JPWO2018225242A1

JPWO2018225242A1 - 対基板作業システム

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Publication number: JPWO2018225242A1
Application number: JP2019523310A
Authority: JP
Inventors: 寛佳杉田; 勇介山蔭
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2017-06-09
Filing date: 2017-06-09
Publication date: 2020-03-19
Anticipated expiration: 2037-06-09
Also published as: US10966359B2; US20200170152A1; EP3637972A4; EP3637972A1; JP6846515B2; CN110720259B; EP3637972B1; WO2018225242A1; CN110720259A

Abstract

設定された相互位置関係を持つ複数のマークが配置されたマーク配置部材８０，８２を第１作業ヘッド２８ａが移動させられる第１作業エリアＲ１と第２作業ヘッド２８ｂが移動させられる第２作業エリアＲ２とに跨って配設し、それら２つのエリアに跨った状態で保持された１つの基板ＳＬに対して作業を行う際に、(i)第１作業ヘッドとともに移動させられる第１撮像装置６６ａの撮像データに基づいて測定された第１エリアＲ１に存在するマークの位置と(ii)第２作業ヘッドとともに移動させられる第２撮像装置６６ｂの撮像データに基づいて測定された第２エリアＲ２に存在するマークの位置とに基づいて、作業において第１作業ヘッドの第１ヘッド移動装置によって移動させられるべき位置と第２作業ヘッドの第２ヘッド移動装置によって移動させられるべき位置との少なくとも一方を補正する。

Description

本明細書には、作業ヘッドを有してその作業ヘッドによって基板に対して作業を行う対基板作業システムを開示する。

下記特許文献１には、２つの対基板作業機である部品装着機が隣接して並設され、それら２つの部品装着機の各々が備える基板搬送装置の両者によって１つの基板を固定保持し、その１つの基板に対して、２つの部品装着機の各々が備える部品装着ヘッドの両者によって部品を装着することが可能に構成されている。つまり、下記特許文献１には、１つの基板に対して２つの作業ヘッドを用いて作業を行う対基板作業システムが記載されている。

特開２００４−３９８１８号公報

解決しようとする課題

上記特許文献１に記載の対基板作業システムにおいて、１つの基板に対して２つの作業ヘッドを用いるため、それら２つの作業ヘッドの各々の動作を連携させる必要がある。例えば、２つの作業ヘッドの各々の基板上における位置を制御する座標系の関係を把握する必要があるのである。そのような実情に鑑み、本出願は、２つの作業ヘッドを用いて１つの基板に対して作業を行う対基板作業システムにおいて、それら２つの作業ヘッドの動作を適切に連携させることを課題とする。

上記課題を解決するために、本明細書には、第１作業ヘッドが移動させられる第１作業エリアと第２作業ヘッドが移動させられる第２作業エリアとに跨って配設され、設定された相互位置関係を持つ複数のマークが配置されたマーク配置部材を備え、基板保持装置によって第１作業エリアと第２作業エリアとに跨った状態で保持された１つの基板に対して作業を行う際に、(i)第１作業ヘッドとともに移動させられる第１撮像装置の撮像データに基づいて測定された第１作業エリアに存在するマークの位置と(ii)第２作業ヘッドとともに移動させられる第２撮像装置の撮像データに基づいて測定された第２作業エリアに存在するマークの位置とに基づいて、作業において第１作業ヘッドの第１ヘッド移動装置によって移動させられるべき位置と第２作業ヘッドの第２ヘッド移動装置によって移動させられるべき位置との少なくとも一方を補正するように構成された対基板作業システムを開示する。

効果

本明細書に開示された対基板作業システムは、２つの作業ヘッドの各々の作業エリアに跨ってマーク配置部材が配設されており、設定された相互位置関係にある複数のマークの位置を、２つの撮像装置によって各エリアに存在するものごとに測定することで、２つの作業ヘッドの位置関係を把握することができ、１枚の基板に対する作業位置を適切化することが可能である。

