却室３０は、合金リボン１０の走行方向（矢印Ｒ）の上流側及び下流側のそれぞれに、合金リボンが進入又は退出する開口部（不図示）を有している。合金リボン１０は、上流側の開口部である進入口を通って冷却室３０内に進入し、下流側の開口部である退出口を通って冷却室３０内から退出する。

巻き取りローラー１４は、矢印Ｗの方向に軸回転する回転機構（例えばモーター）を備えている。巻き取りローラー１４の回転により、合金リボン１０が所望とする速度で巻き取られる。

インラインアニール装置１００は、巻き出しローラー１２と加熱室２０との間に、合金リボン１０の走行経路に沿って、ガイドローラー４１、ダンサーローラー６０（引張応力調整装置の一つ）、ガイドローラー４２、並びに、一対のガイドローラー４３Ａ及び４３Ｂを備えている。引張応力の調整は、巻き出しローラー１２及び巻き取りローラー１４の動作制御によっても行われる。
ダンサーローラー６０は、鉛直方向（図７中の両側矢印の方向）に移動可能に設けられている。このダンサーローラー６０の鉛直方向の位置を調整することにより、合金リボン１０の引張応力を調整できる。ダンサーローラー６２についても同様である。
巻き出しローラー１２から巻き出された合金リボン１０は、これらのガイドローラー及びダンサーローラーを経由して、加熱室２０内に導かれる。

インラインアニール装置１００は、加熱室２０と冷却室３０との間に、一対のガイドローラー４４Ａ及び４４Ｂ、並びに、一対のガイドローラー４５Ａ及び４５Ｂを備えている。
加熱室２０から退出した合金リボン１０は、これらのガイドローラーを経由して冷却室３０内に導かれる。

インラインアニール装置１００は、冷却室３０と巻き取りローラー１４との間に、合金リボン１０の走行経路に沿って、一対のガイドローラー４６Ａ及び４６Ｂ、ガイドローラー４７、ダンサーローラー６２、ガイドローラー４８、ガイドローラー４９、並びに、ガイドローラー５０を備えている。
ダンサーローラー６２は、鉛直方向（図７中の両側矢印の方向）に移動可能に設けられている。このダンサーローラー６２の鉛直方向の位置を調節することにより、合金リボン１０の引張応力を調整できる。
冷却室３０から退出した合金リボン１０は、これらのガイドローラー及びダンサーローラーを経由して、巻き取りローラー１４に導かれる。

インラインアニール装置１００において、加熱室２０の上流側及び下流側に配置されたガイドローラーは、合金リボン１０と加熱プレート２２の第１平面とを全面的に接触させるために、合金リボン１０の位置を調整する機能を有する。
インラインアニール装置１００において、冷却室３０の上流側及び下流側に配置されたガイドローラーは、合金リボン１０と冷却プレート３２の第２平面とを全面的に接触させるために、合金リボン１０の位置を調整する機能を有する。

図５は、図４に示すインラインアニール装置１００の加熱プレート２２を示す概略平面図であり、図６は、図５のIII−III線断面図である。
図５及び図６に示すように、加熱プレート２２の第１平面（即ち、合金リボン１０との接触面）には、複数の開口部２４（吸引構造）が設けられている。各開口部２４は、それぞれ、加熱プレート２２を貫通する貫通孔２５の一端を構成している。

この一例では、複数の開口部２４が、合金リボン１０との接触領域全体に渡り、二次元状に配置されている。
複数の開口部２４の具体的な配置は、図５に示される配置には限定されない。複数の開口部２４は、図５に示されるように、合金リボン１０との接触領域全体に渡り、二次元状に配置されていることが好ましい。
また、開口部２４の形状は、平行部（平行な２辺）を有する長尺形状となっている。開口部２４の長さ方向は、合金リボン１０の進行方向に対して直角な方向となっている。
開口部２４の形状は、図５に示される形状には限定されず、図５に示される形状以外の長尺形状、楕円形状（円形状を含む）、多角形状（例えば長方形）、等のあらゆる形状を適用できる。
また、前述のとおり、開口部に代えて、又は、開口部に加えて、吸引構造としての溝が設けられていてもよい。