本実施例の対基板作業システムとしての部品装着システムの一部を示す斜視図である。図１に示す部品装着機の側面図である。図１に示す部品装着機が備えるヘッド移動装置の斜視図である。図１に示す部品装着システムにおいて、部品装着機内を示す平面図である。図４に示すマークプレートに配置されたマークの測定された位置と推定された位置とのズレを示す概念図である。

以下、一実施例である対基板作業システムを、図を参照しつつ説明する。なお、下記実施例の他、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。

図１に、一実施例である対基板作業システムとしての部品装着システム１０を示す。なお、基板に部品を装着する作業は、複数の種類の部品を基板に装着するために、部品装着システム１０は、対基板作業機である複数の部品装着機１２を含んで構成される。図１には、それら複数の部品装着機１２のうちの２つのものである第１部品装着機１２ａ，第２部品装着機１２ｂを示し、第２部品装着機１２ｂは、外装パネルを外した状態のものを示している。なお、以下の説明において、第１部品装着機１２ａと第２部品装着機１２ｂとの各々の構成要素について、区別する必要がある場合には、それぞれの構成要素の符号にａ，ｂを付す場合がある。

部品装着機１２は、ベース２０と、ベース２０に固定的に設けられたビーム２２と、ベース２０に配設された基板搬送装置２４と、当該部品装着機１２の正面側においてベース２０に交換可能に取り付けられた複数の部品フィーダ２６と、複数の部品フィーダ２６のいずれかから供給される部品を保持するとともにその部品を基板に装着するために離脱させる作業ヘッドとしての部品装着ヘッド２８と、ビーム２２に配設されて部品装着ヘッド２８を基板に平行な一平面上を移動させるヘッド移動装置３０と、自身の制御を司る制御装置３２とを含んで構成されている。なお、以下の説明において、基板搬送装置２４によって基材が搬送される方向を左右方向（Ｘ方向）と、水平面上においてその左右方向に直角な方向を前後方向（Ｙ方向）と、それら左右方向および前後方向に直角な方向を上下方向（Ｚ方向）と称することとする。

図２に、部品装着機１２の側面図を示す。その図２にも示すように、基板搬送装置２４は、前後方向に並んだ２列のコンベア装置４０，４２を備えている。前方側のコンベア装置４０は、互いに対向する１対のコンベア４４，４５を有しており、それら１対のコンベア４４，４５の各々のコンベアベルト４６を搬送モータによって周回させることで、１対のコンベア４４，４５の各々のコンベアベルト４６上に載せられる基板を左右方向に搬送する構造とされている。コンベア装置４０は、後方側のコンベア４５が前方側のコンベア４４に対して、前後方向に移動可能とされており、種々の幅の基板に対応できるようになっている。また、コンベア装置４０は、支持テーブル４８を上昇させることで、その支持テーブル４８がシャッター５０，５１を上昇させ、そのシャッター５０，５１と１対のコンベア４４，４５の各々の上方に設けられた鍔部５２との間に、基板を挟み込んで固定することが可能とされている。また、後方側のコンベア装置４２は、前方側のコンベア装置４０とほぼ同様の構成のものであり、互いに対向する１対のコンベア５４，５５を有している。ただし、それら１対のコンベア５４，５５の両者を、前後方向に移動させることが可能とされている。

なお、前方側のコンベア装置４０が有する後方側のコンベア４５、および、後方側のコンベア装置４２が有する１対のコンベア５４，５５を後方側へ移動させることで、前方側のコンベア装置４０のみを用いて、単一のコンベア装置とすることが可能とされている。したがって、基板搬送装置２４は、比較的大きな幅の基板にも対応することが可能とされているのである。

複数の部品フィーダ２６の各々には、部品保持テープ（複数の部品がテープに保持されたものであり、「部品テーピング」とも呼ばれる）が捲回されたリールが、セットされており、複数の部品フィーダ２６の各々は、その部品保持テープを間欠的に送り出すことによって、所定の部品供給部位において、順次、部品を１つずつ供給する。部品の補給は、リールを交換しつつ、部品テーピングを繋ぎ合わせるようにして行ってもよく（スプライシング）、また、部品フィーダ２６ごとリールを交換して行ってもよい。なお、当該部品装着機１２は、複数の部品フィーダ２６に代えて、いわゆるトレイ型の部品供給装置をも取り付け可能とされている。

図３に、ヘッド移動装置３０の斜視図を示す。ヘッド移動装置３０は、いわゆるＸＹ型移動装置であり、Ｘ方向に移動させるＸ方向移動機構６０と、部品装着ヘッド２８をＹ方向に移動させるＹ方向移動機構６２とを含んで構成される。詳しくは、Ｙ方向移動機構６２は、ビーム２２に支持され、Ｘ方向移動機構６０を、部品フィーダ２６と基板とにわたって移動させるものである。Ｘ方向移動機構６０は、部品装着ヘッド２８が脱着可能に取り付けられるヘッド取付体６４を支持し、Ｘ方向に移動させるものである。なお、図３に示すように、ヘッド取付体６４の下部には、基板の表面の撮像等を行う撮像装置としてのカメラ６６が固定されている。

部品装着ヘッド２８は、いわゆるインデックス型の装着ヘッドである。つまり、部品装着ヘッド２８は、それぞれが、負圧の供給によって部品を下端部において吸着保持する８つの吸着ノズル７０を有しており、それらが、リボルバ７２に保持されている。そのリボルバ７２は、間欠回転し、特定位置に位置する１の吸着ノズル７０がノズル昇降装置によって昇降可能、つまり、上下方向に移動可能とされている。特定位置に位置する吸着ノズル７０は、下降した際に、負圧が供給されることによって、部品を保持し、また、負圧の供給が断たれることで、吸着保持している部品を離脱させる。ちなみに、８つの吸着ノズル７０の各々は、ノズル回転機構によって、自身の軸線回りに、つまり、その軸線を中心に回転させられるようになっており、当該部品装着ヘッド２８は、各吸着ノズル７０によって保持されている部品の回転位置を、変更・調整することが可能とされている。なお、ヘッド取付体６４には、部品装着ヘッドとして、単一の吸着ノズルを有するもの、いわゆるシングルノズル型の装着ヘッドを、取り付けることも可能である。

＜部品装着機による部品装着作業の概要＞
単一の部品装着機１２による部品装着作業について簡単に説明すれば、まず、基板搬送装置２４によって、作業に供される基板が、上流側から搬入され、所定の位置まで搬送され、所定の作業位置にて固定される。次いで、カメラ６６がヘッド移動装置３０によって移動させられ、基板の上面に付された基準マークが撮像される。その撮像によって得られた撮像データに基づき、装着位置の基準となる座標系が決定される。続いて、ヘッド移動装置３０によって、部品装着ヘッド２８が複数の部品フィーダ２６の上方に位置させられ、８つの吸着ノズル７０の各々において部品が順次保持される。そして、ヘッド移動装置３０によって、部品装着ヘッド２８が基板の上方に移動させられ、順次、装着プログラムによって定められた設定位置に装着される。

また、本実施例の部品装着システム１０は、図４の平面図に示すように、２つの部品装着機１２の各々が備える基板搬送装置２４を単一のコンベア装置とした状態で、それら２つの部品装着機１２ａ，１２ｂの基板搬送装置２４によって、１つの大型基板Ｓｂを固定保持することが可能とされている。そして、本実施例の部品装着システム１０は、その大型基板Ｓ_Ｌに対して、第１部品装着機１２ａと第２部品装着機１２ｂとの両者によって、部品装着作業を行うことが可能とされている。以下の説明において、第１部品装着機１２ａの部品装着ヘッド２８を、第１装着ヘッド２８ａと、第２部品装着機１２ｂの部品装着ヘッド２８を、第２装着ヘッド２８ｂと呼ぶ場合がある。