インラインアニール装置１００では、不図示の吸引装置（例えば、真空ポンプ）によって貫通孔２５の内部空間を排気することにより（矢印Ｓ参照）、走行中の合金リボン１０を加熱プレート２２の開口部２４が設けられた第１平面２２Ｓに吸引することができる。これにより、走行中の合金リボン１０を、より安定的に加熱プレート２２の第１平面２２Ｓに接触させることができる。
なお、この一例では、貫通孔２５が、加熱プレート２２の、第１平面２２Ｓから第１平面２２Ｓとは反対側の平面までを貫通している。貫通孔は、第１平面２２Ｓから加熱プレート２２の側面までを貫通していてもよい。

図７は、本実施形態における加熱プレートの変形例（加熱プレート１２２）を示す概略平面図である。
図７に示されるように、この変形例では、加熱プレート１２２が、合金リボン１０の走行方向（矢印Ｒ）について、３つの領域（領域１２２Ａ〜１２２Ｃ）に分割されている。
領域１２２Ａ〜１２２Ｃには、図５に示す加熱プレート２２と同様に、それぞれ複数の開口部１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃが、合金リボン１０との接触領域全体に渡り、二次元状に配置されている。開口部１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃの各々は、加熱プレート１２２を貫通する貫通孔の一端を構成し、各領域における複数の貫通孔には、それぞれ複数の貫通孔と連通する排気管１２６Ａ、１２６Ｂ及び１２６Ｃが取り付けられている。そして、排気管１２６Ａ、１２６Ｂ及び１２６Ｃを通じて不図示の吸引装置（例えば、真空ポンプ）によって貫通孔の内部空間を排気することにより（矢印Ｓ参照）、走行中の合金リボン１０を加熱プレート１２２の開口部１２４Ａ、１２４Ｂ及び１２４Ｃが設けられた第１平面に吸引することができる。

〜昇温工程及び降温工程の好ましい態様〜
昇温工程及び降温工程の好ましい一態様として、伝熱媒体を備えたインラインアニール装置を用い、合金リボンを、合金リボンとの接触面が互いに同一平面内に位置する昇温伝熱媒体及び降温伝熱媒体に接触させて張力を加えながら熱処理することにより、アモルファス合金リボンを作製する態様（以下、「態様Ｘ」という。）が挙げられる。

本開示のアモルファス合金リボンの製造方法では、上記の昇温工程及び降温工程を経て下記組成式（Ａ）で表される組成を有するアモルファス合金リボンを製造する。
Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ … 組成式（Ａ）
組成式（Ａ）において、ａ及びｂは、組成中の原子比を表し、それぞれ下記範囲を満たす。ｃは、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比を表し、下記範囲を満たす。
１３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％
０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％
７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％

本開示におけるアモルファス合金リボンは、上記の通り、昇温及び降温時に特定の引張応力が加えられるので、合金リボン表面（主面）の平坦度が優れている。また、本開示におけるアモルファス合金リボンは、組成式（Ａ）で表される組成を有していることにより、平坦度の改善効果に優れる。

以下、上記組成式（Ａ）についてより詳細に説明する。
組成式（Ａ）中のＦｅの原子比（原子％）は、「１００−ａ−ｂ」で求められる。Ｆｅは、アモルファス合金リボンの主成分であり、磁気特性を決定する主元素である。
なお、Ｆｅの含有比を表す「１００−ａ−ｂ」には、例えば、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｖ、Ｗ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｐ、及びＳからなる群から選択される少なくとも１種の元素を含む不可避不純物も含まれてもよい。この不可避不純物の含有量としては、１原子％以下の範囲であることが好ましい。

本開示のアモルファス合金リボンは、７９．０〔＝（１００−ａ−ｂ）＝（１００−１６．０−５．０）〕原子％以上のＦｅ（不可避不純物を含む）を含有するＦｅ基アモルファス合金リボンである。合金組成中のＦｅの含有比率を比較的高くすることにより、より平坦度改善効果を得ることができる。
上記の「１００−ａ−ｂ」は、７９．０以上であり、８０．５以上がより好ましく、８１．０以上が更に好ましい。
「１００−ａ−ｂ」（原子％）の上限は、ａ、ｂに応じて決定され、８３．０以下である。
上記のうち、「１００−ａ−ｂ」は、特に下記範囲を満たすことが好ましい。
８０．５原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％

組成式（Ａ）におけるＢの原子比ａは、１３．０原子％以上１６．０原子％以下である。Ｂは、アモルファス合金リボンにおいて、アモルファス状態を安定的に維持する機能を有する。
本開示では、ａが１３．０原子％以上であることで、Ｂの上記機能が効果的に発現する。また、ａが１６．０原子％以下であることで、Ｆｅの含有量が確保されるので、アモルファス合金リボン及びアモルファス合金リボン片の飽和磁束密度Ｂ_sが向上し、Ｂ_８０を高くすることができる。
中でも、Ｂの原子比ａは、下記範囲を満たすことが好ましい。
１４．０原子％≦ａ≦１６．０原子％

組成式（Ａ）におけるＳｉの原子比ｂは、２．５原子％以上５．０原子％以下である。
Ｓｉは、アモルファス合金リボンの結晶化温度を上昇させ、かつ、表面酸化膜を形成させる機能を有する。
本開示では、ｂが２．５原子％以上であることで、Ｓｉの上記機能が効果的に発現する。したがって、より高温での熱処理が可能となる。また、ｂが５．０原子％以下であることで、Ｆｅの含有量が確保されるので、アモルファス合金リボンの飽和磁束密度Ｂ_ｓが向上する。
Ｓｉの原子比ｂとしては、下記範囲を満たすことが好ましい。
３．０原子％≦ｂ≦４．５原子％

組成式（Ａ）におけるＣの原子比ｃは、０．２０原子％以上０．３５原子％以下である。Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ系アモルファス合金リボンの組成に前記範囲のＣ（炭素）を加えることで、合金リボンの占積率が向上する。この理由は、前記範囲のＣを加えることで、合金リボン表面の平坦性の向上効果が促進されるためと考えられる。ｃが０．２０原子％未満では、合金リボン表面の平坦性向上が不十分となる。また、ｃが０．３５原子％を超えると、熱処理での合金リボンの脆化傾向が顕著となるおそれがある。
Ｃの原子比ｃの好ましい範囲は、０．２３原子％以上０．３０原子％以下である。

本開示のアモルファス合金リボンは、磁気特性として高い磁束密度及び低い保磁力を有している。
本開示のアモルファス合金リボンは、高い磁束密度（Ｂ_８０及びＢ_８００）を有する。なお、Ｂ_８０は、８０Ａ／ｍの磁場で磁化した際の磁束密度であり、Ｂ_８００は、８００Ａ／ｍの磁場で磁化した際の磁束密度である。
アモルファス合金リボンの磁束密度Ｂ_８０は、１．４５Ｔ以上が好ましい。特に、Ｂ_８０が１．５０Ｔ以上であると、アモルファス合金リボンから作製されるコアにおいて、様々な軟磁性応用部品を得ることができる。

また、本開示のアモルファス合金リボンは、保磁力（Ｈｃ）が低く抑えられている。
保磁力は、１．０Ａ／ｍ以下が好ましく、０．８Ａ／ｍ以下がより好ましい。保磁力が１．０Ａ／ｍ以下であると、低いヒステリシス損失により、アモルファス合金リボンから作製されるコアにおいて、より低鉄損のコアが得られる。

磁束密度（Ｂ_８０，Ｂ_８００）と保磁力（Ｈ_ｃ）は、直流磁化測定装置ＳＫ１１０（メトロン技研株式会社製）を用いて求められる値である。
Ｂ_８０は、直流磁化測定装置ＳＫ１１０を用いて磁場強度８０Ａ／ｍにて求められる値であり、Ｂ_８００は、直流磁化測定装置ＳＫ１１０を用いて磁場強度８００Ａ／ｍにて求められる値である。
保磁力（Ｈ_ｃ）は、磁場強度８００Ａ／ｍで測定したヒステリシス曲線より求められる値である。

＜アモルファス合金リボン＞
本開示のアモルファス合金リボンは、裁断性を有し、かつ、幅方向の一端側に存在する起伏の、幅方向の一端から面内方向に１０ｍｍの位置における起伏頂部の高さ、及び幅方向の他端側に存在する起伏部の、幅方向の他端から面内方向に１０ｍｍの位置における起伏頂部の高さを含む複数の高さの平均値である高さｈと、前記起伏部の幅長の平均値である幅ｗと、が下記式１を満たすものである。
０．１≦１００×ｈ／ｗ≦１．５ 式１