上記のように、本部品装着システム１０においては、１つの基板Ｓ_Ｌに対して、２つの部品装着ヘッド２８ａ，２８ｂを用いるため、それら２つの２８ａ，２８ｂを連携させる必要がある。具体的には、第１装着ヘッド２８ａをヘッド移動装置３０ａによって移動させるための基板に平行な平面における座標系と、第２装着ヘッド２８ｂをヘッド移動装置３０ｂによって移動させるための座標系とを、統一させる必要があるのである。

第１装着ヘッド２８ａによって作業が行われる第１作業エリアＲ１と、第２装着ヘッド２８ｂによって作業が行われる第２作業エリアＲ２とが、重なっているような場合には、例えば、その重なっている箇所に基準となるマークを設け、第１部品装着機１２ａのカメラ６６（以下、第１カメラ６６ａと呼ぶ場合がある）によるそのマークの撮像データと、第２部品装着機１２ｂのカメラ６６（以下、第２カメラ６６ｂと呼ぶ場合がある）によるそのマークの撮像データとに基づいて、第１装着ヘッド２８ａの座標系と第２装着ヘッド２８ｂの座標系とを、容易に統一させることが可能である。

しかしながら、本部品装着システム１０において、第１装着ヘッド２８ａによって作業が行われる第１作業エリアＲ１と、第２装着ヘッド２８ｂによって作業が行われる第２作業エリアＲ２とは、図４に示すように、重ならないような範囲となっている。そのため、第１装着ヘッド２８ａの座標系と第２装着ヘッド２８ｂの座標系とを統一させることが問題となる。以下に、本部品装着システム１０における第１装着ヘッド２８ａの座標系と第２装着ヘッド２８ｂの座標系とを統一させる手法について、詳しく説明する。

本部品装着システム１０は、それぞれが、設定された相互位置関係を持つ複数のマークが配置された１対のマークプレート８０，８２を備えている。それら１対のマークプレート８０，８２は、同一のものであり、膨張係数が低い石英ガラスで長方形状に形成されて表面に４つの円形状のマークが直線状に並んで配置されたものである。そして、それら１対のマークプレート８０，８２は、ベース２０上に配設されている。具体的には、１対のマークプレート８０，８２は、左右方向に延びる状態で、基板搬送装置２４を挟んでその基板搬送装置２４の上方側および下方側に配設されている。以下の説明において、基板搬送装置２４の上方側に配設されたマークプレート８０を、第１プレート８０と、基板搬送装置２４の上方側に配設されたマークプレート８２を、第２プレート８２と呼ぶこととする。

第１プレート８０および第２プレート８２は、第１部品装着機１２ａと第２部品装着機１２ｂとに跨って、詳しく言えば、第１作業エリアＲ１と第２作業エリアＲ２とに跨って配設されている。なお、第１プレート８０と第２プレート８２とは、第１作業エリアＲ１と第２作業エリアＲ２との各々に、２つずつのマークが存在するように配設されている。なお、第１プレート８０の４つのマークの符号を、左側から順にＭ_Ａ１，Ｍ_Ｂ１，Ｍ_Ｃ１，Ｍ_Ｄ１とし、第２プレート８２の４つのマークの符号を、左側から順にＭ_Ａ２，Ｍ_Ｂ２，Ｍ_Ｃ２，Ｍ_Ｄ２として、以下の説明を行うこととする。

大型基板Ｓへの部品装着作業を行う際には、まず、第１部品装着機１２ａにおいて、第１作業エリアＲ１に存在する第１プレート８０のマークＭ_Ａ１，Ｍ_Ｂ１と第２プレート８２のマークＭ_Ａ２，Ｍ_Ｂ２とが、カメラ６６ａによって撮像される。その撮像データに基づいて、マークＭ_Ａ１，Ｍ_Ｂ１およびマークＭ_Ａ２，Ｍ_Ｂ２の位置座標が測定される。それら部品装着作業前に測定された４つのマークＭ_Ａ１，Ｍ_Ｂ１，Ｍ_Ａ２，Ｍ_Ｂ２の位置座標は、第１部品装着機１２ａにおける熱膨張等に関する補正の基準とされる。そして、部品装着作業中の定められたタイミングで、再び４つのマークＭ_Ａ１，Ｍ_Ｂ１，Ｍ_Ａ２，Ｍ_Ｂ２の位置座標が測定され、基準とされた位置座標との差に基づいて、熱膨張に伴う補正が行われるようになっている。