本開示の巻磁心は、裁断性を備えるものである。裁断性を備えるとは、合金リボンをハサミで裁断することができることを指す。
裁断性は、アモルファス合金リボンの脆化の程度を表す第１の脆性指標となるものである。具体的には、合金リボンを二つの刃で挟んで裁断する裁断具（例えばハサミ）で裁断した際、ほぼ直線的に分割され、直線では無い破断部分が全裁断寸法の５％以下であることにより評価される。

本開示のアモルファス合金リボンは、合金リボンの幅方向端部に現れる波形状（側波もしくは耳波）の起伏部の発生が少なく、波形状の起伏の大きさを表す平坦度が式１の範囲とされている。即ち、アモルファス合金リボンの平坦度は、「１００×ｈ／ｗ」で求められる。
０．１≦１００×ｈ／ｗ≦１．５ 式１
本開示のアモルファス合金リボンにおいて、平坦度（＝１００×ｈ／ｗ）が１．５を超えると、合金リボンの幅方向端部での波形状が大きくなりすぎ、占積率が低くなる点で支障を来たす。平坦度（＝１００×ｈ／ｗ）は、一様な平面になる点で０（ゼロ）に近いほどよい。現実的な範囲として、平坦度は０．１以上としてもよい。
コア作製時の形状再現性、及び占積率をより高める観点から、平坦度は、０．１〜１．２が好ましく、０．１〜１．０がより好ましい。

平坦度は、既述のように、アモルファス合金リボンの作製にあたり、昇温工程及び降温工程において特定の引張応力で張架した状態で昇温又は降温させる操作を設けて合金リボンの端部近傍に発生する起伏の程度を制御することにより調整することが可能である。

式１の高さｈ及び幅ｗについて説明する。
高さｈは、アモルファス合金リボンの、幅方向の一端の側に存在する波形状（側波）の起伏部と幅方向の他端の側に存在する波形状の起伏部との双方に着目し、幅方向両端に存在する起伏部の頂部高さの平均値として求められる。
具体的には、高さｈは、アモルファス合金リボンの幅方向の一端から面内方向に１０ｍｍの位置に、幅方向と直交する長手方向に存在する複数の波形状の起伏部の各起伏頂部の高さと、アモルファス合金リボンの幅方向の他端から面内方向に１０ｍｍの位置に、前記長手方向に存在する複数の波形状の起伏部の各起伏頂部の高さと、を含めた複数の高さの平均値で表される。
図２及び図３を参照して更に説明する。

アモルファス合金リボンは、図２に示すように、アモルファス合金リボンの幅方向端部近傍に合金リボンの厚さ方向（合金リボン主面鉛直方向）に起伏する複数の波形状（凹凸形状）が発生する場合がある。ここでの合金リボンの幅は、１４２．２ｍｍとされている。図２は、アモルファス合金リボンの幅方向両端近傍に形成された波形状の一例を斜視して示す概略斜視図であり、アモルファス合金リボン１２０が平坦な台（平面）１１０の上に置かれた状態を示している。
図２に示すアモルファス合金リボン１２０は、合金リボンの長手方向Ｐに直交する幅方向Ｑにおける両端部には、平坦な台（平面）１１０の鉛直方向（合金リボン主面鉛直方向）に長手方向Ｐに沿って連続的に起伏する凹凸形状が形成されている。
本明細書において、連続する複数の凹凸形状を、複数の振幅（形状）、複数の波形状、又は複数の側波形状ということもある。
図２及び図３に示すように、合金リボンの幅方向Ｑにおける中央付近には、大きな起伏はみられず、幅方向端部の起伏の影響も少ない。したがって、合金リボンの幅方向における中央部と端部において、長手方向の合金リボンの長さは、幅方向における端部と中央部とで異なっており、合金リボンの端部における長さが中央部における長さより長いと考えられる。

高さｈは、例えば、アモルファス合金リボン１２０の幅方向Ｑの一端から面内方向に１０ｍｍの位置、即ち図２中の二点鎖線Ａ上の位置に、幅方向Ｑと直交する長手方向Ｐに沿って存在する複数の起伏部（側波）１２２の各起伏頂部Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３・・・の高さｈ（図２ではｈ^Ｃ１、ｈ^Ｃ２、ｈ^Ｃ３・・・ｈ^Ｃｍ）と、アモルファス合金リボン１２０の幅方向Ｑの他端から面内方向に１０ｍｍの位置、即ち図２中の二点鎖線Ｂ上の位置に、前記長手方向Ｐに沿って存在する複数の起伏部１２２の各起伏頂部Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３・・・の高さｈ（図２ではｈ^Ｄ１、ｈ^Ｄ２、ｈ^Ｄ３・・・ｈ^Ｄｎ）と、を含めたｍ＋ｎ個の高さの平均値で表され、下記式により求めることができる。
高さｈ＝｛（ｈ^Ｃ１＋ｈ^Ｃ２＋ｈ^Ｃ３＋・・・ｈ^Ｃｍ）＋（ｈ^Ｄ１＋ｈ^Ｄ２＋ｈ^Ｄ３＋・・・ｈ^Ｄｎ）｝／（ｍ＋ｎ）

各起伏部における起伏頂部の高さｈは、合金リボンの端部から内側１０ｍｍにおける高さをレーザー変位計で連続測定し、各周期の最大値ｈを測定することによって測定できる。

起伏部の幅ｗは、起伏部の各周期の幅長の平均値として表される。
幅ｗは、例えば図３に示すように、起伏部１２２の起伏頂部の高さｈを有する凸部（山部）を挟む凹部（底部）間の距離である。
幅ｗは、合金リボンの端部をレーザー変位計で測定し、その測定値から、長手方向に並ぶ起伏頂部の間に形成される凹部と凹部との間の距離（即ち、高さｈが最も低い部分間の距離）を算出することで求められる値である。

起伏部の幅ｗは、例えば、アモルファス合金リボン１２０の起伏部のうち、起伏頂部の高さｈが測定された起伏部の幅長（図２ではｗ^Ｃ１、ｗ^Ｃ２、ｗ^Ｃ３・・・ｗ^Ｃｍ、ｗ^Ｄ１、ｗ^Ｄ２、ｗ^Ｄ３・・・ｗ^Ｄｎ）を測定し、ｍ＋ｎ個の起伏部の幅長の平均値で表され、下記式により求めることができる。
ここで、幅ｗは、起伏頂部Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３・・・及びＤ１、Ｄ２、Ｄ３・・・を含む図２の二点鎖線Ａ又は二点鎖線Ｂの位置での起伏部の幅の長さを指す。
幅ｗ＝｛（ｗ^Ｃ１＋ｗ^Ｃ２＋ｗ^Ｃ３＋・・・ｗ^Ｃｍ）＋（ｗ^Ｄ１＋ｗ^Ｄ２＋ｗ^Ｄ３＋・・・ｗ^Ｄｎ）｝／（ｍ＋ｎ）

なお、図２では、模式的にいずれの起伏部も幅長ｌ（一定）とされており、起伏部間の凹部には平坦部分が存在するが、模式的に表した一例であってこれに限られず、幅長は一定でない場合があり、また、凹部には平坦部分が存在せず、高さｈが最も低い部分が存在するのみの場合がある。

アモルファス合金リボンは、厚さが２０μｍ〜３０μｍであることが好ましい。
厚さが２０μｍ以上であると、アモルファス合金リボンの機械的強度が確保され、アモルファス合金リボン片の破断が抑制される。アモルファス合金リボンの厚さは、２２μｍ以上であることがより好ましい。また、厚さが３０μｍ以下であると、鋳造後のアモルファス合金リボンにおいて、安定したアモルファス状態が得られる。

アモルファス合金リボンの各々は、長手方向と直交する幅長が２０ｍｍ以上であることが好ましく、２２０ｍｍ以下であることが好ましい。
アモルファス合金リボンの幅長が２０ｍｍ以上であると、生産性良くコア作製が可能である。また、アモルファス合金リボンの幅長が２２０ｍｍ以下であると、幅方向の厚さや磁気特性のバラツキを抑制でき、安定生産性を確保し易い。

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。

＜アモルファス合金リボンの作製＞
軸回転する冷却ロールに合金溶湯を噴出する液体急冷法により、Ｆｅ_８１．３Ｓｉ_４．０Ｂ_１４．７Ｃ_０．２５（原子％）の組成を有する、幅１４２ｍｍ、厚さ２５μｍのアモルファス合金リボンを製造した。

次に、加熱室に伝熱媒体を備えた図４と同様に構成されたインラインアニール装置を用い、アモルファス合金リボンを張架した状態で、上記のアモルファス合金リボンを加熱室に進入させ、進入したアモルファス合金リボンを上述した態様Ｘにて伝熱媒体に接触させて熱処理した。熱処理は、伝熱媒体の温度を下記の範囲で変えて行った。続いて、冷却室に進入させてアモルファス合金リボンを、昇温時の最高到達温度から２５℃まで降温した。その後、熱処理が施されたアモルファス合金リボンを冷却室から退出させた。その後、アモルファス合金リボンを巻き取って巻回体とした。