また、第２部品装着機１２ｂにおいても、同様に、第２作業エリアＲ２に存在する第１プレート８０のマークＭ_Ｃ１，Ｍ_Ｄ１と第２プレート８２のマークＭ_Ｃ２，Ｍ_Ｄ２とが、カメラ６６ｂによって撮像される。その撮像データに基づいて、マークＭ_Ｃ１，Ｍ_Ｄ１およびマークＭ_Ｃ２，Ｍ_Ｄ２の位置座標が測定され、熱膨張に伴う補正に用いられる。

次に、前述のように第１部品装着機１２aにおいて測定されたマークＭ_Ａ１，Ｍ_Ｂ１およびマークＭ_Ａ２，Ｍ_Ｂ２の位置座標に基づいて、第１プレート８０のマークＭ_Ｃ１，Ｍ_Ｄ１と第２プレート８２のマークＭ_Ｃ２，Ｍ_Ｄ２との位置座標が推定される。先にも述べたように、第１プレート８０および第２プレート８２において、４つのマークＭ_Ａ，Ｍ_Ｂ，Ｍ_Ｃ，Ｍ_Ｄは直線状に配置されている。また、マークＭ_ＡとマークＭ_Ｂとの間隔、マークＭ_ＢとマークＭ_Ｃとの間隔、マークＭ_ＣとマークＭ_Ｄとの間隔は、それぞれ、定められた間隔Ｌ_ＡＢ，Ｌ_ＢＣ，Ｌ_ＣＤとされている。したがって、本部品装着システム１０においては、マークＭ_ＡおよびマークＭ_Ｂの位置座標が測定されれば、それらに基づいて、第２作業エリアＲ２内に存在する第１プレート８０のマークＭ_Ｃ１，Ｍ_Ｄ１と第２プレート８２のマークＭ_Ｃ２，Ｍ_Ｄ２との位置座標が、容易に推定されるのである。

続いて、上記のように推定された第１プレート８０のマークＭ_Ｃ１，Ｍ_Ｄ１と第２プレート８２のマークＭ_Ｃ２，Ｍ_Ｄ２との位置座標と、第２部品装着機１２ｂにおいて測定された位置座標とに基づいて、第２部品装着機１２ｂの第１部品装着機１２ａに対する位置関係が求められる。具体的には、第２エリアＲ２に存在する第１プレート８０のマークＭ_Ｃ１，Ｍ_Ｄ１および第２プレート８２のマークＭ_Ｃ２，Ｍ_Ｄ２の各々において、推定された位置座標と測定された位置座標とが比較され、第２部品装着機１２ｂの第１部品装着機１２ａに対する位置、例えば、それら装着機間のＸ方向の距離やＹ方向のズレなどが求められる。また、測定されたマークＭ_Ｃ１，マークＭ_Ｃ２を通る直線の推定されたマークＭ_Ｃ１，マークＭ_Ｃ２を通る直線に対する傾きθ_Ｃと、測定されたマークＭ_Ｄ１，マークＭ_Ｄ２を通る直線の推定されたマークＭ_Ｄ１，マークＭ_Ｃ２を通る直線に対する傾きθ_Ｄとに基づいて、第２部品装着機１２ｂの第１部品装着機１２ａに対する傾きが求められる。そして、大型基板Ｓ_Ｌに対して部品装着作業を行う際、第２部品装着機１２ｂにおいては、その求められた第２部品装着機１２ｂの第１部品装着機１２ａに対する位置や傾きに基づいて、第２装着ヘッド２８ｂのヘッド移動装置３０ｂによって移動させられるべき位置が補正されるようになっている。