製造条件は、以下に示す通りである。
<製造条件>
昇温伝熱媒体及び降温伝熱媒体：ブロンズ製プレート
最高到達温度（昇温伝熱媒体の温度）：３５０℃〜５００℃（下記表１参照）
アモルファス合金リボンに加える引張応力：５０ＭＰａ
アモルファス合金リボンと昇温伝熱媒体との接触距離：１．２ｍ
アモルファス合金リボンと昇温伝熱媒体との接触時間：１．２秒
アモルファス合金リボンが昇温伝熱媒体を離れた時点から降温伝熱媒体を離れた時点までの時間：１．６秒
平均昇温速度及び平均降温速度：下記表１参照

昇温伝熱媒体及び降温伝熱媒体の温度は、合金リボンが接触する伝熱媒体の表面に設置された熱電対により測定し、平均昇温速度及び平均降温速度を算出した。
平均昇温速度は、アモルファス合金リボンの走行方向における、加熱室２０の進入口より１０ｍｍ上流の地点で放射温度計により測定されたリボン温度（加熱前のアモルファス合金リボンの温度＝通常は室温であり、本実施例では２５℃である。）と、昇温伝熱媒体（図４中の加熱プレート２２）の温度と、の温度差を、昇温伝熱媒体に接触している時間（秒）で除して求めた。
平均降温速度は、アモルファス合金リボンの走行方向における昇温伝熱媒体（図４中の加熱プレート２２）の温度（＝最高到達温度）と、２５℃の降温伝熱媒体（図４中の冷却プレート３２）の温度と、の温度差を、昇温伝熱媒体を離れた時点から降温伝熱媒体を離れた時点までの時間（秒）で除して求めた。

ここで、インラインアニールにおいて、アモルファス合金リボンの走行速度が一定の場合（例えば、１．０ｍ／秒の場合）、伝熱媒体の温度を変えることによって、アモルファス合金リボンの最高到達温度の制御が可能であり、平均昇温速度と平均降温速度とを制御することができる。昇温伝熱媒体の温度（アモルファス合金リボンの到達温度と同じ）を３５０℃〜５００℃の間で変化させると、平均昇温速度は２７１℃／秒〜３９６℃／秒の間で制御することができ、平均降温速度は２０４℃／秒〜２９８℃／秒の間で制御することができる。

＜アモルファス合金リボン片の作製＞
次に、アモルファス合金リボンの巻回体からアモルファス合金リボンを巻き出し、巻き出されたアモルファス合金リボンを裁断することにより、長手方向長さが１０００ｍｍ（１ｍ）であるアモルファス合金リボン片を切り出した。アモルファス合金リボンの裁断は、シャーリングにより行った。

＜測定及び評価＞
−１．平坦度−
熱処理を行ったアモルファス合金リボンから長手方向の長さを１ｍとしてサンプリングし、長さ１ｍ、幅１４２ｍｍのアモルファス合金リボンを定盤上に置き、アモルファス合金リボンの幅方向において、一端から面内方向に１０ｍｍの位置及び他端から面内方向に１０ｍｍの位置（即ち、幅方向両端から面内方向にそれぞれ１０ｍｍの位置にある２つの直線上）の高さ（各起伏部における起伏頂部の高さ）を、レーザー式変位センサＬＢ−３００と多機能デジタルメータリレーＲＶ３−５５Ｒ（キーエンス社製）を用い、分解能０．１ｍｍにて連続測定した。測定された値（起伏頂部の高さ）の平均値を算出し、高さｈとした。なお、分解能は０．１ｍｍのため、合金リボンの厚さバラツキは無視できる。
また、上記と同様の方法で、長手方向に並ぶ起伏部の起伏頂部間に形成される凹部と凹部との間の距離（即ち、高さｈが最も低い部分間の距離）を算出し、幅ｗとした。
以上のように求めた高さｈ及び幅ｗを下記式に代入して平坦度として算出した。
平坦度＝１００×ｈ／ｗ

−２．裁断性−
伝熱媒体の温度によって平均昇温速度もしくは平均降温速度及び最高到達温度を変えて作製された複数のアモルファス合金リボンを用い、アモルファス合金リボンをステンレス製ハサミ（Ｗｅｓｔｃｏｔｔ社製、製品名：Westcott 8" All Purpose Preferred Stainless Steel Scissors）で裁断した。この際の裁断性の有無を以下の評価基準にしたがって評価した。
<評価基準>
有り：ほぼ直線的に分割され、直線では無い破断部分が全裁断寸法の５％以下である。
無し：直線では無い破断部分が全裁断寸法の５％を超える。

表１に示すように、熱処理前の合金リボン及び異なる最高到達温度で熱処理した合金リボンを評価したところ、熱処理時の最高到達温度を４１０℃〜４８０℃とした実施例では、平坦度は１．２〜１．０と小さく、合金リボンの幅方向端部に連続的に現れる波形状が少なく抑えられていた。実施例の合金リボンは、図１に示す非平坦形状を有する熱処理前のアモルファス合金リボン２に比べ、図１のアモルファス合金リボン１のように、波形状（凹凸形状）が矯正され、平坦度が改善されていた。前記アモルファス合金リボン１は、表１の最高到達温度を４６０℃とした合金リボンであり、波形状の発生が目視で観察できない程度であり、平坦性に優れていることがわかる。
なお、図１は、上記各アモルファス合金リボンの合金リボン主面鉛直方向から観た外観写真である。
具体的には、熱処理前の合金リボンは、平坦度が２．５と大きく、合金リボンの幅方向端部近傍における波形状が確認された。また、最高到達温度を３５０℃又は３８０℃とした比較例でも、平坦度がそれぞれ１．９、１．７と大きく、熱処理による形状に対する矯正効果は小さいことが分かる。
また、熱処理時の最高到達温度を５００℃とした比較例では、平坦度が１．１と低いが、裁断時に割れ及び欠けが生じやすく、直線状に裁断できない部分が２０％を超えており、裁断性に劣るものであった。

２０１７年７月４日に出願された米国仮出願６２／５２８，４５１の開示はその全体が参照により本明細書に取り込まれる。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。

Claims (7)

1. Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボンを準備する工程と、
   前記アモルファス合金リボンを引張応力２０ＭＰａ〜８０ＭＰａで張架した状態で、平均昇温速度を５０℃／秒以上８００℃／秒未満として４１０℃〜４８０℃の範囲の最高到達温度までアモルファス合金リボンを昇温させる工程と、
   前記アモルファス合金リボンを引張応力２０ＭＰａ〜８０ＭＰａで張架した状態で、昇温された前記アモルファス合金リボンを、平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として前記最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温させる工程と、
   を含み、
   下記組成式（Ａ）で表される組成を有するアモルファス合金リボンを製造する、アモルファス合金リボンの製造方法。
   Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ … 組成式（Ａ）
   組成式（Ａ）中、ａ及びｂは、組成中の原子比を表し、それぞれ下記範囲を満たす。ｃは、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比を表し、下記範囲を満たす。
   １３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
   ２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％
   ０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％
   ７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％
2. 前記平均昇温速度が、６０℃／秒〜７６０℃／秒であり、前記平均降温速度が、１９０℃／秒〜５００℃／秒である、請求項１に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
3. 前記引張応力が、４０ＭＰａ〜７０ＭＰａである、請求項１又は請求項２に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
4. 前記１００−ａ−ｂが、下記範囲を満たす請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
   ８０．５原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％
5. 前記昇温させる工程での昇温及び前記降温させる工程での降温は、前記アモルファス合金リボンを張架した状態で走行させ、走行する前記アモルファス合金リボンを伝熱媒体に接触させることにより行われる請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
6. 走行する前記アモルファス合金リボンを昇温させる伝熱媒体の接触面、及び走行する前記アモルファス合金リボンを降温させる伝熱媒体の接触面は、平面内に配置されている請求項５に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
7. 幅方向の一端側に存在する起伏の、幅方向の一端から面内方向に１０ｍｍの位置における起伏頂部の高さ、及び幅方向の他端側に存在する起伏の、幅方向の他端から面内方向に１０ｍｍの位置における起伏頂部の高さを含む複数の高さの平均値である高さｈと、
   前記起伏の幅長の平均値である幅ｗと、
   が下記式１を満たす、アモルファス合金リボン。
   ０．１≦１００×ｈ／ｗ≦１．５ 式１