なお、上述した第２部品装着機１２ｂの第１部品装着機１２ａに対する位置関係の把握は、大型基板Ｓ_Ｌに対して部品装着作業中における熱膨張等を考慮するために、定められた間隔で繰り返し行われるようになっている。

なお、本実施例の部品装着システム１０においては、第１部品装着機１２ａを基準として、第２装着ヘッド２８ｂのヘッド移動装置３０ｂによって移動させられるべき位置が補正されていたが、第２部品装着機１２ｂを基準として、第１装着ヘッド２８ａのヘッド移動装置３０ａによって移動させられるべき位置が補正されてもよい。また、第１装着ヘッド２８ａのヘッド移動装置３０ａによって移動させられるべき位置と、第２装着ヘッド２８ｂのヘッド移動装置３０ｂによって移動させられるべき位置との両者が補正されてもよい。

また、本実施例の部品装着システム１０においては、第１部品装着機１２ａの熱膨張に伴う補正を行うため、前述したように、１対のマークプレート８０，８２は、２つの円形状のマークが第１作業エリアＲ１内に存在するように配設されていた。それにより、各マークプレート８０，８２の延びる方向を特定すること、また、第１部品装着機１２ａの熱膨張に伴う補正を行うことが可能とされていた。ただし、マークの形状が円形状であることに限定されず、また、マークの数が２つであることに限定されない。例えば、三角形や四角形のマークとしてもよく、マークを１つ、あるいは、３つ以上としてもよい。

さらに、本実施例の部品装着システム１０においては、第２部品装着機１２の熱膨張に伴う補正を行うため、前述したように、１対のマークプレート８０，８２は、２つのマークが第２作業エリアＲ２内に存在するように配設されていた。しかしながら、第２エリアＲ２に存在するマークも、第１エリアＲ１に存在するマークと同様に、例えば、三角形や四角形のマークとしてもよく、マークを１つ、あるいは、３つ以上としてもよい。

さらにまた、本実施例の対基板作業システムは、作業ヘッドとして、部品を基板に装着するための部品装着ヘッドを備えた部品装着システムに採用されていたが、それに限定されず、例えば、ディスペンサや検査機などを主体とするシステムのように、基板に対して作業を行うための種々のシステムに採用することが可能である。なお、本実施例の対基板作業システムは、２つの部品装着機１２を隣接して並設したものとされていたが、単一のベースに対して、それぞれが作業エリアの異なる２つの作業ヘッドが設けられた装置に採用することも可能である。

１０：部品装着システム〔対基板作業システム〕１２ａ：第１部品装着機１２ｂ：第２部品装着機２０：ベース２２：ビーム２４：基板搬送装置〔基板保持装置〕２６：部品フィーダ２８ａ：第１装着ヘッド〔第１作業ヘッド〕２８ｂ：第２装着ヘッド〔第２作業ヘッド〕３０ａ：ヘッド移動装置〔第１ヘッド移動装置〕３０ｂ：ヘッド移動装置〔第２ヘッド移動装置〕６６ａ：カメラ〔第１撮像装置〕６６ｂ：カメラ〔第２撮像装置〕８０：マークプレート（第１プレート）〔マーク配置部材〕８２：マークプレート（第２プレート）〔マーク配置部材〕

Claims

基板を固定保持する基板保持装置と、
その基板保持装置によって保持された基板に対して作業を行う第１作業ヘッドおよび第２作業ヘッドと、
前記第１作業ヘッドを、第１作業エリア内において移動させる第１ヘッド移動装置と、
前記第２作業ヘッドを、前記第１作業エリアとは異なる第２作業エリア内において移動させる第２ヘッド移動装置と、
前記第１作業ヘッドとともに前記第１ヘッド移動装置によって移動させられる第１撮像装置、および、前記第２作業ヘッドとともに前記第２ヘッド移動装置によって移動させられる第２撮像装置と、
を備えた対基板作業システムであって、
当該対基板作業システムが、さらに、
前記第１作業エリアと前記第２作業エリアとに跨って配設され、設定された相互位置関係を持つ複数のマークが配置されたマーク配置部材を備え、
前記基板保持装置によって前記第１作業エリアと前記第２作業エリアとに跨った状態で保持された１つの基板に対して作業を行う際に、前記第１撮像装置によって前記マーク配置部材の前記第１作業エリアに存在する１以上のマークを撮像してそれら第１作業エリアに存在するマークの位置を測定するとともに、前記第２撮像装置によって前記マーク配置部材の前記第２作業エリアに存在する１以上のマークを撮像してそれら第２作業エリアに存在するマークの位置を測定し、それら測定された前記第１作業エリアに存在するマークの位置と測定された前記第２作業エリアに存在するマークの位置とに基づいて、作業において前記第１作業ヘッドの前記第１ヘッド移動装置によって移動させられるべき位置と前記第２作業ヘッドの前記第２ヘッド移動装置によって移動させられるべき位置との少なくとも一方を補正するように構成された対基板作業システム。
当該対基板作業システムが、
測定された前記第１作業エリアに存在するマークの位置に基づいて、前記マーク配置部材の前記第２作業エリア内に存在する１以上のマークの位置を推定し、
前記第２作業エリアに存在するマークの測定された位置と推定された位置とのズレに基づいて、作業において前記第１作業ヘッドの前記第１ヘッド移動装置によって移動させられるべき位置と前記第２作業ヘッドの前記第２ヘッド移動装置によって移動させられるべき位置との少なくとも一方を補正するように構成された請求項１に記載の対基板作業システム。
当該対基板作業システムが、
それぞれが、(A)ベースと(B)そのベースに設けられて基板を搬送するとともに基板を固定保持する基板搬送装置と(C)基板に対して作業を行う作業ヘッドと(D)その作業ヘッドを前記ベース上において移動させるヘッド移動装置と(E) 前記作業ヘッドとともに前記ヘッド移動装置によって移動させられる撮像装置とを有し、隣接して並設された２つの対基板作業機を備え、
それら２つの対基板作業機の各々が有する前記基板搬送装置によって１つの基板を固定保持可能とされることでそれらの各々によって前記基板保持装置が構成され、
前記２つの対基板作業機の一方が有する前記作業ヘッド，ヘッド移動装置，撮像装置が、前記第１作業ヘッド，第１ヘッド移動装置，第１撮像装置として機能するとともに、
前記２つの対基板作業機の他方が有する前記作業ヘッド，ヘッド移動装置，撮像装置が、前記第２作業ヘッド，第２ヘッド移動装置，第２撮像装置として機能し、
前記マーク配置部材が、前記２つの対基板作業機の各々が有する前記ベースに跨って配設された請求項１または請求項２に記載の対基板作業システム。
前記マーク配置部材が、前記第１作業エリアに少なくとも２つのマークが存在するように配設された請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の対基板作業システム。
前記マーク配置部材が、記第２作業エリアに少なくとも２つのマークが存在するように配設された請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の対基板作業システム。
前記マーク配置部材が、前記複数のマークが直線状に配置されたものとされ、
当該対基板作業システムが、
それぞれが前記マーク配置部材である１対のマーク配置部材を備え、それら１対のマーク配置部材が、前記複数のマークが並ぶ直線に交差する方向に間隔をおいて配設された請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の対基板作業システム。
前記１対のマーク配置部材が、前記基板保持装置を挟んで両側に配設された請求項６に記載の対基板作業システム。
前記１対のマーク配置部材の各々が、
４つのマークを直線状に配置されたものとされ、それら４つのマークのうちの２つが前記第１作業エリア内に、残りの２つが前記第２作業エリア内に位置するように配設された請求項６または請求項７に記載の対基板作業システム。